JPH059878B2 - - Google Patents
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- JPH059878B2 JPH059878B2 JP61298398A JP29839886A JPH059878B2 JP H059878 B2 JPH059878 B2 JP H059878B2 JP 61298398 A JP61298398 A JP 61298398A JP 29839886 A JP29839886 A JP 29839886A JP H059878 B2 JPH059878 B2 JP H059878B2
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- bit lines
- semiconductor memory
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- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 47
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 25
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
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- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000036452 memory potential Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/18—Bit line organisation; Bit line lay-out
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/565—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using capacitive charge storage elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/24—Bit-line control circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Dram (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は書込み、読出しが可能なランダムア
クセス型半導体メモリ、特に大容量のダイナミツ
ク型の半導体メモリに関する。
クセス型半導体メモリ、特に大容量のダイナミツ
ク型の半導体メモリに関する。
(従来の技術)
半導体メモリは素子微細化技術等の発展によ
り、これまで着実に大容量化を進めてきた。しか
しながら、近年、微細化の速度が遅れ気味になつ
てきており、これまでのようなバイナリ情報記憶
用のセルを使用していたのでは大容量化の速度も
鈍化せざるを得ない。そこで考えられるのが。セ
ル1個に対して多値の情報を記憶する方式であ
る。この方式のメモリは1個のメモリセルに2値
(1ビツト)のバイナリ情報を記憶するのではな
く、4値(2ビツト)や8値(3ビツト)を記憶
するものである。すなわち、n値記憶の場合には
(1/n)個のセルで従来のバイナリ情報方式の
ものと同一の記憶情報量を確保することができ
る。
り、これまで着実に大容量化を進めてきた。しか
しながら、近年、微細化の速度が遅れ気味になつ
てきており、これまでのようなバイナリ情報記憶
用のセルを使用していたのでは大容量化の速度も
鈍化せざるを得ない。そこで考えられるのが。セ
ル1個に対して多値の情報を記憶する方式であ
る。この方式のメモリは1個のメモリセルに2値
(1ビツト)のバイナリ情報を記憶するのではな
く、4値(2ビツト)や8値(3ビツト)を記憶
するものである。すなわち、n値記憶の場合には
(1/n)個のセルで従来のバイナリ情報方式の
ものと同一の記憶情報量を確保することができ
る。
このような多値情報記憶メモリの一例として、
Digest of Techinical Papers ISSCC1985の第
246頁ないし第247頁の「A16−Levels/Cell
Dynamic Memory」や、特開昭50−62233号公
報に記載されている発明のように、1群にまとめ
られたデイジタル信号をアナログ信号に変換し、
このアナログ信号を記憶するものが知られてい
る。
Digest of Techinical Papers ISSCC1985の第
246頁ないし第247頁の「A16−Levels/Cell
Dynamic Memory」や、特開昭50−62233号公
報に記載されている発明のように、1群にまとめ
られたデイジタル信号をアナログ信号に変換し、
このアナログ信号を記憶するものが知られてい
る。
しかるに、上記各従来技術では、時系列的に何
サイクルか費やしてデータを読出すようにしてい
るので、アクセス時間が遅くなるという欠点があ
る。例えば上記各従来技術のうち、前者ではアク
セス時間に50μsないし100μs程度要しており、こ
の値は通常の2値記憶ダイナミツクRAMの100
倍ないし1000倍程度である。
サイクルか費やしてデータを読出すようにしてい
るので、アクセス時間が遅くなるという欠点があ
る。例えば上記各従来技術のうち、前者ではアク
セス時間に50μsないし100μs程度要しており、こ
の値は通常の2値記憶ダイナミツクRAMの100
倍ないし1000倍程度である。
また、前者の例ではワード線の電位を階段状に
制御する必要があり、このレベル発生にはかなり
難しい回路技術を要する。また、後者の例でも、
ビツト線に対する書込みレベルを発生させるた
め、駆動電流の大きな中間電位発生回路が必要で
あり、この場合にも高度な回路技術が必要であ
る。
制御する必要があり、このレベル発生にはかなり
難しい回路技術を要する。また、後者の例でも、
ビツト線に対する書込みレベルを発生させるた
め、駆動電流の大きな中間電位発生回路が必要で
あり、この場合にも高度な回路技術が必要であ
る。
