JPH09312235A - 電子部品の製造方法 - Google Patents

電子部品の製造方法

Info

Publication number
JPH09312235A
JPH09312235A JP8126109A JP12610996A JPH09312235A JP H09312235 A JPH09312235 A JP H09312235A JP 8126109 A JP8126109 A JP 8126109A JP 12610996 A JP12610996 A JP 12610996A JP H09312235 A JPH09312235 A JP H09312235A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cutting
ceramic
electronic component
internal electrode
recognition mark
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8126109A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Hashiguchi
隆志 橋口
Hiroki Yokoi
宏樹 横井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP8126109A priority Critical patent/JPH09312235A/ja
Publication of JPH09312235A publication Critical patent/JPH09312235A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Printing Methods (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 積層セラミック電子部品の製造方法における
未焼成の積層体から個々の積層チップ片を切り出す工程
において、内部電極の位置ずれが生じないようにする。 【構成】 表面に内部電極膜と当該内部電極膜から一定
の距離をおいて配設された認識マークとを有するセラミ
ックシートを複数枚、積層することにより形成された積
層体を所定の位置で切断して焼成することによりセラミ
ック中に内部電極膜が埋設された積層セラミック電子部
品を製造する方法において、前記認識マークを蛍光色素
を含む材料を用いて形成し、当該認識マークを目印とし
て前記積層体を切断することにより積層チップ片を得る
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】 この発明は、電子部品の製
造方法に関し、詳しくは、積層セラミックコンデンサ、
LC複合部品、多層基板などの、セラミック中に内部電
極が埋設された構造を有する積層セラミック電子部品の
製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】 図5は内部電極となる複数の導体パタ
ーンがマトリックス状に配設されたセラミックシート
(基板)の平面図であり、図6はそのセラミックシート
を複数枚重ね合わせた積層体の概略斜視図であり、図7
は該積層体の縁部を切断したときの概略斜視図である。
積層セラミックコンデンサなどに代表される積層セラミ
ック電子部品の製造工程には、通常、図5乃至図7に示
されるように、内部電極11となる複数の導体パターン
がマトリックス状に配設されたセラミックシート12を
複数枚積層し、さらにその上面側に導体パターンなどの
形成されていないセラミックのダミーシートを積層した
後、これを圧着してなる積層体13を、切断線L(L1
2)に沿って切断して個々の未焼成の積層チップ片14
を切り出す工程が含まれている。
【0003】そして、この未焼成の積層チップ片14を
焼成した後、必要に応じて所定の位置に外部電極などを
付与することにより積層セラミック電子部品が製造され
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】 ところで、上記積層
体13を切断する場合、切断位置のずれ、あるいは、セ
ラミックシート12の積層位置のずれにより、切り出さ
れる未焼成の積層チップ片14の内部電極11となる導
体パターンの位置ずれが発生し、例えば、形成される容
量が小さくなったり、絶縁抵抗が低下したりして、所望
の特性を有する積層セラミック電子部品が得られない場
合がある。 そこで、積層体13を切断する際に、切断
位置のずれや導体パターンの印刷ずれなどに起因して生
じる内部電極11の位置ずれが生じていないかどうかを
検出するため、セラミックシート12の表面における所
定の位置、例えば導体パターンの周囲でセラミックシー
