JPH06508480A - マスクによってプログラム可能なゲートアレイ用の基本セル構造 - Google Patents

マスクによってプログラム可能なゲートアレイ用の基本セル構造

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JPH06508480A
JPH06508480A JP5501049A JP50104993A JPH06508480A JP H06508480 A JPH06508480 A JP H06508480A JP 5501049 A JP5501049 A JP 5501049A JP 50104993 A JP50104993 A JP 50104993A JP H06508480 A JPH06508480 A JP H06508480A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 マスクによってプログラム可能なゲートアレイ用の基本セル構造 lLL1 2出願は、米国特許第5,055,716号“Ba5fc Ce1l for  BiCMO8Gate Array、“とじて発行された、Abbas EI  Gamalによる米国特許出願第071524,183号に関連するものであり 、この米国特許出願明細書は、ここで言及したことにより本出願の一部とされた い。
の 本発明は、集積回路に関し、特にプログラム可能なゲートアレイを含む特定用途 向は集積回路に関する。
匡釆互肢歪 100万個以上のトランジスタを含むことのあるプログラム可能なゲートアレイ は、経済的な特定用途向は集積回路(ASIC)を形成するために用いられる。
プログラム可能なゲートアレイは、金属マスクによってプログラム可能、電気的 にプログラム可能、またはレーザによってプログラム可能である。マスクによっ てプログラム可能なゲートアレイでは、接続されていないゲートアレイを含むシ リコン基板をマスクスライスまたはマスクイメージと呼ぶ。
マスクスライスをカスタム化することを望む利用者は、公知のソフトウェアプロ グラムと、ゲートアレイ内のトランジスタを選択的に接続するためのマクロセル ライブラリに含まれた予め決められた論理回路構造とを用いて、ASICを提供 する。
ある形式の金属マスクによってプログラム可能なゲートアレイでは、セルのアレ イが、1枚のチップ上に形成され、各セルは複数の接続されていない構成要素か らなる。典型的な構成では、各セルには多種類の構成要素が存在して、マクロセ ルの設計者が各セル内でまたはセルの組合せを用いて種々の論理回路を形成する ことを可能とする。理想的には、各マクロセルが最適な数及び種類の構成要素を 含むことによって、設計者が、接続用配線の長さを最短にして、最小のシリコン 領域を使用し、各マクロセルの高い性能を獲得するためのその他の技術を用いて 、他種類のマクロセルを構成できることが望まれる。
Nチャネル及びPチャネルMOSFETが電源端子とグランドとの間に直列接続 されたCMOSトランジスタの消費電力が小さいために、プログラム可能なゲー トアレイ構造では、CMOSトランジスタがセルの構成要素を含む。
これらのCMOSl−ランジスタのゲートはコモンに接続されているので、一方 のトランジスタがオフのときもう一方のトランジスタがオンとなり、電源端子と グランドとの間の低インピーダンスパスが形成されることを防止する。これらの CMOSトランジスタは、多種類のマクロセルを形成するためのビルディングブ ロック(buildingblock)として用いられる。
第1図に示された従来のCMOSゲートアレイセルは、じ寸法のPチャネルトラ ンジスタ4とを含む。そのようなセルは、Dフリップフロップ及びSRAMセル のようなメモリ素子を実施するためには効果的ではなく、その出力駆動能力は非 常に限られたものである。そのような従来技術のセルで用いられるトランジスタ の寸法は、例えば1個または2個の低いファンアウトを駆動するためには必要以 上に大きく、例えば5個以上の高いファンアウトを駆動するためには不十分であ る。低いファンアウトを駆動するために必要以上に大きなトランジスタの寸法を 採用した結果、論理マクロセルのかなり大きい入力キャパシタンスによって、動 作時のマクロセルの消費電力が必要以上に大きくなり、更にクロー/クネット( clock nets)のローディングが必要以上に大きくなる。
典型的なトランジスタは、5個を超えるファンアウトを適切に駆動するためには 、あまりにも小型なので、2個以上のマクロセルが並列接続されるか、または個 別のバッファが構造内に導入されなければならない。このような大型のマクロセ ルは、シリコン領域の無効な利用を増加させ、接続ラインの長さを増加させる。
