JP3540584B2 - 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims description 53
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 88
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 88
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 78
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 42
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- 229910001148 Al-Li alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- -1 polyphenylene Polymers 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 229920001109 fluorescent polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 125000000040 m-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8052—Cathodes
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/141—Organic polymers or oligomers comprising aliphatic or olefinic chains, e.g. poly N-vinylcarbazol, PVC or PTFE
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/30—Coordination compounds
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/30—Coordination compounds
- H10K85/321—Metal complexes comprising a group IIIA element, e.g. Tris (8-hydroxyquinoline) gallium [Gaq3]
- H10K85/324—Metal complexes comprising a group IIIA element, e.g. Tris (8-hydroxyquinoline) gallium [Gaq3] comprising aluminium, e.g. Alq3
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法に係り、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を分離させて配列させることが簡単かつ適切に行なえ、特に、上記の有機層を高分子材料で構成する場合においても、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を適切に分離させることができるようにした点に特徴を有するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、情報機器の多様化等にともなって、従来より一般に使用されているCRTに比べて消費電力が少なく容積の小さい平面表示素子のニーズが高まり、このような平面表示素子の一つとしてエレクトロルミネッセンス素子が注目されている。
【0003】
そして、このようなエレクトロルミネッセンス素子は、使用する材料によって無機エレクトロルミネッセンス素子と有機エレクトロルミネッセンス素子とに大別される。
【0004】
ここで、無機エレクトロルミネッセンス素子は、一般に発光部に高電界を作用させ、電子をこの高電界中で加速して発光中心に衝突させ、これにより発光中心を励起させて発光させるようになっている。
【0005】
これに対し、有機エレクトロルミネッセンス素子は、電子注入電極とホール注入電極とからそれぞれ電子とホールとを発光部内に注入し、このように注入された電子とホールとを発光中心で再結合させて、有機分子を励起状態にし、この有機分子が励起状態から基底状態に戻るときに蛍光を発光するようになっている。
【0006】
そして、無機エレクトロルミネッセンス素子の場合には、上記のように高電界を作用させるために、その駆動電圧として100〜200Vと高い電圧を必要とするのに対して、有機エレクトロルミネッセンス素子の場合には、5〜20V程度の低い電圧で駆動できるという利点があった。
【0007】
また、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子の場合には、発光材料である螢光物質を選択することによって適当な色彩に発光する発光素子を得ることができ、マルチカラーやフルカラーの表示装置等としても利用できるという期待があった。
【0008】
そこで、近年においては、有機エレクトロルミネッセンスパネル等の有機エレクトロルミネッセンス装置として、上記のような有機エレクトロルミネッセンス素子を複数配列させたものを製造することが検討されるようになった。
【0009】
そして、上記のように有機エレクトロルミネッセンス素子が複数配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得るにあたり、従来においては、一般にガラス基板等の透明基板上に形成するホール注入電極をパターニングして、複数のホール注入電極に分離させると共に、このホール注入電極上に形成される有機層や電子注入電極もパターニングして分離させ、これにより有機エレクトロルミネッセンス素子相互を分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得るようにしていた。
【0010】
ここで、上記のように透明基板上に形成するホール注入電極をパターニングしてより分離させる場合には特に問題はないが、このホール注入電極上に形成される有機層や電子注入電極もパターニングして分離させることが問題になった。
【0011】
すなわち、有機エレクトロルミネッセンス素子に用いられている有機層は、一般に耐熱性,耐溶剤性,耐湿性が低く、この有機層やこの有機層上に形成された電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさせる場合、フォトレジスト中における溶剤が有機層に侵入したり、エッチング液により有機層が溶解したり、ドライエッチング時におけるプラズマによって有機層がダメージを受けたりする等の問題があった。