このように従来技術では、製造価格の安価を第
1義とするダイナミツクRAMの設計方針にそぐ
わないものとなつてしまう。
1義とするダイナミツクRAMの設計方針にそぐ
わないものとなつてしまう。
(発明が解決しようとする問題点)
このように従来の多値情報記憶方式の半導体メ
モリではアクセス時間が長い、製造価格が高価と
なる、等の欠点がある。
モリではアクセス時間が長い、製造価格が高価と
なる、等の欠点がある。
この発明は上記のような事情を考慮してなされ
たものであり、その目的は、従来のバイナリ情報
記憶方式のものと同等のアクセス時間を持ち、複
雑で高精度の制御を要する回路技術も必要とせ
ず、従来の半導体メモリで確立された回路技術に
より十分に実現できる多値記憶方式の半導体メモ
リを提供することにある。
たものであり、その目的は、従来のバイナリ情報
記憶方式のものと同等のアクセス時間を持ち、複
雑で高精度の制御を要する回路技術も必要とせ
ず、従来の半導体メモリで確立された回路技術に
より十分に実現できる多値記憶方式の半導体メモ
リを提供することにある。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
この発明の半導体メモリは、それぞれn値の情
報をn値の異なる電位として記憶する複数個のメ
モリセルと、上記複数個のメモリセルのうちアド
レス信号によつて指定されたものの記憶電位が与
えられ、(n−1)本の部分ビツト線に分割され
たビツト線と、上記(n−1)本の各部分ビツト
線の電位をそれぞれ異なる基準電位と比較する
(n−1)個のセンスアンプとから構成されてい
る。
報をn値の異なる電位として記憶する複数個のメ
モリセルと、上記複数個のメモリセルのうちアド
レス信号によつて指定されたものの記憶電位が与
えられ、(n−1)本の部分ビツト線に分割され
たビツト線と、上記(n−1)本の各部分ビツト
線の電位をそれぞれ異なる基準電位と比較する
(n−1)個のセンスアンプとから構成されてい
る。
(作用)
この発明の半導体メモリでは、複数個の各メモ
リセルに対してn値の情報をn値の異なる電位と
して記憶させる。また、ビツト線を(n−1)本
の部分ビツト線に分割し、各部分ビツト線をスイ
ツチ素子を介して接続することにより、(n−1)
本の部分ビツト線を任意に分離もしくは接続でき
るようにしておく。そして、データの読み出し時
には、(n−1)本の部分ビツト線を接続した状
態で一つのメモリセルの記憶電位を読み出した
後、スイツチ素子を非導通状態にしてビツト線を
(n−1)本の部分ビツト線に分離する。この後、
(n−1)本の各部分ビツト線の電位を(n−1)
個のセンスアンプでそれぞれ異なる基準電位を用
いて検出する。他方、データの書込み時には、
(n−1)本の部分ビツト線を分離した状態で各
部分ビツト線に書込みデータに応じた電位を供給
した後、スイツチ素子を導通状態にして(n−
1)本の部分ビツト線を接続する。この後、(n
−1)本の各部分ビツト線電位の容量分割により
ビツト線電位が決定され、この電位が選択されて
いるメモリセルに書込まれる。
リセルに対してn値の情報をn値の異なる電位と
して記憶させる。また、ビツト線を(n−1)本
の部分ビツト線に分割し、各部分ビツト線をスイ
ツチ素子を介して接続することにより、(n−1)
本の部分ビツト線を任意に分離もしくは接続でき
るようにしておく。そして、データの読み出し時
には、(n−1)本の部分ビツト線を接続した状
態で一つのメモリセルの記憶電位を読み出した
後、スイツチ素子を非導通状態にしてビツト線を
(n−1)本の部分ビツト線に分離する。この後、
(n−1)本の各部分ビツト線の電位を(n−1)
個のセンスアンプでそれぞれ異なる基準電位を用
いて検出する。他方、データの書込み時には、
(n−1)本の部分ビツト線を分離した状態で各
部分ビツト線に書込みデータに応じた電位を供給
した後、スイツチ素子を導通状態にして(n−
1)本の部分ビツト線を接続する。この後、(n
−1)本の各部分ビツト線電位の容量分割により
ビツト線電位が決定され、この電位が選択されて
いるメモリセルに書込まれる。
(実施例)
以下、図面を参照してこの発明を実施例により
説明する。
説明する。
第1図はこの発明の半導体メモリを4値情報
(2ビツト)記憶方式のダイナミツクRAMに実
施した場合の回路図である。このメモリでは例え
ば1カラム当り256ロウが割当てられており、第
1図ではそのうちの1カラム分のみが図示されて
いる。
(2ビツト)記憶方式のダイナミツクRAMに実
施した場合の回路図である。このメモリでは例え
ば1カラム当り256ロウが割当てられており、第
1図ではそのうちの1カラム分のみが図示されて
いる。
図において、BL1,1はビツト線対であ
り、このビツト線対BL1,1それぞれは3本
の部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1c,
1a,1,1に分割されており、かつ
各3本の部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1
c及び1,1,1はそれぞれ各
NチヤネルのMOSトランジスタ11で接続され
ている。これらのトランジスタ11のゲートには
制御信号SWTが供給されるようになつている。
り、このビツト線対BL1,1それぞれは3本
の部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1c,
1a,1,1に分割されており、かつ
各3本の部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1
c及び1,1,1はそれぞれ各
NチヤネルのMOSトランジスタ11で接続され
ている。これらのトランジスタ11のゲートには
制御信号SWTが供給されるようになつている。
上記ビツト線対BL1,1の延長方向と交差
するように256本のワード線WL0ないしWL25
5、2本のスペアワード線SWL0,SWL1、3
対のダミーワード線DWL1,1,DWL2,
DWL2,DWL3,3及び3対のデータ入
出力線I/O1,1,I/O2,
2、I/O3,3が設けられている。この
うち86本のワード線WL0ないしWL85と2本
のダミーワード線DWL1,1及び1対のデ
ータ入出力線I/O1,1は1対の部分ビ
ツト線BL1a,1に、86本のワード線WL
86ないしWL171と2本のダミーワード線
DWL2,2及び1対のデータ入出力線I/
O2,2は1対の部分ビツト線BL1b,
BL1bにそれぞれ属しており、さらに86本のワ
ード線WL172ないしWL255と2本のスペ
アワード線SWL0,SWL1と2本のダミーワー
ド線DWL3,3及び1対のデータ入出力線
I/O3,3は1対の部分ビツト線BL1
c,1に属している。
するように256本のワード線WL0ないしWL25
5、2本のスペアワード線SWL0,SWL1、3
対のダミーワード線DWL1,1,DWL2,
DWL2,DWL3,3及び3対のデータ入
出力線I/O1,1,I/O2,
2、I/O3,3が設けられている。この
うち86本のワード線WL0ないしWL85と2本
のダミーワード線DWL1,1及び1対のデ
ータ入出力線I/O1,1は1対の部分ビ
ツト線BL1a,1に、86本のワード線WL
86ないしWL171と2本のダミーワード線
DWL2,2及び1対のデータ入出力線I/
O2,2は1対の部分ビツト線BL1b,
BL1bにそれぞれ属しており、さらに86本のワ
ード線WL172ないしWL255と2本のスペ
アワード線SWL0,SWL1と2本のダミーワー
ド線DWL3,3及び1対のデータ入出力線
I/O3,3は1対の部分ビツト線BL1
c,1に属している。
上記各ワード線WL及び各スペアワード線SWL
それぞれと上記各部分ビツト線BL1a,BL1
b,BL1c,1,1,1のいず
れか一本との交点にはメモリセル12が設けられ
ている。また、ダミーワード線DWL,と上
記各部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1c,
BL1a,1,1それぞれの交点には
ダミーメモリセル13が設けられている。
それぞれと上記各部分ビツト線BL1a,BL1
b,BL1c,1,1,1のいず
れか一本との交点にはメモリセル12が設けられ
ている。また、ダミーワード線DWL,と上
記各部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1c,
BL1a,1,1それぞれの交点には
ダミーメモリセル13が設けられている。
また、上記一対の部分ビツト線毎にセンスアン
プSA1,SA2,SA3がそれぞれ設けられてい
る。これら各センスアンプSA1,SA2,SA3
はそれぞれ対応する部分ビツト線間に接続されて
いると共に上記3対のデータ入出力線I/O,
I/Oの対応するものにそれぞれ接続されてい
る。これらセンスアンプSA1,SA2,SA3に
はそれぞれ2種類の制御信号SEN、CLSが供給
されるようになつており、一方の制御信号SEN
が例えばHレベルにされている期間にセンスアン
プとしての動作を行ない、他方の制御信号CLSが
例えばHレベルにされている期間にセンスしたデ
ータを対応するデータ入出力線I/O,に
出力するとともに対応するデータ入出力線I/
O,に与えられる書き込み用データを取込
んで対応する部分ビツト線に出力する。なお、上
記制御信号CLSはカラムデコーダCDから出力さ
れる。
プSA1,SA2,SA3がそれぞれ設けられてい
る。これら各センスアンプSA1,SA2,SA3
はそれぞれ対応する部分ビツト線間に接続されて
いると共に上記3対のデータ入出力線I/O,
I/Oの対応するものにそれぞれ接続されてい
る。これらセンスアンプSA1,SA2,SA3に
はそれぞれ2種類の制御信号SEN、CLSが供給
されるようになつており、一方の制御信号SEN
が例えばHレベルにされている期間にセンスアン
プとしての動作を行ない、他方の制御信号CLSが
例えばHレベルにされている期間にセンスしたデ
ータを対応するデータ入出力線I/O,に
出力するとともに対応するデータ入出力線I/
O,に与えられる書き込み用データを取込
んで対応する部分ビツト線に出力する。なお、上
記制御信号CLSはカラムデコーダCDから出力さ
れる。
また、ここでは図示していないが、ビツト線対
に対する負荷回路、データの読み出し時に上記セ
ンスアンプSA1,SA2,SA3の出力に基づい
て2ビツト線のデータを出力するデータ出力回路
と、データの書き込み時に外部からの2ビツトの
書き込みデータに基づき上記部分ビツト線に対す
る書き込み用データを発生するデータ書き込み回
路とが設けられている。
に対する負荷回路、データの読み出し時に上記セ
ンスアンプSA1,SA2,SA3の出力に基づい
て2ビツト線のデータを出力するデータ出力回路
と、データの書き込み時に外部からの2ビツトの
書き込みデータに基づき上記部分ビツト線に対す
る書き込み用データを発生するデータ書き込み回
路とが設けられている。
第2図は上記実施例回路におけるビツト線対に
対する負荷回路の構成を示す回路図である。この
負荷回路において、一方のビツト線BLと電源電
圧Vccの1/2の電位(1/2)Vccの印加点との間には
プリチヤージ用のNチヤネルMOSトランジスタ
21が、他方のビツト線BLと(1/2)Vcc印加点
との間にもプリチヤージ用のNチヤネルMOSト
ランジスタ22がそれぞれ挿入されており、さら
にビツト線BL,相互間にはイコライズ用のN
チヤネルMOSトランジスタ23が挿入されてい
る。そして、これらのトランジスタ21,22,
23の各ゲートには制御信号EQLが並列に供給
されるようになつている。
対する負荷回路の構成を示す回路図である。この
負荷回路において、一方のビツト線BLと電源電
圧Vccの1/2の電位(1/2)Vccの印加点との間には
プリチヤージ用のNチヤネルMOSトランジスタ
21が、他方のビツト線BLと(1/2)Vcc印加点
との間にもプリチヤージ用のNチヤネルMOSト
ランジスタ22がそれぞれ挿入されており、さら
にビツト線BL,相互間にはイコライズ用のN
チヤネルMOSトランジスタ23が挿入されてい
る。そして、これらのトランジスタ21,22,
23の各ゲートには制御信号EQLが並列に供給
されるようになつている。
第3図は上記実施例回路におけるメモリセル1
2もしくはダミーメモリセル13の具体的な構成
を示す回路図である。このメモリセルもしくはダ
ミーメモリセルは、図示するようにデータ記憶用
のキヤパシタ31と、このキヤパシタ31を選択
するためのNチヤネルMOSトランジスタ32と
で構成され、トランジスタ32のゲートが対応す
るワード線WLもしくはスペアワード線SWLある
いはダミーワード線DWL,に接続され、キ
ヤパシタ31側とは反対側のドレインがビツト線
BLもしくはBLに接続されている。なお、上記の
ようにビツト線BLが3本の部分ビツト線に分割
されている場合、メモリセル12内のキヤパシタ
31のキヤパシタンスをCsとすると、ダミーセ
ル13内のキヤパシタ31のキヤパシタンスはお
よそ(1/3)Cs程度となるように設定されてい
る。また、メモリセル12に記憶すべき4値の電
位は電源電圧をVccとすると、例えば0,(1/3)
Vcc,(2/3)Vcc,Vccとする。このとき、部分ビ
ツト線対BL1a,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(1/6)Vccの電位が、部分ビ
ツト線対BL1b,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(1/2)Vccの電位が、部分ビ
ツト線対BL1c,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(5/6)Vccの電位が、それぞ
れ記憶されており、これらの電位はメモリセル1
2からのデータ読み出し時にセンスアンプSA1,
SA2,SA3それぞれに基準電位として供給され
る。なお、ダミーセル13に予め記憶される(1/
6)Vcc、(1/2)Vcc、(5/6)Vccの電位はそれぞ
れ、図示しない電位発生回路で形成されるように
なつている。
2もしくはダミーメモリセル13の具体的な構成
を示す回路図である。このメモリセルもしくはダ
ミーメモリセルは、図示するようにデータ記憶用
のキヤパシタ31と、このキヤパシタ31を選択
するためのNチヤネルMOSトランジスタ32と
で構成され、トランジスタ32のゲートが対応す
るワード線WLもしくはスペアワード線SWLある
いはダミーワード線DWL,に接続され、キ
ヤパシタ31側とは反対側のドレインがビツト線
BLもしくはBLに接続されている。なお、上記の
ようにビツト線BLが3本の部分ビツト線に分割
されている場合、メモリセル12内のキヤパシタ
31のキヤパシタンスをCsとすると、ダミーセ
ル13内のキヤパシタ31のキヤパシタンスはお
よそ(1/3)Cs程度となるように設定されてい
る。また、メモリセル12に記憶すべき4値の電
位は電源電圧をVccとすると、例えば0,(1/3)
Vcc,(2/3)Vcc,Vccとする。このとき、部分ビ
ツト線対BL1a,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(1/6)Vccの電位が、部分ビ
ツト線対BL1b,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(1/2)Vccの電位が、部分ビ
ツト線対BL1c,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(5/6)Vccの電位が、それぞ
れ記憶されており、これらの電位はメモリセル1
2からのデータ読み出し時にセンスアンプSA1,
SA2,SA3それぞれに基準電位として供給され
る。なお、ダミーセル13に予め記憶される(1/
6)Vcc、(1/2)Vcc、(5/6)Vccの電位はそれぞ
れ、図示しない電位発生回路で形成されるように
なつている。
第4図は上記実施例回路におけるデータ出力回
路の構成を示す回路図である。前記センスアンプ
SA1,SA2,SA3に接続されている3対のデ
ータ入出力線I/O1,1,I/O2,
I/O2,I/O3,3のうち、I/O3
とI/O2のデータがナンドゲート41に、I/
O1と2のデータがナンドゲート42にそ
れぞれ供給され、両ナンドゲート41,42の出
力はナンドゲート43に供給される。また、
O3とI/O2のデータがナンドゲート44に、
I/O1と2のデータがナンドゲート45
にそれぞれ供給され、両ナンドゲート44,45
の出力はナンドゲート46に供給される。さら
に、I/O2のデータが直列接続された2個のイ
ンバータ47,48の初段に供給され、2
のデータが直列接続された2個のインバータ4
9,50の初段に供給される。そして、2ビツト
の読み出しデータのうちD1はナンドゲート43
から、1はナンドゲート46から、D2はイン
バータ48から、2はインバータ50からそれ
ぞれ出力される。
路の構成を示す回路図である。前記センスアンプ
SA1,SA2,SA3に接続されている3対のデ
ータ入出力線I/O1,1,I/O2,
I/O2,I/O3,3のうち、I/O3
とI/O2のデータがナンドゲート41に、I/
O1と2のデータがナンドゲート42にそ
れぞれ供給され、両ナンドゲート41,42の出
力はナンドゲート43に供給される。また、
O3とI/O2のデータがナンドゲート44に、
I/O1と2のデータがナンドゲート45
にそれぞれ供給され、両ナンドゲート44,45
の出力はナンドゲート46に供給される。さら
に、I/O2のデータが直列接続された2個のイ
ンバータ47,48の初段に供給され、2
のデータが直列接続された2個のインバータ4
9,50の初段に供給される。そして、2ビツト
の読み出しデータのうちD1はナンドゲート43
から、1はナンドゲート46から、D2はイン
バータ48から、2はインバータ50からそれ
ぞれ出力される。
第5図は上記実施例回路におけるデータ書き込
み回路の構成を示す回路図である。外部から供給
される2ビツトの書き込み用データD1,1,
D2,2のうち、D1とD2がナンドゲート6
1に供給され、このナンドゲート61の出力はイ
ンバータ62に供給されている。1と2はノ
アゲート63に供給され、このノアゲート63の
出力はインバータ64に供給されている。さら
に、D1とD2がノアゲート65に供給され、こ
のノアゲート65の出力はインバータ66に供給
されている。またさらに、1と2がナンドゲ
ート67に供給され、このナンドゲート67の出
力はインバータ68に供給されている。そして、
上記インバータ62,64の出力が前記データ入
出力線I/O3,3に、D2と2がその
まま前記データ入出力線I/O2,2に、
インバータ66,64の出力が前記データ入出力
線I/O1,1にそれぞれ供給される。
み回路の構成を示す回路図である。外部から供給
される2ビツトの書き込み用データD1,1,
D2,2のうち、D1とD2がナンドゲート6
1に供給され、このナンドゲート61の出力はイ
ンバータ62に供給されている。1と2はノ
アゲート63に供給され、このノアゲート63の
出力はインバータ64に供給されている。さら
に、D1とD2がノアゲート65に供給され、こ
のノアゲート65の出力はインバータ66に供給
されている。またさらに、1と2がナンドゲ
ート67に供給され、このナンドゲート67の出
力はインバータ68に供給されている。そして、
上記インバータ62,64の出力が前記データ入
出力線I/O3,3に、D2と2がその
まま前記データ入出力線I/O2,2に、
インバータ66,64の出力が前記データ入出力
線I/O1,1にそれぞれ供給される。
次に上記のような構成のメモリの動作を第6図
のタイミングチヤートを用いて説明する。まず、
データの読み出し動作の場合、各メモリセル12
には予め前記のように0,(1/3)Vcc,(2/3)
V′cc,Vccからなる4値の電位のいずれか一つが
記憶されているとする。
のタイミングチヤートを用いて説明する。まず、
データの読み出し動作の場合、各メモリセル12
には予め前記のように0,(1/3)Vcc,(2/3)
V′cc,Vccからなる4値の電位のいずれか一つが
記憶されているとする。
始めに、制御信号EQLはHレベルになつてお
り、第2図中のトランジスタ21,22,23が
それぞれ導通している。このとき、制御信号
SWTもHレベルになつており、第1図中の各ト
ランジスタ11は導通しており、3本の部分ビツ
ト線BL1a,BL1b,BL1cと,1
b,1はそれぞれ1本につながつた状態に
なつている。なお、制御信号SWTのHレベル電
位は、トランジスタ11の導通抵抗が十分に小さ
くなるように、ビツト線電位の最高レベルVccよ
りも高く設定されるのが好ましい。この結果、各
部分ビツト線BL1a,1、BL1b,1
b,BL1c,1は全て(1/2)Vccの電位に
プリチヤージされている。
り、第2図中のトランジスタ21,22,23が
それぞれ導通している。このとき、制御信号
SWTもHレベルになつており、第1図中の各ト
ランジスタ11は導通しており、3本の部分ビツ
ト線BL1a,BL1b,BL1cと,1
b,1はそれぞれ1本につながつた状態に
なつている。なお、制御信号SWTのHレベル電
位は、トランジスタ11の導通抵抗が十分に小さ
くなるように、ビツト線電位の最高レベルVccよ
りも高く設定されるのが好ましい。この結果、各
部分ビツト線BL1a,1、BL1b,1
b,BL1c,1は全て(1/2)Vccの電位に
プリチヤージされている。
次に制御信号EQLがLレベルに低下し、ビツ
ト線のプリチヤージが完了する。プリチヤージ完
了後、外部からのアドレスに基づいて256本のワ
ード線WLのいずれか1本が選択され、Hレベル
に駆動される。これにより、選択されたワード線
WLに接続されている1個のメモリセル12が動
作し、予め記憶している電位をビツト線BL1も
しくは1に読み出す。上記メモリセル12か
らの読み出し電位は1本に接続されたそれぞれ3
本の部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1c、
もしくは1,1,1に伝達され
るものであるが、ここでは例えば部分ビツト線
BL1a,BL1b,BL1c側に伝達されたとす
る。
ト線のプリチヤージが完了する。プリチヤージ完
了後、外部からのアドレスに基づいて256本のワ
ード線WLのいずれか1本が選択され、Hレベル
に駆動される。これにより、選択されたワード線
WLに接続されている1個のメモリセル12が動
作し、予め記憶している電位をビツト線BL1も
しくは1に読み出す。上記メモリセル12か
らの読み出し電位は1本に接続されたそれぞれ3
本の部分ビツト線BL1a,BL1b,BL1c、
もしくは1,1,1に伝達され
るものであるが、ここでは例えば部分ビツト線
BL1a,BL1b,BL1c側に伝達されたとす
る。
この後、制御信号SWTがLレベルに低下して
第1図中の各トランジスタ11が非導通となり、
各ビツト線BL1,1それぞれが3本の部分ビ
ツト線BL1a,BL1b,BL1c,1,
BL1b,1に分離される。分離後も部分ビ
ツト線BL1a,BL1b,BL1cそれぞれの電
位は変化せず、同電位に保たれる。次に、上記選
択されたワード線WLに対応して各1対のダミー
ワード線DWL1,1,DWL2,2,
DWL3,3のうちそれぞれ1,
2,3が同時に選択され、Hレベルに駆動
される。これによりダミーセル13が動作する。
なお、選択されたワード線WLに接続されている
メモリセル12がビツト線1側に接続されて
いる場合には、これに対応してDWL1,DWL
2,DWL3がそれぞれ選択される。ここで部分
ビツト線BL1a,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(1/6)Vccの電位が記憶され
ているので、ダミーセル13が動作すると部分ビ
ツト線1には(1/6)Vccの電位が読み出さ
れる。同様に、部分ビツト線1には(1/2)
Vccの電位が、部分ビツト線1には(5/6)
Vccの電位がそれぞれ読み出される。
第1図中の各トランジスタ11が非導通となり、
各ビツト線BL1,1それぞれが3本の部分ビ
ツト線BL1a,BL1b,BL1c,1,
BL1b,1に分離される。分離後も部分ビ
ツト線BL1a,BL1b,BL1cそれぞれの電
位は変化せず、同電位に保たれる。次に、上記選
択されたワード線WLに対応して各1対のダミー
ワード線DWL1,1,DWL2,2,
DWL3,3のうちそれぞれ1,
2,3が同時に選択され、Hレベルに駆動
される。これによりダミーセル13が動作する。
なお、選択されたワード線WLに接続されている
メモリセル12がビツト線1側に接続されて
いる場合には、これに対応してDWL1,DWL
2,DWL3がそれぞれ選択される。ここで部分
ビツト線BL1a,1に接続されているダミ
ーセル13には予め(1/6)Vccの電位が記憶され
ているので、ダミーセル13が動作すると部分ビ
ツト線1には(1/6)Vccの電位が読み出さ
れる。同様に、部分ビツト線1には(1/2)
Vccの電位が、部分ビツト線1には(5/6)
Vccの電位がそれぞれ読み出される。
各部分ビツト線1,1、1そ
れぞれにダミーセル13の記憶電位が読み出され
た後に、制御信号SENがHレベルにされる。こ
れにより3個のセンスアンプSA1,SA2,SA
3が動作を開始する。すなわち、センスアンプ
SA1は分ビツト線BL1aと1との電位差
を増幅する。同様に、センスアンプSA2,SA3
は部分ビツト線BL1bと1と、BL1cと
BL1cとそれぞれの電位差を増幅する。この後、
カラムデコーダCDから出力される制御信号CSL
がHレベルにされ、センスアンプSA1,SA2,
SA3で増幅された各部分ビツト線対のデータが
対応する各ータ入出力線対I/O1,1,
I/O2,2,I/O3,3に出力
される。
れぞれにダミーセル13の記憶電位が読み出され
た後に、制御信号SENがHレベルにされる。こ
れにより3個のセンスアンプSA1,SA2,SA
3が動作を開始する。すなわち、センスアンプ
SA1は分ビツト線BL1aと1との電位差
を増幅する。同様に、センスアンプSA2,SA3
は部分ビツト線BL1bと1と、BL1cと
BL1cとそれぞれの電位差を増幅する。この後、
カラムデコーダCDから出力される制御信号CSL
がHレベルにされ、センスアンプSA1,SA2,
SA3で増幅された各部分ビツト線対のデータが
対応する各ータ入出力線対I/O1,1,
I/O2,2,I/O3,3に出力
される。
ここで、選択されたメモリセル12の記憶電位
が0の場合、この値はダミーセル13で記憶され
ている3値の電位(1/6)Vcc、(1/2)Vcc、(5/6)
Vccのいずれよりも低いので、センスアンプSA
1,SA2,SA3による増幅後、部分ビツト線
BL1a,BL1b,BL1cそれぞれはLレベル
に、部分ビツト線1,1,1そ
れぞれはHレベルにされる。また、選択されたメ
モリセル12の記憶電位が(1/3)Vccの場合、こ
の値はダミーセル13で記憶されている電位(1/
6)Vccよりは高く、(1/2)Vccと(5/6)Vccより
も低いので、センスアンプSA1,SA2,SA3
による増幅後、部分ビツト線BL1aがHレベル
に、1がLレベルにされ、BL1bとBL1
cそれぞれはLレベルに、部分ビツト線1
と1それぞれはHレベルにされる。
が0の場合、この値はダミーセル13で記憶され
ている3値の電位(1/6)Vcc、(1/2)Vcc、(5/6)
Vccのいずれよりも低いので、センスアンプSA
1,SA2,SA3による増幅後、部分ビツト線
BL1a,BL1b,BL1cそれぞれはLレベル
に、部分ビツト線1,1,1そ
れぞれはHレベルにされる。また、選択されたメ
モリセル12の記憶電位が(1/3)Vccの場合、こ
の値はダミーセル13で記憶されている電位(1/
6)Vccよりは高く、(1/2)Vccと(5/6)Vccより
も低いので、センスアンプSA1,SA2,SA3
による増幅後、部分ビツト線BL1aがHレベル
に、1がLレベルにされ、BL1bとBL1
cそれぞれはLレベルに、部分ビツト線1
と1それぞれはHレベルにされる。
以下、同様にメモリセル12の記憶電位に応じ
て、センスアンプSA1,SA2,SA3による増
幅後の部分ビツト線は第7図に示すようなレベル
にされる。各データ入出力線対I/O1,
1,I/O2,2,I/O3,3に
はこのようなデータが出力され、これらのデータ
に基づき第4図に示すデータ出力回路から2ビツ
トのデータが出力される。例えば、I/O1
(BL1a)がLレベル、1(1)H
レベル、I/O2(BL1b)がLレベル、
O2(1)がHレベル、I/O3(BL1
c)がLレベル、3(1)がHレベ
ルのときには、データD1とD2とは共にLレベ
ルとなる。また、各部分ビツト線のデータと出力
データD1,D2との関係は第7図に示す通りで
ある。
て、センスアンプSA1,SA2,SA3による増
幅後の部分ビツト線は第7図に示すようなレベル
にされる。各データ入出力線対I/O1,
1,I/O2,2,I/O3,3に
はこのようなデータが出力され、これらのデータ
に基づき第4図に示すデータ出力回路から2ビツ
トのデータが出力される。例えば、I/O1
(BL1a)がLレベル、1(1)H
レベル、I/O2(BL1b)がLレベル、
O2(1)がHレベル、I/O3(BL1
c)がLレベル、3(1)がHレベ
ルのときには、データD1とD2とは共にLレベ
ルとなる。また、各部分ビツト線のデータと出力
データD1,D2との関係は第7図に示す通りで
ある。
なお、ここでダミーセル13内のキヤパシタ3
1の値がメモリセル12のそれの1/3に設定され
ている理由は、メモリセル12から読み出された
電位が3本の部分ビツト線に伝達されたとき、メ
モリセル12からの読み出し電荷が3本の部分ビ
ツト線それぞれに存在している寄生容量により1/
3に分割されるからである。すなわち、ダミーセ
ル13内のキヤパシタ31の値をメモリセルの1/
3に設定しておけば、同じ程度の電荷で電位差の
増幅を行なうことができる。
1の値がメモリセル12のそれの1/3に設定され
ている理由は、メモリセル12から読み出された
電位が3本の部分ビツト線に伝達されたとき、メ
モリセル12からの読み出し電荷が3本の部分ビ
ツト線それぞれに存在している寄生容量により1/
3に分割されるからである。すなわち、ダミーセ
ル13内のキヤパシタ31の値をメモリセルの1/
3に設定しておけば、同じ程度の電荷で電位差の
増幅を行なうことができる。
データの書き込み動作は、ビツト線のプリチヤ
ージが完了した後に外部から2ビツトの書き込み
用データを供給することにより開始される。すな
わち、2ビツトのデータD1,D2に基づき、前
記第5図に示す書き込み回路によつて3対のデー
タ入出力線I/O1,1,I/O2,
O2,I/O3,3に供給されるデータが
形成される。このデータがセンスアンプSA1,
SA2,SA3に供給された後に、各センスアンプ
によつて対応する部分ビツト線にこれらのデータ
が供給される。このとき、各部分ビツト線は各ト
ランジスタ11によつて分離されている。この
後、センスアンプSAが非活性にされ、各部分ビ
ツト線をフローテイング状態にし、さらに各トラ
ンジスタ11が導通して3本の部分ビツト線が接
続される。これにより、ビツト線BLの電位が3
本の部分ビツト線に存在している寄生容量によつ
て電荷再分配により決定され、この電位が選択さ
れているメモリセル12に書き込まれる。例え
ば、2ビツト線のデータのうちD1がHレベルで
D2がLレベルの場合、第5図の書き込み回路で
は部分ビツト線BL1aがHレベルで、部分ビツ
ト線BL1b,BL1cがLレベルとなるようなデ
ータが形成される。ここで、3本の部分ビツト線
BL1a,BL1b,BL1cに存在している寄生
容量の値が等しいとすると、部分ビツト線BL1
aのHレベル電位Vccが三つに分割されるので、
結局、メモリセル12に書込まれる電位は(1/3)
Vccになる。読み出し後の再書込み動作もこれと
同様である。
ージが完了した後に外部から2ビツトの書き込み
用データを供給することにより開始される。すな
わち、2ビツトのデータD1,D2に基づき、前
記第5図に示す書き込み回路によつて3対のデー
タ入出力線I/O1,1,I/O2,
O2,I/O3,3に供給されるデータが
形成される。このデータがセンスアンプSA1,
SA2,SA3に供給された後に、各センスアンプ
によつて対応する部分ビツト線にこれらのデータ
が供給される。このとき、各部分ビツト線は各ト
ランジスタ11によつて分離されている。この
後、センスアンプSAが非活性にされ、各部分ビ
ツト線をフローテイング状態にし、さらに各トラ
ンジスタ11が導通して3本の部分ビツト線が接
続される。これにより、ビツト線BLの電位が3
本の部分ビツト線に存在している寄生容量によつ
て電荷再分配により決定され、この電位が選択さ
れているメモリセル12に書き込まれる。例え
ば、2ビツト線のデータのうちD1がHレベルで
D2がLレベルの場合、第5図の書き込み回路で
は部分ビツト線BL1aがHレベルで、部分ビツ
ト線BL1b,BL1cがLレベルとなるようなデ
ータが形成される。ここで、3本の部分ビツト線
BL1a,BL1b,BL1cに存在している寄生
容量の値が等しいとすると、部分ビツト線BL1
aのHレベル電位Vccが三つに分割されるので、
結局、メモリセル12に書込まれる電位は(1/3)
Vccになる。読み出し後の再書込み動作もこれと
同様である。
このように、メモリセル12からデータを読み
出す場合には、センスアンプSA1,SA2,SA
3を一斉に動作させるようにしているので、従来
のバイナリ記憶方式のダイナミツクRAMとほと
んど同じ高速アクセス時間が実現できる。また、
ビツト線電位、ワード線電位等でメモリセルの記
憶電位に対応する中間電位を階段状に発生する必
要がないので、制御回路の構成が簡単になるとい
う利点を有するものである。
出す場合には、センスアンプSA1,SA2,SA
3を一斉に動作させるようにしているので、従来
のバイナリ記憶方式のダイナミツクRAMとほと
んど同じ高速アクセス時間が実現できる。また、
ビツト線電位、ワード線電位等でメモリセルの記
憶電位に対応する中間電位を階段状に発生する必
要がないので、制御回路の構成が簡単になるとい
う利点を有するものである。
なお、上記実施例において、ダミーセル13が
メモリセル12と同様に1個のキヤパシタとトラ
ンジスタとから構成されている場合について説明
したが、これは他の方式のものを使用するように
してもよい。また、前記トランジスタ11として
Nチヤネルのものを使用する場合について説明し
たが、これはNチヤネル替わりにPチヤネルの
MOSトランジスタやCMOSトランスフアゲート
を使用するようにしてもよい。なお、Pチヤネル
MOSトランジスタを使用する場合には、これら
を導通させるときに制御信号SWTがLレベルに
され、このLレベル電位はそれぞれのの導通抵抗
が十分に小さくなるように、ビツト線電位の最低
レベル0よりも低い電位に設定されるのが好まし
い。
メモリセル12と同様に1個のキヤパシタとトラ
ンジスタとから構成されている場合について説明
したが、これは他の方式のものを使用するように
してもよい。また、前記トランジスタ11として
Nチヤネルのものを使用する場合について説明し
たが、これはNチヤネル替わりにPチヤネルの
MOSトランジスタやCMOSトランスフアゲート
を使用するようにしてもよい。なお、Pチヤネル
MOSトランジスタを使用する場合には、これら
を導通させるときに制御信号SWTがLレベルに
され、このLレベル電位はそれぞれのの導通抵抗
が十分に小さくなるように、ビツト線電位の最低
レベル0よりも低い電位に設定されるのが好まし
い。
さらに、上記実施例では各部分ビツト線対毎に
それぞれ一対のデータ入出力線I/O,を
設ける場合について説明したが、これは各部分ビ
ツト線対毎に複数対設けるように構成してもよ
い。また、ビツト線を(1/2)Vccの電位にプリチ
ヤージする場合について説明したが、これもこの
電位に限定されるものではない。さらにまた、各
ビツト線対に対してそれぞれ独自に負荷回路を設
ける場合について説明したが、これは各カラム毎
に設けるようにしてもよい。
それぞれ一対のデータ入出力線I/O,を
設ける場合について説明したが、これは各部分ビ
ツト線対毎に複数対設けるように構成してもよ
い。また、ビツト線を(1/2)Vccの電位にプリチ
ヤージする場合について説明したが、これもこの
電位に限定されるものではない。さらにまた、各
ビツト線対に対してそれぞれ独自に負荷回路を設
ける場合について説明したが、これは各カラム毎
に設けるようにしてもよい。
[発明の効果]
以上説明したようにこの発明によれば、従来の
バイナリ情報記憶方式のものと同等のアクセス時
間を持ち、複雑で高精度の制御を要する回路技術
も必要とせず、従来の半導体メモリで確立された
回路技術により十分に実現できる多値記憶方式の
半導体メモリを提供することができる。
バイナリ情報記憶方式のものと同等のアクセス時
間を持ち、複雑で高精度の制御を要する回路技術
も必要とせず、従来の半導体メモリで確立された
回路技術により十分に実現できる多値記憶方式の
半導体メモリを提供することができる。
第1図はこの発明の半導体メモリの一実施例の
構成を示す回路図、第2図ないし第5図はそれぞ
れ上記実施例回路の各部を具体的に示す回路図、
第6図は上記実施例回路の動作を示すタイミング
チヤート、第7図は上記実施例回路における入出
力データをまとめて示す図である。 BL1,1……ビツト線、BL1a,1
a,BL1b,1,BL1c,1……部
分ビツト線、WL……ワード線、SWL……スペア
ワード線、DWL1,1,DWL2,
2,DWL3,3……ダミーワード線、SA
1,SA2,SA3……センスアンプ、11……N
チヤネルのMOSトランジスタ、12……メモリ
セル、13……ダミーセル。
構成を示す回路図、第2図ないし第5図はそれぞ
れ上記実施例回路の各部を具体的に示す回路図、
第6図は上記実施例回路の動作を示すタイミング
チヤート、第7図は上記実施例回路における入出
力データをまとめて示す図である。 BL1,1……ビツト線、BL1a,1
a,BL1b,1,BL1c,1……部
分ビツト線、WL……ワード線、SWL……スペア
ワード線、DWL1,1,DWL2,
2,DWL3,3……ダミーワード線、SA
1,SA2,SA3……センスアンプ、11……N
チヤネルのMOSトランジスタ、12……メモリ
セル、13……ダミーセル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 それぞれ情報記憶用のキヤパシタと選択用の
トランジスタとからなり、それぞれn値の情報を
n値の異なる電位として記憶する複数個のメモリ
セルと、 上記複数個のメモリセルのうちアドレス信号に
よつて指定されたものの記憶電位が与えられ、各
カラム毎に(n−1)本の部分ビツト線に分割さ
れたビツト線と、 上記(n−1)本の部分ビツト線間を接続する
(n−2)個のスイツチ素子と、 上記(n−1)本の部分ビツト線の電位をそれ
ぞれ異なる基準電位と比較し、各カラム毎に(n
−1)個ずつ設けられたセンスアンプと を具備したことを特徴とする半導体メモリ。 2 前記nの値が2mであり、前記各メモリセルが
それぞれmビツトの情報を記憶する特許請求の範
囲第1項に記載の半導体メモリ。 3 前記ビツト線がビツト線対で構成されている
特許請求の範囲第1項に記載の半導体メモリ。 4 前記(n−1)個の各センスアンプで使用さ
れる基準電位が(n−1)個のダミーセルでそれ
ぞれ発生される特許請求の範囲第1項に記載の半
導体メモリ。 5 前記ダミーセルが情報記憶用のキヤパシタと
選択用のトランジスタとから構成されている特許
請求の範囲第4項に記載の半導体メモリ。 6 前記(n−1)個のセンスアンプの出力が供
給されるデータ検出手段が設けられ、前記メモリ
セルからのデータ読出しの際に前記(n−1)本
の部分ビツト線の電位のうち1本(0≦1≦n−
1)がそれぞれの基準電位よりも高レベルである
と前記センスアンプで判定されるときに、データ
検出手段がこれをn値の情報のうち(l+1)番
目の情報レベルとして出力する特許請求の範囲第
1項に記載の半導体メモリ。 7 前記メモリセルに対してデータの書き込みを
行うデータ書込み手段が設けられ、このデータ書
込み手段は前記(n−1)本の各部分ビツト線電
位のうち1本(0≦1≦n−1)を高レベルに、
残り全てを低レベルに設定した後、前記スイツチ
素子を導通させて(n−1)本の各部分ビツト線
を短絡させることによりデータの書き込みが行わ
れる特許請求の範囲第1項に記載の半導体メモ
リ。 8 前記(n−1)本の各部分ビツト線を接続す
る前記スイツチ素子が、導通時にそのゲートに各
部分ビツト線の電位の高レベルより高い電位が印
加されるNチヤネルのMOSトランジスタで構成
されている特許請求の範囲第1項に記載の半導体
メモリ。 9 前記(n−1)本の各部分ビツト線を接続す
る前記スイツチ素子が、導通時にそのゲートに各
部分ビツト線の電位の低レベルより低い電位が印
加されるPチヤネルのMOSトランジスタで構成
されている特許請求の範囲第1項に記載の半導体
メモリ。 10 前記(n−1)本の各部分ビツト線を接続
する前記スイツチ素子が、CMOSトランスフア
ゲートで構成されている特許請求の範囲第1項に
記載の半導体メモリ。 11 前記ダミーセルのキヤパシタの値が前記メ
モリセルのキヤパシタの1/(n−1)程度に設
定されている特許請求の範囲第5項に記載の半導
体メモリ。 12 前記ダミーセルは、メモリセルの最高記憶
電位の略(k−0.5)/(n−1)倍(ただし、
kは自然数)程度の電位を発生する特許請求の範
囲第4項に記載の半導体メモリ。 13 前記(n−1)個のセンスアンプが同時に
動作を開始するように制御される特許請求の範囲
第1項に記載の半導体メモリ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61298398A JPS63149900A (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 半導体メモリ |
US07/130,568 US4841483A (en) | 1986-12-15 | 1987-12-09 | Semiconductor memory |
DE87311050T DE3787163T2 (de) | 1986-12-15 | 1987-12-15 | Halbleiterspeicher mit einer Speicherstruktur mit vielfachen Pegeln. |
EP87311050A EP0273639B1 (en) | 1986-12-15 | 1987-12-15 | Semiconductor memory having multiple level storage structure |
KR1019870014302A KR910006112B1 (ko) | 1986-12-15 | 1987-12-15 | 다수값 정보기억방식의 반도체기억장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61298398A JPS63149900A (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 半導体メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63149900A JPS63149900A (ja) | 1988-06-22 |
JPH059878B2 true JPH059878B2 (ja) | 1993-02-08 |
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