JPH0458088B2 - - Google Patents

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JPH0458088B2
JPH0458088B2 JP78385A JP78385A JPH0458088B2 JP H0458088 B2 JPH0458088 B2 JP H0458088B2 JP 78385 A JP78385 A JP 78385A JP 78385 A JP78385 A JP 78385A JP H0458088 B2 JPH0458088 B2 JP H0458088B2
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JP78385A
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Inventor
Tsuneyasu Umemura
Yoryuki Anraku
Sumio Tajima
Katsuhiro Shimokawa
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、記録媒体検査装置に関し、特に、
多くのフロツピー(フレキシブルデイスク)記録
媒体(以下フロツピー媒体)を連続して移送で
き、高速な検査処理が可能でかつ小型なフロツピ
ー記録媒体検査装置に関するものである。
[従来技術] フロツピー記録媒体検査装置としては、5 1/4
インチのミニフロツピーとか、8インチの標準フ
ロツピーの検査装置に見られるように、ジヤケツ
ト収納状態でフロツピー媒体を所定の電気的な仕
様に基づいて、その合格、不合格を検査し、合格
品と不合格品とは同一の搬送路に送り出されて、
その切分けは、途中で搬送路の切換えにより行う
というものが一般的である。
一方、このミニフロツピーデイスクの需要は、
AO化の拡大とともに増大し、特に、5 1/4イン
チとか、マイクロフロツピーと呼ばれるさらに小
さい3.5インチ程度の小型のフロピーデイスクが
オフイスとか、一般家庭に急激に普及しつつあ
る。その結果として、これらの生産量が近年急激
に増大している。
[発明が解決しようとする問題点] そこで、特に、5 1/4インチ以下の小型のフロ
ツピーデイスクについては、このような従来の検
査の仕方では、その処理速度が遅く、対応しきれ
ない可能性がある。
その結果、これに対処するためにこのような検
出装置を2台、3台と増設することも考えられる
が、増設により検査装置が増加すれば、それだけ
スペースが食われ、製造コストも高くなり、他の
段階の構造ラインとの関係も複雑化する。しかも
塵あいなどの極力避けるフロツピーデイスクの生
産ラインに対しては好ましくない環境を生じる。
一方、製造ラインとの関係でこのような検査装
置は、小型なものほど好ましいものである。
[発明の目的] この発明は、このような従来技術の問題点に鑑
みてなされたものであつて、このような問題点を
除去するとともに、連続かつ高速な検査処理が可
能で、かつ小型な記録媒体検査装置を提供するこ
とを目的とする。
[問題点を解決する手段] この発明は、ジヤケツトを用いずに裸の状態で
フロツピー媒体を移送して連続的に検査すること
に着目したものであつて、連続的な検査を可能と
するために、裸のフロツピーを積層状態にして連
続的にフロツピー検査ユニツトに移送するととも
に、検査済みのフロツピー媒体を連続的に積層状
態で回収することにより、その検査処理の高速化
を図つたものである。
しかして、前記のような目的を達成するこの発
明の記録媒体検査装置は、所定の間隔で配置され
た3以上のアームを備えていて、第1のアームは
供給側にあるシート状の記録媒体をピツクアツプ
する位置に位置付けられ、第2のアームは、ピツ
クアツプしたシート状の記録媒体を検査する記録
媒体駆動装置にセツトする位置に位置付けられ、
第3のアームは記録媒体駆動装置からピツクアツ
プした検査終了済みのシート状の記録媒体を回収
する位置に位置付けられ、これら第1、第2、第
3のアームがともに所定角度回転駆動されて、第
1のアームは供給側にあるシート状の記録媒体を
記録媒体駆動装置にセツトする位置へと移送し、
第2のアームは検査済みのシート状の記録媒体を
それを回収する位置へと移送し、第3のアーム又
はこれに先行する他のアームがシート状の記録媒