更に、従来技術では、SRAMセルを実施する能力を改良するために、2つの異 なる寸法のNチャネルトランジス夕と共にCMOSゲートアレイセルが用いられ ている。小型のNチャネルトランジスタは、大型のNチャネルトランジスタの約 3分の1以下の寸法を有する。これらの従来技術のセルは、種々の論理関数を実 施するために小型のPチャネルトランジスタをも組み入れている。しかし、その ようなセルでは、大型のトランジスタは依然として低いファンアウトを駆動する ためには必要以上に大きく、高いファンアウトを駆動するためには不十分であり 、一方小型のトランジスタは、はぼ全てのファンアウトを駆動するためには不十 分である。このような従来技術の素子が高いファンアウトを駆動するためには、 2個以上のマクロセルが並列接続されるか、または個別のバッファが導入されな ければならない。
従来技術では、SRAMで用いられる小型のトランジスタは、Dフリップフロッ プのような論理マクロセルを実施するためには使用されないので、これらの論理 マクロセルはシリコン領域を未使用のまま残していた。更に、マクロセルの入力 キャパシタンスは、必要以上に大きいものである。
魚朋J1」要 全面素子敷き詰め型ゲートアレイなどの金属マスクによってプログラム可能なゲ ートアレイに用いるための非常に効率的なCMOSセル構造が開示される。本発 明のある実施例に基づけば、基本セル内では、3種類以上の寸法のNチャネルト ランジスタと、3種類以上の寸法のPチャネルトランジスタとが用いられている 。大型のトランジスタは、セルの駆動部分に組み入れられ、小型のトランジスタ は、セルの計算部分に組み入れられている。大型のトランジスタは高いファンア ウトを駆動するために使用されるばかりでな(、論理関数を実施するためにも使 用され、一方小型のトランジスタは、SRAMセル、論理関数、及び低いファン アウトを駆動するために使用される。
計算及び駆動部分の特定のトランジスタと、計算及び駆動部分のトランジスタの 構成によって、実際のシリコン領域が非常に効率良く使用され、必要な多種類の マクロセルを形成することが可能になる。
の な−日 第1図は、従来技術のセルを表す図である。
第2図は、マスクによってプログラム可能な全面素子敷き詰め型ゲート構造の好 適な実施例のセル用の基本セル構造を表す図である。
第3a図及び第3b図は、第2図のセルの1つの計算部分を用いて構成されたS RAMを例示した図である。
第4図乃至第7図は、第2図及び第8図に示されたセル構造及びアレイの配置に よって実施される種々の論理回路またはマクロセルを表す図である。
第8a図及び第8b図は、マスクによってプログラム可能な全面素子敷き詰め型 ゲート構造の計算及び駆動部分のタイリングの一例を示す図である。
第9図は、第2図の基本セル構造の1つの計算部分の好適な配置を表す図である 。
第10a図乃至第10c図は、本発明の計算部分と共に使用される駆動部分を例 示する図である。
第11図は、本発明に基づく基本セルを例示する図である。
第12図は、ゲートアレイを組み入れたASIC素子を例示する図である。
な の−な−日 本発明の好適な実施例が第2図に例示されており、1つのマスクによってプログ ラム可能なゲートアレイセルが、1個以上の計算部分6.8及び10を含み、1 つの駆動部分12を含むかまたは他のセルと1つの駆動部分を共有する。第2図 に示されたマスクによってプログラム可能なゲートアレイセルは、3種類の寸法 のNチャネルトランジスタと、3種類の寸法のPチャネルトランジスタとを有す る。
大型のNチャネルトランジスタ14及び15と、大型のPチャネルトランジスタ 16及び17が駆動部分12に配置されており、計算部分6.8及び10の任意 のトランジスタよりも広いチャネル幅を有する。中型のPチャネルトランジスタ 18〜23と、中型のNチャネルトランジスタ24〜29は、大型のPチャネル トランジスタ及びNチャネルトランジスタ14〜17の約1/2のチャネル幅を 有する。小型のNチャネルトランジスタ30〜35は、中型のPチャネルトラン ジスタ及びNチャネルトランジスタ18〜29の約1/2〜1/3の寸法を有し 、小型のPチャネルトランジスタ36〜41は、小型のNチャネルトランジスタ 30〜35よりも狭い寸法を有する。好適な実施例で用いられたチャネル幅とチ ャネル長の比(W/ L )が第2図に例示されている。各計算部分6.8及び 10は、等しいことが好ましい。
第2に示された好適な実施例は、3個の計算部分6.8及び10と、1個の駆動 部分12とを有するが、任意の個数の計算部分と駆動部分が互いに隣接して配置 されて1つのセルが形成される。1つの計算部分6.8またはlOは、2個の中 型のNチャネルトランジスタ(例えば24及び25)と、2個の小型のNチャネ ルトランジスタ(例えば30及び31)と、2個の中型のPチャネルトランジス タ(例えば18及び19)と、2個の小型のPチャネルトランジスタ(例えば3 6及び37)とを有する。
