JPH11185968A - 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH11185968A JPH11185968A JP9347656A JP34765697A JPH11185968A JP H11185968 A JPH11185968 A JP H11185968A JP 9347656 A JP9347656 A JP 9347656A JP 34765697 A JP34765697 A JP 34765697A JP H11185968 A JPH11185968 A JP H11185968A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- organic layer
- injection electrode
- electron injection
- hole injection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 91
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 91
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 44
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 7
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 abstract description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- -1 polyphenylene Polymers 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910001148 Al-Li alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000733 Li alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 229920001109 fluorescent polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000001989 lithium alloy Substances 0.000 description 1
- 125000000040 m-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
- H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8052—Cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/141—Organic polymers or oligomers comprising aliphatic or olefinic chains, e.g. poly N-vinylcarbazol, PVC or PTFE
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/30—Coordination compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/30—Coordination compounds
- H10K85/321—Metal complexes comprising a group IIIA element, e.g. Tris (8-hydroxyquinoline) gallium [Gaq3]
- H10K85/324—Metal complexes comprising a group IIIA element, e.g. Tris (8-hydroxyquinoline) gallium [Gaq3] comprising aluminium, e.g. Alq3
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/631—Amine compounds having at least two aryl rest on at least one amine-nitrogen atom, e.g. triphenylamine
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ホール注入電極と電子注入電極との間に発光
性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッ
センス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッ
センス装置において、有機層を高分子材料で構成する場
合にも、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子の分
離が簡単かつ適切に行なえ、各有機エレクトロルミネッ
センス素子において安定した発光が行なえようにする。 【解決手段】 ホール注入電極１２と電子注入電極１５
との間に発光性の有機層１３が設けられた複数の有機エ
レクトロルミネッセンス素子１０を配列させた有機エレ
クトロルミルネッセンス装置において、有機層上にパタ
ーニングされた電気絶縁性の隔壁１４を設け、この隔壁
によって有機エレクトロルミネッセンス素子を分離させ
た。
性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッ
センス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッ
センス装置において、有機層を高分子材料で構成する場
合にも、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子の分
離が簡単かつ適切に行なえ、各有機エレクトロルミネッ
センス素子において安定した発光が行なえようにする。 【解決手段】 ホール注入電極１２と電子注入電極１５
との間に発光性の有機層１３が設けられた複数の有機エ
レクトロルミネッセンス素子１０を配列させた有機エレ
クトロルミルネッセンス装置において、有機層上にパタ
ーニングされた電気絶縁性の隔壁１４を設け、この隔壁
によって有機エレクトロルミネッセンス素子を分離させ
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ホール注入電極
と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複
数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてな
る有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法
に係り、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性
の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセ
ンス素子を分離させて配列させることが簡単かつ適切に
行なえ、特に、上記の有機層を高分子材料で構成する場
合においても、複数の有機エレクトロルミネッセンス素
子を適切に分離させることができるようにした点に特徴
を有するものである。
と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複
数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてな
る有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法
に係り、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光性
の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッセ
ンス素子を分離させて配列させることが簡単かつ適切に
行なえ、特に、上記の有機層を高分子材料で構成する場
合においても、複数の有機エレクトロルミネッセンス素
子を適切に分離させることができるようにした点に特徴
を有するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報機器の多様化等にともなっ
て、従来より一般に使用されているＣＲＴに比べて消費
電力が少なく容積の小さい平面表示素子のニーズが高ま
り、このような平面表示素子の一つとしてエレクトロル
ミネッセンス素子が注目されている。
て、従来より一般に使用されているＣＲＴに比べて消費
電力が少なく容積の小さい平面表示素子のニーズが高ま
