JPH0557687A - セラミツクグリ−ンシ−ト穴明け用工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 グリ−ンシ−トに穴を形成する工具および装
置において、グリ−ンシ−ト打ち抜き屑の工具付着を防
止し、形成穴の品質および加工工具の品質を保証するこ
とにある。 【構成】 ダイブッシュはポンチと嵌合し、ダイブッシ
ュの上に載せられたグリ−ンシ−トに穴を形成する。ダ
イブッシュの外周には、エア−を導く溝と、エア−がポ
ンチに向って流れ込むように、斜めに形成されたエア−
流路口を設ける。さらに、上面の厚さを小さくし、内壁
に屑が付着しないように、屑落下穴を広く形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、セラミック基板を形成
するためのグリ−ンシ−トに穴明けを行うための工具に
関し、特に工具形状と使用条件を定めた工具に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣチップ、ＬＳＩチップの下に個々の
セラミック基板が配置され、さらにその下に全体をカバ
−できる大きさのセラミック基板が配置される。これら
のセラミック基板は、薄いシ−ト状のグリ−ンシ−トを
多数枚重ねて固めることにより作成される。これらのグ
リ−ンシ−トには、スル−ホ−ルを形成するために多数
の穴明けを行う必要がある。これらのスル−ホ−ルに
は、材料を埋め込むことにより、セラミック基板が完成
される。従来、セラミックグリ−ンシ−トの穴明け加工
方法として、例えば、特開昭６２−１２０９９９号公報
に記載された穴明け法がある。これは、グリ−ンシ−ト
上方に位置決めした加工ポンチ（筒形中央に凹形状を設
けた円筒）を上方から落下させ、グリ−ンシ−トの下方
に加工ポンチの外形と同等、またはそれ以上の寸法を有
するダイブッシュ穴を備えたダイブッシュを設け、その
ダイブッシュ穴との噛み合いにより、グリ−ンシ−トに
穴を形成するものである。この方法では、その加工ポン
チの横側に凹凸を設けて、一度形成された穴の内壁に発
生したバリ（屑）を取り除くことによって、グリ−ンシ
−ト形成穴の品質を向上させるものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の方法では、グリ−ンシ−トを打ち抜いた屑に関し
ては考慮しておらず、グリ−ンシ−トを打ち抜いた屑が
ポンチに付着してしまうため、一度打ち抜いた穴に再付
着するという問題がある。また、ポンチに付着した屑
は、次の穴を形成する際に、グリ−ンシ−トとダイブッ
シュの間に入り込み、グリ−ンシ−ト形成穴に悪影響を
及ぼすため、問題となる。さらに、ポンチの位置決め部
に入り込んだ場合には、精度不良、折損、および摩耗等
の原因となる。本発明の目的は、これら従来の課題を解
決し、グリ−ンシ−ト打ち抜き屑を効果的に除去し、グ
リ−ンシ−ト形成穴の品質を向上することができるセラ
ミックグリ−ンシ−ト穴明け用工具を提供することにあ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のセラミックグリ−ンシ−ト穴明け用工具
は、ポンチとダイブッシュの間に挿入されたセラミック
グリ−ンシ−トに穴を形成する工具および装置におい
て、ダイブッシュに、ポンチと嵌合して、グリ−ンシ−
トに穴を形成する嵌合穴と、外周にはエア−を導く溝
と、落下して嵌合穴から挿入されたポンチの先端に向っ
て、エア−が溝から流れ込むように斜めに形成されたエ
ア−流路口と、エア−流路口に接続され、内壁にポンチ
による屑が付着しないように広く形成された屑落下穴と
を具備したことに特徴がある。