2つの計算部分の小型及び中型のトランジスタは、第3a図にその一方が図示さ れた2つの6個のトランジスタからなるSRAMセルを実施するために用いられ る。第3a図では、小型のPチャネルトランジスタ36及び37が、プルアップ 用トランジスタとしてCMOSインバータ50及び52で用いられ、一方小型の Nチャネルトランジスタ24及び25が、プルダウン用トランジスタとしてイン バ−タ50及び52で用いられている。これはCMOSインバータ50または5 2を表す第3b図に例示されている。
小型のNチャネルトランジスタ30及び31は、パストランジスタとして第3a 図のSRAMで用いられている。
第4図のDフリップフロップは、3個の計算部分を有する第2図の完全なセルを 用いることによって構成される。
各インバータは、中型のPチャネルトランジスタ(または小型のPチャネルトラ ンジスタと並列接続された中型のトランジスタ)及び中型のNチャネルトランジ スタを用いることによって形成される。第4図に示されている他のトランジスタ は、その相対的な寸法で描かれている。
低いファンアウト(例えば1個または2個)を駆動するためのマクロセルは、第 5図のNANDゲートのように、1つの計算部分の中型及び小型のトランジスタ のみを用いて実施される。第5図では、直接接続されたNチャネルトランジスタ 60及び62は中型のトランジスタである。小型及び中型のPチャネルトランジ スタ64及び66は、駆動能力を追加するために並列に接続されている。
中程度のファンアウト(例えば3個から5個)を駆動するためのマクロセルは、 第6図の4人力NANDゲート内に例示された大型のN及びPチャネルトランジ スタ70及び72のような、論理素子として駆動部分に存在する大型のN及びP チャネルトランジスタを更に用いる。
大きいファンアウト(例えば5個以上)を駆動するためには、2個以上の駆動部 分のトランジスタが、第7図に示される大型のトランジスタ74〜77のように 並列に接続されている。
セルの各計算部分に含まれる特定の素子によって、実際のシリコン領域を非常に 効率よく使用することができる。
論理マクロセルを実施するために、小型及び中型のトランジスタを用いることに よって達成されたシリコン領域の節約に加えて、それらのトランジスタを使用す ることによって、従来のゲートアレイに比較して、マクロセルの入力の容量性負 荷を減少することができる。これは、動作時の電力消費の減少と、クロックネッ トのローディングのためにとりわけ有益である。
セルの各計算部分の素子間のポリシリコン及び拡散による接続は、マクロセルを 形成するために1個または複数のセルのトランジスタ間でのラウティングを可能 とするように選択される。計算部分のトランジスタの寸法は、従来のゲートアレ イのセルのトランジスタの寸法より非常に小さく、セル内のトランジスタ間の接 続がより困難となるので、この選択は重要である。
1つのセルの駆動部分の個数に対する計算部分の個数は、利用可能なゲートの密 度(即ち単位面積当たりのゲートの数)を最適にするように選択されなければな らない。駆動部分に対する計算部分の比が低い場合、駆動能力が高いという利点 があるが、しかし多くのマクロセルがDフリップフロップとして実施される場合 や、SRAMセルのような低い駆動能力が要求されるマクロセルとして用いられ る場合には、利用されないシリコン領域が多くなる。一方、駆動部分に対する計 算部分の比が高い場合、低い駆動能力のマクロセルやDフリップフロップを実施 する場合には効率はよいが、小型のマクロセル(即ち2人カゲートを備えたマク ロセル)及び高い駆動能力のマクロセルを実施する場合には効率が悪いものとな る。セルの計算部分と駆動部分との最適な比率は、マクロセルが用いられる目的 とする設計の統計及び論理マツピングによって決定される。
実験的なアプローチを用いることによって、第2図に示すような1個の駆動部分 に対する3個の計算部分という比率が、最適なシリコン領域の利用を達成するこ とが決定された。しかし、マクロセルの利用される目的とする設計の統計が変化 した場合には、最適な比率は変化する。実際1つのマスクイメージ内で複数の比 率を用いることは有益である。これは第8a図及び第8b図に例示されており、 第8a図には、1個の駆動部分(即ち83)に関連付けられた3個の計算部分( 即ち80.81及び82)を有する均一なマスクイメージが示されており、第8 b図には、1個の駆動部分(即ち90または91)に関連付けられた4個の計算 部分(即ち84〜87)または2個の計算部分(即ち80及び89)を備えた不 均一なマスクイメージが示されている。