り、このような平面表示素子の一つとしてエレクトロル
ミネッセンス素子が注目されている。
【０００３】そして、このようなエレクトロルミネッセ
ンス素子は、使用する材料によって無機エレクトロルミ
ネッセンス素子と有機エレクトロルミネッセンス素子と
に大別される。
ンス素子は、使用する材料によって無機エレクトロルミ
ネッセンス素子と有機エレクトロルミネッセンス素子と
に大別される。
【０００４】ここで、無機エレクトロルミネッセンス素
子は、一般に発光部に高電界を作用させ、電子をこの高
電界中で加速して発光中心に衝突させ、これにより発光
中心を励起させて発光させるようになっている。
子は、一般に発光部に高電界を作用させ、電子をこの高
電界中で加速して発光中心に衝突させ、これにより発光
中心を励起させて発光させるようになっている。
【０００５】これに対し、有機エレクトロルミネッセン
ス素子は、電子注入電極とホール注入電極とからそれぞ
れ電子とホールとを発光部内に注入し、このように注入
された電子とホールとを発光中心で再結合させて、有機
分子を励起状態にし、この有機分子が励起状態から基底
状態に戻るときに蛍光を発光するようになっている。
ス素子は、電子注入電極とホール注入電極とからそれぞ
れ電子とホールとを発光部内に注入し、このように注入
された電子とホールとを発光中心で再結合させて、有機
分子を励起状態にし、この有機分子が励起状態から基底
状態に戻るときに蛍光を発光するようになっている。
【０００６】そして、無機エレクトロルミネッセンス素
子の場合には、上記のように高電界を作用させるため
に、その駆動電圧として１００〜２００Ｖと高い電圧を
必要とするのに対して、有機エレクトロルミネッセンス
素子の場合には、５〜２０Ｖ程度の低い電圧で駆動でき
るという利点があった。
子の場合には、上記のように高電界を作用させるため
に、その駆動電圧として１００〜２００Ｖと高い電圧を
必要とするのに対して、有機エレクトロルミネッセンス
素子の場合には、５〜２０Ｖ程度の低い電圧で駆動でき
るという利点があった。
【０００７】また、上記の有機エレクトロルミネッセン
ス素子の場合には、発光材料である螢光物質を選択する
ことによって適当な色彩に発光する発光素子を得ること
ができ、マルチカラーやフルカラーの表示装置等として
も利用できるという期待があった。
ス素子の場合には、発光材料である螢光物質を選択する
ことによって適当な色彩に発光する発光素子を得ること
ができ、マルチカラーやフルカラーの表示装置等として
も利用できるという期待があった。
【０００８】そこで、近年においては、有機エレクトロ
ルミネッセンスパネル等の有機エレクトロルミネッセン
ス装置として、上記のような有機エレクトロルミネッセ
ンス素子を複数配列させたものを製造することが検討さ
れるようになった。
ルミネッセンスパネル等の有機エレクトロルミネッセン
ス装置として、上記のような有機エレクトロルミネッセ
ンス素子を複数配列させたものを製造することが検討さ
れるようになった。
【０００９】そして、上記のように有機エレクトロルミ
ネッセンス素子が複数配列された有機エレクトロルミネ
ッセンス装置を得るにあたり、従来においては、一般に
ガラス基板等の透明基板上に形成するホール注入電極を
パターニングして、複数のホール注入電極に分離させる
と共に、このホール注入電極上に形成される有機層や電
子注入電極もパターニングして分離させ、これにより有
機エレクトロルミネッセンス素子相互を分離させて、複
数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列された有
機エレクトロルミネッセンス装置を得るようにしてい
た。
ネッセンス素子が複数配列された有機エレクトロルミネ
ッセンス装置を得るにあたり、従来においては、一般に
ガラス基板等の透明基板上に形成するホール注入電極を
パターニングして、複数のホール注入電極に分離させる
と共に、このホール注入電極上に形成される有機層や電
子注入電極もパターニングして分離させ、これにより有
機エレクトロルミネッセンス素子相互を分離させて、複
数の有機エレクトロルミネッセンス素子が配列された有
機エレクトロルミネッセンス装置を得るようにしてい
た。
【００１０】ここで、上記のように透明基板上に形成す
るホール注入電極をパターニングしてより分離させる場
合には特に問題はないが、このホール注入電極上に形成
される有機層や電子注入電極もパターニングして分離さ
せることが問題になった。
るホール注入電極をパターニングしてより分離させる場
合には特に問題はないが、このホール注入電極上に形成
される有機層や電子注入電極もパターニングして分離さ
せることが問題になった。
【００１１】すなわち、有機エレクトロルミネッセンス
素子に用いられている有機層は、一般に耐熱性，耐溶剤
性，耐湿性が低く、この有機層やこの有機層上に形成さ
れた電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパ
ターニングさせる場合、フォトレジスト中における溶剤
が有機層に侵入したり、エッチング液により有機層が溶
解したり、ドライエッチング時におけるプラズマによっ
て有機層がダメージを受けたりする等の問題があった。
素子に用いられている有機層は、一般に耐熱性，耐溶剤
性，耐湿性が低く、この有機層やこの有機層上に形成さ
れた電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパ
ターニングさせる場合、フォトレジスト中における溶剤
が有機層に侵入したり、エッチング液により有機層が溶
解したり、ドライエッチング時におけるプラズマによっ
て有機層がダメージを受けたりする等の問題があった。
【００１２】このため、従来においては、一般に、マス
ク部材を用いた蒸着により電子注入電極をパターニング
させるようにしていたが、この場合、微細な加工を行な
うことができないという問題があった。
ク部材を用いた蒸着により電子注入電極をパターニング
させるようにしていたが、この場合、微細な加工を行な
うことができないという問題があった。
【００１３】また、近年においては、特開平８−２２７
２７６号公報、特開平８−３１５９８１号公報、特開平
９−１０２３９３号公報等に示されるように、透明基板
上にホール注入電極を適当なパターンに形成した後、こ
のようにパターニングされたホール注入電極上にパター
ニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、この隔壁の上か
ら蒸着法によって有機層と電子注入電極とを順々に上記
のホール注入電極上に積層させ、上記の隔壁により各有
機エレクトロルミネッセンス素子における有機層及び電
子注入電極を分離させて、複数の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子が配列された有機エレクトロルミネッセン
ス装置を得るようにしたものが提案された。
２７６号公報、特開平８−３１５９８１号公報、特開平
９−１０２３９３号公報等に示されるように、透明基板
上にホール注入電極を適当なパターンに形成した後、こ
のようにパターニングされたホール注入電極上にパター
ニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、この隔壁の上か
ら蒸着法によって有機層と電子注入電極とを順々に上記
のホール注入電極上に積層させ、上記の隔壁により各有
機エレクトロルミネッセンス素子における有機層及び電
子注入電極を分離させて、複数の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子が配列された有機エレクトロルミネッセン
ス装置を得るようにしたものが提案された。
【００１４】ここで、図１に示すように、透明基板１上
に形成されたホール注入電極２上にパターニングされた
隔壁３を設けるにあたり、特開平８−３１５９８１号公
報や特開平９−１０２３９３号公報に示されているよう
に、この隔壁３の上面３ａを大きくしてオーバーハング
部を設けた場合、この隔壁３の上から上記のように有機
層４を蒸着させると、このオーバーハング部の下におい
て、有機層４が形成されずにホール注入電極２が露出し
た部分が残り、次いで電子注入電極５を蒸着させた場合
に、この電子注入電極５が上記の露出したホール注入電
極２上に形成されてショートするおそれがあった。
に形成されたホール注入電極２上にパターニングされた
隔壁３を設けるにあたり、特開平８−３１５９８１号公
報や特開平９−１０２３９３号公報に示されているよう
に、この隔壁３の上面３ａを大きくしてオーバーハング
部を設けた場合、この隔壁３の上から上記のように有機
層４を蒸着させると、このオーバーハング部の下におい
て、有機層４が形成されずにホール注入電極２が露出し
た部分が残り、次いで電子注入電極５を蒸着させた場合
に、この電子注入電極５が上記の露出したホール注入電