【0012】
このため、従来においては、一般に、マスク部材を用いた蒸着により電子注入電極をパターニングさせるようにしていたが、この場合、微細な加工を行なうことができないという問題があった。
【0013】
また、近年においては、特開平8−227276号公報、特開平8−315981号公報、特開平9−102393号公報等に示されるように、透明基板上にホール注入電極を適当なパターンに形成した後、このようにパターニングされたホール注入電極上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、この隔壁の上から蒸着法によって有機層と電子注入電極とを順々に上記のホール注入電極上に積層させ、上記の隔壁により各有機エレクトロルミネッセンス素子における有機層及び電子注入電極を分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得るようにしたものが提案された。
【0014】
ここで、図1に示すように、透明基板1上に形成されたホール注入電極2上にパターニングされた隔壁3を設けるにあたり、特開平8−315981号公報や特開平9−102393号公報に示されているように、この隔壁3の上面3aを大きくしてオーバーハング部を設けた場合、この隔壁3の上から上記のように有機層4を蒸着させると、このオーバーハング部の下において、有機層4が形成されずにホール注入電極2が露出した部分が残り、次いで電子注入電極5を蒸着させた場合に、この電子注入電極5が上記の露出したホール注入電極2上に形成されてショートするおそれがあった。
【0015】
また、上記のように透明基板1上に形成されたホール注入電極2上にパターニングされた隔壁3を設けた場合、高分子材料で構成された有機層4をディッピング法やスピンコート法によって形成することが困難であり、高分子材料からなる有機層4を用いた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造が困難になるという問題もあった。
【0016】
また、上記のように高分子材料で構成された有機層を用いた場合、エッチング液等による有機層の浸食が抑制されるため、前記のように高分子材料で構成された有機層の上に電子注入電極を設け、この電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさせることが考えられる。
【0017】
しかし、このように有機層の上に設けられた電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさせる場合、電子注入電極の膜厚が薄いため、エッチングを制御することが困難であり、エッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性等が悪くなり、また電子注入電極から電子が効率よく有機層に注入されるようにするため、この電子注入電極を構成する材料にマグネシウム等の仕事関数の小さい電極材料を用いているため、エッチング液の水分等によってこの電子注入電極が酸化されて劣化し、安定した発光が行なえなくなる等の問題があった。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を配列させてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置における上記のような様々な問題を解決することを課題とするものである。
【0019】
すなわち、この発明においては、上記のような有機エレクトロルミルネッセンス装置において、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を分離させて配列させることが簡単かつ適切に行なえ、特に、上記の有機層を高分子材料で構成する場合においても、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を適切に分離させることができて、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようにすることを課題とするものである。
【0020】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項1における有機エレクトロルミネッセンス装置においては、上記のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置において、上記の有機層上にパターニングされ、電気絶縁性のオーバーハング部を有する隔壁を設け、この隔壁のによって上記電極を分離させるようにした。
【0021】
また、この発明の請求項3に示す有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法においては、上記のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置を製造するにあたり、ホール注入電極上に発光性の有機層を設ける工程と、この有機層上にパターニングされ、電気絶縁性のオーバーハング部を有する隔壁を設ける工程と、上記の電気絶縁性の隔壁により分離された電子注入電極を形成する工程とを行なうようにした。
【0022】
ここで、この発明のように、ホール注入電極上に有機層を設けた後、この有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極を設けるようにした場合、電子注入電極が上記の隔壁により分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が形成され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が分離されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装置が簡単に得られるようになる。
【0023】
また、この有機エレクトロルミネッセンス装置においては、上記の隔壁を有機層上に設けているため、隔壁の上面を大きくしてオーバーハング部を設けているので、このオーバーハング部の下においてホール注入電極が露出するということがなく、ホール注入電極と電子注入電極とが接触してショートするということもない。
【0024】
また、上記のように有機層上に隔壁を設けるため、前記の請求項2,4に示すように、この有機層を高分子材料で構成する場合であっても、ディッピング法やスピンコート法により有機層を簡単に形成することができる。
【0025】
