JPH07312430A - 光受信モジュ−ルとその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 116
- JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N gold tin Chemical compound [Sn].[Au] JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 36
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 10
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 8
- LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N lead tin Chemical group [Sn].[Pb] LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910007116 SnPb Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/43—Arrangements comprising a plurality of opto-electronic elements and associated optical interconnections
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/36—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
- H01L2224/37—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
- H01L2224/37001—Core members of the connector
- H01L2224/37099—Material
- H01L2224/371—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/39—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
- H01L2224/40—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
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- H01L2224/40151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/40221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/40245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/4501—Shape
- H01L2224/45012—Cross-sectional shape
- H01L2224/45015—Cross-sectional shape being circular
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
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- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
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- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45147—Copper (Cu) as principal constituent
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Abstract
バイパスコンデンサを実装した光受信モジュ−ルを小型
化し、製造工程を簡略化し製造コストを低減することが
目的である。 【構成】 平行平板コンデンサをパッケ−ジの中央に取
り付けコンデンサの上に受光素子チップを載せて固定す
る。コンデンサと受光素子が積重なっているので、受光
素子の取り付け面積分を削減することができる。コンデ
ンサのスペ−サが不要であるから工程を単純化でき部品
を減らすことができる。より小型の光受信モジュ−ルを
得ることができる。
Description
光受信モジュ−ルとその製造方法に関する。光受信モジ
ュ−ルというのは、光ファイバによって送信されて来た
光信号を電気信号に変換するものである。受光素子、プ