極２上に形成されてショートするおそれがあった。
【００１５】また、上記のように透明基板１上に形成さ
れたホール注入電極２上にパターニングされた隔壁３を
設けた場合、高分子材料で構成された有機層４をディッ
ピング法やスピンコート法によって形成することが困難
であり、高分子材料からなる有機層４を用いた有機エレ
クトロルミネッセンス装置の製造が困難になるという問
題もあった。
れたホール注入電極２上にパターニングされた隔壁３を
設けた場合、高分子材料で構成された有機層４をディッ
ピング法やスピンコート法によって形成することが困難
であり、高分子材料からなる有機層４を用いた有機エレ
クトロルミネッセンス装置の製造が困難になるという問
題もあった。
【００１６】また、上記のように高分子材料で構成され
た有機層を用いた場合、エッチング液等による有機層の
浸食が抑制されるため、前記のように高分子材料で構成
された有機層の上に電子注入電極を設け、この電子注入
電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさ
せることが考えられる。
た有機層を用いた場合、エッチング液等による有機層の
浸食が抑制されるため、前記のように高分子材料で構成
された有機層の上に電子注入電極を設け、この電子注入
電極をフォトリソグラフィ法等によってパターニングさ
せることが考えられる。
【００１７】しかし、このように有機層の上に設けられ
た電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパタ
ーニングさせる場合、電子注入電極の膜厚が薄いため、
エッチングを制御することが困難であり、エッチング液
が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電
子注入電極との接触性等が悪くなり、また電子注入電極
から電子が効率よく有機層に注入されるようにするた
め、この電子注入電極を構成する材料にマグネシウム等
の仕事関数の小さい電極材料を用いているため、エッチ
ング液の水分等によってこの電子注入電極が酸化されて
劣化し、安定した発光が行なえなくなる等の問題があっ
た。
た電子注入電極をフォトリソグラフィ法等によってパタ
ーニングさせる場合、電子注入電極の膜厚が薄いため、
エッチングを制御することが困難であり、エッチング液
が有機層と電子注入電極との間に浸透して、有機層と電
子注入電極との接触性等が悪くなり、また電子注入電極
から電子が効率よく有機層に注入されるようにするた
め、この電子注入電極を構成する材料にマグネシウム等
の仕事関数の小さい電極材料を用いているため、エッチ
ング液の水分等によってこの電子注入電極が酸化されて
劣化し、安定した発光が行なえなくなる等の問題があっ
た。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、ホール注
入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けら
れた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を配列さ
せてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置における
上記のような様々な問題を解決することを課題とするも
のである。
入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が設けら
れた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を配列さ
せてなる有機エレクトロルミルネッセンス装置における
上記のような様々な問題を解決することを課題とするも
のである。
【００１９】すなわち、この発明においては、上記のよ
うな有機エレクトロルミルネッセンス装置において、ホ
ール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が
設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を
分離させて配列させることが簡単かつ適切に行なえ、特
に、上記の有機層を高分子材料で構成する場合において
も、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を適切に
分離させることができて、各有機エレクトロルミネッセ
ンス素子において安定した発光が行なえるようにするこ
とを課題とするものである。
うな有機エレクトロルミルネッセンス装置において、ホ
ール注入電極と電子注入電極との間に発光性の有機層が
設けられた複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を
分離させて配列させることが簡単かつ適切に行なえ、特
に、上記の有機層を高分子材料で構成する場合において
も、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を適切に
分離させることができて、各有機エレクトロルミネッセ
ンス素子において安定した発光が行なえるようにするこ
とを課題とするものである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１にお
ける有機エレクトロルミネッセンス装置においては、上
記のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子
注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有
機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機
エレクトロルミルネッセンス装置において、上記の有機
層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、こ
の隔壁によって有機エレクトロルミネッセンス素子を分
離させるようにした。
ける有機エレクトロルミネッセンス装置においては、上
記のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子
注入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有
機エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機
エレクトロルミルネッセンス装置において、上記の有機
層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、こ
の隔壁によって有機エレクトロルミネッセンス素子を分
離させるようにした。
【００２１】また、この発明の請求項３に示す有機エレ
クトロルミネッセンス装置の製造方法においては、上記
のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子注
入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機
エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エ
レクトロルミルネッセンス装置を製造するにあたり、ホ
ール注入電極上に発光性の有機層を設ける工程と、この
有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け
る工程と、上記の電気絶縁性の隔壁により分離された有
機層上に電子注入電極を設ける工程とを行なうようにし
た。
クトロルミネッセンス装置の製造方法においては、上記
のような課題を解決するため、ホール注入電極と電子注
入電極との間に発光性の有機層が設けられた複数の有機
エレクトロルミネッセンス素子が配列されてなる有機エ
レクトロルミルネッセンス装置を製造するにあたり、ホ
ール注入電極上に発光性の有機層を設ける工程と、この
有機層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け
る工程と、上記の電気絶縁性の隔壁により分離された有
機層上に電子注入電極を設ける工程とを行なうようにし
た。
【００２２】ここで、この発明のように、ホール注入電
極上に有機層を設けた後、この有機層上にパターニング
された電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極
を設けるようにした場合、電子注入電極が上記の隔壁に
より分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が
形成され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が
分離されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装