ここで、上記の有機層に使用する高分子材料としては、ポリフェニレン,パラレン誘導体,ポリチオフェン,ポリビニルカルバゾール等の蛍光性の高分子材料や、ポリメタクリル酸メチル,ポリカーボネート等の電気絶縁性の高分子に色素をドープさせたもの等を使用することができる。
【0026】
さらに、この発明において、前記の請求項5に示すように、有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、この電気絶縁性の隔壁の上から電子注入電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分離された有機層上に電子注入電極を設けると、従来のようにエッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くなったり、電子注入電極が酸化されて劣化するということもなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようになる。
【0027】
【実施例】
以下、この発明の実施例に係る有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法を添付図面に基づいて具体的に説明する。
【0028】
(実施例1)
この実施例においては、図2及び図3(A)に示すように、ガラス基板からなる透明基板11上に、通常のレジストプロセスを用いてインジウム−スズ酸化物(ITO)からなる透明なホール注入電極12を所要間隔を介して複数列設けるようにした。
【0029】
そして、下記の化1に示すN,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ジフェニル−4,4’−ジアミン(TPD)からなるホール輸送材料と、下記の化2に示す10−ベンゾ(h)キノリノール−ベリリウム錯体(BeBq2 )からなる発光材料と、下記の化3に示すポリメタクリル酸メチルとをジクロロメタンに溶解させ、この溶液を上記のように複数列のホール注入電極12が形成された透明基板11上にスピンコート法により塗布し、その後、これを120℃の温度で加熱して固化させ、図3(B)に示すように、ホール注入電極12が形成された透明基板11上に高分子材料からなる有機層13を形成した。
【0030】
【化1】
【0031】
【化2】
【0032】
【化3】
【0033】
そして、このように形成された高分子の有機層13上に、図3(C)に示すように、ポジ型レジスト14’(東京応化工業社製:OFPR−1000)を1.5μmの膜厚になるように塗布した後、これを加熱処理し、通常のポジ型レジスト14’におけるフォトリソグラフィ法に従い、図3(D)に示すように、フォトマスク20を用いて所定パターンの露光を行ない、その後、エッチングを行なって、図3(E)及び図4に示すように、上面14aが大きくなってオーバーハング部を有する複数行の隔壁14を上記のホール注入電極12と直交するようにして上記の有機層13上に設けた。
【0034】
次いで、上記のように複数行の隔壁14が設けられた有機層13の上に、図3(F)に示すように、真空蒸着法によりAl−Li合金からなる電子注入電極15を形成し、この電子注入電極15を上記の隔壁14によって分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子10がマトリックスに配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得た。
【0035】
そして、この実施例1の有機エレクトロルミネッセンス装置において、上記のホール注入電極12と電子注入電極15との間に電圧を印加させると、電圧17Vで各有機エレクトロルミネッセンス素子10から1000cd/m2 の緑色発光を得ることができ、また各有機エレクトロルミネッセンス素子10が良好に分離されてショートも発生しなかった。
【0036】
(実施例2)
この実施例2においては、上記の実施例1の場合と同様にして、ガラス基板からなる透明基板11上に、ITOからなる透明なホール注入電極12を所要間隔を介して複数列設けた後、高分子の有機層13として、ポリフェニレンビニレン(PPV)を製膜した。なお、このPPVからなる有機層13の製膜は、参考文献[J.H.Burroughes,et al,Nature,Vol.347,pp539〜541(1990)]に示される方法に従って行なった。
【0037】
そして、このようにPPVからなる有機層13を形成した後は、上記の実施例1の場合と同様にして、上面14aが大きくなってオーバーハング部を有する複数行の隔壁14を上記のホール注入電極12と直交するようにして上記の有機層13上に設け、さらにAl−Li合金からなる電子注入電極15を形成し、この電子注入電極15を上記の隔壁14によって分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子10がマトリックスに配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得た。なお、上記のPPVからなる有機層13は、上記のポジ型レジスト14’(東京応化工業社製:OFPR−1000)のレジスト液やエッチングを行なう現像液に溶解されなかった。
【0038】
ここで、この実施例2の有機エレクトロルミネッセンス装置において、上記のホール注入電極12と電子注入電極15との間に電圧を印加させると、電圧15Vで各有機エレクトロルミネッセンス素子10から100cd/m2 の黄緑色発光を得ることができ、また各有機エレクトロルミネッセンス素子10が良好に分離されてショートも発生しなかった。
【0039】
(実施例3)
この実施例3においては、上記の実施例1における有機エレクトロルミネッセンス装置において、有機層13を設けるにあたり、前記のポリメタクリル酸メチルに代えてポリカーボネートを用いるようにし、それ以外については、上記の実施例1の場合と同様にして有機エレクトロルミネッセンス装置を作製した。
【0040】
そして、この実施例3の有機エレクトロルミネッセンス装置において、ホール注入電極12と電子注入電極15との間に電圧を印加させると、電圧15Vで各有機エレクトロルミネッセンス素子10から1200cd/m2 の緑色発光を得ることができ、また各有機エレクトロルミネッセンス素子10が良好に分離されてショートも発生しなかった。
【0041】
(実施例4)
この実施例5においても、図5(A),(B)に示すように、上記の実施例1の場合と同様にして、ガラス基板からなる透明基板11上に、TOからなる透明なホール注入電極12を所要間隔を介して複数列設けると共に、その上に上記の高分子の有機層13を設けた。
【0042】
