JPH08202287A - 有機エレクトロルミネセント表示装置およびその製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネセント表示装置およびその製造方法Info
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- JPH08202287A JPH08202287A JP7032941A JP3294195A JPH08202287A JP H08202287 A JPH08202287 A JP H08202287A JP 7032941 A JP7032941 A JP 7032941A JP 3294195 A JP3294195 A JP 3294195A JP H08202287 A JPH08202287 A JP H08202287A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/26—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode
-
- H—ELECTRICITY
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- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】微細なパターンの上部電極を形成すると共に、
寿命を長くする。 【構成】下部透明電極３上に成膜された透明電極４上に
リブ８を間隔をおいて形成し、さらにリブ８間に有機層
８を成膜した後、その上全面に上部電極材料１２を蒸着
する。そして、ブレードあるいは研磨等によりリブ８上
に蒸着された上部電極材料１２を除去することにより、
有機層６上にだけ上部電極７を形成する。必要に応じ
て、その上にキャップ層を設ける。
寿命を長くする。 【構成】下部透明電極３上に成膜された透明電極４上に
リブ８を間隔をおいて形成し、さらにリブ８間に有機層
８を成膜した後、その上全面に上部電極材料１２を蒸着
する。そして、ブレードあるいは研磨等によりリブ８上
に蒸着された上部電極材料１２を除去することにより、
有機層６上にだけ上部電極７を形成する。必要に応じ
て、その上にキャップ層を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機エレクトロルミネ
セント媒体を有する有機エレクトロルミネセント表示装
置とその製造方法に関するものである。
セント媒体を有する有機エレクトロルミネセント表示装
置とその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の有機エレクトロルミネセント（以
下、ＥＬと記す。）発光素子の構造を図８に示す。この
有機ＥＬ発光素子は、ガラス基板１０１上に形成された
薄膜上の透明のＩＴＯ電極１０２と、このＩＴＯ電極１
０２を覆うように形成されたホール輸送層１０３と、こ
のホール輸送層１０３上に薄膜上に形成された発光層１
０４と、発光層１０４上に形成された上部電極１０５と
から構成されている。
下、ＥＬと記す。）発光素子の構造を図８に示す。この
有機ＥＬ発光素子は、ガラス基板１０１上に形成された
薄膜上の透明のＩＴＯ電極１０２と、このＩＴＯ電極１
０２を覆うように形成されたホール輸送層１０３と、こ
のホール輸送層１０３上に薄膜上に形成された発光層１
０４と、発光層１０４上に形成された上部電極１０５と
から構成されている。
【０００３】このように構成された有機ＥＬ発光素子に
おいて、上部電極がマイナス、ＩＴＯ電極にプラスの直
流電圧を印加すると、ＩＴＯ電極１０２から注入された
ホールはホール輸送層１０３により輸送されて発光層１
０４に注入される。一方、上部電極１０５から発光層１
０４に電子が注入されており、この注入された電子と、
ホール輸送層１０３から注入されたホールとが発光層１
０４内において再結合される。この再結合により、発光
層１０４が発光するようになり、この発光は透光性のホ
ール輸送層１０３、ＩＴＯ電極、およびガラス基板１０
１を介して観察することができる。
おいて、上部電極がマイナス、ＩＴＯ電極にプラスの直
流電圧を印加すると、ＩＴＯ電極１０２から注入された
ホールはホール輸送層１０３により輸送されて発光層１
０４に注入される。一方、上部電極１０５から発光層１
０４に電子が注入されており、この注入された電子と、
ホール輸送層１０３から注入されたホールとが発光層１
０４内において再結合される。この再結合により、発光
層１０４が発光するようになり、この発光は透光性のホ
ール輸送層１０３、ＩＴＯ電極、およびガラス基板１０
１を介して観察することができる。
【０００４】この場合、直流電源の電圧が１０ボルト以
下で１０００［ｃｄ／ｃｍ2 ］以上の発光を得ることが
できる。なお、ホール輸送層１０３は一般にトリフェニ
ルジアミン（ＴＰＤ）を材料として形成されており、発
光層１０４は一般にアルミキノリノール錯体（Ａｌ
ｑ3）により形成されている。また、ホール輸送層１０
３および発光層１０４からなる有機ＥＬ媒体に替えて、
発光性ポリマーからなる一層構造の発光層を用いること
もできる。
下で１０００［ｃｄ／ｃｍ2 ］以上の発光を得ることが