第2図に示された各計算部分の好適な配置が第9図に示されている。第9図では 、トランジスタは、第2図の計算部分6のトランジスタと対応するように符号が 付されている。第9図から分かるように、1つのポリシリコンゲート100がト ランジスタ18.36及び24を制御するために用いられ、1つのポリシリコン ゲート102がトランジスタ19.37及び25を制御するために用いられてい る。
個別のゲート104及び106がNチャネルトランジスタ30及び31を制御し 、これらのトランジスタが、第3図のSRAMで用いられているパストランジス タ30及び31のように独立して動作する。種々のトランジスタのN型及びP型 のソース/ドレイン拡散が、第9図の斜線の部分として示されている。図示され たように、中型及び小型のPチャネルトランジスタの中心の拡散は、拡散によっ て形成されたP型の接続部分110によって共通に形成されている。
第9図の構造は、公知の従来技術を用いることによって形成される。
第2図の駆動部分12の大型のPチャネルトランジスタを、NPNバイポーラト ランジスタに置き換えることによって、BiNMO5型ドライバがマクロセルの 出力に加えられ、性能が大きく改善される。
1つのB1CMOSバッファを実施するために2個のNPNバイポーラ素子を含 む駆動部または、相補的BiCMOSバッファを実施するべく1個のNPNバイ ポーラトランジスタと1個のPNPバイポーラトランジスタとを含む駆動部分が 、開示された計算部分と共に用いられても良い。
第10a図乃至第10c図は、本発明のセルで用いられる駆動部分の3つの例を 示している。
これまで説明された基本セルが第11図に示されており、この基本セルは、小型 及び中型のトランジスタを含む1個または複数の計算部分と、大型のMOSFE T及びまたはバイポーラトランジスタを含む1個または複数の駆動部分から形成 される。第11図のセルの駆動部分が削除れされ、より大きな負荷を駆動するた めに、計算部分のトランジスタがより大型に形成されたならば、その結果、セル は非常に有益なものになる。
第12図は、金属化されているかまたは金属化されていない、第2図、第8図及 び第11図に示されたセルを有するアレイ124を備えたASIC120が示さ れている。
このASICでは、アレイ124の外側のチップの領域は、アレイ124に相互 作用を及ぼすように接続された他の回路が含まれている。ASrC120はまた 複数のアレイ124を含むこともできる。
本出願の明細書で説明された計算部分と、米国特許第5゜055.716号とし て発行された米国特許出願第071524.183号の明細書で説明された計算 部分との主な違いは、 1)各計算部分に小型のPチャネルトランジスタが加えられたこと、2)中型の Pチャネルトランジスタが、小型のNチャネルトランジスタよりも少ない電流処 理能力を有する必要がなくなったこと、3)各計算部分の寸法が減少されたこと 、4)細かい部分がポリシリコン及び拡散によって予め接続されたことである。
本発明の特定の実施例が例示されがっ説明されたが、種々の変型及び変更が、本 発明の技術的視点を逸脱することなしに、より広い形態内で実施することが可能 であり、従って添付の請求項が本発明の技術的視点をカバーし、また上述された 変型及び変更が本発明の真髄及び技術的視点内で実施可能なことは当業者には明 らがである。
駆動部分 、駆動部分 駆動5分 基本セルの構造 補正書の翻訳文提出書 (特許法第184条の7第1項) (至) 平成5年12月13日

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.マスクによってプログラム可能なゲートアレイ内で用いるための基本セルで あって、 3種類以上の寸法のNチャネルトランジスタと、3種類以上の寸法のPチャネル トランジスタとを有し、前記寸法がチャネル幅に対応することを特徴とする基本 セル。
  2. 2.前記3種類の寸法のNチャネルトランジスタが、1個または複数の小型の寸 法のNチャネルトランジスタと、1個または複数の中型の寸法のNチャネルトラ ンジスタと、1個または複数の大型の寸法のNチャネルトランジスタとを含み、 前記3種類の寸法のPチャネルトランジスタが、1個または複数の小型の寸法の Pチャネルトランジスタと、1個または複数の中型の寸法のPチャネルトランジ スタと、1個または複数の大型の寸法のPチャネルトランジスタとを含み、 前記中型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタが各々、 前記小型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタの少なく とも2倍の寸法を有し、 前記大型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタが各々、 前記中型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタよりも大 きいことを特徴とする請求項1に記載の基本セル。
  3. 3.マスクによってプログラム可能なゲートアレイ内に用いるための基本セルで あって、 1個または複数の略四角形の計算部分と、1個または複数の駆動部分とを有し、 前記1個または複数の駆動部分が、前記1個または複数の計算部分の任意のMO Sトランジスタよりも概ね大きいMOSトランジスタを有することを特徴とする 基本セル。
  4. 4.マスクによってプログラム可能なゲートアレイ内で用いるための基本セルで あって、 1個または複数の略四角形の計算部分と、1個または複数の駆動部分とを有し、 前記1個または複数の駆動部分が、前記1個または複数の計算部分のトランジス タとは異なる1個または複数のトランジスタを有し、 前記計算部分が、1個または複数の小型の寸法のNチャネルトランジスタと、1 個または複数の中型の寸法のNチャネルトランジスタと、1個または複数の小型 の寸法のPチャネルトランジスタと、1個または複数の中型の寸法のPチャネル トランジスタとを有し、 前記小型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタが各々、 前記中型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタよりも狭 いチャネル幅を有することを特徴とする基本セル。
  5. 5.前記小型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタの前 記チャネル幅が各々、前記中型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネル トランジスタの前記チャネル幅の約1/2以下であることを特徴とする請求項4 に記載の基本セル。
  6. 6.マスクによってプログラム可能なゲートアレイ内で用いるための基本セルで あって、 前記セルが1個または複数の計算部分を有し、前記計算部分が、1個または複数 の小型の寸法のPチャネルトランジスタと、1個または複数の中型の寸法のPチ ャネルトランジスタと、1個または複数の小型の寸法のNチャネルトランジスタ と、1個または複数の中型の寸法のNチャネルトランジスタとを有し、 前記中型の寸法のNチャネルトランジスタが、前記小型の寸法のPチャネルトラ ンジスタの前記チャネル幅の少なくとも約2倍のチャネル幅を有し、 前記中型の寸法のNチャネルトランジスタが、前記小型の寸法のNチャネルトラ ンジスタの前記チャネル幅の少なくとも約2倍のチャネル幅を有し、 前記小型の寸法のPチャネルトランジスタが、前記小型の寸法のNチャネルトラ ンジスタよりも狭いチャネル幅を有し、 前記小型の寸法のPチャネルトランジスタの1つのゲートと、前記中型の寸法の Pチャネルトランジスタの1つのゲートと、前記中型の寸法のNチャネルトラン ジスタの1つのゲートとが、ポリシリコンによって共通に接続され、前記小型の 寸法のNチャネルトランジスタのゲートが、前記小型及び中型の寸法のPチャネ ルトランジスタのゲートと、前記中型の寸法のNチャネルトランジスタのゲート から分離されていることを特徴とする基本セル。
  7. 7.前記1個または複数の小型の寸法のPチャネルトランジスタのソース領域と 、前記1個または複数の中型の寸法のPチャネルトランジスタのソース領域とが 、N型拡散によって接続されていることを特徴とする請求項6に記載の基本セル 。
  8. 8.前記1個または複数の計算部分のトランジスタとは異なる1個または複数の トランジスタを備えた、1個または複数の駆動部分を更に有することを特徴とす る請求項6に記載の基本セル。
  9. 9.セルのアレイを備えたASICであって、前記各セルが、3種類以上の寸法 のNチャネルトランジスタと、3種類以上の寸法のPチャネルトランジスタとを 有し、 前記寸法がチャネル幅に対応することを特徴とするASIC。
  10. 10.セルのアレイを備えたASICであって、前記各セルが、1個または複数 の略四角形の計算部分と、1個または複数の駆動部分とを有し、 前記1個または複数の駆動部分が、前記1個または複数の計算部分のトランジス タとは異なる1個または複数のトランジスタを有し、 前記各計算部分が、1個または複数の小型の寸法のNチャネルトランジスタと、 1個または複数の中型の寸法のNチャネルトランジスタと、1個または複数の小 型の寸法のPチャネルトランジスタと、1個または複数の中型の寸法のPチャネ ルトランジスタとを有し、 前記小型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタが各々、 前記中型の寸法のNチャネルトランジスタ及びPチャネルトランジスタよりも狭 いチャネル幅を有することを特徴とするASIC。