体をピツクアツプする位置に位置付けられるとい
うものである。
[作用] このように所定間隔隔てた複数のアームを用い
て回転制御だけで同時にシート状の記録媒体を移
送することができるので、ジヤケツトに収納する
ことなしに、その供給から、検査、そしてその回
収までの処理を同時にしかも裸の状態で連続的に
処理することが可能となる。
その結果、簡単な制御により高速な検査処理が
実現できる。
[実施例] 以下、この発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。
第1図は、この発明を適用した一実施例のフロ
ツピー記録媒体検査装置の概要図である。
ハンドリングユニツト1は、それが回転及び上
昇/降下制御されることにより、供給パレツト2
に積層(例えば200枚程度)されたフロツピー媒
体3を1枚ずつピツクアツプしてフロツピー検査
ユニツト5へと移送するとともに、検査が終了し
たフロツピー媒体3をフロツピー検査ユニツト5
から、対応する収納位置にセツトされている収納
パレツトへと移送する(図では、収納パレツト6
aが収納位置にセツトされている)。
ここでは、4個の収納パレツト6a,6b,6
c,6dは、スタツカテーブル9に載置されるも
のであつて、スタツカテーブル9が所定の量(90
度の整数倍)だけ回転制御されることにより選択
された特定の収納パレツトが対応する収納位置に
セツトされる。なお、この収納パレツト6a,6
b,6c,6dは、空になつた供給パレツト2が
ベルト搬送機構で構成されるパレツト転送供給機
構(詳細は、第6図参照)により転送されて、ス
タツカテーブル9上にセツトされるものである。
なお、4つの収納パレツト6a,6b,6c,6
dは、それぞれ合格、上面不合格、下面不合格、
両面不合格という4つの状態にそれぞれ対応して
いる。そして図では、首脳パレツト6cが排出位
置にある。
さて、供給パレツト2又は収納パレツト6a,
6b,6c,6dには、それぞれ第2図a,bに
見るごとく、セパレータ4を上としてフロツピー
媒体3がセパレータ4を介在させて、フロツピー
媒体3、セパレータ4と交互に積層されて収納さ
れ、又は収納されるようになつている。
しかも、セパレータ4の開口部4aの内径は、
フロツピー媒体3の開口部3aの内径より大きい
径を有している。
このセパレータ4とフロツピー媒体3とは、と
もにハンドリングユニツト1に装着された円筒上
の吸着ヘツド10により負圧にて吸着されて吸着
ヘツド10の先端部に保持される。また、後述す
るごとく、その吸着ヘツド10の先端部が分離さ
れることにより大気圧となつて、その先端部から
フロツピー媒体3が離脱される。
ところで、ここで言うフロツピー媒体3は、ジ
ヤケツト又はケースに収納される前の裸の状態の
フロツピデイスクそのものである。
さて、ハンドリングユニツト1は、アームユニ
ツト7と移送制御機構8とから構成され、アーム
ユニツト7は、吸着ヘツド10を3つ、120度間
隔で遊嵌状態でそれぞれ支承する第1、第2、第
3のアーム7a,7b,7cを有している。
一方、移送制御機構8は、このアームユニツト
7を上下移動するとともに所定のタイミングで
120度の回転角で回転制御を行なう機構である。
ここで、フロツピー検査ユニツト5は、いわゆ
るフロツピーデイスクドライブ装置であつて、そ
の上部には、駆動モータのスピンドル5aが配置
されていて、このスピンドル5a上にフロツピー
媒体3がセツトされ、所定の電気的な特性につい
て試験が行われる。
また第3図aに示すように、吸着ヘツド10が
供給パレツト2又は収納位置にある収納パレツト
6a(又は6b,6c,6d)に収納されている
セパレータ4及びフロツピー媒体3とに接した状
態の断面図に見るごとく吸着ヘツド10は、三重
の円筒構造をしている。その最外周の円筒は、セ
パレータ4を吸着するヘツド部10aであり、そ
の内部には吸着口が設けられている。そしてその
内側にある円筒は、フロツピー媒体3を吸着する
ヘツド部10bであつて、最外周の円筒に対し上
下移動可能に嵌込されていて、同様にその内部に
は吸着口が設けられている。これは先端部Fと後
部本体Rとの2つのブロツクとからなる。
そして、第3図aに見るように内挿されている
軸10d及びコレツト10c、そして内蔵のばね
(詳細は図示せず)を介してこれら先端部Fと後
部本体Rとがそれぞれ相互に一体的に結合されて
いる。なお、第3図aに見るヘツド10aの円筒