できる。なお、ホール輸送層１０３は一般にトリフェニ
ルジアミン（ＴＰＤ）を材料として形成されており、発
光層１０４は一般にアルミキノリノール錯体（Ａｌ
ｑ3）により形成されている。また、ホール輸送層１０
３および発光層１０４からなる有機ＥＬ媒体に替えて、
発光性ポリマーからなる一層構造の発光層を用いること
もできる。
【０００５】このようなＥＬ発光素子の発光原理を利用
して有機エレクトロルミネセント表示装置を構成するに
は、下部電極であるＩＴＯ電極をストライプ状に複数本
形成すると共に、このストライプ状のＩＴＯ電極に直交
するように上部電極をストライプ状に複数本形成し、Ｉ
ＴＯ電極と上部電極とでマトリクスを形成するようにす
る。そして、このマトリクスを駆動手段により走査し
て、マトリクスの交点に形成されている画素の発光を順
次画像信号で制御することにより、画像を表示するよう
にすればよい。
して有機エレクトロルミネセント表示装置を構成するに
は、下部電極であるＩＴＯ電極をストライプ状に複数本
形成すると共に、このストライプ状のＩＴＯ電極に直交
するように上部電極をストライプ状に複数本形成し、Ｉ
ＴＯ電極と上部電極とでマトリクスを形成するようにす
る。そして、このマトリクスを駆動手段により走査し
て、マトリクスの交点に形成されている画素の発光を順
次画像信号で制御することにより、画像を表示するよう
にすればよい。
【０００６】ところで、ストライプ状に形成されたＩＴ
Ｏ電極および上部電極幅に応じて、解像度は決定される
が、この幅は必要とされる解像度の点から数十ミクロン
以下に形成することが望ましい。ところで、ＩＴＯ電極
や上部電極は、マスク蒸着により形成することができる
が、マスク蒸着では０．１ｍｍ以下のファインパターン
を形成することは技術上困難とされている。また、湿式
化学パターニング技法により精細なパターンを形成する
ことができるが、ウエットエッチングを行うとエッチン
グ液等が有機ＥＬ媒体に接触して、有機ＥＬ媒体が劣化
するようになる。すると、画像表示の性能や寿命が劣化
するという欠点があった。
Ｏ電極および上部電極幅に応じて、解像度は決定される
が、この幅は必要とされる解像度の点から数十ミクロン
以下に形成することが望ましい。ところで、ＩＴＯ電極
や上部電極は、マスク蒸着により形成することができる
が、マスク蒸着では０．１ｍｍ以下のファインパターン
を形成することは技術上困難とされている。また、湿式
化学パターニング技法により精細なパターンを形成する
ことができるが、ウエットエッチングを行うとエッチン
グ液等が有機ＥＬ媒体に接触して、有機ＥＬ媒体が劣化
するようになる。すると、画像表示の性能や寿命が劣化
するという欠点があった。
【０００７】そこで、この欠点を解決しようとした有機
エレクトロルミネセント表示装置が特開平５−２７５１
７２号公報に記載されている。この有機エレクトロルミ
ネセント表示装置の構成の一例を図９に示す。この図に
示す有機エレクトロルミネセント表示装置は、ガラス基
板１１１上に形成されたストライプ状のＩＴＯ電極１１
２と、ＩＴＯ電極１１２上に間隔をおいて壁状に、か
つ、ＩＴＯ電極１１２と直交するよう形成されたリブ１
１４と、リブ１１４とリブ１１４との間に形成された有
機ＥＬ媒体からなる有機層１１３から構成されている。
この場合、リブ１１４の高さは有機層１１３の厚さより
かなり高くなるよう形成されている。
エレクトロルミネセント表示装置が特開平５−２７５１
７２号公報に記載されている。この有機エレクトロルミ
ネセント表示装置の構成の一例を図９に示す。この図に
示す有機エレクトロルミネセント表示装置は、ガラス基
板１１１上に形成されたストライプ状のＩＴＯ電極１１
２と、ＩＴＯ電極１１２上に間隔をおいて壁状に、か
つ、ＩＴＯ電極１１２と直交するよう形成されたリブ１
１４と、リブ１１４とリブ１１４との間に形成された有
機ＥＬ媒体からなる有機層１１３から構成されている。
この場合、リブ１１４の高さは有機層１１３の厚さより
かなり高くなるよう形成されている。
【０００８】この状態において、図示する斜め方向から
導電薄膜を全面に蒸着するようにする。すると、リブ１
１４の影になった部分には導電薄膜は蒸着されず、図示
するようにリブ１１４間に形成されている有機層１１３
毎に電気的に分離された上部電極１１５が形成されるよ
うになる。この上部電極１１５はストライプ状に形成さ
れると共に、ＩＴＯ電極１１２と直交するよう形成され
るため、ＩＴＯ電極１１２と上部電極１１５とでマトリ
クスが形成されるようになる。また、上部電極１１５を
微細なパターンで形成することが可能となり、必要とす
る解像度の有機エレクトロルミネセント表示装置を得る
ことができる。
導電薄膜を全面に蒸着するようにする。すると、リブ１
１４の影になった部分には導電薄膜は蒸着されず、図示
するようにリブ１１４間に形成されている有機層１１３
毎に電気的に分離された上部電極１１５が形成されるよ
うになる。この上部電極１１５はストライプ状に形成さ
れると共に、ＩＴＯ電極１１２と直交するよう形成され
るため、ＩＴＯ電極１１２と上部電極１１５とでマトリ
クスが形成されるようになる。また、上部電極１１５を
微細なパターンで形成することが可能となり、必要とす
る解像度の有機エレクトロルミネセント表示装置を得る
ことができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記図
９に示す有機エレクトロルミネセント表示装置において
は、リブ１１４と上部電極１１５との間に間隙δが製造
上必ず生じるようになる。この間隙δの部分には有機層
１１３が露出されることになり、この露出部から酸素や
水分等が界面に侵入するようになる。すると、有機エレ
クトロルミネセント表示装置の寿命が短くなるという問
題点があった。また、これを防止するためには上部電極
１１５の上から全面にキャップ層を設けるようにして、
有機層１１３を露出しないようにすればよい。このキャ
ップ層の材料としてアルミニウムやインジウム等の金属
を材料とすると、その特性が良好なことが知られてい
る。ところが、金属製のキャップ層とすると上部電極１
１５間が短絡されてしまうことから特性の落ちるシリカ
等の絶縁性の材料しか用いることができないという問題
点があった。
９に示す有機エレクトロルミネセント表示装置において
は、リブ１１４と上部電極１１５との間に間隙δが製造
上必ず生じるようになる。この間隙δの部分には有機層
１１３が露出されることになり、この露出部から酸素や
水分等が界面に侵入するようになる。すると、有機エレ
クトロルミネセント表示装置の寿命が短くなるという問
題点があった。また、これを防止するためには上部電極
１１５の上から全面にキャップ層を設けるようにして、
有機層１１３を露出しないようにすればよい。このキャ
ップ層の材料としてアルミニウムやインジウム等の金属
を材料とすると、その特性が良好なことが知られてい
る。ところが、金属製のキャップ層とすると上部電極１
１５間が短絡されてしまうことから特性の落ちるシリカ
等の絶縁性の材料しか用いることができないという問題
点があった。
【００１０】そこで、本発明は微細なパターンの上部電
極を形成することができると共に、寿命の長い有機エレ
クロトルミネセント表示装置およびその製造方法を提供
することを目的としている。
極を形成することができると共に、寿命の長い有機エレ
クロトルミネセント表示装置およびその製造方法を提供
することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の有機エレクロトルミネセント表示装置は、
透光性基板上に複数本形成されているストライプ状の透
光性導体薄膜からなる透明電極層と、該透明電極上に該
透明電極と直交するようストライプ状に複数本形成され
ている絶縁材からなるリブと、該リブとリブとの間に形
成された有機エレクトロルミネセント媒体からなる有機
層と、該有機層上の全面に、かつ、前記リブの厚みを越
えないように形成された導電薄膜からなる上部電極層と
を備えるようにしたものである。
に、本発明の有機エレクロトルミネセント表示装置は、
透光性基板上に複数本形成されているストライプ状の透
光性導体薄膜からなる透明電極層と、該透明電極上に該
透明電極と直交するようストライプ状に複数本形成され
ている絶縁材からなるリブと、該リブとリブとの間に形
成された有機エレクトロルミネセント媒体からなる有機
層と、該有機層上の全面に、かつ、前記リブの厚みを越
えないように形成された導電薄膜からなる上部電極層と
を備えるようにしたものである。
【００１２】また、上記有機エレクロトルミネセント表
示装置において、前記透光性基板の外周に枠状に、かつ
前記リブと略同じ厚みでシール材が形成されており、該
シール材上に載置されて該シール材に固着される上部基
板を備えるようにしたものである。
示装置において、前記透光性基板の外周に枠状に、かつ
前記リブと略同じ厚みでシール材が形成されており、該
シール材上に載置されて該シール材に固着される上部基
板を備えるようにしたものである。
【００１３】そして、本発明の有機エレクロトルミネセ
ント表示装置の製造方法は、透光性基板上に複数本形成
されているストライプ状の透光性導体薄膜からなる透明
電極上に、該透明電極と直交するようストライプ状に絶
縁性のリブが複数本形成されており、該リブとリブとの
間に有機エレクトロルミネセント媒体からなる有機層が
成膜され、その上の全面に前記リブの厚みを越えないよ
うに導電薄膜が蒸着され、前記リブ上に蒸着された導電
薄膜を機械的に除去することにより、上部電極を前記有
機層上に形成するようにしたものである。
ント表示装置の製造方法は、透光性基板上に複数本形成
されているストライプ状の透光性導体薄膜からなる透明
電極上に、該透明電極と直交するようストライプ状に絶
縁性のリブが複数本形成されており、該リブとリブとの
間に有機エレクトロルミネセント媒体からなる有機層が
成膜され、その上の全面に前記リブの厚みを越えないよ
うに導電薄膜が蒸着され、前記リブ上に蒸着された導電
薄膜を機械的に除去することにより、上部電極を前記有
機層上に形成するようにしたものである。
【００１４】また、透光性基板上に複数本形成されてい
るストライプ状の透光性導体薄膜からなる透明電極上
に、該透明電極と直交するようストライプ状に絶縁性の
リブが複数本形成されており、該リブとリブとの間に有
機エレクトロルミネセント媒体からなる有機層が形成さ
れ、前記リブ上にスリット状マスクを装着し、次いで該
スリットを通して前記有機層上にのみ導体薄膜を蒸着す