置が簡単に得られるようになる。
極上に有機層を設けた後、この有機層上にパターニング
された電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極
を設けるようにした場合、電子注入電極が上記の隔壁に
より分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が
形成され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が
分離されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装
置が簡単に得られるようになる。
【００２３】また、この有機エレクトロルミネッセンス
装置においては、上記の隔壁を有機層上に設けているた
め、隔壁の上面を大きくしてオーバーハング部を設けた
場合においても、このオーバーハング部の下においてホ
ール注入電極が露出するということがなく、ホール注入
電極と電子注入電極とが接触してショートするというこ
ともない。
装置においては、上記の隔壁を有機層上に設けているた
め、隔壁の上面を大きくしてオーバーハング部を設けた
場合においても、このオーバーハング部の下においてホ
ール注入電極が露出するということがなく、ホール注入
電極と電子注入電極とが接触してショートするというこ
ともない。
【００２４】また、上記のように有機層上に隔壁を設け
るため、前記の請求項２，４に示すように、この有機層
を高分子材料で構成する場合であっても、ディッピング
法やスピンコート法により有機層を簡単に形成すること
ができる。
るため、前記の請求項２，４に示すように、この有機層
を高分子材料で構成する場合であっても、ディッピング
法やスピンコート法により有機層を簡単に形成すること
ができる。
【００２５】ここで、上記の有機層に使用する高分子材
料としては、ポリフェニレン，パラレン誘導体，ポリチ
オフェン，ポリビニルカルバゾール等の蛍光性の高分子
材料や、ポリメタクリル酸メチル，ポリカーボネート等
の電気絶縁性の高分子に色素をドープさせたもの等を使
用することができる。
料としては、ポリフェニレン，パラレン誘導体，ポリチ
オフェン，ポリビニルカルバゾール等の蛍光性の高分子
材料や、ポリメタクリル酸メチル，ポリカーボネート等
の電気絶縁性の高分子に色素をドープさせたもの等を使
用することができる。
【００２６】さらに、この発明において、前記の請求項
５に示すように、有機層上にパターニングされた電気絶
縁性の隔壁を設け、この電気絶縁性の隔壁の上から電子
注入電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分
離された有機層上に電子注入電極を設けると、従来のよ
うにエッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透
して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くなった
り、電子注入電極が酸化されて劣化するということもな
く、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定
した発光が行なえるようになる。
５に示すように、有機層上にパターニングされた電気絶
縁性の隔壁を設け、この電気絶縁性の隔壁の上から電子
注入電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分
離された有機層上に電子注入電極を設けると、従来のよ
うにエッチング液が有機層と電子注入電極との間に浸透
して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くなった
り、電子注入電極が酸化されて劣化するということもな
く、各有機エレクトロルミネッセンス素子において安定
した発光が行なえるようになる。
【００２７】
【実施例】以下、この発明の実施例に係る有機エレクト
ロルミネッセンス装置及びその製造方法を添付図面に基
づいて具体的に説明する。
ロルミネッセンス装置及びその製造方法を添付図面に基
づいて具体的に説明する。
【００２８】（実施例１）この実施例においては、図２
及び図３（Ａ）に示すように、ガラス基板からなる透明
基板１１上に、通常のレジストプロセスを用いてインジ
ウム−スズ酸化物（ＩＴＯ）からなる透明なホール注入
電極１２を所要間隔を介して複数列設けるようにした。
及び図３（Ａ）に示すように、ガラス基板からなる透明
基板１１上に、通常のレジストプロセスを用いてインジ
ウム−スズ酸化物（ＩＴＯ）からなる透明なホール注入
電極１２を所要間隔を介して複数列設けるようにした。
【００２９】そして、下記の化１に示すＮ，Ｎ’−ジフ
ェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−１，
１’−ジフェニル−４，４’−ジアミン（ＴＰＤ）から
なるホール輸送材料と、下記の化２に示す１０−ベンゾ
（ｈ）キノリノール−ベリリウム錯体（ＢｅＢｑ2 ）か
らなる発光材料と、下記の化３に示すポリメタクリル酸
メチルとをジクロロメタンに溶解させ、この溶液を上記
のように複数列のホール注入電極１２が形成された透明
基板１１上にスピンコート法により塗布し、その後、こ
れを１２０℃の温度で加熱して固化させ、図３（Ｂ）に
示すように、ホール注入電極１２が形成された透明基板
１１上に高分子材料からなる有機層１３を形成した。
ェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−１，
１’−ジフェニル−４，４’−ジアミン（ＴＰＤ）から
なるホール輸送材料と、下記の化２に示す１０−ベンゾ
（ｈ）キノリノール−ベリリウム錯体（ＢｅＢｑ2 ）か
らなる発光材料と、下記の化３に示すポリメタクリル酸
メチルとをジクロロメタンに溶解させ、この溶液を上記
のように複数列のホール注入電極１２が形成された透明
基板１１上にスピンコート法により塗布し、その後、こ
れを１２０℃の温度で加熱して固化させ、図３（Ｂ）に
示すように、ホール注入電極１２が形成された透明基板
１１上に高分子材料からなる有機層１３を形成した。
【００３０】
【化１】
【００３１】
【化２】
【００３２】
【化３】
【００３３】そして、このように形成された高分子の有
機層１３上に、図３（Ｃ）に示すように、ポジ型レジス
ト１４’（東京応化工業社製：ＯＦＰＲ−１０００）を
１．５μｍの膜厚になるように塗布した後、これを加熱
処理し、通常のポジ型レジスト１４’におけるフォトリ
ソグラフィ法に従い、図３（Ｄ）に示すように、フォト
マスク２０を用いて所定パターンの露光を行ない、その
後、エッチングを行なって、図３（Ｅ）及び図４に示す
ように、上面１４ａが大きくなってオーバーハング部を
有する複数行の隔壁１４を上記のホール注入電極１２と
直交するようにして上記の有機層１３上に設けた。
機層１３上に、図３（Ｃ）に示すように、ポジ型レジス
ト１４’（東京応化工業社製：ＯＦＰＲ−１０００）を
１．５μｍの膜厚になるように塗布した後、これを加熱
処理し、通常のポジ型レジスト１４’におけるフォトリ
ソグラフィ法に従い、図３（Ｄ）に示すように、フォト
マスク２０を用いて所定パターンの露光を行ない、その
後、エッチングを行なって、図３（Ｅ）及び図４に示す
ように、上面１４ａが大きくなってオーバーハング部を
有する複数行の隔壁１４を上記のホール注入電極１２と
直交するようにして上記の有機層１３上に設けた。
【００３４】次いで、上記のように複数行の隔壁１４が
設けられた有機層１３の上に、図３（Ｆ）に示すよう
に、真空蒸着法によりＡｌ−Ｌｉ合金からなる電子注入
電極１５を形成し、この電子注入電極１５を上記の隔壁
１４によって分離させて、複数の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子１０がマトリックスに配列された有機エレ
クトロルミネッセンス装置を得た。
設けられた有機層１３の上に、図３（Ｆ）に示すよう
に、真空蒸着法によりＡｌ−Ｌｉ合金からなる電子注入
電極１５を形成し、この電子注入電極１５を上記の隔壁
１４によって分離させて、複数の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子１０がマトリックスに配列された有機エレ
クトロルミネッセンス装置を得た。
【００３５】そして、この実施例１の有機エレクトロル
ミネッセンス装置において、上記のホール注入電極１２
と電子注入電極１５との間に電圧を印加させると、電圧
１７Ｖで各有機エレクトロルミネッセンス素子１０から
１０００ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得ることができ、また
各有機エレクトロルミネッセンス素子１０が良好に分離
されてショートも発生しなかった。
ミネッセンス装置において、上記のホール注入電極１２
と電子注入電極１５との間に電圧を印加させると、電圧
１７Ｖで各有機エレクトロルミネッセンス素子１０から
１０００ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得ることができ、また
各有機エレクトロルミネッセンス素子１０が良好に分離
されてショートも発生しなかった。
【００３６】（実施例２）この実施例２においては、上
記の実施例１の場合と同様にして、ガラス基板からなる
透明基板１１上に、ＩＴＯからなる透明なホール注入電
極１２を所要間隔を介して複数列設けた後、高分子の有
機層１３として、ポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ）を
製膜した。なお、このＰＰＶからなる有機層１３の製膜
は、参考文献［Ｊ．Ｈ．Ｂｕｒｒｏｕｇｈｅｓ，ｅｔ
ａｌ，Ｎａｔｕｒｅ，Ｖｏｌ．３４７，ｐｐ５３９〜５
４１（１９９０）］に示される方法に従って行なった。
記の実施例１の場合と同様にして、ガラス基板からなる
透明基板１１上に、ＩＴＯからなる透明なホール注入電
極１２を所要間隔を介して複数列設けた後、高分子の有
機層１３として、ポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ）を
製膜した。なお、このＰＰＶからなる有機層１３の製膜
は、参考文献［Ｊ．Ｈ．Ｂｕｒｒｏｕｇｈｅｓ，ｅｔ
ａｌ，Ｎａｔｕｒｅ，Ｖｏｌ．３４７，ｐｐ５３９〜５
４１（１９９０）］に示される方法に従って行なった。
【００３７】そして、このようにＰＰＶからなる有機層
１３を形成した後は、上記の実施例１の場合と同様にし
て、上面１４ａが大きくなってオーバーハング部を有す
る複数行の隔壁１４を上記のホール注入電極１２と直交
するようにして上記の有機層１３上に設け、さらにＡｌ
−Ｌｉ合金からなる電子注入電極１５を形成し、この電
子注入電極１５を上記の隔壁１４によって分離させて、
複数の有機エレクトロルミネッセンス素子１０がマトリ
ックスに配列された有機エレクトロルミネッセンス装置
を得た。なお、上記のＰＰＶからなる有機層１３は、上
記のポジ型レジスト１４’（東京応化工業社製：ＯＦＰ
Ｒ−１０００）のレジスト液やエッチングを行なう現像
液に溶解されなかった。
１３を形成した後は、上記の実施例１の場合と同様にし
て、上面１４ａが大きくなってオーバーハング部を有す
る複数行の隔壁１４を上記のホール注入電極１２と直交
するようにして上記の有機層１３上に設け、さらにＡｌ
−Ｌｉ合金からなる電子注入電極１５を形成し、この電
子注入電極１５を上記の隔壁１４によって分離させて、
複数の有機エレクトロルミネッセンス素子１０がマトリ
ックスに配列された有機エレクトロルミネッセンス装置
を得た。なお、上記のＰＰＶからなる有機層１３は、上
記のポジ型レジスト１４’（東京応化工業社製：ＯＦＰ
Ｒ−１０００）のレジスト液やエッチングを行なう現像
液に溶解されなかった。
【００３８】ここで、この実施例２の有機エレクトロル
ミネッセンス装置において、上記のホール注入電極１２
と電子注入電極１５との間に電圧を印加させると、電圧
１５Ｖで各有機エレクトロルミネッセンス素子１０から
１００ｃｄ／ｍ2 の黄緑色発光を得ることができ、また
各有機エレクトロルミネッセンス素子１０が良好に分離
されてショートも発生しなかった。
ミネッセンス装置において、上記のホール注入電極１２
と電子注入電極１５との間に電圧を印加させると、電圧
１５Ｖで各有機エレクトロルミネッセンス素子１０から
１００ｃｄ／ｍ2 の黄緑色発光を得ることができ、また
各有機エレクトロルミネッセンス素子１０が良好に分離
されてショートも発生しなかった。
【００３９】（実施例３）この実施例３においては、上
記の実施例１における有機エレクトロルミネッセンス装
置において、有機層１３を設けるにあたり、前記のポリ
メタクリル酸メチルに代えてポリカーボネートを用いる
ようにし、それ以外については、上記の実施例１の場合
と同様にして有機エレクトロルミネッセンス装置を作製
した。
記の実施例１における有機エレクトロルミネッセンス装
置において、有機層１３を設けるにあたり、前記のポリ
メタクリル酸メチルに代えてポリカーボネートを用いる
ようにし、それ以外については、上記の実施例１の場合
と同様にして有機エレクトロルミネッセンス装置を作製
した。
【００４０】そして、この実施例３の有機エレクトロル
ミネッセンス装置において、ホール注入電極１２と電子
注入電極１５との間に電圧を印加させると、電圧１５Ｖ
で各有機エレクトロルミネッセンス素子１０から１２０
０ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得ることができ、また各有機
エレクトロルミネッセンス素子１０が良好に分離されて
ショートも発生しなかった。
ミネッセンス装置において、ホール注入電極１２と電子
注入電極１５との間に電圧を印加させると、電圧１５Ｖ
で各有機エレクトロルミネッセンス素子１０から１２０
０ｃｄ／ｍ2 の緑色発光を得ることができ、また各有機
エレクトロルミネッセンス素子１０が良好に分離されて
ショートも発生しなかった。
【００４１】（実施例４）この実施例５においても、図
５（Ａ），（Ｂ）に示すように、上記の実施例１の場合
と同様にして、ガラス基板からなる透明基板１１上に、
ＴＯからなる透明なホール注入電極１２を所要間隔を介
して複数列設けると共に、その上に上記の高分子の有機
層１３を設けた。
５（Ａ），（Ｂ）に示すように、上記の実施例１の場合
と同様にして、ガラス基板からなる透明基板１１上に、
ＴＯからなる透明なホール注入電極１２を所要間隔を介
して複数列設けると共に、その上に上記の高分子の有機
層１３を設けた。
【００４２】そして、この実施例５においては、上記の
有機層１３の上に複数行の隔壁１４をホール注入電極１
２と直交するように設けるにあたり、図５（Ｃ）に示す
ように、前記のポジ型レジスト１４’（東京応化工業社
製：ＯＦＰＲ−１０００）に代えて、日本ゼオン社製の
ネガ型レジスト１４”を用い、通常のネガ型レジスト１
４”におけるフォトリソグラフィ法に従い、図５（Ｄ）
に示すように、フォトマスク２０を用いて所定パターン
の露光を行ない、その後、エッチングを行なって、上面
１４ａにオーバーハング部を有する複数行の隔壁１４を
ホール注入電極１２と直交するようにして設け、その後
は、上記の実施例１の場合と同様にして有機エレクトロ
ルミネッセンス装置を作製した。
有機層１３の上に複数行の隔壁１４をホール注入電極１
２と直交するように設けるにあたり、図５（Ｃ）に示す
ように、前記のポジ型レジスト１４’（東京応化工業社
製：ＯＦＰＲ−１０００）に代えて、日本ゼオン社製の
ネガ型レジスト１４”を用い、通常のネガ型レジスト１
４”におけるフォトリソグラフィ法に従い、図５（Ｄ）
に示すように、フォトマスク２０を用いて所定パターン
の露光を行ない、その後、エッチングを行なって、上面
１４ａにオーバーハング部を有する複数行の隔壁１４を
ホール注入電極１２と直交するようにして設け、その後
は、上記の実施例１の場合と同様にして有機エレクトロ
ルミネッセンス装置を作製した。
【００４３】ここで、この実施例５のようにネガ型レジ
スト１４”を用いて隔壁１４を設けるようにすると、こ
の隔壁１４の高さを５μｍにすることができ、この隔壁
１４による電子注入電極１５の分離がより確実に行なえ
て、各有機エレクトロルミネッセンス素子１０を確実に
分離できるようになり、その歩留まりが３０％程度向上
した。
スト１４”を用いて隔壁１４を設けるようにすると、こ
の隔壁１４の高さを５μｍにすることができ、この隔壁
１４による電子注入電極１５の分離がより確実に行なえ
て、各有機エレクトロルミネッセンス素子１０を確実に
分離できるようになり、その歩留まりが３０％程度向上
した。
【００４４】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明における
有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法に
おいては、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光
性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッ
センス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッ
センス装置を得るにあたり、有機層上にパターニングさ
れた電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極を
設けるようにしたため、電子注入電極がこの隔壁により
分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が形成
され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が分離
されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装置が
簡単に得られるようになった。
有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法に
おいては、ホール注入電極と電子注入電極との間に発光
性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミネッ
センス素子が配列されてなる有機エレクトロルミルネッ
センス装置を得るにあたり、有機層上にパターニングさ
れた電気絶縁性の隔壁を設け、その後、電子注入電極を
設けるようにしたため、電子注入電極がこの隔壁により
分離されて各有機エレクトロルミネッセンス素子が形成
され、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が分離
されて配列された有機エレクトロルミネッセンス装置が
簡単に得られるようになった。
【００４５】また、この発明における有機エレクトロル
ミネッセンス装置及びその製造方法においては、上記の
ように隔壁を有機層上に設けているため、隔壁の上面を
大きくしてオーバーハング部を設けた場合においても、
従来のようにこのオーバーハング部の下においてホール
注入電極が露出し、ホール注入電極と電子注入電極とが
接触してショートするということもなく、各有機エレク
トロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえ
るようになった。
ミネッセンス装置及びその製造方法においては、上記の
ように隔壁を有機層上に設けているため、隔壁の上面を
大きくしてオーバーハング部を設けた場合においても、
従来のようにこのオーバーハング部の下においてホール
注入電極が露出し、ホール注入電極と電子注入電極とが
接触してショートするということもなく、各有機エレク
トロルミネッセンス素子において安定した発光が行なえ
るようになった。
【００４６】さらに、上記のように有機層上に隔壁を設
けるため、この有機層を高分子材料で構成する場合にお
いて、ディッピング法やスピンコート法により有機層を
簡単に形成することができるようになった。
けるため、この有機層を高分子材料で構成する場合にお
いて、ディッピング法やスピンコート法により有機層を
簡単に形成することができるようになった。
【００４７】また、電気絶縁性の隔壁の上から電子注入
電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分離さ
れた有機層上に電子注入電極を設けるようにすると、従
来のようにエッチング液が有機層と電子注入電極との間
に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くな
ったり、電子注入電極が酸化されて劣化するということ
もなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において
安定した発光が行なえるようになった。
電極材料を蒸着させて、電気絶縁性の隔壁により分離さ
れた有機層上に電子注入電極を設けるようにすると、従
来のようにエッチング液が有機層と電子注入電極との間
に浸透して、有機層と電子注入電極との接触性が悪くな
ったり、電子注入電極が酸化されて劣化するということ
もなく、各有機エレクトロルミネッセンス素子において
安定した発光が行なえるようになった。
【図１】従来の有機エレクトロルミネッセンス装置の部
分説明図である。
分説明図である。
【図２】この発明の実施例１に係る有機エレクトロルミ
ネッセンス装置において、透明基板の上にホール注入電
極を所要間隔を介して複数列設けた状態を示した平面図
である。
ネッセンス装置において、透明基板の上にホール注入電
極を所要間隔を介して複数列設けた状態を示した平面図
である。
【図３】上記の実施例１に係る有機エレクトロルミネッ
センス装置を製造する工程を示した概略説明図である。
センス装置を製造する工程を示した概略説明図である。
【図４】上記の実施例１に係る有機エレクトロルミネッ
センス装置において、オーバーハング部を有する複数行
の隔壁をホール注入電極と直交するようにして有機層上
に設けた状態を示した平面図である。
センス装置において、オーバーハング部を有する複数行
の隔壁をホール注入電極と直交するようにして有機層上
に設けた状態を示した平面図である。
【図５】この発明の実施例４に係る有機エレクトロルミ
ネッセンス装置を製造する工程を示した概略説明図であ
る。
ネッセンス装置を製造する工程を示した概略説明図であ
る。
１０ 有機エレクトロルミネッセンス素子 １１ 透明基板 １２ ホール注入電極 １３ 有機層 １４ 隔壁 １５ 電子注入電極
Claims (5)
- 【請求項１】 ホール注入電極と電子注入電極との間に
発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミ
ネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミル
ネッセンス装置において、上記の有機層上にパターニン
グされた電気絶縁性の隔壁が設けられ、この隔壁によっ
て有機エレクトロルミネッセンス素子が分離されてなる
ことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載した有機エレクトロルミ
ルネッセンス装置において、上記の有機エレクトロルミ
ネッセンス素子における発光性の有機層が高分子材料で
構成されてなることを特徴とする有機エレクトロルミル
ネッセンス装置。 - 【請求項３】 ホール注入電極と電子注入電極との間に
発光性の有機層が設けられた複数の有機エレクトロルミ
ネッセンス素子が配列されてなる有機エレクトロルミル
ネッセンス装置を製造するにあたり、ホール注入電極上
に発光性の有機層を設ける工程と、この有機層上にパタ
ーニングされた電気絶縁性の隔壁を設ける工程と、上記
の電気絶縁性の隔壁により分離された有機層上に電子注
入電極を設ける工程とを有することを特徴とする有機エ
レクトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 【請求項４】 請求項３に記載した有機エレクトロルミ
ネッセンス装置の製造方法において、上記の発光性の有
機層を高分子材料で構成することを特徴とする有機エレ
クトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 【請求項５】 請求項３又は４に記載した有機エレクト
ロルミネッセンス装置の製造方法において、上記の有機
層上にパターニングされた電気絶縁性の隔壁を設け、こ
の電気絶縁性の隔壁の上から電子注入電極材料を蒸着さ
せて、電気絶縁性の隔壁により分離された有機層上に電
子注入電極を設けることを特徴とする有機エレクトロル
ミネッセンス装置の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34765697A JP3540584B2 (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
| DE69805490T DE69805490T2 (de) | 1997-12-17 | 1998-12-15 | Organisches elektrolumineszentes Gerät und Verfahren zur Herstellung desselben |
| EP98123837A EP0924965B1 (en) | 1997-12-17 | 1998-12-15 | Organic electroluminescent apparatus and method of fabricating the same |
| US09/211,041 US6232713B1 (en) | 1997-12-17 | 1998-12-15 | Organic electroluminescent apparatus and method of fabricating the same |
| US09/791,833 US6352462B2 (en) | 1997-12-17 | 2001-02-26 | Organic electroluminescent apparatus and method of fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34765697A JP3540584B2 (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11185968A true JPH11185968A (ja) | 1999-07-09 |
| JP3540584B2 JP3540584B2 (ja) | 2004-07-07 |
Family
ID=18391703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34765697A Expired - Fee Related JP3540584B2 (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6232713B1 (ja) |
| EP (1) | EP0924965B1 (ja) |
| JP (1) | JP3540584B2 (ja) |
| DE (1) | DE69805490T2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000068071A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-03-03 | Casio Comput Co Ltd | 発光素子及びその製造方法 |
| JP2003059663A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-28 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| JP2003217855A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
| WO2004028216A1 (ja) * | 2002-09-17 | 2004-04-01 | International Business Machines Corporation | 有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置および有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法 |
| KR100570991B1 (ko) * | 2000-12-20 | 2006-04-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 판넬의 제작 방법 |
| KR100723011B1 (ko) * | 2001-05-28 | 2007-05-29 | 주식회사 동진쎄미켐 | 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법 |
| US7553208B2 (en) * | 2003-05-30 | 2009-06-30 | Hitachi Displays, Ltd. | Manufacturing method of organic electroluminescence display device |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6936485B2 (en) * | 2000-03-27 | 2005-08-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a light emitting device |
| TW525402B (en) * | 2001-01-18 | 2003-03-21 | Semiconductor Energy Lab | Process for producing a light emitting device |
| WO2002066885A1 (fr) * | 2001-02-20 | 2002-08-29 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Element luminescent |
| CN1465101A (zh) * | 2001-05-03 | 2003-12-31 | 皇家菲利浦电子有限公司 | 电致发光装置 |
| EP1369499A3 (en) * | 2002-04-15 | 2004-10-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating light-emitting device and apparatus for manufacturing light-emitting device |
| US20110284889A1 (en) * | 2009-01-21 | 2011-11-24 | Tohoku Pioneer Corporation | Organic el panel and method for manufacturing the same |
| JP5113865B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2013-01-09 | 株式会社東芝 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 |
| US9853243B2 (en) | 2013-07-05 | 2017-12-26 | Industrial Technology Research Institute | Flexible display and method for fabricating the same |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220871A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Res Dev Corp Of Japan | 有機エレクトロルミネッセンスデバイス |
| JPH08315981A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-11-29 | Pioneer Electron Corp | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 |
| JPH09102393A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Pioneer Electron Corp | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル及びその製造方法 |
| JPH09298090A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | Ｅｌ素子とその製造方法及びその駆動方法 |
| JPH10233286A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-09-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5276380A (en) | 1991-12-30 | 1994-01-04 | Eastman Kodak Company | Organic electroluminescent image display device |
| JP3208638B2 (ja) * | 1995-01-31 | 2001-09-17 | 双葉電子工業株式会社 | 有機エレクトロルミネセント表示装置およびその製造方法 |
| JP3401356B2 (ja) | 1995-02-21 | 2003-04-28 | パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 |
| JP2815004B2 (ja) * | 1996-10-30 | 1998-10-27 | 日本電気株式会社 | 表示装置およびその製造方法 |
-
1997
- 1997-12-17 JP JP34765697A patent/JP3540584B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-12-15 EP EP98123837A patent/EP0924965B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-15 DE DE69805490T patent/DE69805490T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-15 US US09/211,041 patent/US6232713B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-02-26 US US09/791,833 patent/US6352462B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220871A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Res Dev Corp Of Japan | 有機エレクトロルミネッセンスデバイス |
| JPH08315981A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-11-29 | Pioneer Electron Corp | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 |
| JPH09102393A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Pioneer Electron Corp | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル及びその製造方法 |
| JPH09298090A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | Ｅｌ素子とその製造方法及びその駆動方法 |
| JPH10233286A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-09-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000068071A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-03-03 | Casio Comput Co Ltd | 発光素子及びその製造方法 |
| KR100570991B1 (ko) * | 2000-12-20 | 2006-04-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 판넬의 제작 방법 |
| KR100723011B1 (ko) * | 2001-05-28 | 2007-05-29 | 주식회사 동진쎄미켐 | 보조 전극을 갖는 유기 전기발광 디스플레이의 제조 방법 |
| JP2003059663A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-28 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| JP4578032B2 (ja) * | 2001-08-22 | 2010-11-10 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| JP2003217855A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
| WO2004028216A1 (ja) * | 2002-09-17 | 2004-04-01 | International Business Machines Corporation | 有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置および有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法 |
| JPWO2004028216A1 (ja) * | 2002-09-17 | 2006-01-19 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｂｕｓｉｎｅｓｓ Ｍａｓｃｈｉｎｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置および有機エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法 |
| KR100754309B1 (ko) * | 2002-09-17 | 2007-09-03 | 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션 | 유기 전자발광 표시 장치 및 유기 전자발광 표시 장치의제조 방법 |
| US7553208B2 (en) * | 2003-05-30 | 2009-06-30 | Hitachi Displays, Ltd. | Manufacturing method of organic electroluminescence display device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0924965A1 (en) | 1999-06-23 |
| US6232713B1 (en) | 2001-05-15 |
| US6352462B2 (en) | 2002-03-05 |
| JP3540584B2 (ja) | 2004-07-07 |
| US20010009350A1 (en) | 2001-07-26 |
| DE69805490T2 (de) | 2003-01-16 |
| DE69805490D1 (de) | 2002-06-27 |
| EP0924965B1 (en) | 2002-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3540584B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法 | |
| JPH09293589A (ja) | 有機ｅｌディスプレイの製造方法 | |
| JP4913927B1 (ja) | エレクトロルミネッセント素子、表示装置および照明装置 | |
| WO2011122481A1 (ja) | 発光装置用基板の製造方法 | |
| JP2003007463A (ja) | 有機電界発光表示素子の製造方法 | |
| JP2003203769A (ja) | 線状パターン及びパターン形成方法、画像表示装置及びその製造方法 | |
| US6884140B2 (en) | Organic light emitting device and method of manufacturing the same | |
| JP2007026684A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子 | |
| WO2003092333A1 (fr) | Procede pour fabriquer un element el organique | |
| JP2008108680A (ja) | 有機ｅｌ素子の製造方法 | |
| JP2002151255A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル及びその製造方法 | |
| JP4743577B2 (ja) | 発光素子およびその製造方法 | |
| JP2003059663A (ja) | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 | |
| JP4044362B2 (ja) | 有機ｅｌ素子の製造方法 | |
| JP2001185351A (ja) | 有機発光素子およびその製造方法 | |
| JP4355795B2 (ja) | 有機半導体装置およびその製造方法、ならびに表示装置 | |
| JP2000200680A (ja) | 有機電界発光素子の製造方法 | |
| JPH11191489A (ja) | 有機電界発光装置 | |
| JP2001028295A (ja) | 発光装置の製造方法 | |
| JP2003297573A (ja) | 有機ｅｌ素子を含む表示装置及びその製造方法 | |
| KR100696591B1 (ko) | 유기 전계 발광 소자 | |
| JP2001185361A (ja) | 有機エレクトロルミネセンス表示素子用基板およびそれを用いた有機エレクトロルミネセンス表示素子 | |
| JP3490856B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
| JP2002170688A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
| JP2001093672A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板及び表示素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040309 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040325 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090402 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |