JP2912174B2 - ライブラリ群及びそれを用いた半導体集積回路 - Google Patents

ライブラリ群及びそれを用いた半導体集積回路

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    • H01L27/118Masterslice integrated circuits
    • H01L27/11803Masterslice integrated circuits using field effect technology
    • H01L27/11807CMOS gate arrays

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は論理ゲートや機能ブロッ
クのライブラリ群及びそれを用いて構成した半導体集積
回路に関し、特に高速動作と低消費電力を両立させた論
理ゲートや機能ブロックのライブラリ群及びそれを用い
て構成した半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路(以下LSIと呼ぶ)の
論理回路は、インバータ、NANDゲート、NORゲー
ト等の論理ゲートや、フリップフロップ回路等のように
数ゲートから数十ゲート規模の論理的にまとまりのある
機能ブロックから構成される。これらは個々のLSIの
設計に先立って設計され、データベースの形態でライブ
ラリ群として用意されるのが一般的である。それゆえ、
論理LSIを設計することは、所望の機能や性能を満足
するようにライブラリ群に用意された論理ゲートや機能
ブロックをチップ上に配置し相互接続することと言え
る。
【0003】また一般に、LSIの論理回路は同一サイ
ズの基本トランジスタのアレイを用いて構成されること
が多い。ゲートアレイやエンベッデド・アレイはその典
型である。例えばCMOS・LSIにおいては、複数の
Pチャネル型基本トランジスタと複数のNチャネル型基
本トランジスタで基本セルを構成し、この基本セルをア
レイ状に並べることが一般的である。
【0004】ところで、論理ゲートや機能ブロックに
は、論理機能の働きと同時に負荷容量駆動の働きも持た
せなければならない。負荷容量は出力に接続される次段
の入力容量と配線容量から成っており、出力に接続され
るゲート数(ファンアウト数)と次段までの配線長によ
って定量化される。これらファンアウト数や配線長は各
ゲートやブロック毎に大きく異なるが、負荷容量駆動能
力を個々に最適設計することは、非常に多くの設計時間
を要したり正確な配線容量がレイアウト設計終了時でな
いとわからないなどのために、現実的でない。
【0005】そこで標準的な論理ゲートと標準的な負荷
状態を想定して、所望の遅延時間が得られるように基本
トランジスタのサイズを決めている。標準的な論理ゲー
トとして3入力NANDゲートが、標準的な負荷状態と
してファンアウト数が3で配線長が2mm程度を想定す
ることが多い。その結果、例えばCMOS・LSIでは
基本トランジスタのチャネル幅は10〜20μmに設定
される。
【0006】標準的な負荷状態よりも大きな負荷に対し
ては、大きな負荷駆動能力を有する論理ゲートや特別な
ドライバー回路を用意する。例えば簡単な論理ゲート等
では、パワーゲートと称して複数の同一ゲートを並列接
続したものを提供することが一般的である。
【0007】このような論理ゲートや機能ブロックのラ
イブラリ群及びそれを用いて構成したLSIでは、高速
性と低消費電力性に関して無駄が多く、両者の要求を同
時に満足することが困難であるという欠点がある。
【0008】CMOS回路を例として説明すると、負荷
駆動能力は論理構成とMOSFETのチャネル幅とチャ
ネル長の比で決まる。例えば3入力NANDゲートで
は、3つのNチャネルMOSFETが縦積みに構成さ
れ、放電時の負荷駆動能力はインバータ・ゲートの1/
3に低下してしまう。このような場合でも標準負荷を高
速に駆動できるように、基本トランジスタのチャネル幅
は10〜20μmと大きめに設定されるのである。しか