ることにより、上部電極を形成するようにして、本発明
の有機エレクトロルミネセント表示装置を製造するよう
にしてもよい。
るストライプ状の透光性導体薄膜からなる透明電極上
に、該透明電極と直交するようストライプ状に絶縁性の
リブが複数本形成されており、該リブとリブとの間に有
機エレクトロルミネセント媒体からなる有機層が形成さ
れ、前記リブ上にスリット状マスクを装着し、次いで該
スリットを通して前記有機層上にのみ導体薄膜を蒸着す
ることにより、上部電極を形成するようにして、本発明
の有機エレクトロルミネセント表示装置を製造するよう
にしてもよい。
【００１５】
【作用】本発明によれば、リブと上部電極との間に間隙
が生じないよう上部電極を成膜することができる。この
ため、有機層が露出することがなく真空中でＥＬ素子を
作成することができるので、界面に酸素や水分等が侵入
する恐れを防止することができる。従って、有機エレク
トロルミネセント表示装置の寿命を長くすることができ
る。さらに、上部基板と下部基板との間隔を所定間隔で
保持するスペーサとしてリブを兼用することができる。
また、リブ上に蒸着された導電薄膜部分を機械的手段を
用いて除去するようにしたので、上部電極上に成膜する
キャップ層を特性の良好な金属製とすることができる。
が生じないよう上部電極を成膜することができる。この
ため、有機層が露出することがなく真空中でＥＬ素子を
作成することができるので、界面に酸素や水分等が侵入
する恐れを防止することができる。従って、有機エレク
トロルミネセント表示装置の寿命を長くすることができ
る。さらに、上部基板と下部基板との間隔を所定間隔で
保持するスペーサとしてリブを兼用することができる。
また、リブ上に蒸着された導電薄膜部分を機械的手段を
用いて除去するようにしたので、上部電極上に成膜する
キャップ層を特性の良好な金属製とすることができる。
【００１６】
【実施例】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装
置の一実施例の構成を示す斜視図を図１に示す。この図
において、１はガラス等の絶縁性の上部基板、２は上部
基板１の内面に塗布されるゲッターの塗布されるゲッタ
ー材塗布エリア、３はガラス等の透光性を有する下部透
明基板、４は下部透明基板３上に複数ストライプ状に形
成されたＩＴＯ等からなる透光性の透明電極、５は一部
しか図示されていないが下部透明基板３の外周部分の透
明電極４上に枠状に形成されたシール材、６はリブ８間
に透明電極４と直交するようストライプ状に形成された
有機エレクトロルミネセント（ＥＬ）媒体からなる有機
層、７は有機層６の上全面にのみ形成されているストラ
イプ状の上部電極、８は透明電極４と直交するよう透明
電極４上に複数本形成された絶縁性のリブである。
置の一実施例の構成を示す斜視図を図１に示す。この図
において、１はガラス等の絶縁性の上部基板、２は上部
基板１の内面に塗布されるゲッターの塗布されるゲッタ
ー材塗布エリア、３はガラス等の透光性を有する下部透
明基板、４は下部透明基板３上に複数ストライプ状に形
成されたＩＴＯ等からなる透光性の透明電極、５は一部
しか図示されていないが下部透明基板３の外周部分の透
明電極４上に枠状に形成されたシール材、６はリブ８間
に透明電極４と直交するようストライプ状に形成された
有機エレクトロルミネセント（ＥＬ）媒体からなる有機
層、７は有機層６の上全面にのみ形成されているストラ
イプ状の上部電極、８は透明電極４と直交するよう透明
電極４上に複数本形成された絶縁性のリブである。
【００１７】そして、シール材５とリブ８とはほぼ同じ
高さ（厚み）に形成されており、下部透明基板３上に枠
状に形成されているシール材５に、上部基板１が接着あ
るいは融着されることにより、上部基板１と下部透明基
板３とで表示装置の外囲器が構成されている。この場
合、リブ８は上部基板１と下部透明基板３とが所定間隔
を持って対向するよう支持するスペーサの機能を有して
いる。
高さ（厚み）に形成されており、下部透明基板３上に枠
状に形成されているシール材５に、上部基板１が接着あ
るいは融着されることにより、上部基板１と下部透明基
板３とで表示装置の外囲器が構成されている。この場
合、リブ８は上部基板１と下部透明基板３とが所定間隔
を持って対向するよう支持するスペーサの機能を有して
いる。
【００１８】このように構成された有機ＥＬ表示装置の
断面構造を図２に示しているが、ゲッターは上部基板１
に塗布されていない状態とされている。この図に示すよ
うに、透光性の下部透明基板３上に透明電極４が薄膜状
に形成されており、その上の外周部分にはシール材５が
形成され、シール材５で囲まれた部分には複数本のリブ
８が壁状に、かつ、ストライプ状に形成されている。こ
のリブ８は、黒色顔料を混入した鉛ガラス等を材料とし
て形成されており、透明電極４に直交するように配置さ
れている。
断面構造を図２に示しているが、ゲッターは上部基板１
に塗布されていない状態とされている。この図に示すよ
うに、透光性の下部透明基板３上に透明電極４が薄膜状
に形成されており、その上の外周部分にはシール材５が
形成され、シール材５で囲まれた部分には複数本のリブ
８が壁状に、かつ、ストライプ状に形成されている。こ
のリブ８は、黒色顔料を混入した鉛ガラス等を材料とし