そして、この実施例5においては、上記の有機層13の上に複数行の隔壁14をホール注入電極12と直交するように設けるにあたり、図5(C)に示すように、前記のポジ型レジスト14’(東京応化工業社製:OFPR−1000)に代えて、日本ゼオン社製のネガ型レジスト14”を用い、通常のネガ型レジスト14”におけるフォトリソグラフィ法に従い、図5(D)に示すように、フォトマスク20を用いて所定パターンの露光を行ない、その後、エッチングを行なって、上面14aにオーバーハング部を有する複数行の隔壁14をホール注入電極12と直交するようにして設け、その後は、上記の実施例1の場合と同様にして有機エレクトロルミネッセンス装置を作製した。
【0043】
ここで、この実施例5のようにネガ型レジスト14”を用いて隔壁14を設けるようにすると、この隔壁14の高さを5μmにすることができ、この隔壁14による電子注入電極15の分離がより確実に行なえて、各有機エレクトロルミネッセンス素子10を確実に分離できるようになり、その歩留まりが30%程度向上した。
【0044】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明における有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法においては、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置を得るにあたり、有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極を設けるようにしたため、電子注入電極がこの隔壁により分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が形成され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が分離されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装置が簡単に得られるようになった。
【0045】
また、この発明における有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法においては、上記のように隔壁を有機層上に設けているため、隔壁の上面を大きくしてオーバーハング部を設けた場合においても、従来のようにこのオーバーハング部の下においてホール注入電極が露出し、ホール注入電極と電子注入電極とが接触してショートするということもなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようになった。
【0046】
さらに、上記のように有機層上に隔壁を設けるため、この有機層を高分子材料で構成する場合において、ディッピング法やスピンコート法により有機層を簡単に形成することができるようになった。
【0047】
また、電気絶縁性の隔壁の上から電子注入電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分離された有機層上に電子注入電極を設けるようにすると、従来のようにエッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くなったり、電子注入電極が酸化されて劣化するということもなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の有機エレクトロルミネッセンス装置の部分説明図である。
【図2】この発明の実施例1に係る有機エレクトロルミネッセンス装置において、透明基板の上にホール注入電極を所要間隔を介して複数列設けた状態を示した平面図である。
【図3】上記の実施例1に係る有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する工程を示した概略説明図である。
【図4】上記の実施例1に係る有機エレクトロルミネッセンス装置において、オーバーハング部を有する複数行の隔壁をホール注入電極と直交するようにして有機層上に設けた状態を示した平面図である。
【図5】この発明の実施例4に係る有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する工程を示した概略説明図である。
【符号の説明】
10 有機エレクトロルミネッセンス素子
11 透明基板
12 ホール注入電極
13 有機層
14 隔壁
15 電子注入電極
【発明の属する技術分野】
この発明は、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法に係り、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を分離させて配列させることが簡単かつ適切に行なえ、特に、上記の有機層を高分子材料で構成する場合においても、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を適切に分離させることができるようにした点に特徴を有するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、情報機器の多様化等にともなって、従来より一般に使用されているCRTに比べて消費電力が少なく容積の小さい平面表示素子のニーズが高まり、このような平面表示素子の一つとしてエレクトロルミネッセンス素子が注目されている。
【0003】
そして、このようなエレクトロルミネッセンス素子は、使用する材料によって無機エレクトロルミネッセンス素子と有機エレクトロルミネッセンス素子とに大別される。
【0004】
ここで、無機エレクトロルミネッセンス素子は、一般に発光部に高電界を作用させ、電子をこの高電界中で加速して発光中心に衝突させ、これにより発光中心を励起させて発光させるようになっている。
【0005】
これに対し、有機エレクトロルミネッセンス素子は、電子注入電極とホール注入電極とからそれぞれ電子とホールとを発光部内に注入し、このように注入された電子とホールとを発光中心で再結合させて、有機分子を励起状態にし、この有機分子が励起状態から基底状態に戻るときに蛍光を発光するようになっている。
【0006】
そして、無機エレクトロルミネッセンス素子の場合には、上記のように高電界を作用させるために、その駆動電圧として100〜200Vと高い電圧を必要とするのに対して、有機エレクトロルミネッセンス素子の場合には、5〜20V程度の低い電圧で駆動できるという利点があった。
【0007】
また、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子の場合には、発光材料である螢光物質を選択することによって適当な色彩に発光する発光素子を得ることができ、マルチカラーやフルカラーの表示装置等としても利用できるという期待があった。
【0008】