上部に設けられたピン10fは、アーム7a,7
b、又は7cの上部に係合して吸着ヘツド10自
体を係止する役割を果たす。
さて、ヘツド部10bの先端部Fの内側には、
フロツピー媒体3をスピンドル5aに対し固定す
るためのコレツト10cが収納されている。この
コレツト10cは、軸10dに軸受を介して回転
可能に支承されており、先端部Fとはばね結合し
ていて、この軸受の作用により先端部Fとともに
スピンドル5aの回転に追従するようになつてい
る。
また、第3図bは、その搬送状態及び引揚げ状
態におけるセパレータ4及びフロツピー媒体3の
吸着ヘツド10に吸着されている状態を説明する
ものであり、吸着ヘツド10bに設けられたピン
10e(第3図a参照)の作用とその自重による
自然落下による、その内側の円筒であるフロツピ
ー媒体3を吸着するヘツド部10bが所定の距離
だけ下にずれており、セパレータ4とフロツピー
媒体3とは、一定距離離れてセパレータ4が上と
なつた状態で保持されている。
なお、第3図aの窓16は、各吸着ヘツド10
のヘツド部10a,10bに設けられているもの
であつて、各アームに設けられた爪17(第3図
c参照)が嵌込される開口であつて、第3図cに
見るようにこの窓16は、フロツピー検査ユニツ
ト5に位置付けられたアーム7b(又は7a,7
c)が降下して来ると、この爪17が窓16を介
して嵌入し、軸10dを降下させ、その先端部F
を後部本体Rから分離して先端部Fの吸着開口の
圧力を大気圧として、先端に吸着しているフロツ
ピー媒体3をスピンドル5a上に自然落下させる
とともに、コレツト10cをスピンドル5aの凹
部に嵌込させて、先端部Fの周囲とでスピンドル
5aの凹部の周囲とでフロツピー媒体3を固定し
かつ圧着保持する役割を果たす。
この作用を具体的に示すのが第4図a乃至第4
図dであり、第4図aから第4図dの順に従つて
アーム7bが順次降下した状態にある。なお、説
明の都合上ヘツド部10aの円筒及びこれに固定
されるセパレータ4の一部は、省略している。
その動作を具体的に説明すると、アーム7bに
遊嵌支持されたヘツド10が所定の位置まで降下
すると、まず、バー15がストツパ14に係合す
ることによりヘツド部10aとヘツド部10b
(ヘツド部10bのピンeを介在させて)とがそ
の降下を阻止される。
そして、アーム7bがさらに降下して、窓16
から爪17が嵌込して突出し、コレツト10cを
軸受支持する軸10dに設けられたピン10gに
係合する。この状態を示すのが、第4図aであ
る。
そして、これよりさらにアーム7bが降下する
と、ピン10gが押し下げられ、軸10dが押し
下げられてヘツド部10bの後部本体Rは、その
降下が阻止されて、その先端部Fのみが分離して
降下することになる。このことにより先端部Fに
ある吸着口の圧力が負圧から大気圧となる。その
結果としてフロツピー媒体3をスピンドル5a上
に自然落下させる。この状態を示すのが、第4図
bである。
なお、ヘツド部10bの先端部Fと後部本体R
とは、内挿された軸10dを介し、内蔵されてい
るばねにより付勢された状態で密着結合してい
て、ここでのこれらの分離は、このばねの力に抗
して行われる。
さて、アーム7bがさらに降下すると、軸10
dがさらに押し下げられて、ヘツド部10bの先
端側に内挿されたコレツト10cもともに所定の
位置関係で突出し始める。そしてスピンドル5a
の凹部5bに嵌込する。この状態を示すのが、第
4図cである。
そして、さらにアーム7bが降下すると、軸1
0dがさらに押し下げられ、収納位置にある収納
パレツト6a(又は6b,6c,6d)て、同様
にヘツト10bの先端側に内挿されたコレツト1
0cもともに、所定の位置関係でさらに突出し、
スピンドル5aの凹部5bに完全に嵌込するとと
もに、コレツト10cの周囲とスピンドル5aの
周囲とでフロツピー媒体3の開孔部3aの周囲を
保持して固定する。この状態を示すのが、第4図
dである。なお、第4図dに見る先端部Fと後部
本体Rとの間隙は、実際上、2mm程度の微小のも
のであるが、説明の都合でこれを強調して示して
いる。
ところで、第1図に見るごとく、ストツパ14
は、第2のアーム7bの位置に対して貫通して配
置されるストツパであつて、ヘツド10の所定の
降下位置で、ヘツド10の外側に固定されたバー
15に係合する。このストツパ14は、フロツピ
ー検査ユニツト5に対応する位置のアームに対応