て形成されており、透明電極４に直交するように配置さ
れている。
【００１９】そして、リブ８とリブ８あるいはシール材
５の間には発光体である有機層６と、有機層６に電圧を
印加する上部電極７とが薄膜状に積層されて形成されて
いる。この有機層６と上部電極７も透明電極４と直交す
るようストライプ状に成形されている。これにより、図
１に示すように透明電極４と上部電極７とでマトリクス
が形成され、図示しない透明電極駆動回路と上部電極駆
動回路により、このマトリクスで構成される画素が順次
駆動することにより、画素部分の有機層６が画像信号に
基づいて順次発光制御されるようになる。この場合、リ
ブ８はブラックストライプとされるため、図示する矢印
のように下部透明基板３の下方から観察される画像のコ
ントラストが向上される。
５の間には発光体である有機層６と、有機層６に電圧を
印加する上部電極７とが薄膜状に積層されて形成されて
いる。この有機層６と上部電極７も透明電極４と直交す
るようストライプ状に成形されている。これにより、図
１に示すように透明電極４と上部電極７とでマトリクス
が形成され、図示しない透明電極駆動回路と上部電極駆
動回路により、このマトリクスで構成される画素が順次
駆動することにより、画素部分の有機層６が画像信号に
基づいて順次発光制御されるようになる。この場合、リ
ブ８はブラックストライプとされるため、図示する矢印
のように下部透明基板３の下方から観察される画像のコ
ントラストが向上される。
【００２０】なお、有機層６はトリフェニルジアミン
（ＴＰＤ）からなるホール輸送層と、アルミキノリノー
ル錯体（Ａｌｑ3 ）からなる発光層とからなる２層構造
の有機エレクトロルミネセント媒体により構成されるの
が好適であるが、ポリパラフェニレンビニレン（ＰＰ
Ｖ）製の一層構造のポリマー発光層からなる有機エレク
トロルミネセント媒体により構成されるようにしてもよ
い。また、有機層６は露出される部分がないため、上部
電極７上には必要に応じてキャップ層が形成されるが、
リブ８上のキャップ層を機械的に除去することにより、
キャップ層をアルミニウム等の金属製とすることができ
る。
（ＴＰＤ）からなるホール輸送層と、アルミキノリノー
ル錯体（Ａｌｑ3 ）からなる発光層とからなる２層構造
の有機エレクトロルミネセント媒体により構成されるの
が好適であるが、ポリパラフェニレンビニレン（ＰＰ
Ｖ）製の一層構造のポリマー発光層からなる有機エレク
トロルミネセント媒体により構成されるようにしてもよ
い。また、有機層６は露出される部分がないため、上部
電極７上には必要に応じてキャップ層が形成されるが、
リブ８上のキャップ層を機械的に除去することにより、
キャップ層をアルミニウム等の金属製とすることができ
る。
【００２１】次に、前記図１および図２に示す構成の有
機ＥＬ表示装置の製造工程を説明する。まず、リブ８を
透明電極４上に形成する工程を説明するが、その方法に
は３通りあるので順次説明する。第１の方法はスクリー
ン印刷法であり、図３（ａ）に示すように下部透明電極
３上に成膜されている透明電極４上にクロスペースト１
０を、同図（ｂ）に示すようにストライプ状にスクリー
ン印刷する。このクロスペーストは黒色顔料と鉛ガラス
および印刷用ビークルを混合することにより得られたペ
ーストとされている。ついで、焼成（図３（ｃ）参照）
が行われ、さらに洗浄・乾燥（図３（ｄ）参照）される
ことにより複数本のストライプ状のリブ８が形成され
る。この後は有機層６の成膜工程（図３（ｅ）参照）と
なる。
機ＥＬ表示装置の製造工程を説明する。まず、リブ８を
透明電極４上に形成する工程を説明するが、その方法に
は３通りあるので順次説明する。第１の方法はスクリー
ン印刷法であり、図３（ａ）に示すように下部透明電極
３上に成膜されている透明電極４上にクロスペースト１
０を、同図（ｂ）に示すようにストライプ状にスクリー
ン印刷する。このクロスペーストは黒色顔料と鉛ガラス
および印刷用ビークルを混合することにより得られたペ
ーストとされている。ついで、焼成（図３（ｃ）参照）
が行われ、さらに洗浄・乾燥（図３（ｄ）参照）される
ことにより複数本のストライプ状のリブ８が形成され
る。この後は有機層６の成膜工程（図３（ｅ）参照）と
なる。
【００２２】第２の方法は感光性ペースト法であり、図
４（ａ）に示すように下部透明電極３上に成膜されてい
る透明電極４上に感光性クロスペースト１１を、同図
（ｂ）に示すように全面に塗布する。そして、マスクを
介して選択的に露光（図４（ｃ）参照）を行い、次いで
現像（図４（ｄ）参照）を行うと、感光性クロスペース
ト１１の性質により露光された部分あるいは露光されな
い部分が除去され、クロスペースト１１はストライプ状
とされる。この感光性クロスペースト１１は黒色顔料と
鉛ガラスおよび感光性剤を混合することにより得られた
ペーストとされている。さらに、焼成（図４（ｅ）参
照）が行われ、さらに洗浄・乾燥（図４（ｆ）参照）さ
れることにより複数本のストライプ状のリブ８が形成さ
れる。この後は有機層６の成膜工程（図４（ｇ）参照）
となる。
４（ａ）に示すように下部透明電極３上に成膜されてい
る透明電極４上に感光性クロスペースト１１を、同図
（ｂ）に示すように全面に塗布する。そして、マスクを
介して選択的に露光（図４（ｃ）参照）を行い、次いで