そこで、近年においては、有機エレクトロルミネッセンスパネル等の有機エレクトロルミネッセンス装置として、上記のような有機エレクトロルミネッセンス素子を複数配列させたものを製造することが検討されるようになった。
【0009】
そして、上記のように有機エレクトロルミネッセンス素子が複数配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得るにあたり、従来においては、一般にガラス基板等の透明基板上に形成するホール注入電極をパターニングして、複数のホール注入電極に分離させると共に、このホール注入電極上に形成される有機層や電子注入電極もパターニングして分離させ、これにより有機エレクトロルミネッセンス素子相互を分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得るようにしていた。
【0010】
ここで、上記のように透明基板上に形成するホール注入電極をパターニングしてより分離させる場合には特に問題はないが、このホール注入電極上に形成される有機層や電子注入電極もパターニングして分離させることが問題になった。
【0011】
すなわち、有機エレクトロルミネッセンス素子に用いられている有機層は、一般に耐熱性,耐溶剤性,耐湿性が低く、この有機層やこの有機層上に形成された電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさせる場合、フォトレジスト中における溶剤が有機層に侵入したり、エッチング液により有機層が溶解したり、ドライエッチング時におけるプラズマによって有機層がダメージを受けたりする等の問題があった。
【0012】
このため、従来においては、一般に、マスク部材を用いた蒸着により電子注入電極をパターニングさせるようにしていたが、この場合、微細な加工を行なうことができないという問題があった。
【0013】
また、近年においては、特開平8−227276号公報、特開平8−315981号公報、特開平9−102393号公報等に示されるように、透明基板上にホール注入電極を適当なパターンに形成した後、このようにパターニングされたホール注入電極上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、この隔壁の上から蒸着法によって有機層と電子注入電極とを順々に上記のホール注入電極上に積層させ、上記の隔壁により各有機エレクトロルミネッセンス素子における有機層及び電子注入電極を分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得るようにしたものが提案された。
【0014】
ここで、図1に示すように、透明基板1上に形成されたホール注入電極2上にパターニングされた隔壁3を設けるにあたり、特開平8−315981号公報や特開平9−102393号公報に示されているように、この隔壁3の上面3aを大きくしてオーバーハング部を設けた場合、この隔壁3の上から上記のように有機層4を蒸着させると、このオーバーハング部の下において、有機層4が形成されずにホール注入電極2が露出した部分が残り、次いで電子注入電極5を蒸着させた場合に、この電子注入電極5が上記の露出したホール注入電極2上に形成されてショートするおそれがあった。
【0015】
また、上記のように透明基板1上に形成されたホール注入電極2上にパターニングされた隔壁3を設けた場合、高分子材料で構成された有機層4をディッピング法やスピンコート法によって形成することが困難であり、高分子材料からなる有機層4を用いた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造が困難になるという問題もあった。
【0016】
また、上記のように高分子材料で構成された有機層を用いた場合、エッチング液等による有機層の浸食が抑制されるため、前記のように高分子材料で構成された有機層の上に電子注入電極を設け、この電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさせることが考えられる。
【0017】
しかし、このように有機層の上に設けられた電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさせる場合、電子注入電極の膜厚が薄いため、エッチングを制御することが困難であり、エッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性等が悪くなり、また電子注入電極から電子が効率よく有機層に注入されるようにするため、この電子注入電極を構成する材料にマグネシウム等の仕事関数の小さい電極材料を用いているため、エッチング液の水分等によってこの電子注入電極が酸化されて劣化し、安定した発光が行なえなくなる等の問題があった。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を配列させてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置における上記のような様々な問題を解決することを課題とするものである。
【0019】
すなわち、この発明においては、上記のような有機エレクトロルミルネッセンス装置において、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を分離させて配列させることが簡単かつ適切に行なえ、特に、上記の有機層を高分子材料で構成する場合においても、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を適切に分離させることができて、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようにすることを課題とするものである。
【0020】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項1における有機エレクトロルミネッセンス装置においては、上記のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置において、上記の有機層上にパターニングされ、電気絶縁性のオーバーハング部を有する隔壁を設け、この隔壁のによって上記電極を分離させるようにした。
【0021】
また、この発明の請求項3に示す有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法においては、上記のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置を製造するにあたり、ホール注入電極上に発光性の有機層を設ける工程と、この有機層上にパターニングされ、電気絶縁性のオーバーハング部を有する隔壁を設ける工程と、上記の電気絶縁性の隔壁により分離された電子注入電極を形成する工程とを行なうようにした。