【０００５】

【作用】本発明においては、グリ−ンシ−トを打ち抜い
たポンチと、ポンチに付着した屑に向けてエア−流路口
を設けるとともに、ダイブッシュの下方より集塵機を用
いて屑を落下させる。また、ダイブッシュに設けたエア
−流路口以外の隙間からエア−が漏れると、打ち抜き屑
に対するエア−圧力が低下するので、これをなくすため
にエア−流路口から集塵機までを完全に密閉して、エア
−漏れを防止する。なお、エア−流路口は、ポンチがグ
リ−ンシ−トを打ち抜いた最下点に向けて斜めに形成す
ることにより、エア−はダイブッシュに設けられた流路
口を通って集塵機の吸引力により圧力を持って集塵機に
流れ込む。また、流路口は、ダイブッシュのポンチ嵌合
口と同等の大きさ、ないしそれ以上の大きさとし、打ち
抜かれた屑に効果的に圧力が加わるようになっている。
さらに、このエア−により圧力を加えられた屑は、ポン
チと引き離されて、下方に落下し、集塵機により吸引さ
れているため、ブッシュ内部に付着することがない。ま
た、ポンチは常に清掃された状態を保つので、一定の状
態でグリ−ンシ−ト穴明け加工が可能となり、製品に悪
影響を及ぼさない。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図面により詳細に
説明する。図１は、本発明の一実施例を示すダイブッシ
ュの外観図（一部断面切口あり）である。図１におい
て、１はダイブッシュ、２は上方から落下するポンチと
の嵌合穴、３はダイブッシュの側面に設けられたエア−
受け入れ溝、４はエア−受け入り溝３から中央部に向っ
て設けられたエア−流路口、５は屑落下穴である。ダイ
ブッシュ１には、ポンチ６と嵌合してグリ−ンシ−ト７
に穴を形成するための嵌合穴２が設けられており、また
外周には、エア−を受け入れるためのエア−受け入れ溝
３と、エア−がポンチに向って流れ込むように斜めに形
成されたエア−流路口４が設けられる。さらに、ダイブ
ッシュ１の内部中央では、上面の厚さを小さくし、内壁
に屑が付着しないように屑落下穴５を広く形成してい
る。通常、このようなダイブッシュ１を多数配置して、
これらの上にグリ−ンシ−トを載せて、上方からダイブ
ッシュ１の各嵌合穴２に対してポンチを配置する。これ
により、グリ−ンシ−ト上に同時に多数の穴を明けるこ
とができる。

【０００７】図２は、本発明の一実施例を示すダイブッ
シュとポンチの嵌合状態を示す断面図である。図２にお
いて、１はダイブッシュ、２はポンチとの嵌合穴、３は
エア−受け入れ溝、４はエア−流路口、６はポンチ、７
はグリ−ンシ−ト、８はダイブッシュセット穴、９は集
塵機、１０は打ち抜き屑、１１はグリ−シ−ト形成穴、
１２はポンチの位置決め穴である。なお、多数のダイブ
ッシュ１を相互結合するためのダイブッシュセットに穴
８を設け、この穴８とダイブッシュ１のエア−受け入れ
溝３とが一致するように合わせられる。ダイブッシュセ
ット穴８に組み込まれたダイブッシュ１は、接着剤によ
り固定されているため、エア−が入り込むことはない。
また、ダイブッシュ１から集塵機９までは完全に密閉さ
れており、他の隙間からのエア−漏れも完全に防止され
る。ダイブッシュ１に設けられたエア−受け入れ溝３が
あるため、ダイブッシュ１を組み込む際には、位置決め
する必要がなく、エア−を引き込むことができる。図３
は、本発明のグリ−ンシ−トとグリ−ンシ−ト形成穴を
示す図である。図３において、７はグリ−ンシ−ト、１
１はグリ−ンシ−ト７を拡大した場合のグリ−ンシ−ト
穴である。本発明では、多数のダイブッシュ１をダイブ
ッシュセットのセット穴に組み込むことにより、同時に
グリ−ンシ−ト穴１１を明けることができる。このよう
にして作成したグリ−ンシ−ト７を多数枚重ねて、セラ
ミック基板を形成する。

【０００８】図４は、本発明のダイブッシュセットと集
塵機との結合を示す側断面図であり、図５は、ダイブッ
シュセットとエア−発生機との結合を示す平面図であ
る。図４，５において、１はダイブッシュ、６はポン
チ、８はダイブッシュセット穴、９は集塵機、１４はダ
イブッシュセット、１３はエア−発生機である。ダイブ
ッシュセット１４には、多数のダイブッシュ１を挿入す
るための穴が設けられ、全ての穴はダイブッシュセット
穴８に接続されており、それらのダイブッシュセット穴
８はまとめてエア−発生機１３に結合されている。そし
て、ダイブッシュ１には側面にエア受け入れ溝３がある
ため、ダイブッシュ１をダイブッシュセットに組み込む
際には、位置決めの必要はなく、単に挿入するだけでよ
い。各ダイブッシュ１の屑落下穴５はまとめられて集塵
機９に結合されている。各ダイブッシュ１の中央にはグ
リ−ンシ−ト形成穴１１と一致する穴が設けられ、その
上方にはそれぞれポンチ６が取り付けられている。

【０００９】ポンチ６とダイブッシュ１の間にグリ−ン
シ−ト７を載せることにより、全てのポンチ６を落下さ
せると、グリ−ンシ−ト７上に全てのグリ−ンシ−ト穴
１１が同時に明けられる。エア−発生機１３から発生さ
れたエア−は全てのダイブッシュ１のエア−受け入れ溝
３に結合されているので、ダイブッシュ１内の屑落下穴
５にエア−が引き込まれる。引き込まれたエア−は、ポ
ンチ６の先端に付着した屑１０に圧力を加えて、下方に
落下させる（図２参照）。下方に落下した屑１０は、集
塵機９により回収される。また、図２に示すように、ダ
イブッシュ１の内部上面の厚さが小さく、かつ流路口４
の寸法が大きいため、ポンチ６とグリ−ンシ−ト７の隙
間からは、空気が流れ込むことはない。これにより、ポ
ンチ６と屑１０の付着を防止し、付着した場合にもこれ
を落下させるようにしている。さらに、屑１０は、完全
に落下するため、上部に引き上げられることはなく、ま
た加工穴１１に付着することもない。さらに、ポンチ６
の位置決め穴３（エア−受け入れ溝）にも屑が入り込ま
ないので、位置精度に影響を及ぼすこともない。

【００１０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ポンチと打ち抜き屑の付着を防止するとともに、ダイブ
ッシュ内の清掃効果も果すので、グリ−ンシ−ト加工穴
に打ち抜き屑を再付着させることがない。また、ポンチ
に屑が付着しないため、グリ−ンシ−ト穴加工に悪影響
を及ぼすことがない。さらに、ポンチの位置決め部にも
屑が入り込まないため、ポンチの寿命も長くなる。さら
に、ダイブッシュにエア−受け入れ溝があるため、多数
のダイブッシュをセットする際にも、位置決めの必要が
ない。

【００１１】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すダイブッシュの外観斜
視図である。

【図２】本発明におけるダイブッシュとポンチの嵌合状
態の側断面図である。

【図３】本発明におけるグリ−ンシ−ト形成穴の拡大図
である。

【図４】本発明における多数のダイブッシュをセットし
た場合の側断面図である。

【図５】図４におけるダイブッシュとセット穴の結合状
態を示す平面図である。

【符号の説明】

１ ダイブッシュ ２ ポンチとの嵌合穴 ３ エア−受け入れ溝 ４ エア−流路口 ５ 屑落下穴 ６ ポンチ ７ グリ−ンシ−ト ８ ダイブッシュセット穴 ９ 集塵機 １０ 打ち抜き屑 １１ グリ−ンシ−ト形成穴 １２ ポンチの位置決め穴 １３ エア−発生機 １４ ダイブッシュセット

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポンチとダイブッシュの間に挿入された
   セラミックグリ−ンシ−トに穴を形成する工具および装
   置において、上記ダイブッシュには、上記ポンチと嵌合
   して、上記グリ−ンシ−トに穴を形成する嵌合穴と、外
   周にはエア−を導く溝と、落下して上記嵌合穴から挿入
   された上記ポンチの先端に向って、上記エア−が上記溝
   から流れ込むように斜めに形成されたエア−流路口と、
   該エア−流路口に接続され、内壁に上記ポンチによる屑
   が付着しないように広く形成された屑落下穴とを具備し
   たことを特徴とするセラミックグリ−ンシ−ト穴明け用
   工具。