現像（図４（ｄ）参照）を行うと、感光性クロスペース
ト１１の性質により露光された部分あるいは露光されな
い部分が除去され、クロスペースト１１はストライプ状
とされる。この感光性クロスペースト１１は黒色顔料と
鉛ガラスおよび感光性剤を混合することにより得られた
ペーストとされている。さらに、焼成（図４（ｅ）参
照）が行われ、さらに洗浄・乾燥（図４（ｆ）参照）さ
れることにより複数本のストライプ状のリブ８が形成さ
れる。この後は有機層６の成膜工程（図４（ｇ）参照）
となる。
【００２３】第３の方法はフォトリソグラフィ法であ
り、図５（ａ）に示すように下部透明電極３上に成膜さ
れている透明電極４上に前記第１の方法で使用したクロ
スペースト１０を、同図（ｂ）に示すように全面に塗布
する。そして、焼成（図５（ｃ）参照）した、後レジス
トを塗布（図５（ｄ）参照）してプリベーク（図５
（ｅ）参照）を行う。次いで、マスクを介して選択的に
露光（図５（ｆ）参照）を行い、次いでレジストの現像
（図５（ｇ）参照）を行うと、レジストの性質により露
光された部分あるいは露光されない部分が除去され、レ
ジストはストライプ状となる。
り、図５（ａ）に示すように下部透明電極３上に成膜さ
れている透明電極４上に前記第１の方法で使用したクロ
スペースト１０を、同図（ｂ）に示すように全面に塗布
する。そして、焼成（図５（ｃ）参照）した、後レジス
トを塗布（図５（ｄ）参照）してプリベーク（図５
（ｅ）参照）を行う。次いで、マスクを介して選択的に
露光（図５（ｆ）参照）を行い、次いでレジストの現像
（図５（ｇ）参照）を行うと、レジストの性質により露
光された部分あるいは露光されない部分が除去され、レ
ジストはストライプ状となる。
【００２４】続いて、ポストベーク（図５（ｈ）参照）
を行って焼成されたクロスペーストのエッチング（図５
（ｉ）参照）を行うことにより、クロスペースト１０を
ストライプ状として、次にレジストを剥離（図５（ｊ）
参照）する。さらに、洗浄・乾燥（図５（ｋ）参照）を
行うことにより複数本のストライプ状のリブ８が形成さ
れる。この後は有機層６の成膜工程（図５（ｌ）参照）
となる。このようにして形成されたリブ８の幅は、いず
れの方法においても３０μｍ〜１００μｍ、リブ８とリ
ブ８との間隔は５０μｍ〜３００μｍとされる。
を行って焼成されたクロスペーストのエッチング（図５
（ｉ）参照）を行うことにより、クロスペースト１０を
ストライプ状として、次にレジストを剥離（図５（ｊ）
参照）する。さらに、洗浄・乾燥（図５（ｋ）参照）を
行うことにより複数本のストライプ状のリブ８が形成さ
れる。この後は有機層６の成膜工程（図５（ｌ）参照）
となる。このようにして形成されたリブ８の幅は、いず
れの方法においても３０μｍ〜１００μｍ、リブ８とリ
ブ８との間隔は５０μｍ〜３００μｍとされる。
【００２５】次に、有機層６の成膜工程を説明するが、
この工程には２つの方法がある。第１の方法は乾式の方
法であり真空蒸着が用いられるが、まず、トリフェニル
ジアミン（ＴＰＤ）を真空蒸着してホール輸送層を成膜
し、次いで、アルミキノリノール錯体（Ａｌｑ3 ）を真
空蒸着することにより発光層をホール輸送層の上に成膜
する。これにより、２層構造の有機層６が成膜される。
この２層構造のそれぞれの層の厚さは、５００Å〜１０
００Åの厚さとされる。なお、リブ８上に蒸着された有
機層６はかき取りあるいは研磨等の機械的手段により除
去される。
この工程には２つの方法がある。第１の方法は乾式の方
法であり真空蒸着が用いられるが、まず、トリフェニル
ジアミン（ＴＰＤ）を真空蒸着してホール輸送層を成膜
し、次いで、アルミキノリノール錯体（Ａｌｑ3 ）を真
空蒸着することにより発光層をホール輸送層の上に成膜
する。これにより、２層構造の有機層６が成膜される。
この２層構造のそれぞれの層の厚さは、５００Å〜１０
００Åの厚さとされる。なお、リブ８上に蒸着された有
機層６はかき取りあるいは研磨等の機械的手段により除
去される。
【００２６】第２の方法は湿式法であり、ドクターブレ
ード法、ディッピング法、スピンナー塗布法、ロールコ
ータ法、スプレー塗布法、スクリーン印刷法があるが、
その内の一例としてドクターブレード法を説明する。ド
クターブレード法は、まず、ポリパラフェニレンビニレ
ン（ＰＰＶ）の前駆体をメタノール、ハロゲン系の適当
な溶媒に溶かし、この溶液をリブ８の形成された透明電
極４上に滴下する。次いで、ブレードにより塗布を行う
ことにより、リブ８間にＰＰＶの前駆体の塗布を行い、
３２０℃程度の温度を保持して真空中で約８時間加熱を
行うことにより、ＰＰＶの薄膜をリブ８間に得るように
する。これにより、ＰＰＶからなる一層構造の有機層６
がリブ８間に成膜されるようになる。
ード法、ディッピング法、スピンナー塗布法、ロールコ
ータ法、スプレー塗布法、スクリーン印刷法があるが、
その内の一例としてドクターブレード法を説明する。ド
クターブレード法は、まず、ポリパラフェニレンビニレ
ン（ＰＰＶ）の前駆体をメタノール、ハロゲン系の適当
な溶媒に溶かし、この溶液をリブ８の形成された透明電
極４上に滴下する。次いで、ブレードにより塗布を行う
ことにより、リブ８間にＰＰＶの前駆体の塗布を行い、
３２０℃程度の温度を保持して真空中で約８時間加熱を
行うことにより、ＰＰＶの薄膜をリブ８間に得るように
する。これにより、ＰＰＶからなる一層構造の有機層６
がリブ８間に成膜されるようになる。
【００２７】このように、有機層６が成膜されると、次
に上部電極７が成膜される工程とされるが、この上部電
極７の成膜方法は２通りの方法がある。第１の方法はマ
スクを使用しないマスクレス方法であり、図６（ａ）に
示すように有機層６およびリブ８の形成された透明電極
４上に導電材からなる上部電極材料１２を蒸着する。こ
の上部電極材料としては、Ｍｇ：Ａｇ合金、Ｍｇ：Ｉｎ
合金、Ｌｉ：Ａｌ合金、Ｉｎ、Ａｌ等が使用される。次
いで、ドクターブレード法等によりリブ８上に形成され
た上部電極材料１２をかき取り、あるいは研磨すること
により除去するようにしてパターニング（図６（ｂ）参
照）を行う。これにより、同図（ｃ）に示すように有機
層６の上にのみ全面に上部電極７を成膜することができ
る。続いて、上部基板を被せて封止（図６（ｄ）参照）
を行うことにより有機ＥＬ表示装置を作製することがで
きる。
に上部電極７が成膜される工程とされるが、この上部電
極７の成膜方法は２通りの方法がある。第１の方法はマ
スクを使用しないマスクレス方法であり、図６（ａ）に
示すように有機層６およびリブ８の形成された透明電極
４上に導電材からなる上部電極材料１２を蒸着する。こ
の上部電極材料としては、Ｍｇ：Ａｇ合金、Ｍｇ：Ｉｎ
合金、Ｌｉ：Ａｌ合金、Ｉｎ、Ａｌ等が使用される。次
いで、ドクターブレード法等によりリブ８上に形成され
た上部電極材料１２をかき取り、あるいは研磨すること
により除去するようにしてパターニング（図６（ｂ）参
照）を行う。これにより、同図（ｃ）に示すように有機
層６の上にのみ全面に上部電極７を成膜することができ
る。続いて、上部基板を被せて封止（図６（ｄ）参照）
を行うことにより有機ＥＬ表示装置を作製することがで
きる。
【００２８】第２の方法はマスクを使用するマスク蒸着
方法であり、リブ８に対応してスリットの形成されたマ
スクを作製し、有機層６およびリブ８の形成された透明
電極４上に作製されたマスク１３を装着（図７（ｂ）参
照）する。そして、このマスク１３の上から上部電極材
料を蒸着すると、スリット１４を介してリブ８間の有機
層６上に上部電極７の薄膜が成膜されるようになる。そ
こで、マスク１３を取り除くと、図７（ｃ）に示すよう
に有機層６上にだけ上部電極７が成膜され、リブ８上に
は上部電極材料の蒸着されない下部透明基板３を作製す
ることができる。続いて、下部透明基板３に上部基板を
被せて封止を行うことにより有機ＥＬ表示装置を作製す
ることができる。
方法であり、リブ８に対応してスリットの形成されたマ
スクを作製し、有機層６およびリブ８の形成された透明
電極４上に作製されたマスク１３を装着（図７（ｂ）参
照）する。そして、このマスク１３の上から上部電極材
料を蒸着すると、スリット１４を介してリブ８間の有機
層６上に上部電極７の薄膜が成膜されるようになる。そ
こで、マスク１３を取り除くと、図７（ｃ）に示すよう
に有機層６上にだけ上部電極７が成膜され、リブ８上に
は上部電極材料の蒸着されない下部透明基板３を作製す
ることができる。続いて、下部透明基板３に上部基板を
被せて封止を行うことにより有機ＥＬ表示装置を作製す
ることができる。
【００２９】また、必要に応じて上部電極７上にアルミ
ニウム等のキャップ層をさらに蒸着するが、キャップ層
が金属製とされる場合は、リブ８上に蒸着されたキャッ
プ層を上部電極７の作製工程と同様に機械的に除去する
ようにする。なお、封止には真空封止、ガス封止、液体
封止、および固体封止の４通りの方法があるが、封止時
にはリブ８が上部基板１に接触されて両基板を支持する
ため、スペーサとして機能するようになる。そして、真
空封止を行う場合は上部基板の内側にゲッターを塗布す
るようにする。また、ガス封止を行う場合に使用される
ガスとしてはＨｅ，Ａｒ，Ｎ等が用いられ、液体封止を
行う場合に使用される液体としては流動パラフィン，シ
リコーン液体等が用いられ、固体封止ではフッ素樹脂等
が用いられる。
ニウム等のキャップ層をさらに蒸着するが、キャップ層
が金属製とされる場合は、リブ８上に蒸着されたキャッ
プ層を上部電極７の作製工程と同様に機械的に除去する
ようにする。なお、封止には真空封止、ガス封止、液体
封止、および固体封止の４通りの方法があるが、封止時
にはリブ８が上部基板１に接触されて両基板を支持する
ため、スペーサとして機能するようになる。そして、真
空封止を行う場合は上部基板の内側にゲッターを塗布す
るようにする。また、ガス封止を行う場合に使用される
ガスとしてはＨｅ，Ａｒ，Ｎ等が用いられ、液体封止を
行う場合に使用される液体としては流動パラフィン，シ
リコーン液体等が用いられ、固体封止ではフッ素樹脂等
が用いられる。
【００３０】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、リブと上部電極との間に間隙が生じないよう
上部電極を成膜することができる。このため、有機層が
露出することがなく真空中でＥＬ素子を作成することが
できるので、界面に酸素や水分等が侵入する恐れを防止
することができる。従って、有機エレクトロルミネセン
ト表示装置の寿命を長くすることができる。さらに、リ