ト12の外周縁に隣接する位置に十分長い方形の位置ず
れ検出のための認識マーク15を配設しておき、積層体
13の縁部を外周縁に沿って一担切断することにより、
この認識マーク15を積層体13の側面に露出させる。
【0005】そして、露出した認識マーク15を調べる
ことにより内部電極11の露出状態が正常の場合には内
部電極11の位置ずれがないと判断し、また、内部電極
11の露出状態が異常な場合には、内部電極11の位置
ずれが生じていると判断して、位置ずれの生じている未
焼成の積層体をあらかじめ選別、除去して製品に不良品
が混入することを抑制、防止することができる。
【0006】例えば、図7(a)(b)および(c)
は、それぞれ認識マーク15が露出された積層体13の
側面を表しているが、図7(a)は内部電極の位置ずれ
がない場合、(b)は縦方向に内部電極の位置ずれがあ
る場合、(c)は横方向の両方に位置ずれがある場合の
認識マークの露出状態を示している。ところが、位置ず
れ検出のため配設した前記認識マーク15のインク材料
がおおむね黒色であるのでセラミックシート12の色が
濃い場合には当該インク材料とのコントラストが小さく
認識マーク自体が読み取り難い。
【0007】そのため、セラミックシート12の積層体
13を切断する際において、内部電極11の位置ずれが
生じないようにするため、認識マーク15を基準にしな
がら積層体13の位置合わせをする調整作業に手間が掛
かり、生産性が低下してしまう。また、積層体13を切
断する際において、内部電極11に位置ずれが生じてい
る場合の位置ずれの方向及び大きさを容易に知り得ない
という問題点があった。
【0008】特に、積層セラミック電子部品におけるセ
ラミックシート12の色や、切り出される積層チップ片
の大きさが頻繁に変更される場合、その都度認識マーク
15の検出のため行われる積層体13の位置合わせ作業
のロスは大きく影響する。この発明は、上記問題点を解
決するものであり、未焼成の積層体から個々の積層チッ
プ片を切り出す工程において、内部電極の位置ずれが生
じないようにすること及び位置ずれが生じている場合の
位置ずれの方向及び大きさを、容易かつ確実に検出する
ことが可能な積層セラミック電子部品の製造方法を提供
することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】 本発明は、表面に認識
マークが形成されたシート状の基板を切断することによ
り分割された複数のチップ状の基板の両端に外部電極を
有してなる電子部品の製造方法において、前記認識マー
クを蛍光色素を含む材料を用いて形成し、当該認識マー
クを目印として前記シート状の基板を切断することを特
徴とする。
【0010】また、本発明は、表面に内部電極膜と当該
内部電極膜から一定の距離をおいて配設された認識マー
クとを有するセラミックシートを複数枚、積層すること
により形成された積層体を所定の位置で切断して焼成す
ることによりセラミック中に内部電極膜が埋設された積
層セラミック電子部品を製造する方法において、前記認
識マークを蛍光色素を含む材料を用いて形成し、当該認
識マークを目印として前記積層体を切断することにより
積層チップ片を得ることを特徴とする。
【0011】また、本発明は、前記セラミックシートに
おける外周縁に隣接する切断線の部位であって、前記積
層体の側面に露出する位置に、前記認識マークが形成さ
れ、当該認識マークを目印として前記積層体を切断する
ことを特徴とする。また、本発明は、前記認識マークを
前記内部電極膜と同じ材料で、前記セラミックシートの
表面に形成することを特徴とする。
【0012】また、本発明は、前記積層セラミック電子
部品が、表面に内部電極膜の多数個を印刷にて形成した
セラミックシートの複数枚を、その各内部電極膜が交互
にずれるように重ね合わせて積層体にし、この積層体を
縦横格子状の切断線に沿って積層チップ片に切断し、こ
の各積層チップ片を焼成したのち、当該各積層チップ片
における左右両端面に外部電極を形成するようにした積
層セラミックコンデンサであることを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】 各未焼成セラミックシートの表
面に多数個の内部電極膜を形成すると共に、その表面の
うち当該セラミックシートにおける外周縁に隣接する切
断線の部位に、十分な長さを有する細幅の認識マークを
形成する。次に、このセラミックシートの複数枚を重ね
合わせた積層体の縁部を外周縁に沿って切断した場合
に、この積層体における各側面には、前記各セラミック
シートの表面に形成した細幅の認識マークが、当該積層
体の厚さ方向に一列状に並ぶことになるから、この認識
マークが、縦横格子状の各切断線のうち積層体における
各側面に隣接する各切断線の位置を示す目印になる。
【0014】そして、この認識マークの形成のために蛍
光色素を含む材料を用いることにより認識マークが発光
して、セラミックシートの色が濃い場合であっても蛍光
インクの部分とそれ以外の部分の明暗コントラストが明
確となり認識マークの読み取りが容易となる。従って、
この認識マークの目印を基準にして、積層体の各切断線
に沿って切断を行うことにより、切断位置のずれに起因
して発生する内部電極の位置ずれを防止できる。
【0015】更に、前記各セラミックシートの表面に形
成する認識マークを、当該セラミックシートの表面に形
成する各内部電極膜と同じ材料で、同時に形成すること
により、この認識マークを形成することに要するコスト
のアップを防止することができる。尚、切断し、分割さ
れた未焼成の個々の積層チップ片が次工程において焼成
される段階で、内部電極膜に含まれている蛍光色素は分
解してしまうので積層セラミック電子部品の完成品には
なんらの影響も残さない。
【0016】
【実施例】 以下、本発明の実施例を、図1乃至図4の
図面に基づいて説明する。図1はセラミックシートを積
層する前の状態を示す斜視図であり、図2はセラミック
シートを積層し、積層体の縁部を外周縁に沿って切断し
た後の状態を示す斜視図であり、図3はセラミックシー
トの積層体を切断するときの状態を示す斜視図である。
【0017】図1において符号B1は、略長方形状の第
1のセラミックシートを示し、この第1セラミックシー
トB1の表面に、蛍光色素を含有する一方の内部電極膜
1の多数個が印刷にて形成されると共に、縦横格子状
の各切断線C1、C2のうち当該第1セラミックシートB
1における各外周縁B1'、B1"に隣接する第1切断線
1'、C2'の部分に、前記内部電極膜A1と同じ蛍光色
素を含んだ材料による細幅の認識マークD1を、同時に
印刷にて形成する。このように認識マークD1は、前記
内部電極膜A1から一定の距離をおいて、当該内部電極
膜A1に対して平面的に一定の位置関係にあるように設
けられる。
【0018】また、符号B2は、同じく略長方形状の第
2のセラミックシートを示し、この第2セラミックシー
トB2の表面に、同じく蛍光色素を含有する他方の内部
電極膜A2の多数個が印刷にて形成されると共に、縦横
格子状の各切断線C1、C2のうち当該第2セラミックシ
ートB2における各外周縁B2'、B2"に隣接する第1切
断線C1'、C2'の部分に、前記内部電極膜A2と同じ蛍
光色素を含んだ材料による細幅の認識マークD2を、同
時に印刷にて形成する。
【0019】そして、前記のように内部電極膜A1、A2
をそれぞれ形成した第1セラミックシートB1の複数枚
と、第2セラミックシートB2の複数枚とを、その各々
における内部電極膜A1、A2が交互にずれるように、交
互に重ね合わせると共に、最上となる第1セラミックシ
ートB1の上面に、内部電極膜が形成されていないセラ
ミックシートB3をカバーとして重ね合わせて積層した
のち、その積層方向に圧縮形成して一体化する。
【0020】このようにして形成された積層体の縁部を
該積層体の外周縁に沿って、認識マークD1、D2が該積
層体の側面に露出する程度に切断することによって、図
2に示すような積層体Bを得ることができる。尚、認識
マークD1、D2は、細幅の略長方形状で、かつ切断され
る積層体の縁部の切断寸法にわずかな誤差が生じたとし
ても積層体の側面に露出される点においてかわりがない
程度に十分な長さを有している。
【0021】そして、この積層体Bにおける各側面
B'、B"には、各セラミックシートB1、B2の表面に形
成した各細幅の認識マークD1、D2が、当該積層体Bの
厚さ方向に一列状に並ぶことになるから、この認識マー
クD1、D2が、縦横格子状の各切断線C1、C2のうち積
層体Bにおける各側面B'、B"に隣接する第1切断線C
1'、C2'の位置を示す目印になる。
【0022】次に前記積層体Bを各切断線C1、C2に沿
って切断するに際しては、図3に示すように、X方向と
Y方向との二つの方向に往復動するXYテーブル1の上
面に、回転テーブル2を設けて、この回転テーブル2の
上面に、前記積層体Bを載置したのち、当該積層体Bの
各側面B'、B"における認識マークD1、D2を検出す
る。
【0023】この場合の認識マークD1、D2の検出は積
層体Bを載置したXYテーブル1、回転テーブル2全体
を遮光箱に入れ、積層体Bの各側面B'、B"に紫外光を
照射して認識マークD1、D2に含まれる蛍光色素の発光
を画像認識装置3、4で読み取ることにより行われる。
尚、照射する光は蛍光色素の発する蛍光より短波長の光
であればどんな光でもよいが、光源が安価なこと、光源
からの直接の光を防ぎ、蛍光のみを通過させるフィルタ
を手に入れやすいこと等から紫外光の光源が望ましい。
【0024】また、蛍光色素としては、光源と明確に分
離できる波長の蛍光であれば、どの様な色の蛍光を発す
るものでも良い。例えば、一般的な色素として緑色の蛍
光を発するフルオレセインは、紫外光光源との組み合わ
せで蛍光の検出が容易にできる。蛍光によって認識マー
クD1、D2を検出するので、積層体Bと認識マーク
1、D2との色はどの様な組み合わせ(たとえば全く同
じ色)でも認識マークD1、D2は確実に認識できる。
【0025】そして、上記の通り検出された認識マーク
1、D2を基準にして、前記積層体Bを、XYテーブル
1にてY方向に送りながら切断線C1に沿ってX方向の
切断を行い、次いで、回転テーブル2にて90度旋回さ
せた後、切断線C2に沿って同様にX方向の切断を行う
ことにより、切断作業を達成できる。従って、蛍光色素
を含み発光するために読み取りが容易となった認識マー
クD 1、D2の目印を基準にして、前記積層体Bの各切断
線C1、C2に沿って正確かつ迅速に切断を行うことがで
きるので、各内部電極膜A1、A2と各切断線C1、C2
の間に発生する位置ずれを、従来の場合よりも、大幅に
効率的に低減することができる。
【0026】このようにして積層体Bから切断された積
層チップ片は、焼成炉内において焼成されたのち、その
左右両端面に外部電極を各々形成することにより、積層
セラミックコンデンサAが完成する。図4は出来上がっ
た積層セラミックコンデンサAの拡大縦断正面図であ
る。複数枚のセラミックシートB1、B2を石像状に一体
化した積層チップ片A7における左右両端面A7'には、
前記一方の各内部電極膜A1に対する外部電極A5と、他
方の各内部電極膜A2に対する外部電極A6とが形成され
ている。
【0027】本発明によると、積層セラミックコンデン
サの製造に際して、積層体Bの切断位置のずれに起因し
て、積層チップ片A7の上下各内部電極膜の重なり面積
が異なり容量値にバラツキが生じたりする等の不良品が
発生することを、コストのアップを招来することなく、
確実に低減できる。上記の実施例では、認識マークを細
幅の略長方形状としているが、セラミックシートの積層
体の切断位置を検出できるならば、どんな形状でもよ
く、特に蛍光色素の発光により検出が容易となるので、
認識マークのパターンの面積は蛍光色素を含まない従来
の場合よりも小さくすることができる。特に認識マーク
の幅を狭くして積層体Bの側面に露出するマークを細い
線状にできるので、精度の高い位置認識ができる。
【0028】また、セラミックシート上に形成される認
識マークが該セラミックシートの外周縁に達するような
位置に形成されてもよく、このような場合であっても後
で積層体の縁部がその外周縁に沿って切断され認識マー
クが該積層体の側面に露出されるので、なんら切断位置
の検出において影響がない。以上は積層セラミックコン
デンサの製造工程におけるセラミックシートの切断作業
について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば複
数個の積層チップ片が連結した形状を有するいわゆる積
層セラミックコンデンサアレイの切断、外部電極形成の
ための穴開け作業や、その他のLC複合部品、多層基板
などのセラミック中に内部電極が埋設された構造を有す
る積層セラミック電子部品の製造方法に広く適用するこ
とができる。
【0029】更に、本発明は、シート状の基板を分割
し、分割された該基板の両端に外部電極に接続された端
子を、又この端子間にまたがって抵抗体をそれぞれ形成
することによって構成される、例えばチップ抵抗器等の
電子部品の製造方法において、前記シート状の基板の分
割時の切断位置を正確かつ容易に検出するために、蛍光
色素を含む認識マークを目印とする場合にも適用するこ
とができる。
【0030】
【発明の効果】 上述のように、この発明の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、セラミックシートを積み重
ねた積層体を切断して各積層チップ片に分割する工程に
おいて、該積層体の側面に露出する位置ずれ検出のため
の認識マークがその中に含まれている蛍光色素により発
光するので、積層体を切断するための位置合わせにおけ
る読み取りが容易になり、認識マークの認識ミスをなく
すことができる。
【0031】その結果、切断位置のずれに起因する内部
電極の位置ずれの発生を防止することができるととも
に、切断位置のずれの他、導体パターンの印刷ずれなど
に起因して生じる内部電極の位置ずれの有無、その方向
および大きさを容易かつ確実に検出することができる。
また、製造する積層セラミック電子部品の種類が異なり
セラミックシートの色が変わる毎に、従来、積層体の位
置合わせ作業のため行われていた認識マークを検出する
ためのカメラ調整の工程を省略することが可能になり、
製造工程を合理化してコストの低減を図ることができ
る。
【0032】更に、切断位置のずれを確実に検出するこ
とができるため、内部電極の外周部から切断面までの距
離の短い超小型の積層セラミック電子部品を歩留りよく
製造することができるようになり、積層セラミック電子
部品自体の品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例においてセラミックシートを
積層する前の状態を示す斜視図である。
【図2】 本発明の実施例においてセラミックシートを
積層した後の状態を示す斜視図である。
【図3】 本発明の実施例においてセラミックシートの
積層体を切断するときの状態を示す斜視図である。
【図4】 本発明の実施例において出来上がった積層セ
ラミックコンデンサの拡大縦断正面図である。
【図5】 従来の積層セラミック電子部品の製造方法に
おける内部電極がマトリックス状に配設されたセラミッ
クシートの平面図である。
【図6】 従来の積層セラミック電子部品の製造方法に
おけるセラミックシートを複数枚重ね合わせた積層体の
概略斜視図である。
【図7】 従来の積層セラミック電子部品の製造方法に
おけるセラミックシートを複数枚重ね合わせた積層体の
縁部を切断したときの概略斜視図である。
【符号の説明】
A 積層セラミックコンデン
サ A1、A2 内部電極膜 A5、A6 外部電極 A7 積層チップ片 B1、B2、B3 セラミックシート 1'、B1"、B2'、B2" セラミックシート外周縁 B 積層体 B'、B" 積層体の側面 C1、C2 切断線 D1、D2 認識マーク 1 XYテーブル 2 回転テーブル 3、4 画像認識装置

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面に認識マークが形成されたシート状
    の基板を切断することにより分割された複数のチップ状
    の基板の両端に外部電極を有してなる電子部品の製造方
    法において、前記認識マークを蛍光色素を含む材料を用
    いて形成し、当該認識マークを目印として前記シート状
    の基板を切断することを特徴とする電子部品の製造方
    法。
  2. 【請求項2】 表面に内部電極膜と当該内部電極膜から
    一定の距離をおいて配設された認識マークとを有するセ
    ラミックシートを複数枚、積層することにより形成され
    た積層体を所定の位置で切断して焼成することによりセ
    ラミック中に内部電極膜が埋設された積層セラミック電
    子部品を製造する方法において、前記認識マークを蛍光
    色素を含む材料を用いて形成し、当該認識マークを目印
    として前記積層体を切断することにより積層チップ片を
    得ることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方
    法。
  3. 【請求項3】 前記セラミックシートにおける外周縁に
    隣接する切断線の部位であって、前記積層体の側面に露
    出する位置に、前記認識マークが形成され、当該認識マ
    ークを目印として前記積層体を切断することを特徴とす
    る請求項2記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記認識マークを前記内部電極膜と同じ
    材料で、前記セラミックシートの表面に形成することを
    特徴とする請求項1又は請求項3記載の積層セラミック
    電子部品の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記積層セラミック電子部品が、表面に
    内部電極膜の多数個を印刷にて形成したセラミックシー
    トの複数枚を、その各内部電極膜が交互にずれるように
    重ね合わせて積層体にし、この積層体を縦横格子状の切
    断線に沿って積層チップ片に切断し、この各積層チップ
    片を焼成したのち、当該各積層チップ片における左右両
    端面に外部電極を形成するようにした積層セラミックコ
    ンデンサである請求項2乃至請求項4のいずれか記載の
    積層セラミック電子部品の製造方法。
JP8126109A 1996-05-21 1996-05-21 電子部品の製造方法 Pending JPH09312235A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8126109A JPH09312235A (ja) 1996-05-21 1996-05-21 電子部品の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8126109A JPH09312235A (ja) 1996-05-21 1996-05-21 電子部品の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09312235A true JPH09312235A (ja) 1997-12-02

Family

ID=14926854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8126109A Pending JPH09312235A (ja) 1996-05-21 1996-05-21 電子部品の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09312235A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002184646A (ja) * 2000-12-12 2002-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd セラミック電子部品の製造方法
KR100811388B1 (ko) * 2006-04-18 2008-03-07 삼화콘덴서공업주식회사 적층 세라믹 캐패시터 및 그의 제조방법
WO2009060673A1 (ja) * 2007-11-05 2009-05-14 Olympus Corporation 積層圧電素子及び超音波モータ
JP2010199487A (ja) * 2009-02-27 2010-09-09 Nichia Corp 発光装置
TWI621141B (zh) * 2016-08-29 2018-04-11 鈺邦科技股份有限公司 可變色的電容器封裝結構及其可變色的電容器殼體結構、及電路板組件

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002184646A (ja) * 2000-12-12 2002-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd セラミック電子部品の製造方法
KR100811388B1 (ko) * 2006-04-18 2008-03-07 삼화콘덴서공업주식회사 적층 세라믹 캐패시터 및 그의 제조방법
WO2009060673A1 (ja) * 2007-11-05 2009-05-14 Olympus Corporation 積層圧電素子及び超音波モータ
JP2009117559A (ja) * 2007-11-05 2009-05-28 Olympus Corp 積層圧電素子及び超音波モータ
JP2010199487A (ja) * 2009-02-27 2010-09-09 Nichia Corp 発光装置
TWI621141B (zh) * 2016-08-29 2018-04-11 鈺邦科技股份有限公司 可變色的電容器封裝結構及其可變色的電容器殼體結構、及電路板組件

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9271434B2 (en) Method of manufacturing an electronic component
TWI386124B (zh) 多層電路基板製造用之標記裝置
TWI515119B (zh) 表面覆蓋物及其製造方法
JPH09312235A (ja) 電子部品の製造方法
CN217455312U (zh) 用于mlcc的印刷网版
JP4561471B2 (ja) 積層型電子部品の製造方法および積層型電子部品の内部電極形成用スクリーン印刷版
JPH10209640A (ja) 多層セラミック基板の製造方法
JPS6227144A (ja) 多層セラミツクパツケ−ジの製造方法
KR100411253B1 (ko) 다층 세라믹 소자의 제조방법
JPH03151615A (ja) 積層電子部品の製造方法
JP2977698B2 (ja) 積層基板
JPH0878272A (ja) 積層型電子部品の製造方法
CN215268955U (zh) 用于pcb多层板内层层间对准的菲林结构
JP7145666B2 (ja) 積層セラミック部品の製造方法
JP4106122B2 (ja) 積層圧電素子の製造方法
JP4576900B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2005268414A (ja) 多層セラミック基板およびその製造方法
JPH06224001A (ja) 積層電子部品の積層ずれ検出用チェックマーク
CN117373778A (zh) 一种电子元件及巴块
JP3687757B2 (ja) セラミック電子部品の製造方法及び製造装置
JP2009239165A (ja) 多層配線基板の製造方法および多層配線基板
JPH10112587A (ja) セラミック多層基板の製造方法
JPH0360005A (ja) コンデンサ、多層混成回路素子及びその方向性識別方法
JPS6235508A (ja) 積層セラミツクコンデンサの製造方法
JPH06224002A (ja) 積層電子部品の積層ずれ検出用チェックマーク