JPH06506526A - 回転可能な真空フランジ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空システムにおける要素を相互接続するために使用するフランジに関 し、特に回転可能なインサートがワイヤスプリングによりフランジリング内に保 持されるところの回転可能なフランジに関する。

発明の分野 真空フランジは、真空導管またはパイプ、真空弁、真空ポンプなとのようなシス テｌ、の要素を相互連結するために、真空システムに広く使用されている。その 真空フランジは、その要素を機械的に相互連結するための手段、および相互連結 さオ］た要素間に真空シールを形成する手段を含む。そのシールは、典型的に要 素間で機械的に圧縮される、金属製または弾性ガスケットにより形成される。

整合していない真空システムの組み立てを容易にするために、回転可能な真空フ ランジが利用されてきた。その回転可能なフランジは、取り付は穴を有するフラ ンツリングおよび真空導管またはバイブに剛直に取り付けれられるインサートを 含む。１′ンサ・−１・はフランジリングの凹部に取り付けられる。そのフラン シリングは取り（−Ｉけ穴の整合を容易にするために、インサートに対しで回転 可能とな−フている。

従来の回転可能なフランツはいくつかの欠点をもっている。インサートおよび一 フランジリングは別々の部品で、取り付けの間容易に外れる。とくに、真空フラ ン、・５の組み立ての間、組み立てボルトを取り付けている間フランジリングお よびインサー　トを一緒に保持する必要があった。大きな真空フランジの場合に これは特に困難である。取り付けの困難さは時１ご、インサート上での方形シー ル（こ損傷を与え、また１′ンサー・トの取り替えを余儀なくした。

本発明の一般的な目的は、数層さ第１た回転可能な真空フランジを提供すること ′て、′ある。

本発明の他の１的は、取り付けが容易にできる回転可能な真空フランジを提供す る、−とである。

さらに、本発明の目的は、インサートがフランジリング内に保持され、フランジ リング内で回転可能となる回転可能な真空フランジを提供することである。

さらに、本発明の目的は、製造が容易でコストの低い回転可能な真空フランジを 提供することである。

発明の要約 本発明に従い、これらおよび他の目的ならびに利点は、凹所を有するフランジリ ング、シール部分を含み真空導管に真空気密に取り付けられる、フランジリング の凹所に取り付けられインサート、およびフランジリング内にインサートを保持 し、フランジリングに対しインサートの回転を可能にするための手段から成る回 転可能な真空フランジにより達成される。

フランジリングにインサートを保持する手段は典型的に、インサート内の第１の 周囲溝、フランジリング内の第２の周囲溝、および第１および第２の溝内に保持 されるワイヤスプリングから成る。第１および第２の溝はワイヤスプリングを収 納するように対置し、整合する位置にある。

好適実施例において、フランジリングは凹所を画成する内側に伸長した環状リブ を含む。インサートは中に第１の周囲溝を有する外側周囲表面を含み、フランシ リングは中に第２の周囲溝を有する内側周囲表面を含む。ワイヤスプリングは典 型的に、所定の直径を有するほぼ円形の断面を有する。第１の溝は好適に、フラ ンジの組み立て、または分解の間、ワイヤスプリングを収納するために、所定の 直径とほぼ同じかそれより大きい深さを有する。第２の溝は好適には、所定の直 径の約半分かそれ以下の深さを有する。この形状により、インサートは通常の使 用（真空フランジの取り付ける場合も含めて）の間、ワイヤスプリングによりフ ランジリング内に保持される。しかし、インサートはたとえば、シールリングが 損傷したとき、フランジリングから除去できる。

界面の！黒ケ隊服 他の、さらに他の目的、効果、特性と共に本発明は、添付図面によりより良く理 解される。

図１は本発明に従った回転可能な真空フランジの分解斜視図である。

図２は真空導管に取り付けられる回転可能な真空フランジの部分断面図である。

発明の詳細な説明 本発明に従った回転可能な真空フランジが図１および２に示されている。フラン ジリング１０がほぼ円形の形をもち、ステンレススティールのような金属から製 造される。フランジリング１０は取り付は穴１４を有する外側部分、および内側 に伸長した環状リブ１６を含む。リブ１６および外側部分は環状凹所２０を画成 する。

環状インサート３０が中央開口３１を有し、ステンレススティールのような金属 から製造される。インサート３０はフランジリング１０の凹所２０に取り付けら れる寸法となっている。図２によく示されているように、インサート３０が環状 リブ１６と接している。そのインサート３０は、フランジリング１０に対してイ ンサート３０の回転を可能にするために、フランジリング１０の内側周囲表面３ ２に対応する寸法をもつ。インサート３０は、シーリングガスケット（図示せず ）へのシールを行うための環状刃形シール３４を有する。シーリングガスケット は好適に、銅のような金属から成るが、弾性リングでもよい。インサート３０は また、真空導管またはバイブ４０を収納するための周囲凹所３８を含む。真空導 管４０は典型的に、溶接によりインサート３０にシールされている。

回転可能な真空フランジはフランジリング１０の取り付は穴１４を通るボルトに より真空システムの他の要素に機械的に取り付けられる。真空気密な連結が、シ ーリングガスケット（図示せず）に対して方形シール３４を押し付けることによ り達成される。整合する要素上の同様の方形シールがシーリングガスケットの反 対側に押し付けられる。

本発明に従い、フランジリング１０の内側周囲表面３２には周囲溝４４が設けら れ、インサート３０の外側周囲表面４６には周囲溝４８が設けられる。溝４４お よび４８は、ワイヤスプリング５０を収納するために、各表面上で対置しかつ整 合する位置にある。ワイヤスプリング５０は、取り付けられるときほぼ円の形と なっており、その断面は典型的に円形である。ワイヤスプリング５０は溝４４お よび４８の周囲全体にわたっている必要はない。図２に示すように本発明の回転 可能な真空フランジが組み立てられたとき、ワイヤスプリング５０の一部が溝４ ４内に、一部が溝４８内に位置する。その結果、ワイヤスプリングはインサート ３０およびフランジリング１０が通常の使用の間にばらばらになることを防止す る。しかし、インサート３０はフランジリング１０内で自由に回転できる。環状 リブ１６はインサート３０をフランジリング１０内でインサート３０を保持する ために必要というわけではない。しかし、環状リブは方形シール３４をシーリン グガスケットへと密接にして押し付けるために必要である。

上述したように、インサート３０はワイヤスプリング５０によりフランジリング １０内に保持される。しかし、インサート３０は軸方向の圧力をインサート３０ に適用することにより、ワイヤスプリング５０が溝４８内に押し付けられ、これ によりフランジリング３０から取り外すことができる。インサート３０の取り外 しを可能にするため、フランジリング１０内の溝４４の深さは好適には、ワイヤ スプリング５０の断面直径の約半分かそれ以下である。溝４８の深さは好適には 、ワイヤスプリング５０の断面直径と同じかそれ以上である。溝４８は、真空フ ランジを組み立て、分解する間ワイヤスプリング５０を収納するのに十分な深さ を有する。この形状により、ワイヤスプリング５０は溝４８内に圧し付けられ得 るし、インサート３０はフランジリング１０の凹所２０内に摺動可能に組み入れ られ、そこから取り外すことができる。溝４４および４８の深さは、フランジリ ング１０とインサート３０との間のクリアランスを考慮して、調節できることは 理解できよう。

開示した回転可能な真空フランジは通常の使用の間インサートを保持する一方で 、フランジリング１０をインサート３０対し回転可能にする。したがった、フラ ンジは１つのユニットとして容易に組み立てることができる。しかし、インサー ト３０は、たとえばシール３４が損傷を受けたとき、取り外すことができる。

今まで、本発明の好適実施例を示し、説明してきたが、当業者であれば請求の範 囲で画成された本発明の範囲から逸脱することなくいろいろな変形、変更をなし 得ることは明らかである。

浄書（内容に変更なし） 平成６年り月／７日

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. １．回転可能な真空フランジであって、凹所を有するフランジリングと、 前記フランジリングの凹所内に取り付けられるインサートであって、シール部分 を有し、真空導管に取り付けられるところのインサートと、前記フランジリング と前記インサートとの間に配置され、前記フランジリングの凹所に前記インサー トを保持し、前記インサートを前記フランジリングに対して回転可能にするワイ ヤスプリングと、から成る回転可能な真空フランジ。
2. ２．請求の範囲第１項に記載の真空フランジであって、前記インサートが、中に 第１の周囲溝を有する外側周囲表面を有し、前記フランジリングが中に第２の周 囲溝を有する内側周囲表面を有し、前記第１および第２の溝が前記ワイヤスプリ ングを収納するために、対置しかつ整合したところに位置する、ところの真空フ ランジ。
3. ３．請求の範囲第２項に記載の真空フランジであって、前記ワイヤスプリングが 所定の直径のほぼ円形断面を有し、前記第１の溝の深さが、前記真空フランジの 組み立て、分解の間に前記ワイヤスプリングを収納するために前記所定の直径と 同じかそれより大きい、ところの真空フランジ。
4. ４．請求の範囲第２項に記載の真空フランジであって、前記インサートが所定の 直径のほぼ円形断面を有し、前記第２のミ溝の深さが、記所定の直径の半分かそ れ以下である、ところの真空フランジ。
5. ５．前請求の範囲第２項に記載の真空フランジであって、前記インサートのシー ル部分がガスケットをシーリングするために円形の刃形から成る、ところの真空 フランジ。
6. ６．請求の範囲第２項に記載の真空フランジであって、前記フランジリングが複 数の取り付け穴を含む、ところの真空フランジ。
7. ７．請求の範囲第２項に記載の真空フランジであって、前記フランジリングが、 前記凹所を画成する内側に伸張した環状リブを含む、ところの真空フランジ。
8. ８．請求の範囲第２項に記載の真空フランジであって、前記インサートが中央開 口を有するリングから成る、ところの真空フランジ。
9. ９．回転可能な真空フランジであって、凹所を有するフランジリングと、 前記フランジリングの凹所内に取り付けられるインサートであって、シール部分 を有し、真空導管に真空気密に取り付けられるところのインサートと、前記フラ ンジリングの凹所に前記インサートを保持し、前記インサートを前記フランジリ ングに対して回転可能にする保持手段と、から成る回転可能な真空フランジ。
10. １０．請求の範囲第９項に記載の真空フランジであって、前記インサート保持手 段が、 前記インサート内の第１の周囲溝と、 前記フランジリング内の第２の周囲溝と、前記第１および第２の溝内に保持され るワイヤスプリングと、から成り、 前記第１および第２の溝が、前記ワイヤスプリングを収納するために、対置しか つ整合したところに位置する、ところの真空フランジ。