ブを上部基板と下部基板との間隔を所定間隔に保持する
スペーサとして兼用することができる。また、リブ上に
蒸着された導電薄膜部分を機械的手段を用いて除去する
ようにしたので、上部電極上に成膜されるキャップ層を
特性の良好な金属製とすることができる。
いるので、リブと上部電極との間に間隙が生じないよう
上部電極を成膜することができる。このため、有機層が
露出することがなく真空中でＥＬ素子を作成することが
できるので、界面に酸素や水分等が侵入する恐れを防止
することができる。従って、有機エレクトロルミネセン
ト表示装置の寿命を長くすることができる。さらに、リ
ブを上部基板と下部基板との間隔を所定間隔に保持する
スペーサとして兼用することができる。また、リブ上に
蒸着された導電薄膜部分を機械的手段を用いて除去する
ようにしたので、上部電極上に成膜されるキャップ層を
特性の良好な金属製とすることができる。
【図１】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装置
の一実施例の構成を示す斜視図である。
の一実施例の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装置
の一実施例の構成を示す断面図である。
の一実施例の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装置
におけるリブを形成する第１の方法を説明する図であ
る。
におけるリブを形成する第１の方法を説明する図であ
る。
【図４】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装置
におけるリブを形成する第２の方法を説明する図であ
る。
におけるリブを形成する第２の方法を説明する図であ
る。
【図５】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装置
におけるリブを形成する第３の方法を説明する図であ
る。
におけるリブを形成する第３の方法を説明する図であ
る。
【図６】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装置
における上部電極を形成する第１の方法を説明する図で
ある。
における上部電極を形成する第１の方法を説明する図で
ある。
【図７】本発明の有機エレクトロルミネセント表示装置
における上部電極を形成する第２の方法を説明する図で
ある。
における上部電極を形成する第２の方法を説明する図で
ある。
【図８】従来の有機エレクトロルミネセント発光素子の
構造を示す図である。
構造を示す図である。
【図９】従来の有機エレクトロルミネセント表示装置の
構造を示す図である。
構造を示す図である。
１ 上部基板 ２ ゲッター材塗布エリア ３ 下部透明基板 ４ 透明電極 ５ シール材 ６ 有機層 ７ 上部電極 ８ リブ １０ クロスペースト １１ 感光性クロスペースト １２ 上部電極材料 １３ マスク １４ スリット
フロントページの続き (72)発明者 稗田 茂 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 透光性基板上に複数本形成されている
ストライプ状の透光性導体薄膜からなる透明電極層と、 該透明電極上に該透明電極と直交するようストライプ状
に複数本形成されている絶縁材からなるリブと、 該リブとリブとの間に形成された有機エレクトロルミネ
セント媒体からなる有機層と、 該有機層上の全面に、かつ、前記リブの厚みを越えない
ように形成された導電薄膜からなる上部電極層と、 を備えることを特徴とする有機エレクトロルミネセント
表示装置。 - 【請求項２】 前記透光性基板の外周に枠状に、かつ
前記リブと略同じ厚みでシール材が形成されており、 該シール材上に載置されて該シール材に固着される上部
基板を備えることを特徴とする請求項１記載の有機エレ
クトロルミネセント表示装置。 - 【請求項３】 透光性基板上に複数本形成されている
ストライプ状の透光性導体薄膜からなる透明電極上に、
該透明電極と直交するようストライプ状に絶縁性のリブ
が複数本形成されており、 該リブとリブとの間に有機エレクトロルミネセント媒体
からなる有機層が成膜され、 その上の全面に前記リブの厚みを越えないように導電薄
膜が蒸着され、前記リブ上に蒸着された導電薄膜を機械
的に除去することにより、上部電極を前記有機層上に形
成するようにしたことを特徴とする有機エレクトロルミ
ネセント表示装置の製造方法。 - 【請求項４】 透光性基板上に複数本形成されている
ストライプ状の透光性導体薄膜からなる透明電極上に、
該透明電極と直交するようストライプ状に絶縁性のリブ
が複数本形成されており、 該リブとリブとの間に有機エレクトロルミネセント媒体
からなる有機層が形成され、 前記リブ上にスリット状マスクを装着し、次いで該スリ
ットを通して前記有機層上にのみ導体薄膜を蒸着するこ
とにより上部電極を形成するようにしたことを特徴とす
る有機エレクトロルミネセント表示装置の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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