JPH06140437A - 電界効果型トランジスタ - Google Patents
電界効果型トランジスタInfo
- Publication number
- JPH06140437A JPH06140437A JP28821992A JP28821992A JPH06140437A JP H06140437 A JPH06140437 A JP H06140437A JP 28821992 A JP28821992 A JP 28821992A JP 28821992 A JP28821992 A JP 28821992A JP H06140437 A JPH06140437 A JP H06140437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- gate
- bus bar
- gate electrode
- effect transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 横方向へのペレットサイズの大型化や、ゲー
ト抵抗の増大なしにゲート電極幅を長化し、高出力のF
ETを得る。 【構成】 ゲートバスバー電極3より双方向に引き出し
たゲート電極4とする。(骨型)
ト抵抗の増大なしにゲート電極幅を長化し、高出力のF
ETを得る。 【構成】 ゲートバスバー電極3より双方向に引き出し
たゲート電極4とする。(骨型)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電界効果型トランジスタ
(以下FETと略す)に関し、特に高出力FETのゲー
ト電極の構造に関する。
(以下FETと略す)に関し、特に高出力FETのゲー
ト電極の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の高出力FETのゲート電極1は図
2に示す平面図のゲート電極パット2に連なるゲートバ
スバー電極3より活性層領域1内にのびる櫛型の形状と
なっていた。
2に示す平面図のゲート電極パット2に連なるゲートバ
スバー電極3より活性層領域1内にのびる櫛型の形状と
なっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、高出力FE
Tは大電流を処理するためゲート電極幅を長くする必要
がある。従来の櫛型ゲート電極構造においては、ゲート
電極幅を長くする手段として ゲート電極の本数を増やす。
Tは大電流を処理するためゲート電極幅を長くする必要
がある。従来の櫛型ゲート電極構造においては、ゲート
電極幅を長くする手段として ゲート電極の本数を増やす。
【0004】1本当たりのゲート電極の幅を長する。 が図れるが、各々の問題点として、に関し、横方向の
ペレットサイズが大きくなり、パッケージへの実施やマ
イクロ波帯以上の周波数における合成効率の低下。
ペレットサイズが大きくなり、パッケージへの実施やマ
イクロ波帯以上の周波数における合成効率の低下。
【0005】に関し、ゲート抵抗増大による利得低
下。があり、ゲート電極幅の長化、即ちFETの高出力
化のネックとなっていた。
下。があり、ゲート電極幅の長化、即ちFETの高出力
化のネックとなっていた。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のFETのゲート
電極は骨型とする。即ち、図−1に示すようにバスバー
電極−3から双方向に出す。
電極は骨型とする。即ち、図−1に示すようにバスバー
電極−3から双方向に出す。
【0007】
【作用】前述したように、ゲート電極の構造を骨型とす
ると横方向へのペレットサイズ大型化やゲート抵抗の増
大なしにゲート電極幅を長化できる。
ると横方向へのペレットサイズ大型化やゲート抵抗の増
大なしにゲート電極幅を長化できる。
【0008】
【実施例】図−1は本発明の一実施例の平面図である。
破線の内側は活性層1であり、ゲートバスバー電極3を
はさみ、双方に配置する。ゲートパッド電極2よりペレ
ットに供給された入力信号はゲートバスバー電極3を伝
って、ゲート電極4へ伝わる。ここで、ゲートバスバー
電極3とゲート電極4との分岐部5において、ゲート電
極4は双方向に伸びている。ドレイン電流は、ソースパ
ット電極6より、ソース電極7を介して活性層1を流
れ、ドレイン電極9を介してドレインパッド電極8へ流
れる。
破線の内側は活性層1であり、ゲートバスバー電極3を
はさみ、双方に配置する。ゲートパッド電極2よりペレ
ットに供給された入力信号はゲートバスバー電極3を伝
って、ゲート電極4へ伝わる。ここで、ゲートバスバー
電極3とゲート電極4との分岐部5において、ゲート電
極4は双方向に伸びている。ドレイン電流は、ソースパ
ット電極6より、ソース電極7を介して活性層1を流
れ、ドレイン電極9を介してドレインパッド電極8へ流
れる。
【0009】
【発明の効果】本発明はFETのゲート電極の構造を骨
型にすることにより、横方向へのペレットサイズの大型
化やゲート抵抗の増大なしにゲート電極幅を長化し高出
力を達成できる。
型にすることにより、横方向へのペレットサイズの大型
化やゲート抵抗の増大なしにゲート電極幅を長化し高出
力を達成できる。
【図1】 本発明の平面図
【図2】 従来の高出力FETの平面図
1 活性層 2 ゲートパッド電極 3 ゲートバスバー電極 4 ゲート電極 5 ゲートバスバー電極とゲート電極の分岐部 6 ソースパッド電極 7 ソース電極 8 ドレインパッド電極 9 ドレイン電極
Claims (3)
- 【請求項1】ゲートバスバー電極より相異なる2つの方
向にゲート電極が複数組引き出されていることを特徴と
する電界効果型トランジスタ。 - 【請求項2】ゲートバスバー電極と、その両側に配置し
た活性層領域と、 前記ゲートバスバー電極より双方向に分岐するゲート電
極とを具備することを特徴とする電界効果型トランジス
タ。 - 【請求項3】前記双方向に分岐するゲート電極の分岐点
を同じとし、かつ分岐を複数組有する骨型ゲートとした
請求項2の電界効果型トランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28821992A JPH06140437A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 電界効果型トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28821992A JPH06140437A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 電界効果型トランジスタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06140437A true JPH06140437A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17727365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28821992A Pending JPH06140437A (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 電界効果型トランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06140437A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6900482B2 (en) | 2001-03-30 | 2005-05-31 | Fujitsu Quantum Devices Limited | Semiconductor device having divided active regions with comb-teeth electrodes thereon |
KR100788373B1 (ko) * | 2006-08-22 | 2008-01-02 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 실리사이드 모니터링 패턴을 갖는 반도체 소자 |
EP2053660A1 (en) | 2007-10-26 | 2009-04-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
EP3903348A4 (en) * | 2018-12-27 | 2022-08-10 | Micron Technology, Inc. | APPLIANCE WITH A CURRENT GATHERING ARRANGEMENT |
-
1992
- 1992-10-27 JP JP28821992A patent/JPH06140437A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6900482B2 (en) | 2001-03-30 | 2005-05-31 | Fujitsu Quantum Devices Limited | Semiconductor device having divided active regions with comb-teeth electrodes thereon |
KR100788373B1 (ko) * | 2006-08-22 | 2008-01-02 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 실리사이드 모니터링 패턴을 갖는 반도체 소자 |
EP2053660A1 (en) | 2007-10-26 | 2009-04-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
JP2009111016A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US7851832B2 (en) | 2007-10-26 | 2010-12-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
EP2447998A1 (en) * | 2007-10-26 | 2012-05-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
KR101388812B1 (ko) * | 2007-10-26 | 2014-04-23 | 가부시끼가이샤 도시바 | 반도체 장치 |
EP3903348A4 (en) * | 2018-12-27 | 2022-08-10 | Micron Technology, Inc. | APPLIANCE WITH A CURRENT GATHERING ARRANGEMENT |
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