し配線長が短くてファンアウト負荷が支配的な場合に
は、遅延時間はMOSFETのチャネル幅には依存しな
く、基本トランジスタが大きい分だけ無駄に電力を消費
することになってしまう。通常の論理回路では、このよ
うな状況の論理ゲートや機能ブロックが半数にも達して
おり、特にデータパス部分では、ほとんどがこのような
状況に陥っている。
【0009】一方で、単純に基本トランジスタのサイズ
を小さくした場合には、上記の無駄は減少できるが、フ
ァンアウト負荷が支配的でない場合の動作速度が低下し
てしまう。また負荷駆動能力を高めるために用いられる
パワーゲートは、面積が2倍以上になるので、論理機能
が複数になると面積的な効率が大きく低下してしまう。
【0010】このような問題を解決するために、論理機
能を受け持つ部分と負荷駆動機能を受け持つ部分とを独
立して構成させることが、特開昭63−43345公報
にて提案されている(これを従来技術2と呼ぶことにす
る)。例えば図12(a),(b)に示すように、2入
力ANDゲートは2入力NANDゲートとインバータ回
路に分解され、前者に論理機能を持たせ、後者に負荷駆
動機能を持たせる。これを図12(c)に示すようにス
タンダードセルに適用し、レイアウト設計が確定した段
階で、インバータ回路を構成する出力トランジスタのサ
イズを負荷に応じて最適値に設定している。この考えを
ゲートアレイやエンベッデド・アレイに適用する場合に
は、インバータ回路を構成する出力トランジスタのサイ
ズを負荷に応じて最適値に設定するために、必要に応じ
て複数のトランジスタを並列に接続することになる。
【0011】また、複数の機能ブロックからなる論理回
路において、少なくとも出力ブロックを予め定めたファ
ンアウト特性になるように並列接続させることが、特開
昭63−46748公報にて提案されている(これを従
来技術3と呼ぶことにする)。例えば図13に示すよう
に3つの2入力NANDゲートから構成される論理回路
では、負荷の大きさに応じて最終段のNANDゲートを
並列接続させる。
【0012】従来技術2では論理機能を受け持つ部分
を、従来技術3では複数の機能ブロックからなる論理回
路において出力ブロック以外の部分を、小さなトランジ
スタで構成することによって、動作速度が低下すること
なしに消費電力を削減できる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の論理ゲートや機能ブロックのライブラリ群及びそれ
を用いて構成したLSIでは、特に同一サイズの基本ト
ランジスタのアレイを用いて構成されるゲートアレイや
エンベッデド・アレイでは、設計時間や面積効率に関し
て非常に無駄が多いという欠点がある。
【0014】負荷の見積もりはレイアウト設計終了時で
ないと正確には分からず、初期見積もりと大きく異なる
場合がある。初期見積もりより大きい場合には動作速度
の低下を防ぐために負荷駆動能力を大きくしなければな
らず、一方で初期見積もりより小さい場合には消費電力
を削減するために負荷駆動能力を小さくしなければなら
ない。即ち、配置配線設計終了後に実際の設計結果を使
って負荷を詳細に見積もり、初期見積もりより大きい場
合には動作速度の低下を防ぐために負荷駆動能力を大き
くしなければならず、初期見積もりより小さい場合には
消費電力を削減するために動作速度を大きく低下させな
い程度に負荷駆動能力を小さくすることが要求される。
【0015】そのためには論理機能が同一で負荷駆動能
力の異なる複数の論理ゲートや機能ブロックのライブラ
リ群を用意しておいて、適当なものと置き換えることに
なる。しかし従来のそれらはサイズや入出力端子位置が
異なるために、配置配線設計をやり直すことになるので
非常に多くの設計時間を要することになる。場合によっ
ては、やり直し作業後に別の個所で同様な変更を余儀な
くされることがあり、設計が収束する保証がない。
【0016】また、従来技術3で負荷駆動能力を大きく
することは、出力ブロックをパワーゲートで構成するこ
とに相当するので、出力ブロックの論理機能が複雑な場
合には面積的な効率が大きく低下してしまうという欠点
がある。
【0017】それ故に本発明の課題は、高速動作と低消
費電力と高集積度を両立させ、配置配線設計のやり直し
や修正を伴わずに負荷駆動能力に関して最適な選択が行
なえるような、論理ゲートや機能ブロックのライブラリ
群を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、単一の
基本セルを複数用いて構成し、論理機能とサイズと入出
力端子位置が同一であって、異なる負荷駆動能力を持つ
論理ゲートを有することを特徴とするライブラリ群が得
られる。
【0019】また本発明によれば、単一の基本セルを
用いて構成し、論理機能とサイズと入出力端子位置が
同一であって、異なる負荷駆動能力を持つ機能ブロック
を有することを特徴とするライブラリ群が得られる。
【0020】また本発明によれば、単一の基本セルを
用いて構成し、論理機能とサイズと入出力端子位置が
同一であって、異なる負荷駆動能力を持つ論理ゲート及
び機能ブロックを有することを特徴とするライブラリ群
が得られる。
【0021】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0022】図1(a),(b),(c)は本発明の第
1の実施例を説明するためのレイアウト図であり、図2
に示す基本セルを3つ用いて、図3(a),(b),
(c)に示した回路をライブラリ化した例を示してい
る。なお図3(a)は本発明の第1の実施例を説明する
ための回路図であり、3入力NANDゲートを例とし
て、論理機能を受け持つ部分と負荷駆動機能を受け持つ
部分を分離する手法を示している。図3(b)は負荷駆
動機能のためにバッファ回路を追加する手法を適用した
場合であり、図3(c)はバッファ回路として2段のイ
ンバータ回路を用いた例を示している。
【0023】図1(a),(b),(c)において、細
かいハッチングを付したパターンは第1層のメタル配線
を、小さい四角111はコンタクトを示す。図2におい
て丸印103はソース及びドレイン拡散層領域のコンタ
クト可能位置を表わしており、この例では3個である。
この基本セルは2つのPチャネル型基本トランジスタを
上側に配置し、2つのNチャネル型基本トランジスタを
下側に配置してあり、101はフィールドのパターン、
102はゲート電極のパターンである。
【0024】図1(a)は、図3(a)の回路をライブ
ラリ化したレイアウト図であり、112は電源線配線、
113は接地線配線、114,115,116は入力端
子位置、117は出力端子位置である。図1(b)は、
図3(c)の回路をライブラリ化したレイアウト図で、
最終段のインバータ回路だけを負荷駆動能力を高めるた
めに2つのトランジスタを並列接続して構成してあり、
122は電源線配線、123は接地線配線、114,1
15,116は入力端子位置、117は出力端子位置で
ある。図1(c)は、図3(a)の回路において3入力
NANDゲート自体の負荷駆動能力を高めるために2つ
のトランジスタを並列接続して構成した場合(一般にパ
ワー・ゲートと呼ばれている)のレイアウト図で、13
2は電源線配線、133は接地線配線、114,11
5,116は入力端子位置、117は出力端子位置であ
る。
【0025】図3に示したライブラリは、明らかに論理
機能とサイズと入出力端子位置が同一であって、異なる
負荷駆動能力を持っている。(a)を基準に考えると、
異なる負荷駆動能力を持たせるために、(b)は論理機
能を受け持つ部分と負荷駆動機能を受け持つ部分とを独
立に構成させて実現した例であり、(c)は両機能部分
を分離させないで実現させた例である。もちろん、
(a)では6つのトランジスタが使用されずに無駄を生
じるが、実際の論理LSIの集積度はこれら個々のライ
ブラリでの集積度で決まっているわけではない。それら
を相互接続するために非常に多くの配線チャネルが必要
となるので、個々のライブラリの配置には多少の程度の
余裕が必要なのが現状である。その結果、個々のライブ
ラリにおけるこれらの無駄が論理LSIのチップ面積の
増大に結びつくことはほとんど無い。
【0026】図4(a)は本発明の第1の実施例を説明
するための第2の回路図であり、スタチック・ラッチ回
路を例として、異なる負荷駆動能力を実現する手法を示
している。ここでCとCIはトランスファー・ゲートに
入力されるクロック信号であり、一般に互いに重なり合
うことの無い逆相の信号が使われる。図4(b)は、イ
ンバータ回路を1つ追加して接続を変更した例を示して
おり、回路動作に影響を及ぼさずに最終段のインバータ
回路の負荷駆動能力を変えることができる。図4(c)
は負荷駆動機能のためにバッファ回路を追加する手法を
適用した場合である。
【0027】図5は、図2に示した基本セルを4つ用い
て、図4に示した回路をライブラリ化したレイアウト例
を示している。これらのレイアウト図で、細かいハッチ
ングを施したパターンは第1層のメタル配線を、荒いハ
ッチングを施したパターンは第2層のメタル配線を、小
さい四角111はコンタクトを、一回り大きい四角14
1は第1層のメタル配線と第2層のメタル配線を接続す
るスルーホールを示す。図5(a)は、図4(a)の回
路をライブラリ化したレイアウト図であり、142は電
源線配線、143は接地線配線、144は入力端子位
置、145は出力端子位置、146はC信号入力端子位
置、147はCI信号入力端子位置である。図5(b)
は、図4(b)の回路をライブラリ化したレイアウト図
であり、152は電源線配線、153は接地線配線、1
44は入力端子位置、145は出力端子位置、146は
C信号入力端子位置、147はCI信号入力端子位置で
ある。図5(c)は、同様に図4(b)の回路をライブ
ラリ化したレイアウト図であるが、最終段のインバータ
回路だけを負荷駆動能力を高めるために2つのトランジ
スタを並列接続して構成してあり、162は電源線配
線、163は接地線配線、144は入力端子位置、14
5は出力端子位置、146はC信号入力端子位置、14
7はCI信号入力端子位置である。
【0028】図5に示したライブラリもまた、明らかに
論理機能とサイズと入出力端子位置が同一であって、異
なる負荷駆動能力を持っている。(a)を基準に考える
と、異なる負荷駆動能力を持たせるために、(b)
(c)共に論理機能を受け持つ部分と負荷駆動機能を受
け持つ部分を独立に構成させて実現した例である。
【0029】ところで最近、高速動作と低消費電力を独
立させるデバイス技術としてSOI(シリコン・オン・
インシュレータ)技術が注目されている。図6はSOI
技術を用いたNチャネルMOSFETの模式的な断面図
であり、201はSi基板、202は絶縁膜、203は
P型基体領域、204はN型ソース領域、205はN型
ドレイン領域、206はゲート酸化膜、207はゲート
電極、208は絶縁膜である。ここで基体領域203
は、トランジスタ動作の安定性からは電位を直接与える
ことが望ましいが、低い電源電圧で動作させる場合には
電位を直接与えずにフローティング状態で使うこともで
きる。基体領域に直接電位を与えるための構造は、例え
ば、IEEE ELECTRON DEVICES 1
987年4月号の845ページの図1に記載されてお
り、公知技術により形成可能である。
【0030】このMOSFET構造をほぼそのまま用い
たラテラル型バイポーラ素子が、例えばIEEE EL
ECTRON DEVICE LETTERS 199
3年1月号の33ページから35ページに報告されてい
る。この場合、ソースをエミッタとし、ドレインをコレ
クタとし、基本をベースとして動作させる。ゲート電極
はNPN型の場合は接地電位に、PNP型の場合は電源
電位に接続する。
【0031】またハイブリッド・モード素子が、例え
ば、IEEE ELECTRON DEVICE LE
TTERS 1993年5月号の234ページから23
6ページに報告されている。ソースをエミッタとし、ド
レインをコレクタとし、基体はゲート電極と接続してベ
ースとして使う。このハイブリッド・モード素子は、し
きい値電圧はMOSFETのようにチャネル領域の不純
物分布等で決まり、サブスレッショルド特性はバイポー
ラ素子のように急峻という特徴を持ち、特に低い電源電
圧で使う場合に魅力的な素子である。
【0032】図7は本発明の第2の実施例を説明するた
めの回路図であり、非常に簡単な回路でありながら高い
駆動能力を持つバッファ回路である。図7(a)はバイ
ポーラ素子を用いた回路であり、211はNPN型バイ
ポーラ素子、212はPNP型バイポーラ素子、213
は抵抗素子である。ここで抵抗素子は、入力信号が電源
電位の時に出力電位を確実に電源電位に充電し、入力信
号が接地電位の時に出力電位を確実に電源電位に充電
し、入力信号が接地電位の時に出力電位を確実に接地電
位に放電させる役割を果たすもので、回路動作的には必
須のものではない。図7(b)はハイブリッド・モード
素子を用いた回路であり、214はNチャネル型ハイブ
リッド・モード素子、215はPチャネル型ハイブリッ
ド・モード素子、213は抵抗素子である。
【0033】図8は本発明の第2の実施例を説明するた
めの基本セルのレイアウト図であり、2つのPチャネル
型基本トランジスタを上側に配置し、2つのNチャネル
型基本トランジスタを下側に配置してあり、それぞれの
MOSFETの基体領域に電位を与えるようにしてあ
る。221はフィールドのパターン、222はゲート電
極のパターン、223はPチャネルMOSFETの基体
領域に電位を与えるためのN型拡散層領域、224はN
チャネルMOSFETの基体領域に電位を与えるための
P型拡散層領域である。また丸印103はソース及びド
レイン拡散層領域のコンタクト可能位置を表わしてお
り、この例では3個である。この基本セルを用いると、
それぞれの基本トランジスタをMOSFETとしても、
ラテラル型バイポーラ素子としても、ハイブリッド・モ
ード素子としても動作させることが可能である。基本ト
ランジスタで基本セルを構成し、この基本セルをアレイ
状に並べることが一般的であるゲートアレイやエンベッ
デド・アレイにおいては、このSOI構造ならではの特
徴は極めて大きな利点である。
【0034】図9に、図7(b)に示したバッファ回路
のレイアウト図を示す。負荷駆動能力を高めるために2
つのトランジスタを並列接続してあり、抵抗素子を省略
すれば1つの基本セルで構成することができる。
【0035】図10は本発明の第2の実施例を説明する
ためのレイアウト図であり、図9のバッファ回路を、図
4(c)のスタチック・ラッチ回路に適用した例であ
る。このレイアウト図で、細かいハッチングを施したパ
ターンは第1層のメタル配線を、荒いハッチングを施し
たパターンは第2層のメタル配線を、小さい四角111
はコンタクトを、一回り大きい四角141は第1層のメ
タル配線と第2層のメタル配線を接続するスルーホール
を示す。232は電源線配線、233は接地線配線、1
44は入力端子位置、145は出力端子位置、146は
C信号入力端子位置、147はCI信号入力端子位置で
ある。明らかに論理機能とサイズと入出力端子位置が、
図5に示したライブラリと同一である。
【0036】一例として、図3に示したライブラリを
0.35μmCMOS技術を用いて形成した場合の遅延
時間を図12に示す。電源電圧は2.5V、負荷はファ
ンアウトが3と配線であり、図12の横軸は負荷の配線
長である。は基本トランジスタのチャネル幅を10μ
mで構成した場合の図3(a)の回路の特性である。
は基本トランジスタのチャネル幅を5μmで構成した場
合の図3(a)の回路の特性である。配線負荷が小さい
場合はと比較して遅延時間の増加は小さく、一方で基
本トランジスタのチャネル幅は半分なので消費電力を半
分に削減することができる。は基本トランジスタのチ
ャネル幅を5μmで構成した場合の図3(c)の回路の
特性である。と比較して、配線負荷が大きい場合に遜
色ない遅延時間が得られ、自分自身の消費電力は同程度
であるが、入力容量が半分になるために前段の消費電力
を削減することができる。は図3(a)の回路を基本
トランジスタのチャンネル幅を5μmで構成し、図3
(a)の回路をパワーゲートで構成した場合の特性であ
る。この場合には、遅延時間と消費電力はほぼと同じ
になる。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるライ
ブラリ群は、論理機能が同一で負荷駆動能力の異なる複
数の論理ゲートや機能ブロックを有するので、目的に応
じて適切なものに置き換えるだけでそれらの目的を実現
することができる。しかも本発明のライブラリ群は、サ
イズと入出力端子位置が同一であるので、配置配線設計
のやり直しや修正が一切必要がなく、他の部分に影響を
及ぼす心配も全くない。一般に大規模な論理LSIで
は、ゲートアレイの場合で配置配線設計とその検証作業
に高性能のEWSを用いても数日かかるため、この効果
は非常に大きい。さらに本発明のライブラリ群は、チャ
ネル幅の小さい基本トランジスタによる基本セルを用い
ているにも関わらず、適切なものを使い分けることによ
って、チャネル幅の大きい基本トランジスタによる基本
セルを用いたものと遜色のない動作速度を実現すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を説明するためのレイア
ウト図。
【図2】基本セルを説明するためのレイアウト図。
【図3】本発明の第1の実施例を説明するための回路
図。
【図4】本発明の第1の実施例を説明するための第2の
回路図。
【図5】本発明の第1の実施例を説明するための第2の
レイアウト図。
【図6】SOI技術を用いたMOSFETの模式的な断
面図。
【図7】本発明の第2の実施例を説明するための回路
図。
【図8】本発明の第2の実施例の基本セルを説明するた
めのレイアウト図。
【図9】本発明の第2の実施例を説明するためのレイア
ウト図。
【図10】本発明の第2の実施例を説明するためのレイ
アウト図。
【図11】本発明のライブラリの特性図。
【図12】従来技術2を説明するための回路図とレイア
ウト図。
【図13】従来技術3を説明するための回路図。
【符号の説明】
101,221 フィールドのパターン 102,222 ゲート電極のパターン 103 ソース及びドレイン拡散層領域のコンタクト
可能位置 111 コンタクト 112,122,132 電源線配線 113,123,133 接地線配線 114,115,116 入力端子位置 117 出力端子位置 141 スルーホール 142,152,162,232 電源線配線 143,153,163,233 接地線配線 144 入力端子位置 145 出力端子位置 146 C信号入力端子位置 147 CI信号入力端子位置 201 Si基板 202,208 絶縁膜 203 P型基体領域 204 N型ソース領域 205 N型ドレイン領域 206 ゲート酸化膜 207 ゲート電極 211 NPN型バイポーラ素子 212 PNP型バイポーラ素子 213 抵抗素子 214 Nチャネル型ハイブリッド・モード素子 215 Pチャネル型ハイブリッド・モード素子 223 N型拡散層領域 224 P型拡散層領域

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】単一の基本セルを複数用いて構成し、論理
    機能とサイズと入出力端子位置が同一であって、異なる
    負荷駆動能力を持つ機能ブロックを有することを特徴と
    するライブラリ群。
  2. 【請求項2】論理機能を受け持つ部分と負荷駆動機能を
    受け持つ部分とを、独立にかつ同一の基本セルを用いて
    構成したことを特徴とする請求項1記載のライブラリ
    群。
  3. 【請求項3】前記基本セルとして、SOI構造で形成さ
    れたMOSFETの基体領域に電位を与えるための拡散
    層領域を有し、前記負荷駆動機能を受け持つ部分に、S
    OI構造で形成されるラテラル型バイポーラ素子、ある
    いはハイブリッド・モード素子を用いていることを特徴
    とする請求項2記載のライブラリ群。
  4. 【請求項4】請求項1〜3のいずれかに記載のライブラ
    リ群を用いて構成されたことを特徴とする半導体集積回
    路。
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