【0022】
ここで、この発明のように、ホール注入電極上に有機層を設けた後、この有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極を設けるようにした場合、電子注入電極が上記の隔壁により分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が形成され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が分離されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装置が簡単に得られるようになる。
【0023】
また、この有機エレクトロルミネッセンス装置においては、上記の隔壁を有機層上に設けているため、隔壁の上面を大きくしてオーバーハング部を設けているので、このオーバーハング部の下においてホール注入電極が露出するということがなく、ホール注入電極と電子注入電極とが接触してショートするということもない。
【0024】
また、上記のように有機層上に隔壁を設けるため、前記の請求項2,4に示すように、この有機層を高分子材料で構成する場合であっても、ディッピング法やスピンコート法により有機層を簡単に形成することができる。
【0025】
ここで、上記の有機層に使用する高分子材料としては、ポリフェニレン,パラレン誘導体,ポリチオフェン,ポリビニルカルバゾール等の蛍光性の高分子材料や、ポリメタクリル酸メチル,ポリカーボネート等の電気絶縁性の高分子に色素をドープさせたもの等を使用することができる。
【0026】
さらに、この発明において、前記の請求項5に示すように、有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、この電気絶縁性の隔壁の上から電子注入電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分離された有機層上に電子注入電極を設けると、従来のようにエッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くなったり、電子注入電極が酸化されて劣化するということもなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようになる。
【0027】
【実施例】
以下、この発明の実施例に係る有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法を添付図面に基づいて具体的に説明する。
【0028】
(実施例1)
この実施例においては、図2及び図3(A)に示すように、ガラス基板からなる透明基板11上に、通常のレジストプロセスを用いてインジウム−スズ酸化物(ITO)からなる透明なホール注入電極12を所要間隔を介して複数列設けるようにした。
【0029】
そして、下記の化1に示すN,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ジフェニル−4,4’−ジアミン(TPD)からなるホール輸送材料と、下記の化2に示す10−ベンゾ(h)キノリノール−ベリリウム錯体(BeBq2 )からなる発光材料と、下記の化3に示すポリメタクリル酸メチルとをジクロロメタンに溶解させ、この溶液を上記のように複数列のホール注入電極12が形成された透明基板11上にスピンコート法により塗布し、その後、これを120℃の温度で加熱して固化させ、図3(B)に示すように、ホール注入電極12が形成された透明基板11上に高分子材料からなる有機層13を形成した。
【0030】
【化1】
【0031】
【化2】
【0032】
【化3】
【0033】
そして、このように形成された高分子の有機層13上に、図3(C)に示すように、ポジ型レジスト14’(東京応化工業社製:OFPR−1000)を1.5μmの膜厚になるように塗布した後、これを加熱処理し、通常のポジ型レジスト14’におけるフォトリソグラフィ法に従い、図3(D)に示すように、フォトマスク20を用いて所定パターンの露光を行ない、その後、エッチングを行なって、図3(E)及び図4に示すように、上面14aが大きくなってオーバーハング部を有する複数行の隔壁14を上記のホール注入電極12と直交するようにして上記の有機層13上に設けた。
【0034】
次いで、上記のように複数行の隔壁14が設けられた有機層13の上に、図3(F)に示すように、真空蒸着法によりAl−Li合金からなる電子注入電極15を形成し、この電子注入電極15を上記の隔壁14によって分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子10がマトリックスに配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得た。
【0035】
そして、この実施例1の有機エレクトロルミネッセンス装置において、上記のホール注入電極12と電子注入電極15との間に電圧を印加させると、電圧17Vで各有機エレクトロルミネッセンス素子10から1000cd/m2 の緑色発光を得ることができ、また各有機エレクトロルミネッセンス素子10が良好に分離されてショートも発生しなかった。
【0036】
(実施例2)
この実施例2においては、上記の実施例1の場合と同様にして、ガラス基板からなる透明基板11上に、ITOからなる透明なホール注入電極12を所要間隔を介して複数列設けた後、高分子の有機層13として、ポリフェニレンビニレン(PPV)を製膜した。なお、このPPVからなる有機層13の製膜は、参考文献[J.H.Burroughes,et al,Nature,Vol.347,pp539〜541(1990)]に示される方法に従って行なった。
【0037】
そして、このようにPPVからなる有機層13を形成した後は、上記の実施例1の場合と同様にして、上面14aが大きくなってオーバーハング部を有する複数行の隔壁14を上記のホール注入電極12と直交するようにして上記の有機層13上に設け、さらにAl−Li合金からなる電子注入電極15を形成し、この電子注入電極15を上記の隔壁14によって分離させて、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子10がマトリックスに配列された有機エレクトロルミネッセンス装置を得た。なお、上記のPPVからなる有機層13は、上記のポジ型レジスト14’(東京応化工業社製:OFPR−1000)のレジスト液やエッチングを行なう現像液に溶解されなかった。
【0038】
