JPS6227144A

JPS6227144A - 多層セラミツクパツケ−ジの製造方法

Info

Publication number: JPS6227144A
Application number: JP16713985A
Authority: JP
Inventors: 佐藤　輝夫; 文雄宮川; 真島　淳
Original assignee: Shinko Electric Industries Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date: 1985-07-29
Filing date: 1985-07-29
Publication date: 1987-02-05
Also published as: JPH0477663B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は複数のグリーンシートを積層してなる多層セラ
ミックパッケージの製造方法に関する。

（従来の技術）一般に、半導体デバイス等に用いる多層セラミックパッ
ケージは製造時において第４図に示すように複数のグリ
ーンシート３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄを積層した
積層体３０を形成している。

従来、このような積層体３０は積層時において各グリー
ンシート３１ａ・・・の方向が反転したり、表裏面が反
転したりしないようにするため、第４図に示すように各
グリーンシート３１ａ・・・の面隅部における基準位置
に円孔３２ａ、３２ｂ・・・を穿設したり、或いは第５
図に示すように各グリーンシート３１ａ・・・の隅部一
部に切欠き３３ａ、３３ｂ・・・を設け、各円孔３２ａ
・・・や切欠き３３ａ・・・を位置合せ用の目印として
用いている。

（発明が解決しようとする問題点）しかし、上述した従来の積層体３０の円孔３２ａ・・・
や切欠き３３ａ・・・は単に位置合せ用の目印に過ぎな
い。ところが各グリーンシート３１ａ・・・には半導体
素子搭載部等の所要な形状加工（図示せず）や類似した
各種のパターン（図示せず）がプリントされており、し
かも各グリーンシー）３１ａ・・・の積層する順番が決
まっている。

このため従来の積層体３０においては、順番を誤りなく
積層することが困難であり、また、積層した後において
も誤りを発見（目視）することが困難となる問題があっ
た。

（問題点を解決するための手段）本発明は上述した従来における多層セラミックパッケー
ジの製造時における積層体が有する問題点を解決したも
ので、次のような積層体の積層方法によって達成される
。

つまり、本発明は第１図に示すように複数のグリーンシ
ート２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄを積層してなる積層体１に
係り、その主要構成とするところは、各グリーンシート
の一部にそれぞれ大きさの異なる切欠き（又は孔）４ａ
・・・を形成し、各グリーンシート２ａ・・・を順番に
積層した際に積層方向に全グリーンシー）２ａ・・・の
表面一部３，１・・・が露出する検知部５となるように
積層することを特徴とする。

なお、好適な実施態様によって上記表面一部３ａ・・・
には積層体１や各グリーンシート２ａ・・・に関する情
報（例えば種別等）６を表示してなる。

（作用）次に、本発明の作用について説明する。

第１図に示すように積層体１における検知部５の特に表
面一部３ａ・・・が露出する部分は階段状に形成される
。したがって、検知部５を積層方向からみると第２図に
示すように表面−・部３ａは一定の間隔、配列で現れ、
正規の順番で積層されているか否かを目視で容易に確認
できる。また、表面一部３ａ・・・に積層体１やグリー
ンシート２ａ・・・に関する情報６を表示することによ
り容易に自動読取り等を行うことができる。

（実施例）以下には、本発明に係る好適な実施例を図面に基づき詳
細に説明する。

第１図は本発明に係る積層体の斜視図、第２図は同積層
体における検知部の正面図、第３図は同積層体における
検知部の正面図である。

積層体１は複数（実施例は４枚を示す）のグリーンシー
）２ａ、２ｂ、’ｌｃ、　２ｄを順次積層して構成する
。各グリーンシート２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄは一定の厚
さを有するグリーンシートを打ち抜いて形成する。この
際にグリーンシート２ａ・・・の側縁に矩形状の切欠き
４ａ、４ｂ、４Ｃ５４ｄを同時に打ち抜き形成する。切
欠き４ａ・・・において一方の端辺は各グリーンシート
４ａについて同−位置とするとともに、他方の端辺は上
方のウェハーになるに従って切欠き４ａが広幅になる方
向へその切込み位置が一定寸法車位で順次移行するよう
になす。

この結果、全体として見た場合第１図に示すように積層
体１の側部に切欠き４ａ・・・の集合空間によって検知
部５を形成することができる。検知部５は特に切欠き４
ａ・・・の他方の端辺によって各グリーンシート４ａ・
・・の表面一部３ａ・・・が露出した階段部１０によっ
て構成される。

また、表面一部３ａ・・・には例えば第２図に示すよう
にその一部にバーコードｌｌａ、ｌｌｂ、１１ｃ、ｌｉ
ｄを表示する。このバーコードｌｌａ・・・は例えばパ
ターンプリント時にメタライズペーストにより同時にプ
リントすることができる。

バーコードｌｌａ・・・はグリーンシート４ａ・・・の
地色とは明確に識別できるように配色を考慮し、光学的
に読み取れるようにする。なお、バーコードｌｌａ・・
・は各グリーンシート４ａ・・・ごとに配色を変えたり
、或いは幅等の形状を変え、全体としてパッケージの種
別等を示す情報６として構成する。

このように構成した積層体１の検知部５は積層方向、つ
まり、上方からみた場合第２図に示すように全グリーン
シート４ａ・・・の表面一部３ａ・・・が露出し、各表
面一部３ａ上に表示されたバーコードｌｌａ・・・の数
量、位置、幅等を光学的に読み取ることによって一定の
情報を得ることができ、この情報により積層体１が良品
であるか否かをはじめ種別が何であるか等を知ることが
できる。このような光学的読み取りは光学的センサによ
って自動読み取りが可能であるが、勿論肉眼による目視
によっても確認するかとができる。

なお、良品か否かは例えば検知部５に嵌合するゲージ等
を差し込んで検知することができる。したがって情Ｉ［
ａ　６は必要により任意に表示することができる。

以上、実施例について詳細に説明したが、本発明はこの
ような実施例に限定されるものではない。

例えば検知部５は矩形状の切欠き４ａ・・・で形成した
が切欠き４ａ・・・は三角形状、台形状等任意でよい。

また、切欠き４ａ・・・で形成したがグリーンシートの
面内に順次大径となる円孔を形成する等してもよい。そ
の多細部の形状、構成、素材、数量等において本発明の
精神を逸脱しない範囲において任意に変更実施すること
ができる。

（発明の効果）このように、本発明に係る多層セラミックパッケージの
製造方法は積層する各グリーンシートの一部にそれぞれ
大きさのことなる切欠き又は孔を形成し、各グリーンシ
ートを順番に積層した際に積層方法に全グリーンシート
の表面一部が露出する検知部となるように積層するため
積層する順番を誤ることなく正確に積層でき、しかも向
きや裏表を誤ることなく製造することができる。したが
って大幅な不良低減を図ることができる。

また、万が一不良品が生ずるようなことがあっても、そ
の検出は検知部によって容易に行うことができ、しかも
自動検出も容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る積層体の斜視図、第２図は同積層
体における検知部の平面図、第３図は同積層体における
検知部の正面図、第４図及び第５図は従来技術に係る積
層体の斜視図。尚図面中、１・・・積層体、　　　２ａ、２ｂ、２ｃ、
２ｄ・・・グリーンシート、３ａ、３ｂ、３Ｃ１３ｄ・・・表面一部、４ａ、４ｂ、
４ｃ、４ｄ　・−・切欠き、５・・・検知部。第１図第２図

Claims

【特許請求の範囲】１、複数のグリーンシートを積層してなる多層セラミッ
クパッケージの製造方法において、各グリーンシートの
一部にそれぞれ大きさの異なる切欠き又は孔を形成し、
各グリーンシートを順番に積層した際に、積層方向に全
グリーンシートの表面一部が露出する検知部となるよう
に積層することを特徴する多層セラミックパッケージの
製造方法。２、前記検知部における表面一部には読取り可能な情報
を表示することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の多層セラミックパッケージの製造方法。