リアンプ、コンデンサをパッケ−ジに取り付け、窓付き
のキャップで封止し、キャップの前端には光ファイバ先
端のフェル−ルを挿入するためのスリ−ブが固定されて
いる。キャップの窓にはレンズを設けて光ファイバから
出た光を収束させることが多い。受光素子であるフォト
ダイオ−ドとこの信号を増幅するためのプリアンプが同
一パッケ−ジ内にあるのでモジュ−ルと呼ぶ。
チップをパッケ−ジに収容したものが用いられた。フォ
トダイオ−ドが光信号を電気信号に変換し、これをピン
に出力し、これをプリント基板などに取り付けたプリア
ンプによって増幅する。しかしこれでは微弱な信号が長
い線路を伝搬することになり雑音が入りやすい。とくに
高周波の場合に、細い線路によるL分のために信号が歪
む。
ないようにするため、光を受けるフォトダイオ−ドと、
フォトダイオ−ドの受信信号を増幅する回路(以下プリ
アンプと呼ぶ)とを一つのパッケ−ジ上に近接して実装
する方法が提案されている。このような光受信モジュ−
ルとして、例えば次の提案がなされている。 堀米信良、守谷薫、織田巌、菊池英治、千葉清四、
「Pre−Amp内蔵PDモジュ−ル」1990年電子
情報通信学会春季全国大会予稿集4分冊C271、4−
326ペ−ジ(図3に示す)
けた基板をステム30に取り付けたものである。ステム
30にはキャップ31を位置決めしてレ−ザ溶接する。
キャップ31の開口にはレンズ32が予め取り付けられ
ている。キャップ31の前端にはレセプタクル33を位
置決めしてレ−ザ溶接する。フォトダイオ−ドはInG
aAs−PINフォトダイオ−ドである。プリアンプは
Siバイポ−ラ型のものを使う。
125μmのグレ−デッドインデクスファイバを使って
いる。このモジュ−ルの大きさは直径が10mm長さは
14mmである。−3dB遮断周波数は200MHzで
あるという。平坦な周波数特性でピ−キングも見られな
いし、100Mbit/s帯光リンクのために十分な特
性が得られたと述べている。フォトダイオ−ドとプリア
ンプは基板の上に設置し、電極間をワイヤボンデイング
によって接続してある。このように素子パッケ−ジの内
部にプリアンプを合体して高速応答性、信頼性を高揚す
るのが目的である。
男、「プリアンプ内蔵PDモジュ−ル」1993年電子
情報通信学会春季全国大会予稿集4分冊C−186、4
−222ペ−ジ(図4に示す) これは、フォトダイオ−ドとプリアンプをステム40に
取り付け、この上にレンズ付きキャップ41を位置決め
し固定したものである。キャップ41の上には(レセプ
タクル(ホルダ)がありここに、ファイバAS42が差
し込まれている。これがナットにより抜け止め固定され
る。プリアンプはSiバイポ−ラ型の素子を使ってい
る。フォトダイオ−ドは受光径80ΦμmのInGaA
s−PINPDである。高感度を必要とする場合は、G
aAs−FETをプリアンプにし、受光径50μmΦの
InGaAs−PIN PDをフォトダイオ−ドに用い
た。光ファイバはコア径10μm、クラッド径125μ
mのシングルモ−ドファイバである。フランジを除くこ
のモジュ−ルの大きさは、直径が7mm、長さが24m
mである。
プリアンプをまとめて収容し信号線を短くしてノイズの
混入を防いでいる。これらの光受信モジュ−ルの場合、
フォトダイオ−ドの受信信号の増幅用のプリアンプはこ
れ専用のIC(集積回路)を作成して用いることが多
い。図3、図4はパッケ−ジに対するプリアンプ、フォ
トダイオ−ドの取り付け部分が明確でない。フォトダイ
オ−ド、プリアンプ取り付けを明らかにした二つの例を
次に説明する。
の断面斜視図である。パッケ−ジ1は市販のものを使
う。フォトダイオ−ド3、プリアンプIC4が基板15
の上に取り付けられる。基板15には電源パタ−ン16
とグランドパタ−ン17が形成される。電源パタ−ン1
6と電源端子11がワイヤで接続される。フォトダイオ
−ド3の上部のリング電極がワイヤによってプリアンプ
IC4の入力端子に接続される。グランドパタ−ンはワ
イヤによりパッケ−ジに接続される。チップコンデンサ
18が、電源パタ−ン16とグランドパタ−ン17を跨
ぐように設けられ両者に半田付けされている。フォトダ
イオ−ドはパッケ−ジの上面の中心にあり、その両側に
プリアンプ4とチップコンデンサ18が設けられる。プ
リアンプ4の増幅後の信号は信号出力端子12から外部
に取り出される。
たキャップ7が固定される。フォトダイオ−ドの受光面
とレンズの中心を合わせてレ−ザで溶接する。キャップ
7の外側には、フェル−ル固定用のスリ−ブ8が位置決
めして溶接される。スリ−ブは、光ファイバ先端のフェ
ル−ルを差し込んで保持することができる。 図6は他の従来例に係る光受信モジュ−ルの断面斜
視図である。これはパッケ−ジ1の上面5に特別のパタ
−ン19、20を形成するものである。グランドパタ−
ン19は長方形の金属でできており、その直下において