ここで、この実施例2の有機エレクトロルミネッセンス装置において、上記のホール注入電極12と電子注入電極15との間に電圧を印加させると、電圧15Vで各有機エレクトロルミネッセンス素子10から100cd/m2 の黄緑色発光を得ることができ、また各有機エレクトロルミネッセンス素子10が良好に分離されてショートも発生しなかった。
【0039】
(実施例3)
この実施例3においては、上記の実施例1における有機エレクトロルミネッセンス装置において、有機層13を設けるにあたり、前記のポリメタクリル酸メチルに代えてポリカーボネートを用いるようにし、それ以外については、上記の実施例1の場合と同様にして有機エレクトロルミネッセンス装置を作製した。
【0040】
そして、この実施例3の有機エレクトロルミネッセンス装置において、ホール注入電極12と電子注入電極15との間に電圧を印加させると、電圧15Vで各有機エレクトロルミネッセンス素子10から1200cd/m2 の緑色発光を得ることができ、また各有機エレクトロルミネッセンス素子10が良好に分離されてショートも発生しなかった。
【0041】
(実施例4)
この実施例5においても、図5(A),(B)に示すように、上記の実施例1の場合と同様にして、ガラス基板からなる透明基板11上に、TOからなる透明なホール注入電極12を所要間隔を介して複数列設けると共に、その上に上記の高分子の有機層13を設けた。
【0042】
そして、この実施例5においては、上記の有機層13の上に複数行の隔壁14をホール注入電極12と直交するように設けるにあたり、図5(C)に示すように、前記のポジ型レジスト14’(東京応化工業社製:OFPR−1000)に代えて、日本ゼオン社製のネガ型レジスト14”を用い、通常のネガ型レジスト14”におけるフォトリソグラフィ法に従い、図5(D)に示すように、フォトマスク20を用いて所定パターンの露光を行ない、その後、エッチングを行なって、上面14aにオーバーハング部を有する複数行の隔壁14をホール注入電極12と直交するようにして設け、その後は、上記の実施例1の場合と同様にして有機エレクトロルミネッセンス装置を作製した。
【0043】
ここで、この実施例5のようにネガ型レジスト14”を用いて隔壁14を設けるようにすると、この隔壁14の高さを5μmにすることができ、この隔壁14による電子注入電極15の分離がより確実に行なえて、各有機エレクトロルミネッセンス素子10を確実に分離できるようになり、その歩留まりが30%程度向上した。
【0044】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明における有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法においては、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置を得るにあたり、有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極を設けるようにしたため、電子注入電極がこの隔壁により分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が形成され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が分離されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装置が簡単に得られるようになった。
【0045】
また、この発明における有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法においては、上記のように隔壁を有機層上に設けているため、隔壁の上面を大きくしてオーバーハング部を設けた場合においても、従来のようにこのオーバーハング部の下においてホール注入電極が露出し、ホール注入電極と電子注入電極とが接触してショートするということもなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようになった。
【0046】
さらに、上記のように有機層上に隔壁を設けるため、この有機層を高分子材料で構成する場合において、ディッピング法やスピンコート法により有機層を簡単に形成することができるようになった。
【0047】
また、電気絶縁性の隔壁の上から電子注入電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分離された有機層上に電子注入電極を設けるようにすると、従来のようにエッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くなったり、電子注入電極が酸化されて劣化するということもなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の有機エレクトロルミネッセンス装置の部分説明図である。
【図2】この発明の実施例1に係る有機エレクトロルミネッセンス装置において、透明基板の上にホール注入電極を所要間隔を介して複数列設けた状態を示した平面図である。
【図3】上記の実施例1に係る有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する工程を示した概略説明図である。
【図4】上記の実施例1に係る有機エレクトロルミネッセンス装置において、オーバーハング部を有する複数行の隔壁をホール注入電極と直交するようにして有機層上に設けた状態を示した平面図である。
【図5】この発明の実施例4に係る有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する工程を示した概略説明図である。
【符号の説明】
10 有機エレクトロルミネッセンス素子
11 透明基板
12 ホール注入電極
13 有機層
14 隔壁
15 電子注入電極
Claims (5)
- ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置において、上記の有機層上にパターニングされたオーバーハング部を有する電気絶縁性の隔壁が設けられ、この隔壁のによって上記電極を分離したことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 請求項1に記載した有機エレクトロルミルネッセンス装置において、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子における発光性の有機層が高分子材料で構成されてなることを特徴とする有機エレクトロルミルネッセンス装置。
- ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置を製造するにあたり、ホール注入電極上に発光性の有機層を設ける工程と、この有機層上にパターニングされたオーバーハング部を有する電気絶縁性の隔壁を設ける工程と、上記の電気絶縁性の隔壁により分離された電子注入電極を有機層上に形成する工程とを有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
- 請求項3に記載した有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、上記の発光性の有機層を高分子材料で構成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
- 請求項3又は4に記載した有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、上記の有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、この電気絶縁性の隔壁の上から電子注入電極材料を蒸着することによって分離された電子注入電極を有機層上に設けることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34765697A JP3540584B2 (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
EP98123837A EP0924965B1 (en) | 1997-12-17 | 1998-12-15 | Organic electroluminescent apparatus and method of fabricating the same |
DE69805490T DE69805490T2 (de) | 1997-12-17 | 1998-12-15 | Organisches elektrolumineszentes Gerät und Verfahren zur Herstellung desselben |
US09/211,041 US6232713B1 (en) | 1997-12-17 | 1998-12-15 | Organic electroluminescent apparatus and method of fabricating the same |
US09/791,833 US6352462B2 (en) | 1997-12-17 | 2001-02-26 | Organic electroluminescent apparatus and method of fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34765697A JP3540584B2 (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11185968A JPH11185968A (ja) | 1999-07-09 |
JP3540584B2 true JP3540584B2 (ja) | 2004-07-07 |
Family
ID=18391703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34765697A Expired - Fee Related JP3540584B2 (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6232713B1 (ja) |
EP (1) | EP0924965B1 (ja) |
JP (1) | JP3540584B2 (ja) |
DE (1) | DE69805490T2 (ja) |
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Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5276380A (en) | 1991-12-30 | 1994-01-04 | Eastman Kodak Company | Organic electroluminescent image display device |
JPH07220871A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Res Dev Corp Of Japan | 有機エレクトロルミネッセンスデバイス |
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JP3208638B2 (ja) | 1995-01-31 | 2001-09-17 | 双葉電子工業株式会社 | 有機エレクトロルミネセント表示装置およびその製造方法 |
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1997
- 1997-12-17 JP JP34765697A patent/JP3540584B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-12-15 EP EP98123837A patent/EP0924965B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-15 DE DE69805490T patent/DE69805490T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-15 US US09/211,041 patent/US6232713B1/en not_active Expired - Lifetime
-
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- 2001-02-26 US US09/791,833 patent/US6352462B2/en not_active Expired - Fee Related
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---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20010009350A1 (en) | 2001-07-26 |
DE69805490T2 (de) | 2003-01-16 |
EP0924965A1 (en) | 1999-06-23 |
EP0924965B1 (en) | 2002-05-22 |
JPH11185968A (ja) | 1999-07-09 |
US6352462B2 (en) | 2002-03-05 |
US6232713B1 (en) | 2001-05-15 |
DE69805490D1 (de) | 2002-06-27 |
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