  11. 11.セルのアレイを備えたASICであって、前記各セルが、1個または複数 の計算部分を有し、前記計算部分が、1個または複数の小型の寸法のPチャネル トランジスタと、1個または複数の中型の寸法のPチャネルトランジスタと、1 個または複数の小型の寸法のNチャネルトランジスタと、1個または複数の中型 の寸法のNチャネルトランジスタとを有し、 前記中型の寸法のPチャネルトランジスタが、前記小型の寸法のPチャネルトラ ンジスタの前記チャネル幅の少なくとも約2倍のチャネル幅を有し、 前記中型の寸法のNチャネルトランジスタが、前記小型の寸法のNチャネルトラ ンジスタの前記チャネル幅の少なくとも約2倍のチャネル幅を有し、 前記小型の寸法のPチャネルトランジスタが、前記小型の寸法のNチャネルトラ ンジスタよりも狭いチャネル幅を有し、 前記小型の寸法のPチャネルトランジスタの1個のゲートと、前記中型の寸法の Pチャネルトランジスタの1個のゲートと、前記中型の寸法のNチャネルトラン ジスタの1個のゲートとが、ポリシリコンによって共通に接続され、前記小型の 寸法のNチャネルトランジスタが、前記小型及び中型の寸法のPチャネルトラン ジスタのゲートと、前記中型の寸法のNチャネルトランジスタのゲートから分離 されていることを特徴とするASIC。
  12. 12.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルアップ用トランジスタ及び前記複数のプルダウン用トランジスタ が、多種類の出力駆動能力を備えた前記マクロセルを提供するべく、プログラム 可能に接続できることを特徴とする請求項3に記載の基本セル。
  13. 13.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルダウン用トランジスタが、多種類の出力駆動能力を備えた前記マ クロセルを提供するべく、プログラム可能に接続できることを特徴とする請求項 3に記載の基本セル。
  14. 14.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルアップ用トランジスタが、多種類の出力駆動能力を備えた前記マ クロセルを提供するべく、プログラム可能に接続できることを特徴とする請求項 3に記載の基本セル。
  15. 15.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルアップ用トランジスタ及び前記複数のプルダウン用トランジスタ が、多種類の出力駆動能力を備えた前記マクロセルを提供するべく、プログラム 可能に接続できることを特徴とする請求項4に記載の基本セル。
  16. 16.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルダウン用トランジスタが、多種類の出力駆動能力を備えた前記マ クロセルを提供するべく、プログラム可能に接続できることを特徴とする請求項 4に記載の基本セル。
  17. 17.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルアップ用トランジスタが、多種類の出力駆動能力を備えた前記マ クロセルを提供するべく、プログラム可能に接続できることを特徴とする請求項 4に記載の基本セル。
  18. 18.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルアップ用トランジスタ及び前記複数のプルダウン用トランジスタ が、多種類の出力駆動能力を備えた前記マクロセルを提供するべく、プログラム 可能に接続できることを特徴とする請求項10に記載の基本セル。
  19. 19.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルダウン用トランジスタが、多種類の出力駆動能力を備えた前記マ クロセルを提供するべく、プログラム可能に接続できることを特徴とする請求項 10に記載の基本セル。
  20. 20.前記1個または複数の駆動部分が、1つのマクロセル内でプルアップ用ト ランジスタとして用いられる複数のトランジスタと、前記1つのマクロセル内で プルダウン用トランジスタとして用いられる複数のトランジスタとを有し、 前記複数のプルアップ用トランジスタが、多種類の出力駆動能力を備えた前記マ クロセルを提供するべく、プログラム可能に接続できることを特徴とする請求項 10に記載の基本セル。
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