ケ−ス端子10に接続されている。電源パタ−ン20は
弓形の金属でできており直下の電源端子11に接続され
る。パッケ−ジ1はリング上の導体と、3本のピン(端
子)10、11、12とこれらを絶縁しながら結合する
絶縁体13(打点によって表す)よりなる。絶縁体13
はこれらの部材を結合し、しかも内部を封止する作用が
ある。このようにピンも特殊で、パッケ−ジは特別製で
ある。
パタ−ン19の上に、プリアンプ4、フォトダイオ−ド
3が搭載される。フォトダイオ−ドの裏面はカソ−ドで
あるので、グランドから浮かす必要がある。このために
絶縁スペ−サ9をグランドパタ−ン19の上に付けてこ
の上にフォトダイオ−ド3を取り付ける。電源パタ−ン
20は、ワイヤにより絶縁スペ−サの上面(金属蒸着
膜)に接続され、これからフォトダイオ−ドの基板に接
続されることになる。電源パタ−ン20はワイヤにより
プリアンプ4に接続される。
ような回路を実現している。電源端子11とグランド1
0の間にコンデンサの両極、プリアンプの電源端子、グ
ランド端子が接続される。プリアンプの出力が信号出力
端子12に接続される。フォトダイオ−ドのカソ−ドが
電源につながり、アノ−ドがプリアンプに接続される。
図5のモジュ−ルでは電源線16がパタ−ン16とな
り、グランド線17がパタ−ン17となる。図6のモジ
ュ−ルでは電源パタ−ン20とグランドパタ−ン19と
なる。図2の例を除き、図9の等価回路はいずれの光受
信モジュ−ルにも共通である。
ュ−ルでは、フォトダイオ−ドとプリアンプとを一つの
パッケ−ジ内に近接して設ける。さらに光受信モジュ−
ルの性能を安定させるためにフォトダイオ−ド及びプリ
アンプの駆動電源とグランドの間にコンデンサを設け
る。これは電源の交流抵抗を下げるとともに、電源にノ
イズフィルタを形成し、雑音が電源を伝って入るのを有
効に防止する。もちろんピンによって接続される電源
(図示せず)には大きい容量のコンデンサがあり、電源
のインピ−ダンスを下げている。しかし、ピンやワイヤ
のL分のために交流抵抗が介在し、電源インピ−ダンス
を実効的に上げてしまう。これを防ぐには、フォトダイ
オ−ドやプリアンプのごく近くにコンデンサを入れる必
要がある。このためにパッケ−ジにコンデンサを入れる
のである。
うなものである。 パッケ−ジ上にコンデンサ、フォトダイオ−ド、プリ
アンプを並べて実装できるような小さな基板15を取り
付ける構造(図5)。 コンデンサ、フォトダイオ−ド、プリアンプを並べて
実装できるようなパタ−ン19、20を持った専用のパ
ッケ−ジを用いる構造(図6)。
がある。は基板を用いるので実装工程が複雑になる。
は専用の複雑な形状(パタ−ン19、20)のパッケ
−ジを作るためコスト高になるという問題があった。そ
れにコンデンサ、フォトダイオ−ドが平面的に配置され
ているために広い面積を必要とし、パッケ−ジが大型化
するという共通の難点がある。このために、製造工程が
簡単で小型の光受信モジュ−ルを実現することができな
い。これらの欠点を克服し、製造工程が簡単で小型の光
受信モジュ−ルを実現することが本発明の目的である。
ダイオ−ド、プリアンプの駆動電源の交流抵抗を下げ、
電圧を平滑化し、雑音を除くためのフィルタとして使用
するバイパスコンデンサを巧みに配置することにより解
決することができる。本発明の光受信モジュ−ルは、パ
ッケ−ジの中央に平行平板コンデンサを取り付けこの上
にフォトダイオ−ドを重ねて接着してなるものである。
平行平板コンデンサの上面がフォトダイオ−ドの電源面
とする。平行平板コンデンサとフォトダイオ−ドを積み
重ねるので、コンデンサのための取り付け面積を殆ど必
要としない。フォトダイオ−ド/コンデンサの積み重ね
による三次元構造に本発明の特徴がある。平行平板コン
デンサは誘電体を金属電極で両側から挟んだものであ
り、フォトダイオ−ドは下面が電源に接続されるべきも
のであるから、平行平板コンデンサをパッケ−ジに付
け、これを電源面にしてこの上にフォトダイオ−ドを載
せるということが可能になる。
ジ中央に付け、この上にフォトダイオ−ドを載せる。コ
ンデンサを取り付ける面積を削減でき、コンデンサと電
源線、コンデンサとグランド線を接続するための配線パ
タ−ンも不要になる。素子を小型にすることができる。
また部品を減らすことにより製造工程が簡略化される。
本発明においては、平行平板コンデンサの使用が最も重
要なポイントである。これを使うので、受光素子をその
上に載せることができる。従来電子部品の上にまた部品
を載せるというようなことはなされず、部品同志は必ず
二次元的に基板の上、あるいはパッケ−ジの上に配置さ
れたものである。三次元的な配置を可能にしたのは平行
平板コンデンサである。
る必要があろう。コンデンサは容量や耐圧の違いにより
さまざまのものが昔から製造され広く使用されている。
容量の小さいpFのオ−ダ−のものはチタン、タンタル
