JPH0477663B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は複数のグリーンシートを積層してなる
多層セラミツクパツケージの製造方法に関する。

（従来の技術） 一般に、半導体デバイス等に用いる多層セラミ
ツクパツケージは製造時において第４図に示すよ
うに複数のグリーンシート３１ａ，３１ｂ，３１
ｃ，３１ｄを積層した積層体３０を形成してい
る。

従来、このような積層体３０は積層体において
各グリーンシート３１ａ……の方向が反転した
り、表裏面が反転したりしないようにするため、
第４図に示すように各グリーンシート３１ａ……
の面隅部における基準位置に円孔３２ａ，３２ｂ
……を穿設したり、或いは第５図に示すように各
グリーンシート３１ａ……の隅部一部に切欠き３
３ａ，３３ｂ……を設け、各円孔３２ａ……や切
欠き３３ａ……を位置合せ用の目印として用いて
いる。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、上述した従来の積層体３０の円孔３２
ａ……や切欠き３３ａ……は単に位置合せ用の目
印に過ぎない。ところが各グリーンシート３１ａ
……には半導体素子搭載部等の所要な形状加工
（図示せず）や類似した各種のパターン（図示せ
ず）がプリントされており、しかも各グリーンシ
ート３１ａ……の積層する順番が決まつている。
このため従来の積層体３０においては、順番を誤
りなく積層することが困難であり、また、積層し
た後においても誤りを発見（目視）することが困
難となる問題があつた。

阪問題点を解決するための手段） 本発明は上述した従来における多層セラミツク
パツケージの製造時における積層体が有する問題
点を解決したもので、次のような積層体の積層方
法によつて達成される。

つまり、本発明は第１図に示すように複数のグ
リーンシート２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを積層して
なる積層体１に係り、その主要構成とするところ
は、各グリーンシートの一部にそれぞれ大きさの
異なる切欠き（又は孔）４ａ……を形成し、各グ
リーンシート２ａ……を順番に積層した際に積層
方向に全グリーンシート２ａ……の表面一部３ａ
……が露出する検知部５となるように積層するこ
とを特徴とする。

なお、好適な実施態様によつて上記表面一部３
ａ……には積層体１や各グリーンシート２ａ……
に関する情報（例えば種別等）６を表示してな
る。

（作用） 次に、本発明の作用について説明する。

第１図に示すように積層体１における検知部５
の特に表面一部３ａ……が露出する部分は階段状
に形成される。したがつて、検知部５を積層方向
からみると第２図に示すように表面一部３ａは一
定の間隔、配列で現れ、正規の順番で積層されて
いるか否かを目視で容易に確認できる。また、表
面一部３ａ……に積層体１やグリーンシート２ａ
……に関する情報６を表示することにより容易に
自動読取り等を行うことができる。

（実施例） 以下には、本発明に係る好適な実施例を図面に
基づき詳細に説明する。

第１図は本発明に係る積層体の斜視図、第２図
は同積層体における検知部の平面図、第３図は同
積層体における検知部の正面図である。

積層体１は複数（実施例は４枚を示す）のグリ
ーンシート２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを順次積層し
て構成する。各グリーンシート２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄは一定の厚さを有するグリーンシートを
打ち抜いて形成する。この際にグリーンシート２
ａ……の側縁に矩形状の切欠き４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄを同時に打ち抜き形成する。切欠き４ａ
……において一方の端辺は各グリーンシート４ａ
について同一位置とするとともに、他方の端辺は
上方のウエハーになるに従つて切欠き４ａが広幅
になる方向へその切込み位置が一定寸法単位で順
次移行するようになす。

この結果、全体として満た場合第１図に示すよ
うに積層体１の側部に切欠き４ａ……の集合空間
によつて検知部５を形成することができる。検知
部５は特に切欠き４ａ……の他方に端辺によつて
各グリーンシート４ａ……の表面一部３ａ……が
露出した階段部１０によつて構成される。

また、表面一部３ａ……には例えば第２図に示
すようにその一部にバーコード１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ，１１ｄを表示する。このバーコード１１
ａ……は例えばパターンプリント時にメタライズ
ペーストにより同時にプリントすることができ
る。バーコード１１ａ……はグリーンシート４ａ
……の地色とは明確に識別できるように配色を考
慮し、光学的に読み取れるようにする。なお、バ
ーコード１１ａ……は各グリーンシート４ａ……
ごとに配色を変えたり、或いは幅等の形状を変
え、全体としてパツケージの種別等を示す情報６
として構成する。

このように構成した積層体１の検知部５は積層
方向、つまり、上方からみた場合第２図に示すよ
うに全グリーンシート４ａ……の表面一部３ａ…
…が露出し、各表面一部３ａ上に表示されたバー
コード１１ａ……の数量、位置、幅等を光学的に
読み取ることによつて一定の情報を得ることがで
き、この情報により積層体１が良品であるか否か
をはじめ種別が何であるか等を知ることができ
る。このような光学的読み取りは光学的センサに
よつて自動読み取りが可能であるが、勿論肉眼に
よる目視によつても確認するかとができる。

なお、良品か否かは例えば検知部５に嵌合する
ゲージ等を差し込んで検知することができる。し
たがつて情報６は必要により任意に表示すること
ができる。

以上、実施例について詳細に説明したが、本発
明はこのような実施例に限定されるものではな
い。例えば検知部５は矩形状の切欠き４ａ……で
形成したが切欠き４ａ……は三角形状、台形状等
任意でよい。また、切欠き４ａ……で形成したが
グリーンシートの面内に順次大径となる円孔を形
成する等してもよい。その多細部の形状、構成、
素材、数量等において本発明の精神を逸脱しない
範囲において任意に変更実施することができる。

（発明の効果） このように、本発明に係る多層セラミツクパツ
ケージの製造方法は積層する各グリーンシートの
一部にそれぞれ大きさのことなる切欠き又は孔を
形成し、各グリーンシートを順番に積層した際に
積層方法に全グリーンシートの表面一部が露出す
る検知部となるように積層するため積層する順番
を誤ることなく正確に積層でき、しかも向きや裏
表を誤ることなく製造することができる。したが
つて大幅な不良低減を図ることができる。

また、万が一不良品が生ずるようなことがあつ
ても、その検出は検知部によつて容易に行うこと
ができ、しかも自動検出も容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る積層体の斜視図、第２図
は同積層体における検知部の平面図、第３図は同
積層体における検知部の正面図、第４図及び第５
図は従来技術に係る積層体の斜視図。 尚図面中、１……積層体、２ａ，２ｂ，２ｃ，
２ｄ……グリーンシート、３ａ，３ｂ，３ｃ，３
ｄ……表面一部、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ……切
欠き、５……検知部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数のグリーンシートを積層してなる多層セ
   ラミツクパツケージの製造方法において、各グリ
   ーンシートの一部にそれぞれ大きさの異なる切欠
   き又は孔を形成し、各グリーンシートを順番に積
   層した際に、積層方向に全グリーンシートの表面
   一部が露出する検知部となるように積層すること
   を特徴する多層セラミツクパツケージの製造方
   法。 ２ 前記検知部における表面一部には読取り可能
   な情報を表示することを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の多層セラミツクパツケージの製造
   方法。