JPH06255772A - ガラス基板移送用ハンド及びガラス基板移送装置 - Google Patents

ガラス基板移送用ハンド及びガラス基板移送装置

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JPH06255772A
JPH06255772A JP4103093A JP4103093A JPH06255772A JP H06255772 A JPH06255772 A JP H06255772A JP 4103093 A JP4103093 A JP 4103093A JP 4103093 A JP4103093 A JP 4103093A JP H06255772 A JPH06255772 A JP H06255772A
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glass substrate
spacer
glass substrates
supply
substrate transfer
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Tetsuo Iida
哲夫 飯田
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Original Assignee
Toshiba Corp
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    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045Details of suction cups suction cups

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラス基板をスペーサを取除きながら1枚ず
つ分離して移送する作業の自動化を図る。 【構成】 ガラス基板1は、合紙2が挟まれて十数枚が
積重ねられた状態で供される。ロボット本体のアームの
先端に、ガラス基板等1を移送するためのハンド20を
設ける。ハンド20を、ベース28に、吸着ノズル31
によりガラス基板1を吸着して取得する吸着機構29を
設けると共に、合紙2を吸着により取得する合紙用吸着
ノズル37,エアブローにより合紙2をガラス基板1か
ら剥離させるための吹付けノズル38及び枠状スペーサ
3を把持により取得する開閉式チャック39よりなるス
ペーサ取得機構30を設けて構成する。吸着機構29及
びスペーサ取得機構30を交互に動作させることによ
り、ガラス基板1をスペーサ2を取除きながら1枚ずつ
分離して移送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、下面にスペーサを配置
した状態で積重ねられた複数枚のガラス基板を分離,移
送するに好適するガラス基板移送用ハンド及びガラス基
板移送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えばLCD(液晶表示装置)用のガラ
ス基板1は、図8に示すように、薄肉な矩形板状をな
し、相互間に保護用の合紙2等のスペーサが挟まれて例
えば十数枚が積重ねられた状態で供されることが一般的
である。また、スペーサとしては、同図に示すように、
ある程度の厚みをもった矩形細枠状の枠状スペーサ3が
用いられる場合もある。
【0003】LCDの組立ラインにおいては、上記ガラ
ス基板1を1枚ずつ分離させながら次の工程に送ること
が行われるが、従来では、作業者による手作業で、積重
ねられたガラス基板1を、合紙2を取除きながら1枚ず
つ取上げて、次工程のコンベア装置に投入するといった
方法が採られていた。
【0004】また、近年においては、自動化を図るた
め、図9及び図10に示すようなガラス基板移送装置が
供されてきている。このものにおいては、図9に示すよ
うに、前後両面が開放し左右両内側壁部に高さ方向に所
定ピッチpで支持部4aを有するラック4に、複数枚の
ガラス基板1を挿入して収容させ、図10に示すよう
に、そのラック4をリフター5により、ピッチpずつ上
昇させながら、プッシャー6によりガラス基板1を1枚
ずつ押出して次工程のコンベア装置7に送り込むように
なっている。尚、ガラス基板1を収容したラック4は、
搬入コンベア8によりリフター5に送られ、また、空に
なったラック4は、戻しコンベア9により排出されるよ
うになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図9及び図
10に示した従来のガラス基板移送装置においては、ガ
ラス基板1を1枚ずつコンベア装置7に送り込む部分に
ついては自動化が果たされたものの、ガラス基板1を合
紙2を取除きながら1枚ずつラック4に挿入する作業
は、依然として作業者の手作業により行わなければなら
ず、単純作業であるにも拘らず、多くの労力を要し生産
性に劣るものであった。
【0006】また、この場合、作業者がガラス基板1を
取扱う際に、ガラス基板1の表面に形成された処理膜を
傷付けてしまう虞があったり、さらには、薄いガラスで
あるために、作業者の安全面でも問題があり、ガラス基
板1を作業者が直接手で取扱うといった作業は、極力少
ない方が望ましいのである。
【0007】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、下面にスペーサを配置した状態で積重
ねられた複数枚のガラス基板を1枚ずつ分離し移送する
作業の自動化を図ることができるガラス基板移送用ハン
ド及びガラス基板移送装置を提供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板移送
用ハンドは、ガラス基板移送装置の本体に設けられるも
のであって、前記本体のアームに取付けられそのアーム
により移動されるベースと、このベースに設けられ積重
ねられた複数枚のガラス基板のうち最上部に位置するも
のを吸着により取得する吸着機構と、前記ベースに設け
られ前記吸着機構により取得されたガラス基板の下面に
位置していたスペーサを取得するスペーサ取得機構とを
具備するところに特徴を有する。
【0009】そして、本発明のガラス基板移送装置は、
上記構成のガラス基板移送用ハンドと、このガラス基板
移送用ハンドを供給位置及びガラス基板搬出位置並びに
スペーサ排出位置間を移動させる本体と、供給位置と補
充位置との間を移動可能に設けられ下面にスペーサを配
置した複数枚のガラス基板が積重ね状態で載置される供
給部を複数有する供給機構と、スペーサ排出位置に移送
されたスペーサを排出する排出手段とを具備するところ
に特徴を有する。
【0010】
【作用】本発明のガラス基板移送用ハンドによれば、ア
ームにより移動されるベースに、ガラス基板を吸着によ
り取得する吸着機構と、スペーサを取得するスペーサ取
得機構とを具備しているので、下面にスペーサを配置し
た状態で複数枚が積重ねられて供されたガラス基板に対
し、吸着機構及びスペーサ取得機構を交互に動作させる
ことにより、ガラス基板をスペーサを取除きながら1枚
ずつ分離,搬送する作業を、作業者の手作業によらずに
行うことができる。
【0011】そして、本発明のガラス基板移送装置によ
れば、本体に、上記のガラス基板移送用ハンドを備える
ため、下面にスペーサを配置した状態で複数枚が積重ね
られて供給位置に供給されたガラス基板に対し、ガラス
基板をスペーサを取除きながら1枚ずつ分離してガラス
基板搬出位置へ搬送する作業を自動で行うことができ
る。
【0012】また、ガラス基板を供給するための供給機
構は、複数の供給部を有すると共に、供給位置と補充位
置との間を移動可能に設けられているので、複数種類の
ガラス基板を供給することができ、また、供給部を補充
位置へ移動させることにより、作業中においても容易に
ガラス基板の補充を行うことができる。さらには、排出
手段により、スペーサの排出をも自動で行うことができ
る。
【0013】
【実施例】以下、本発明をLCD(液晶表示装置)用の
ガラス基板1に適用した一実施例について、図1乃至図
8を参照して説明する。尚、図8については、従来例と
共通するため、新たな図示を省略し、符号も共通させる
こととする。即ち、ガラス基板1は、図8に示すよう
に、薄肉な矩形板状をなし、相互間にガラス基板1と同
等の矩形状をなすスペーサたる合紙2が挟まれて複数枚
例えば十数枚が積重ねられた状態で供される。また、ス
ペーサとしては、同図に示すように、ある程度の厚みを
存しガラス基板1の外周に沿うような矩形細枠状の枠状
スペーサ3が用いられる場合もある。
【0014】まず、図6及び図7を参照して本実施例に
係るガラス基板移送装置11の全体構成について述べ
る。このガラス基板移送装置11は、LCDの組立ライ
ン中に、安全柵12に囲まれて設けられ、上記積重ねら
れたガラス基板1を1枚ずつ分離させながら、基端部が
安全柵12内の右端部に位置され次工程へガラス基板1
を送るコンベア装置13に送り込むものである。従っ
て、コンベア装置13の基端部がガラス基板搬出位置
(以下搬出位置と略す)となっている。
【0015】このガラス基板移送装置11は、大きく分
けて、ガラス基板1の分離,移送を行うための本体たる
ロボット本体14、ガラス基板1の供給源となる供給機
構15、合紙2(あるいは枠状スペーサ3)を排出する
ための排出手段たる排出機構16を備えて構成される。
【0016】このうち、まず、ロボット本体14は、前
記安全柵12内の床上に図で右端側部分を除いて設けら
れた基台部17のほぼ中央部に、架台18を介して設け
られ、多自由度のアーム19を備えている。図1及び図
3にも示すように、このアーム19の先端のZ軸アーム
部19aの下端部には、後に詳述するように、本実施例
に係るガラス基板移送用ハンド20(以下ハンド20と
略す)が設けられている。これにて、ハンド20は、前
記安全柵12内を自在に移動されるようになっている。
【0017】前記供給機構15は、前記基台部17上
に、前記ロボット本体14の前後両側にある程度の間隔
を存して2個の供給テーブル21,21を有して構成さ
れている。これら供給テーブル21,21は、その上面
に夫々例えば4個の供給部22を有し、これら各供給部
22に、前記ガラス基板1が下面に合紙2を配置した状
態で積重ねられて載置されるようになっている。この場
合、各供給部22には、同一種類のものはもとより、相
互に異なる種類(サイズ)のガラス基板1を載置するこ
とができるようになっている。
【0018】そして、これら供給テーブル21,21
は、基台部17上に、夫々リニアスライド軸受23を介
して前後方向(図6で矢印A方向)に移動可能に設けら
れていると共に、基台部17上に設けられたアクチュエ
ータ24,24により、図6に実線で示すような安全柵
12のすぐ内側に収まった位置(供給位置)と、二点鎖
線で示すような安全柵12の外側に引出された位置(補
充位置)とのどちらかを選択的にとるようになってい
る。
【0019】前記排出機構16は、基台部17上に、前
記ロボット本体14と各供給テーブル21,21との間
に位置して、左右方向に延びる1対のベルトコンベア2
5,25を備えると共に、各ベルトコンベア25の右端
部(終端部)に位置して、床上に排出箱26,26を載
置して構成される。前記ベルトコンベア25は、図示し
ないモータによりベルトを右方(図6で矢印B方向)に
送るように構成され、前記排出箱26,26は、そのベ
ルトから落下する合紙2を受けるようになっている。
尚、これらベルトコンベア25,25上がスペーサ排出
位置となる。
【0020】さて、前記ガラス基板移送用ハンド20に
ついて、図1乃至図5を参照して述べる。このハンド2
0は、前記アーム19のZ軸アーム部19aの下端にツ
ールブラケット27を介して取付けられた水平方向に延
びる板状のベース28に、前記ガラス基板1を取得する
ための吸着機構29と、前記スペーサ(合紙2あるいは
枠状スペーサ3)を取得するためのスペーサ取得機構3
0とを組付けて構成される。この場合、本実施例では、
スペーサ取得機構30は、スペーサとしての合紙2及び
枠状スペーサ3の双方に対応することが可能な構成とな
っている。
【0021】前記吸着機構29は、前記ベース28の前
端側(図1で右側)部位に位置して、4本(2行2列)
の吸着ノズル31を備えて構成される。この吸着ノズル
31は、管体の先端部に軟質材料からなる笠状のバキュ
ームパッド32を取付けて構成され、ベース28に上下
動自在に支持されている。また、4本の吸着ノズル31
は、その上端部が、フレキシブルホース33を介して図
示しない真空ポンプなどの負圧源に接続されている。
【0022】そして、吸着ノズル31は、その先端部と
ベース28の下面との間に設けられたスプリング34に
より、常に下方に付勢され、通常時には、図2及び図3
に示す最下位置に位置している。さらに、1個の吸着ノ
ズル31の上部にはドッグ35が固着されていると共
に、前記ベース28には、そのドッグ35(ひいては吸
着ノズル31)がベース28に対して所定高さまで上昇
した(図4参照)ことを検出するための位置センサ36
が設けられている。
【0023】一方、前記スペーサ取得機構30は、合紙
2の取得用の2個の合紙用吸着ノズル37、合紙2をガ
ラス基板1から剥離させるための複数個(1個のみ図
示)の吹付けノズル38、枠状スペーサ3を取得するた
めの複数個(1個のみ図示)の開閉式チャック39を備
えて構成される。
【0024】このうち合紙用吸着ノズル37は、図2に
示すように、細長い取付板40の両端部に設けられ、下
端に紙専用のバキュームパッド41が設けられると共
に、上端部はホース42を介して前記吸着ノズル31の
ものとは別の負圧源(図示せず)に接続されている。そ
して、前記取付板40は、前記ベース28にガイドブッ
シュ43を介して上下動可能に設けられた2本のガイド
バー44の下端に掛渡されるように取付けられている。
【0025】これらガイドバー44は、スプリング45
によって常に下方に付勢され、通常時には、ベース28
に対して最下位置に位置している。さらに、ガイドバー
44の上端にはプレート46が掛渡されるように取付け
られ、このプレート46がベース28に設けられたエア
シリンダ47により強制的に上方に移動させることがで
きるようになっている。
【0026】また、前記吹付けノズル38は、前記ベー
ス28の基端側の下面に下方に延びて設けられ、その先
端部分がほぼ水平方向を向くように折曲がっている。こ
の吹付けノズル38は、図示しないコンプレッサに接続
され、前記供給部22に積載されたガラス基板1の内側
(ロボット本体14側)を向く端面に向けて、矢印Cで
示すようにエアーを吹付けるように構成されている。
【0027】そして、前記開閉式チャック39は、段違
い状に設けられた2個の爪部39a,39bを開閉する
ように構成され、図5に示すように、前記枠状スペーサ
3の一部を両爪部39a,39bにより把持して取得す
るようになっている。この開閉式チャック39は、前記
ベース28に上下動可能に設けられた2本のガイドバー
48の下端に取付けられている。前記ガイドバー48
も、スプリング49によって常に下方に付勢され、通常
時には、ベース28に対して最下位置(図1に示すよう
に吸着ノズル31の最下位置よりも若干高い位置)に位
置している。
【0028】以上のように構成された各機構は、マイコ
ン等から構成される図示しない制御装置により、作業者
のスイッチ操作及び予め設定されたプログラムに基づい
て制御されるようになっており、後の作用説明にて述べ
るように、ガラス基板1を1枚ずつ分離させながらコン
ベア装置13に移送する等の所定の動作を自動的に実行
するようになっているのである。
【0029】次に、上記構成の作用について述べる。ガ
ラス基板1は、例えばガラスメーカーより供給された状
態即ち相互間に合紙2あるいは枠状スペーサ3が挟まれ
て複数枚例えば十数枚が積重ねられた状態で、供給テー
ブル21,21の各供給部22上に載置される。この場
合、供給部22へのガラス基板1の供給作業は、供給テ
ーブル21が安全柵12の外側に引出された補充位置に
て行われ、その後、供給テーブル21は供給位置に移動
されるようになっている。また、各供給部22には、同
一種類のガラス基板1はもとより、供給部22毎に異な
る種類のガラス基板1を載置しておくこともできる。
【0030】ガラス基板1をコンベア装置13の搬出位
置に1枚ずつ移送するにあたっては、まず、ハンド20
を、前後方向(矢印A方向)を指向した姿勢で、供給部
22に積載されたガラス基板1の上方に移動させ、Z軸
アーム部19aの作動により、そのまま下降させる。こ
れにて、図1に示すように、吸着ノズル31のバキュー
ムパッド32が、最上部に位置するガラス基板1の板面
に密着状態に当接するようになる。また、このとき、前
記吹付けノズル38の先端部は、そのガラス基板1の内
側を向く端面に若干の距離だけ離間して対向している。
【0031】さらにハンド20が下降されることによ
り、吸着ノズル31は、スプリング34のばね力に抗し
てベース28に対して相対的に上方に移動するようにな
り、遂には位置センサ36がドッグ35を検出したとこ
ろで、Z軸アーム部19aによるハンド20の下降動作
が停止される。そこで、真空源が駆動されると共にハン
ド20が上昇されることにより、吸着ノズル31により
最上部のガラス基板1が吸着されて持上げられるように
なる。
【0032】そして、このとき、吹付けノズル38から
そのガラス基板1の端面に向けてエアーが吹付けられる
ようになり、これにより、ガラス基板1の下面に配置さ
れていた合紙2がガラス基板1から剥離されて残るよう
になる。これにて、1枚のガラス基板1のみが分離され
た状態となり、そのガラス基板1がハンド20により搬
出位置に移送され、そこで吸着が解かれることにより、
コンベア装置13に供給されるのである。
【0033】次に、積載されたガラス基板1の最上部に
残った合紙2を排出する動作が行われる。この動作は、
やはりハンド20を合紙2の上方に移動させ、この後、
下降,吸着,上昇させることにより、図3に示すよう
に、合紙用吸着ノズル37のバキュームパッド41によ
り合紙2を吸着して取得し、これを、近い側のベルトコ
ンベア25(スペーサ排出位置)上に移送して吸着を解
くことにより行われる。合紙2は、ベルトコンベア25
上を矢印B方向に搬送され、排出箱26内に落下し、排
出箱26内に合紙2が溜まると、作業者により適宜廃棄
される。
【0034】一方、スペーサが上記のような合紙2でな
く、枠状スペーサ3であった場合には、ハンド20の開
閉式チャック39を用いて排出動作が行われる。即ち、
積載されたガラス基板1の最上部に枠状スペーサ3が残
ると、ハンド20をその枠状スペーサ3の上方に移動さ
せ、図4及び図5に示すように、開閉式チャック39が
枠状スペーサ3を把める位置に降下させる。そして、爪
部39a,39bを動作させることにより、枠状スペー
サ3を把持し、これを持上げて近い側のベルトコンベア
25(スペーサ排出位置)上に排出するものである。こ
れにて、上記と同様に、枠状スペーサ3は、ベルトコン
ベア25上を矢印B方向に搬送され、排出箱26内に落
下するのである。
【0035】以上のような動作が繰返されることによ
り、供給位置に供給されたガラス基板1に対し、ガラス
基板1をスペーサを取除きながら1枚ずつ分離して搬出
位置へ搬送する作業が自動的に実行されるのである。ま
た、供給部22へのガラス基板1の補充作業は、他方の
供給テーブル21が使用されているときに、供給テーブ
ル21を補充位置まで移動させることにより、ロボット
本体14による作業中でも、容易且つ安全に行うことが
できる。
【0036】このように本実施例によれば、ガラス基板
移送用ハンド20を、ガラス基板1を取得するための吸
着機構29と、スペーサ(合紙2あるいは枠状スペーサ
3)を取得するためのスペーサ取得機構30とを備えて
構成したので、少なくともスペーサを分離する作業を作
業者の手作業で行わなければならなかった従来と異な
り、ガラス基板1をスペーサ2,3を取除きながら1枚
ずつ分離,搬送する作業の自動化を図ることができた。
この結果、作業者の労力が軽減されて生産性の向上を図
ることができると共に、安全性の向上を図ることができ
るものである。
【0037】そして、本実施例によれば、夫々4つの供
給部22を有する2個の供給テーブル21,21を、供
給位置と補充位置との間を移動可能に構成したので、作
業中においても容易にガラス基板1の補充を行うことが
でき、さらに、ベルトコンベア25,25を設けたこと
により、スペーサ2,3の排出をも極く簡便に行うこと
ができるようになったのである。
【0038】また、特に本実施例では、スペーサ取得機
構30を、合紙用吸着ノズル37及び吹付けノズル3
8、並びに開閉式チャック39を備えて構成したので、
合紙2及び枠状スペーサ3の双方に対応できるという利
点も得られるのである。
【0039】尚、上記実施例では、合紙2及び枠状スペ
ーサ3の双方に対応できるように構成したが、スペーサ
の種類が一定に決まっていれば、そのスペーサにのみ対
応できる構成とすれば良い。また、上記実施例では、夫
々4個の供給部22を有する2個の供給テーブル21を
移動可能に構成したが、複数個の供給部を夫々個々に独
立して移動できるように構成しても良い。その他、本発
明は上記実施例に限定されるものはなく、要旨を逸脱し
ない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。
【0040】
【発明の効果】以上の説明にて明らかなように、本発明
のガラス基板移送用ハンドによれば、本体のアームによ
り移動されるベースに、ガラス基板を吸着により取得す
る吸着機構と、スペーサを取得するスペーサ取得機構と
を具備しているので、ガラス基板をスペーサを取除きな
がら1枚ずつ分離して移送する作業の自動化を図ること
ができ、ひいては生産性や安全性の向上を図ることがで
きるという優れた効果を奏する。
【0041】また、本発明のガラス基板移送装置によれ
ば、本体に、上記のガラス基板移送用ハンドを備えるた
め、ガラス基板をスペーサを取除きながら1枚ずつ分離
してガラス基板搬出位置へ搬送する作業を自動で行うこ
とができることはもとより、複数の供給部を供給位置と
補充位置との間を移動可能に設けたので、複数種類のガ
ラス基板を供給することができると共に、作業中におい
ても容易にガラス基板の補充を行うことができ、さらに
は、排出手段により、スペーサの排出をも自動で行うこ
とができるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すもので、ガラス基板の
吸着時の様子を示す要部の側面図
【図2】ガラス基板移送用ハンドの正面図
【図3】合紙の吸着時の様子を示す要部の側面図
【図4】枠状スペーサの把持時の様子を示す要部の側面
【図5】枠状スペーサの把持時の様子を示す要部の拡大
側面図
【図6】ガラス基板移送装置の全体構成を示す平面図
【図7】ガラス基板移送装置の全体構成を示す側面図
【図8】ガラス基板の積重ね状態を示す斜視図
【図9】従来例を示すもので、ラックへのガラス基板の
挿入の様子を示す斜視図
【図10】ガラス基板移送装置の全体を示す側面図
【符号の説明】
図面中、1はガラス基板、2は合紙(スペーサ)、3は
枠状スペーサ(スペーサ)、11はガラス基板移送装
置、13はコンベア装置、14はロボット本体(ガラス
基板移送装置本体)、15は供給機構、16は排出機構
(排出手段)、19はアーム、20はガラス基板移送用
ハンド、21は供給テーブル、22は供給部、24はア
クチュエータ、25はベルトコンベア、28はベース、
29は吸着機構、30はスペーサ取得機構、31は吸着
ノズル、32はバキュームパッド、34はスプリング、
36は位置センサ、37は合紙用吸着ノズル、38は吹
付けノズル、39は開閉式チャックを示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラス基板移送装置の本体に設けられ、
    下面にスペーサを配置した状態で積重ねられた複数枚の
    ガラス基板を1枚ずつ分離させながら移送するためのも
    のであって、 前記本体のアームに取付けられそのアームにより移動さ
    れるベースと、 このベースに設けられ前記積重ねられた複数枚のガラス
    基板のうち最上部に位置するものを吸着により取得する
    吸着機構と、 前記ベースに設けられ前記吸着機構により取得されたガ
    ラス基板の下面に位置していたスペーサを取得するスペ
    ーサ取得機構とを具備することを特徴とするガラス基板
    移送用ハンド。
  2. 【請求項2】 下面にスペーサを配置した状態で供給位
    置に積重ねられた複数枚のガラス基板を、1枚ずつ分離
    させながらガラス基板搬出位置に移送するものであっ
    て、 請求項1記載のガラス基板移送用ハンドと、 このガラス基板移送用ハンドを、前記供給位置及びガラ
    ス基板搬出位置並びにスペーサ排出位置間を移動させる
    本体と、 前記供給位置と補充位置との間を移動可能に設けられ、
    下面にスペーサを配置した複数枚のガラス基板が積重ね
    状態で載置される供給部を複数有する供給機構と、 前記スペーサ排出位置に移送されたスペーサを排出する
    排出手段とを具備することを特徴とするガラス基板移送
    装置。
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