などの誘電体を使う。マイラ−コンデンサはさらにμF
程度までのものが作られる。さらに容量の大きい電源安
定用には電解コンデンサを使う。容量を十分に大きくす
るために、誘電体を金属膜で挟んだ帯状の材料を筒状に
巻いている。
の接続機構によっても分けられる。最も広く使われてい
るコンデンサは、2本の平行なピンによって外部回路に
接続するようにしたものである。裏面に銅メッキのパタ
−ンを有するプリント基板に穴を開けて、これにピンを
差し込み裏で半田付けし、余分の長さを切り取る。ハイ
ブリッドICなどではチップコンデンサが利用される。
これは直方体形状で両端が電極になっており、パタ−ン
の上に於いてリフロ−炉に入れて加熱し半田付けする。
ピンを立てる必要がないので体積を小さくできるし、パ
タ−ンに穴を開ける必要もない。これらのコンデンサは
既に長年の実績がある。
ものである。電気の教科書には平行平板のコンデンサの
概念図が描いてある。コンデンサの基本形は平行平板で
ある。しかし実際に平行平板型のコンデンサが古くから
用いられたのではない。容量は誘電体の面積に比例し、
厚みに反比例する。誘電率にも比例する。従来は容量を
取るために誘電体を巻き付けていた。ピン型でもチップ
型でも内部は、単純な平行平板ではない。ところが十分
に薄い漏れのない誘電体膜を作成できるようになったの
で、狭い面積でも十分な容量を得ることができるように
なってきた。このために誘電体1層を金属電極2層によ
って挟んだ、原理に忠実な平行平板コンデンサが最近に
なって製造できるようになってきた。
リカのDIELECTRIC LABORATORIES INC.が製造販売してい
る。セラミックの誘電体を金層(Au)で挟んでいる。
金にするのは銅パタ−ンに直接半田付けできるようにす
るためである。薄い直方体をしていて、両面が電極であ
るから、マイクロストリップラインに直接に載せて半田
付けすることができる。ラインの幅と平行平板コンデン
サの幅を同一にすることにより、自己誘導Lを減らすこ
とができここでの反射をなくすことができる。
り、外部回路との接続に細いワイヤ等を使わないのでL
分が小さく、周波数が高くて分布定数回路の取り扱いが
適するような高周波回路で有効である。幅Wは0.25
4mm〜2.286mm、長さLは0.254mm〜
2.540mm、厚さTは0.102mm〜0.254
mmである。耐圧は50V用と100V用がある。耐圧
100Vのものは50Vのものより厚みが50%程度厚
い。容量は68pF〜1500pFまである。直流抵抗
は106 MΩ以上である。
0.254mm、L=0.254mm、T=0.102
mmである。耐圧50V用で470pFの平行平板コン
デンサは、W=0.635mm、L=0.762mm、
T=0.102mmである。誘電体の厚みが限定されて
いるので、容量が異なるとサイズも異なってくる。図1
1は平行平板コンデンサの斜視図である。金属50、誘
電体51、金属52を単純に積層した構造になってい
る。ピン付きコンデンサやチップコンデンサとは外形が
全く異なり、外部回路との接続構造も全く違う。
間にコンデンサ2を接続する場合の例を4つ示してい
る。は導体パタ−ン56と同じ幅を持つ平行平板コン
デンサを一方のパタ−ン56の端にぴったりと半田付け
する。コンデンサ2の下面の全体がパタ−ン56に接続
される。上面と他のパタ−ン55とをワイヤ57によっ
て接続する。は2本のワイヤを用いて平行平板コンデ
ンサの上面と、他のパタ−ンとを接続している。は3
本のワイヤを使っている。は金属の薄い板により平行
平板コンデンサ上面と他のパタ−ンとをつないでいる。
線路の誘導Lが下がるので、信号の遅延、歪み、反射等
を防ぐことができる。L、Rが最小であるので、が平
行平板コンデンサの接続方法としては最も望ましい。図
13に示すように二つの平行平板コンデンサ61、62
を、マイクロストリップライン63と、グランド面6
4、65の間に入れるために、ボンデイングストライプ
66を用いている。コンデンサ61、62の下面の全体
がグランド面に接着され、上面が広いストライプ66
で、ライン63に接続されている。ために線路(ストラ
イプ)の自己誘導Lが極めて小さくなっている。このよ
うに平行平板コンデンサは電極面積が広く直接に導体パ
タ−ンと半田付けできるので、中間の線路(ワイヤや細
い導体、プリントパタ−ン)を介在させることによる交
流抵抗の増加を抑制できる。高周波回路に最適である。
8、69は電源パタ−ンである。67がグランドライン
である。この間に平行平板コンデンサ70を入れてい
る。コンデンサの下面を直接グランド面に半田付けし、
上面は2本ずつのワイヤにより異なる電源面68、69
に接続される。平行平板コンデンサはこのように新型の
小型のコンデンサである。グランドと電源線の間に挿入
されて、ノイズを取る作用がある。いずれの場合も、下
面をパタ−ンに半田付けし、上面はワイヤか金属箔であ
るストライプにより他のパタ−ンに接続される。これが
平行平板コンデンサの接続方法である。他の利用法、他
の配置はこれまで試みられていない。本発明のように平
行平板コンデンサの上に他のデバイスを載せるような取
り付け方法は、曾て試みられたことがない。
デンサの上にフォトダイオ−ドを積み重ねて、必要面積
を節約し、部品点数を減らし、工程を減らしている。以
下、実施例を示す図面によって説明する。図1は本発明
の実施例に係る光受信モジュ−ルの斜視図である。パッ
ケ−ジとしては、直径5.6mmφの汎用3ピンパッケ
−ジ1を用いている。これは通常のトランジスタなどに
使われる有りふれたパッケ−ジである。3つのピン1
0、11、12を有する。
り、ア−スを兼ねるパッケ−ジのケ−ス端子10であ
る。次の1本は電源ピン11である。最後の1本は信号
出力ピン12である。ケ−ス端子10はパッケ−ジに半
田付けされ一体化している。パッケ−ジ1の上面5に
は、電源端子11、信号出力端子12の上端が突出して
いる。ケ−スとの間には絶縁物14、13があり、これ
らのピンをケ−スに対して絶縁しつつ保持する作用があ
る。
の平行平板コンデンサがAuSn(金錫)半田によって
固定されている。コンデンサの大きさは約0.9mm×
1.0mm×0.1mmである。平行平板コンデンサで
あるので下面と上面が電極である。下面が直接にグラン
ド面であるパッケ−ジに半田付けされる。この金錫半田
の融点は286℃である。コンデンサの上面が他の電極
になっている。平行平板コンデンサ2の電極面である上
面には、フォトダイオ−ド3がパッケ−ジ中央に合致す
るよう位置決めされた後、半田付けされる。半田はSn
Pb(錫鉛)であり、この例では融点が240℃のもの
を使っている。
現する上において重要である。パッケ−ジに平行平板コ
ンデンサの下面を取り付ける半田を第1半田と呼ぶこと
にする。これの融点をTc1とする。平行平板コンデン
サの上面とフォトダイオ−ドの下面を接合する半田を第
2半田と呼ぶことにする。これの融点をTc2とする。
第1半田でコンデンサをパッケ−ジに付けた後、コンデ
ンサの上にフォトダイオ−ドを第2半田で付けるのであ
るから、当然Tc1>Tc2でなければならない。反対
であると、第2半田を溶かす時に第1半田が解けてしま
い、平行平板コンデンサの位置がずれてしまうからであ
る。半田の融点の差は20℃以上あるのが望ましい。上
の例ではTc1=286℃、Tc2=240℃であるか
らこの条件を満足している。金錫と錫鉛の半田の組合せ
以外にもこのような組合せは可能である。
イオ−ド3の実装構造を示す断面図である。パッケ−ジ
1の上に、平行平板コンデンサ2がAuSn半田81に
より固定される。平行平板コンデンサ2は金属52を下
面全体に有するので全面で半田付けされる。平行平板コ
ンデンサ2の上にSnPb半田82によってフォトダイ
オ−ド3が半田付けされる。フォトダイオ−ドの下面は
全体が金属膜(金層)91(P側電極)になっているの
で、直接に、全体的に半田付けされる。
ランド電位に、上面電極50は電源電位になる。ワイヤ
21によって上面50が電源ピン11に接続される。こ
のフォトダイオ−ド3は低抵抗のn型基板の上に形成し
たものである。フォトダイオ−ドは任意の種類のものを
使うことができる。つまり基板はGaAs、Si、In
Pなど受光素子になり得るものであれば良い。ここに示
す例は低抵抗n型基板92、バッファ層93、受光層9
4、窓層95を積層し中央部に拡散によりp型領域96
を形成している。p型領域の周囲にリング状P側電極9
7を形成している。99は保護膜、98は反射防止膜で
ある。リング状P側電極にはワイヤ23がボンデイング
されている。これが信号の出力端子になり、プリアンプ
に接続される。
プIC4がダイボンドされる。これらの部品は、平行平
板コンデンサ2、プリアンプIC4、フォトダイオ−ド
3の順でパッケ−ジに取り付けられる。部品実装後、太
さ20μmの金(Au)ワイヤにより、回路の接続をし
た。
子の組を接続する。 電源ピンと平行平板コンデンサの上面(ワイヤ21) 平行平板コンデンサの上面とプリアンプICの電源端
子(ワイヤ22) フォトダイオ−ドの信号出力端子(アノ−ド端子)と
プリアンプICの入力端子(ワイヤ23) プリアンプICの出力端子とパッケ−ジの信号出力ピ
ン(ワイヤ25) プリアンプICの接地端子からパッケ−ジ本体(ワイ
ヤ24)
1上に、乾燥窒素雰囲気中で球レンズ6付き金属キャッ
プ7を取り付ける。まずフォトダイオ−ドに入射する光
強度が最大となるように位置合わせし、抵抗溶接法によ
り溶接固定する。レ−ザ溶接でも差し支えない。さら
に、光コネクタのフェル−ルを差し込み固定するための
フェル−ル固定用スリ−ブをパッケ−ジ上で位置決めす
る。最適位置でスリ−ブをパッケ−ジに溶接固定し、光
受信モジュ−ルを完成した。この構造ではスリ−ブがパ
ッケ−ジに取り付けられる。しかし、スリ−ブをキャッ
プに固定するようにしても良い。
3.0mmの領域に全ての必要な部品を実装することが
できた。であるから、パッケ−ジの直径は5.6mmの
ものを使うことができる。従来のものに比べて狭い面積
の汎用パッケ−ジを使用できる。従来構造の場合は、コ
ンデンサとフォトダイオ−ドが別異の場所に取り付けら
れるから部品の取り付け面積をより多く必要とする。ど
のようにしても、直径4.0mm以上の領域を必要とす
る。パッケ−ジは10mmΦとか8mmΦのものを必要
としていた。最小でも7mmΦのパッケ−ジが必要であ
った。
より、光受信素子の小型化が可能である。また光受信素
子の絶縁スペ−サが不要になるので、部品点数を減らす
ことにより製造工程を簡略化することができる。本発明
の光受信モジュ−ルの性能を評価するために、125M
ビット/秒で動作する光受信素子の周波数特性を測定し
た。その結果を図15に示す。同じ図に従来例に係る光
受信モジュ−ルの性能をも示す。実線は本発明によるも
のである。破線が従来例によるものである。150MH
z以上まで平坦な信号出力が得られる。3dB遮断周波
数は200MHzである。従来例は90MHzまで平坦
であるが、100MHzでピ−クが出ている。3dB遮
断周波数は130MHzである。本発明による装置は従
来例と同等以上の高周波性能が得られるということがわ
かる。
ォトダイオ−ドの間に実装されたコンデンサをフォトダ
イオ−ドとプリアンプICの共通の駆動電源のバイパス
コンデンサとして利用する例である。この他にもコンデ
ンサをフォトダイオ−ドのみ、或いはプリアンプのみの
バイパスコンデンサとして利用することもできる。図2
はフォトダイオ−ドのみのバイパスコンデンサとする例
を示す。電源を別にするために、4ピンのパッケ−ジが
用いられる。そして電源端子を2つに分けて、フォトダ
イオ−ド3とプリアンプ4の駆動電源を別々に取るよう
にする。この場合、フォトダイオ−ド3とパッケ−ジ1
の間にある平行平板型のコンデンサ2をフォトダイオ−
ド3の駆動電源のみのバイパスコンデンサとして利用す
る。図2は斜視図で、図10は回路図である。
平行平板コンデンサ2が半田付け(金錫)され、その上
にフォトダイオ−ド3が半田付け(錫鉛)される。周辺
部にプリアンプIC4がやはり半田付けされる。プリア
ンプ4の底面、平行平板コンデンサ2の底面はケ−スに
直付けされるのでグランド電位である。フォトダイオ−
ド電源ピン11と平行平板コンデンサ2の上面がワイヤ
21で接続される。プリアンプ電源ピン27とプリアン
プ4の電源用パッドがワイヤ28によって接続される。
ダイオ−ド3のリング電極がプリアンプの入力パッドに
ワイヤ23で接続される。プリアンプ4の信号出力パッ
ドがワイヤ25により信号出力端子12につながれる。
プリアンプの底面がグランドでない場合はワイヤ24で
プリアンプのグランドパッドがワイヤ24によってケ−
スに接続される。本発明において、フォトダイオ−ドは
n型低抵抗基板の上に作製された物に限らない。p型基
板の上に作製されたフォトダイオ−ドでも良い。この場
合は、電極が負電圧になるし、回路の各部品の極性が反
対になる。また、GaAsのフォトダイオ−ドのよう
に、半絶縁性の基板の上に作製されたものであったも良
い。この場合は基板を通して電流が流れないので、フォ
トダイオ−ド上面の電極とその直下のコンデンサをワイ
ヤで接続する必要がある。さらに駆動電圧も+5Vに限
定されない。
φの汎用パッケ−ジに限らず、さまざまな形状、ピン数
のパッケ−ジを使うことができる。何れにしても実装面
積をより狭くでき、部品点数を減らすことができる。平
行平板型のコンデンサもさまざまの形状、容量のものが
可能である。また回路接続用のワイヤは金(Au)に限
定されるものではない。アルミニウム(Al)、銅(C
u)などのワイヤを用いることもできる。その張り方も
上記の実施例に限定されるものではない。
ォトダイオ−ドを実装することにより、光受信モジュ−
ルの小型化、実装工程の簡略化という効果をあげること
ができる。平面図によって比較すると、より明らかであ
る。図7は図1に示す本発明の実施例のパッケ−ジの上
面を示す。図8は図5の従来例のパッケ−ジの平面図で
ある。面積の違いがよく分かる。
ッケ−ジに取り付けこの上にフォトダイオ−ドを実装し
ている。このように実装方法を工夫してコンデンサの上
に他の素子を置くというのはこれまでにない構成であ
る。これにより実装面積を縮小することができるので、
素子を小型化することができる。図5の特別の基板や図
6のスペ−サを省くことができ、実装工程を単純化する
ことができる。本発明は、小型で、低価格、高性能の光
受信モジュ−ルを提供することができる。
の中央断面斜視図。
の中央断面斜視図。
1、第4分冊326頁に記載のプリアンプ内蔵PDモジ
ュ−ルの一部縦断側面図。
6、第4分冊222頁に記載のプリアンプ内蔵PDモジ
ュ−ルの一部縦断側面図。
にコンデンサ、フォトダイオ−ド、プリアンプを固定す
る従来例に係る光受信モジュ−ルの中央縦断斜視図。
きのピン、及び信号ピンを円筒状のパッケ−ジ本体と絶
縁体で結合してなる従来例に係る光受信モジュ−ルの中
央縦断斜視図。
回路図。
−ルの回路図。
ップラインの間に取り付ける構造を示す4つの例。
ド面と1本の導体パタ−ンの間に挿入する場合の部品取
り付け図。
サを取り付ける例を示す部品取り付け図。
性を示すグラフ。
ッケ−ジの上に半田により平行平板コンデンサを取り付
けさらに半田により受光素子を取り付けた構造の断面
図。
Claims (5)
- 【請求項1】 ケ−ス端子と信号出力端子と電源端子を
有するパッケ−ジと、電源とグランドの間に接続されパ
ッケ−ジの中央部に取り付けた平行平板コンデンサと、
光ファイバからの光を受光し平行平板コンデンサの上に
固定されたフォトダイオ−ドと、パッケ−ジの周辺部に
固定されフォトダイオ−ドの信号を増幅するプリアンプ
と、ケ−スの上面を被蓋するレンズ付きキャップと、パ
ッケ−ジまたはキャップに固定され光ファイバ先端のフ
ェル−ルを固定するためのスリ−ブと、端子と平行平板
コンデンサ、プリアンプ、フォトダイオ−ドの間にボン
ドされるワイヤとよりなる事を特徴とする光受信モジュ
−ル。 - 【請求項2】 ケ−ス端子と信号出力端子とフォトダイ
オ−ド電源端子とプリアンプ電源端子を有するパッケ−
ジと、フォトダイオ−ド電源とグランドの間に接続され
パッケ−ジの中央部に取り付けた平行平板コンデンサ
と、光ファイバからの光を受光し平行平板コンデンサの
上に固定されたフォトダイオ−ドと、パッケ−ジの周辺
部に固定されフォトダイオ−ドの信号を増幅するプリア
ンプと、ケ−スの上面を被蓋するレンズ付きキャップ
と、パッケ−ジまたはキャップに固定され光ファイバ先
端のフェル−ルを固定するためのスリ−ブと、端子と平
行平板コンデンサ、プリアンプ、フォトダイオ−ドの間
にボンドされるワイヤとよりなる事を特徴とする光受信
モジュ−ル。 - 【請求項3】 グランドケ−ス端子、電源端子、信号出
力端子を有するパッケ−ジの中央部に第1半田により平
行平板コンデンサを半田付けし、パッケ−ジ周辺部にプ
リアンプを取り付け、第1半田より融点の低い第2半田
により平行平板コンデンサの上にフォトダイオ−ドを半
田付けし、各端子とフォトダイオ−ド、プリアンプ、平
行平板コンデンサと各パッドの間をワイヤボンデイング
し、レンズ付きキャップを位置決めしてパッケ−ジに固
定し、フェル−ル固定用スリ−ブをパッケ−ジあるいは
キャップに固定することを特徴とする光受信モジュ−ル
の製造方法。 - 【請求項4】 第1半田の融点Tc1と第2半田のTc
2とが20℃以上異なることを特徴とする請求項3に記
載の光受信モジュ−ルの製造方法。 - 【請求項5】 第1半田が金錫(AuSn)であり、第
2半田が錫鉛(SnPb)である事を特徴とする請求項
4に記載の光受信モジュ−ルの製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6126973A JP3047735B2 (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | 光受信モジュ−ルとその製造方法 |
DE69519894T DE69519894T2 (de) | 1994-05-16 | 1995-05-02 | Photodetektor-Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
EP19950302974 EP0684651B1 (en) | 1994-05-16 | 1995-05-02 | Photodetector module and method of making same |
CA002148894A CA2148894C (en) | 1994-05-16 | 1995-05-08 | Photodetector module and method of making same |
KR1019950011519A KR0167628B1 (ko) | 1994-05-16 | 1995-05-11 | 광수신모듈과 그 제조방법 |
TW84104778A TW275169B (ja) | 1994-05-16 | 1995-05-15 | |
US08/439,669 US5610395A (en) | 1994-05-16 | 1995-05-15 | Photodetector module with a photodiode electrically connected directly on top of a parallel plate capacitor |
JP2000004625A JP3623144B2 (ja) | 1994-05-16 | 2000-01-13 | 光受信モジュ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6126973A JP3047735B2 (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | 光受信モジュ−ルとその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000004625A Division JP3623144B2 (ja) | 1994-05-16 | 2000-01-13 | 光受信モジュ−ル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07312430A true JPH07312430A (ja) | 1995-11-28 |
JP3047735B2 JP3047735B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=14948485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6126973A Expired - Lifetime JP3047735B2 (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | 光受信モジュ−ルとその製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5610395A (ja) |
EP (1) | EP0684651B1 (ja) |
JP (1) | JP3047735B2 (ja) |
KR (1) | KR0167628B1 (ja) |
CA (1) | CA2148894C (ja) |
DE (1) | DE69519894T2 (ja) |
TW (1) | TW275169B (ja) |
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WO2023063196A1 (ja) * | 2021-10-11 | 2023-04-20 | 古河電気工業株式会社 | 光学装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3047735B2 (ja) | 2000-06-05 |
EP0684651A3 (en) | 1997-04-02 |
KR950033539A (ko) | 1995-12-26 |
DE69519894D1 (de) | 2001-02-22 |
DE69519894T2 (de) | 2001-06-07 |
TW275169B (ja) | 1996-05-01 |
CA2148894C (en) | 1999-05-11 |
EP0684651A2 (en) | 1995-11-29 |
EP0684651B1 (en) | 2001-01-17 |
US5610395A (en) | 1997-03-11 |
KR0167628B1 (ko) | 1999-04-15 |
CA2148894A1 (en) | 1995-11-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090324 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090324 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100324 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100324 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110324 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110324 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120324 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120324 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130324 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140324 Year of fee payment: 14 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |