JPH06255814A - セラミックグリーンシート搬送方法及びそれに使用するマニプレーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 セラミックグリーンシートを確実に１枚ずつ
吸盤で吸着し、保持して搬送する。 【構成】 吸着ヘッド１６の吸盤２０、２０を揺動し
て、その角度と間隔を変えるエアシリンダー２２、２２
を備えている。吸盤２０、２０でセラミックグリーンシ
ートを吸着した後、吸盤２０、２０を揺動して、その間
隔を変えることで、吸着したセラミックグリーンシート
ａを上下に撓ませる。これにより、吸盤２０、２０に吸
着されたセラミックグリーンシートａの下面に張り付い
たセラミックグリーンシートａは、上のセラミックグリ
ーンシートａから剥がれ、分離される。その後、吸着ヘ
ッド１６がガイドレール２３に沿って目的の位置に移動
し、吸着した１枚のセラミックグリーンシートａを所定
の位置に搬送し、そこで吸盤２０、２０による吸着を解
除して、セラミックグリーンシートａを置く。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層チップコンデンサ
ーや積層チップインダクター等の積層電子部品を製造す
るためのセラミックグリーンシートを吸着し、保持して
搬送するマニプレーターに関する。

【０００２】

【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。

【０００３】このような積層セラミックコンデンサの従
来の製造方法は、誘電体セラミック粉末を有機バインダ
ーに分散させたセラミックスラリーをシート状に成形し
てグリーンシートを作り、スクリーン印刷法等により、
このグリーンシートの上に導電ペーストで内部電極パタ
ーンを印刷する。そして、この内部電極パターンが印刷
されたグリーンシート所定の順序で積層し、さらにその
両側に内部電極パターンが印刷されてないグリーンシー
トを複数枚積み重ねる。こうして得られた積層体を内部
電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断し、こ
れを焼成する。これにより、焼結された積層体が得られ
る。そして、この焼結された積層体の内部電極が露出し
た端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外部
電極を形成することにより、積層チップコンデンサが完
成する。

【０００４】多くの回路部品が小型化される中で、この
ような積層セラミックコンデンサについても、小型化、
大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚
さ１０μｍ以下の極めて薄いグリーンシートを積層して
積層セラミックコンデンサを製造することが行なわれる
ようになった。

【０００５】セラミックグリーンシートは、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルム等のキャリアフィルム上にセ
ラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成
される。従来、薄いセラミックグリーンシートについて
は、前記のようにしてキャリアフィルム上に形成した
後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち
抜き、内部電極パターンの印刷を印刷し、さらにこれを
順次積層しながら、キャリアフィルムを剥離していく方
法が採用されている。

【０００６】従来、キャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシートａを搬送する搬送手段として、図４に示すよ
うなマニプレーター４が用いられている。このマニプレ
ーター４は、回転機構７により回転されると共に伸縮す
るアーム５を有し、このアーム５の先端に上下シリーン
ダー８を有する。さらに、この上下シリンダー８の上下
するプランジャーの先端にキャリアフィルム付セラミッ
クグリーンシートａのキャリアフィルム表面に吸着し、
同フィルムを保持する吸着ヘッド６が設けられている。

【０００７】このマニプレーター４の吸着ヘッド６は、
アーム５の回転とその伸縮により、マガジン３と積層台
９とにわたって移動可能であり、マガジン３からキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートａを取り出し、
前記積層台９上に搬送し、そこでセラミックグリーンシ
ートａを順次積層する。この従来のマニプレーター４の
吸着ヘッド６には、吸着面を負圧として、セラミックグ
リーンシートａの表面に真空吸着する吸盤１０、１０を
持ったものが一般に使用される。

【０００８】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、前
記従来のマニプレーターにより、マガジン３に積み重ね
られたセラミックグリーンシートａを上から１枚ずつ吸
着して取り出そうとする場合、吸盤１０、１０に吸着さ
れた最も上のセラミックグリーンシートａだけでなく、
これに張り付いた状態でその下のセラミックグリーンシ
ートａが一緒に持ち上げられ、複数枚のセラミックグリ
ーンシートａが搬送されてしまうことがある。特に、キ
ャリアフィルム付セラミックグリーンシートでは、樹脂
製のキャリアフィルムが静電気を帯びやすく、このよう
な張り付きが起こりやすい。

【０００９】このようなセラミックグリーンシートａの
張り付きが起こった場合、その都度装置の運転を停止
し、張り付いたセラミックグリーンシートａを人手で剥
すというリカバー処理を行わなければならない。このた
め、その吸着動作の信頼性の低さが、人手を介さずにセ
ラミックグリーンシートの積層を行う完全自動化を図る
うえで、大きな障害となっていた。そこで、本発明で
は、前記従来のセラミックグリーンシート搬送手段にお
ける課題を解消し、セラミックグリーンシートを確実に
１枚ずつ保持して搬送することができるセラミックグリ
ーンシート搬送方法と搬送用マニプレーターを提供する
ことを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明では、
吸着ヘッド１６の少なくとも一対の吸盤２０、２０でセ
ラミックグリーンシートａの表面を吸着し、この吸着ヘ
ッド１６を移動させて、セラミックグリーンシートａを
所定の位置に搬送するセラミックグリーンシート搬送方
法において、吸盤２０、２０でセラミックグリーンシー
トａを吸着した後、吸盤２０、２０を移動させて、その
間隔を変えることを特徴とするセラミックグリーンシー
ト搬送方法を提供する。

【００１１】さらに、本発明では、セラミックグリーン
シートａの表面に吸着する少なくとも一対の吸盤２０、
２０を有する吸着ヘッド１６と、この吸着ヘッド１６を
移動する移動機構とを有するセラミックグリーンシート
搬送用マニプレーターにおいて、吸盤２０、２０を昇降
する機構と、吸盤２０、２０を移動させてその間隔を変
える機構とを備えてなることを特徴とするセラミックグ
リーンシート搬送用マニプレーターを提供する。

【００１２】

【作用】前記本発明によるセラミックグリーンシート搬
送用マニプレーターでは、吸盤２０、２０を移動して、
その間隔を変える機構を備えているため、本発明による
搬送方法に従い、吸盤２０、２０でセラミックグリーン
シートを吸着した後、吸盤２０、２０を移動して、その
間隔を変えることで、吸着したセラミックグリーンシー
トａを上下に撓ませることができる。この動作により、
吸盤２０、２０に吸着されたセラミックグリーンシート
の下面に張り付いたセラミックグリーンシートは、上の
セラミックグリーンシートから剥がれ、下に落とされて
分離される。この結果、吸着ヘッド１６に１枚のセラミ
ックグリーンシートのみが吸着される。その後、吸着ヘ
ッド１６が移動することにより、吸着した１枚のセラミ
ックグリーンシートａを所定の位置に搬送することがで
きる。

【００１２】

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の実施例
について詳細に説明する。まず、図１により、本発明の
第一の実施例によるセラミックグリーンシート搬送用マ
ニプレーターの構成を説明する。図１に示すように、ガ
イドレール２３が水平に架設され、このガイドレール２
３に沿って移動自在に吸着ヘッド１６が吊り下げられい
る。のこ吸着ヘッド１６は、ガイドレールに沿って走行
する動力を備えた走行機２４に連結され、同走行機２４
の駆動により図１に矢印で示す方向に移動可能である。

【００１３】この吸着ヘッド１６の下面からは、前後２
列にわたって各々４本ずつのエアシリンダー１７、１８
が垂直に取り付けられており、図１ではそのうちの手前
側の列のエアシリンダー１７、１８のみが見えている。
中央の２つのエアシリンダー１７、１７のプランジャー
に支点１９、１９を介してリンク２１、２１が連結さ
れ、このリンク２１、２１の先端に吸盤２０、２０が取
り付けられている。この吸盤２０、２０の下面は吸着面
であって、図示してない空気配管路により、この吸着面
が負圧とされ、或はその負圧が解除される。これによ
り、その吸着面にセラミックグリーンシートａを吸着
し、或はその吸着を解除することができる。なお、吸着
するセラミックグリーンシートａが小さい場合は、吸盤
２０、２０を一対だけ設けることもあるが、逆に吸着す
るセラミックグリーンシートａが大きい場合は、吸盤２
０、２０を三対以上設けることもある。

【００１４】一方、外側のエアシリンダー１７、１７の
プランジャーにエアシリンダー２２、２２が揺動自在に
連結され、このエアシリンダー２２、２２のプランジャ
ーが前記リンク２１、２１の中間部に揺動自在に連結さ
れている。従って、このエアシリンダ２２、２２が動作
し、そのプランジャーが伸縮すると、リンク２１、２１
とその先端の吸盤２０、２０が揺動し、吸盤２０、２０
の吸着面の角度とその間隔が変動する。

【００１５】次に、このセラミックグリーンシート搬送
用マニプレーターを用いた本発明の実施例によるセラミ
ックグリーンシート搬送方法について図１と図３により
説明する。まず、図１に示されたように、吸着ヘッド１
６がマガジン３に積み重ねて収納されたセラミックグリ
ーンシートａの上に移動して停止し、この状態から図３
（ａ）に示されたように、エアシリンダー１７、１８が
作動し、そのプランジャーが延びて吸盤２０、２０の吸
着面がセラミックグリーンシートａの上面に当たる。こ
こで、吸盤２０、２０の吸着面が負圧とされ、そこにセ
ラミックグリーンシートａが吸着される。この場合、エ
アシリンダー２２、２２は、リンク２１、２１と共に下
降すると共に、吸盤２０、２０の吸着面を水平になるよ
うリンク２１、２１を保持している。

【００１６】次に、図３（ｂ）に示されたように、エア
シリンダー１７、１８が動作して、そのプランジャーが
収縮し、吸盤２０、２０とエアシリンダー２２、２２が
上昇し、吸盤２０、２０の吸着面に吸着されたセラミッ
クグリーンシートａが水平に持ち上げられる。

【００１７】続いて、図３（ｃ）に示されたように、同
図において右側のシリンダー２２が作動してそのプラン
ジャーが伸び、支点１９を中心としてリンク２１が傾け
れられ、一方の吸盤２０が他方の吸盤２０側に近づく。
これにより、吸盤２０、２０の吸着面の間隔が狭まり、
セラミックグリーンシートａが撓む。

【００１８】次に、図３（ｄ）に示されたように、同図
において右側のシリンダー２２のプランジャーが元に戻
り、右側のリンク２１が垂直になると共に、同図におい
て左側のシリンダー２２が作動してそのプランジャーが
伸び、支点１９を中心としてリンク２１が傾けれられ、
他方の吸盤２０が前記右側の吸盤２０側に近づく。これ
により、吸盤２０、２０の吸着面の間隔が狭まり、セラ
ミックグリーンシートａが撓む。

【００１９】こうすることにより、吸盤２０、２０に吸
着されているセラミックグリーンシートａの下に１枚以
上の別のセラミックグリーンシートａが張り付いている
場合でも、最も上のセラミックグリーンシートａから下
のセラミックグリーンシート上が剥がれ、マガジン３に
落とされる。

【００２０】なお、一方のシリンダー２２を動作させ
て、吸盤２０を揺動するとき、他の吸盤２０及びシリン
ダー２２側のシリンダー１７、１８を作動させて、それ
らを僅かに上げて、再び下げ戻すような動作をすると、
セラミックグリーンシートａが単に撓むだけでなく、片
側が上下動するため、セラミックグリーンシートａの張
り付きがより確実に解消される。

【００２１】その後、走行機２４の駆動により、吸着ヘ
ッド１６をガイドレール２３に沿って所定の位置に移動
させ、そこでエアシリンダー１７、１８を作動して吸盤
２０、２０を下降させ、例えば図示してない積層台上に
セラミックグリーンシートａを載せる。そして、吸盤２
０、２０の吸着を解除すれば、セラミックグリーンシー
トａをマガジン３から別の場所に搬送することができ
る。

【００２２】次に、図２に示された本発明の第二の実施
例によるセラミックグリーンシート搬送装置の構成につ
いて説明する。前述の搬送装置は、吸着ヘッド１６を移
動する機構がガイドレール２３を用いたリニア移動機構
であるのに対し、この図２に示された搬送装置は、吸着
ヘッド１６を移動する機構として、回転アーム機構が用
いられている。すなわち、この搬送装置は、回転機構２
７により回転されると共に伸縮するアーム２５を有し、
このアーム２５の先端に上下シリーンダー２８を有す
る。

【００２３】さらに、この上下シリンダー２８の上下す
るプランジャーの先端に吸着ヘッド１６が設けられてい
る。そして、この吸着ヘッド１６の下面に、支点１９、
１９を介してリンク２１、２１が連結され、このリンク
２１、２１の先端に吸盤２０、２０が取り付けられてい
る。一方、この支点１９、１９の両側にエアシリンダー
２２、２２が揺動自在に連結され、このエアシリンダー
２２、２２のプランジャーが前記リンク２１、２１の中
間部に揺動自在に連結されている。

【００２４】このセラミックグリーンシート搬送装置の
動作は、前記図１に示されたものと基本的に同じである
が、吸盤２０、２０に吸着したセラミックグリーンシー
トａの移動は、アーム２５の回転とその伸縮により行
う。例えば、図２に実線で示しているのはアーム２５が
正面を向いた状態であり、二点鎖線で示しているのは、
アーム２５が回転して横向きになった状態である。ま
た、吸盤２０、２０やエアシリンダー２２、２２の上下
は、上下シリンダー２８により同時に行う点も、前記図
１に示された搬送装置と異なっている。

【００２５】なお、前記２つのの実施例では、エアシリ
ンダー１７、１８、２２が用いられているが、これらは
油圧シリンダーやソレノイド等、他のアクチュエーター
に代えることが可能である。また、前述の実施例では、
吸盤２０、２０を取り付けたリンク２１、２１を揺動し
て吸盤２０、２０の間隔を変えたが、吸盤２０、２０を
吸着ヘッド１６の下面で水平、垂直または斜めに移動さ
せて、その間隔を変えるようにしてもよい。

【００２６】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、吸
盤２０、２０に吸着されたセラミックグリーンシートの
下面に張り付いたセラミックグリーンシートを、上のセ
ラミックグリーンシートから剥がして、確実に分離する
ことができることから、セラミックグリーンシートを確
実に１枚ずつ保持して搬送することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例によるセラミックグリー
ンシート搬送装置の要部正面図である。

【図２】本発明の第二の実施例によるセラミックグリー
ンシート搬送装置の要部正面図である。

【図３】前記第一の実施例によるセラミックグリーンシ
ート搬送装置を用いたセラミックグリーンシートの吸着
動作を示す要部正面図である。

【図４】従来例によるセラミックグリーンシート搬送装
置の要部正面図である。

【符号の説明】

１６ 吸着ヘッド １７ エアシリンダー １８ エアシリンダー １９ 支点 ２０ 吸盤 ２１ リンク ２２ エアシリンダー ２３ ガイドレール ２４ 走行機 ２５ アーム ２７ 回転機構 ２８ 上下シリンダー ａ セラミックグリーンシート

Claims (2)

【整理番号】 ００４０８０５−０１ 【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着ヘッド（１６）の少なくとも一対の
   吸盤（２０）、（２０）でセラミックグリーンシート
   （ａ）の表面を吸着し、この吸着ヘッド（１６）を移動
   させて、セラミックグリーンシート（ａ）を所定の位置
   に搬送するセラミックグリーンシート搬送方法におい
   て、吸盤（２０）、（２０）でセラミックグリーンシー
   ト（ａ）を吸着した後、吸盤（２０）、（２０）の間隔
   を変えて吸着したセラミックグリーンシートａを撓ませ
   ることを特徴とするセラミックグリーンシート搬送方
   法。
2. 【請求項２】 セラミックグリーンシート（ａ）の表面
   に吸着する少なくとも一対の吸盤（２０）、（２０）を
   有する吸着ヘッド（１６）と、この吸着ヘッド（１６）
   を移動する移動機構とを有するセラミックグリーンシー
   ト搬送用マニプレーターにおいて、吸盤（２０）、（２
   ０）を昇降する機構と、吸盤（２０）、（２０）を移動
   させて、その間隔を変える機構とを備えてなることを特
   徴とするセラミックグリーンシート搬送用マニプレータ
   ー。