して設置されているものであつて、これ以外の場
所には、ストツパがない。したがつて供給パレツ
ト2及び収納位置にある収納パレツト6a(又は
6b,6c,6d)の位置では、そのヘツド10
a,10bは、降下が阻止されることがなく、ア
ームとともに降下して、爪17によるコレツト1
0c等の押し下げ作用はない。
一方、供給パレツト2と収納パレツト6a,6
b,6c又は6dとほぼ同一の高さにあるが、こ
のスピンドル5aの位置は、これら供給パレツト
3及び収納パレツト6a,6b,6c又は6dの
底部の位置より高い位置に配置されているもので
ある。したがつてこの点からも供給パレツト2と
収納パレツトとに対する吸着ヘツド10について
は爪17の作用がない。
このようにして、検査のためにフロツピー検査
ユニツト5のスピンドル5a上にセツトされたフ
ロツピー媒体3は、吸着ヘツド10の内側にセツ
トされているコレツト10cとスピンドル5aの
表面との間で固定される。そしてコレツト10c
はスピンドル5aの回転に追従するように吸着ヘ
ツド10の内側で軸受の作用で回転駆動される。
次に、この記録媒体検査装置の全体的な動作に
ついて説明する。
まず、全体的な動作としては、セパレータ4と
フロツピー媒体3とが同時に第1、第2、第3の
それぞれのアーム7a,7b,7cのそれぞれの
ヘツド10に吸着されて、ともに移送されること
になる。
さて、ローダユニツトにより供給パレツト2が
アームユニツト7の第1のアーム7aに支持され
たヘツド10の下側にセツトされる。そして移送
制御機構8により、アームユニツト7が降下し
て、遊嵌状態で支承されているそれぞれのヘツド
10が降下し、所定量降下した時点で、まず供給
パレツト2の最上部に配置されたセパレータ4と
フロツピー媒体3とにヘツド部10a及び10b
とが接触する。
ここで、アームユニツト7は、さらに降下する
が遊嵌状態で支持されかつストツパ14がないの
で、第1のアーム7aに支持されたヘツド10と
セパレータ4及びフロツピー媒体3とは第3図a
に見るような関係を維持する。
このような関係は、第3のアーム7cと収納位
置にある収納パレツト6a(又は6b,6c,6
d)の位置とにあつても同様である。
一方、フロツピー検査ユニツト5のスピンドル
5aの位置は、さらに上側に位置し、ストツパ1
4があるので、第2のアーム7bは、さらに降下
し、アーム7bの爪13が作用し、やがて、その
コレツト10cがスピンドル5aから所定の距離
離れた位置へ来ると、そのヘツド部10bの先端
部Fが負圧から大気圧にされて吸着状態にあるフ
ロツピー媒体3が離脱され、スピンドル5a上へ
と落下する、なお、このとき第2のアーム7bの
ヘツド部10aは負圧のまま維持され、セパレー
タ4は、保持されたままとなつている。
その結果、吸着状態にあつたアーム7bのフロ
ツピー媒体3のみがそのヘツド10から離脱され
て、その後のアーム7bにおけるヘツド10のコ
レツト10cの降下により、スピンドル5aとコ
レツト10c及びヘツド部10bの先端部Fとの
間で検査されるべきフロツピー媒体3が固定され
る。そしてこの状態で、移送制御機構8によるア
ームユニツト7の降下制御が終了する。そこでフ
ロツピー検査ユニツト5において所定の検査が開
始される。
ここで、フロツピー検査ユニツト5において所
定の検査が終了すると、その終了信号に応じたタ
イミングで、第3のアーム7cのヘツド10のヘ
ツド部10a及びヘツド部10bが負圧から大気
圧にされる。そこで吸着状態にあるセパレータ4
及びフロツピー媒体3がともに離脱されることに
なり、セパレータ4とフロツピー媒体3とが収納
パレツト6a,6b,6c又は6dのうちの収納
位置にセツトされるある1つの収納パレツトに供
給時と同一の上下関係を保つて収納される。
また、フロツピー検査ユニツト5において所定
の検査が終了すると、その終了信号に応じて移送
制御機構8が動作して、降下状態にあるアームユ
ニツト7が移送制御機構8により、上昇させられ
て遊嵌状態で支承されている各ヘツド10がやが
て上昇する。そこでアーム7bにおける吸着ヘツ
ド10のコレツト10cが上昇して、ヘツド部1
0bの先端部Fと後部本体Rとが内蔵されたばね
の作用で引上げられて一体化され、ヘツド部10
bの吸着動作が開始する。その結果、スピンドル
5a上にあるフロツピー媒体3が吸着され、第3
図bの状態となる。
なお、このとき、アーム7aの吸着ヘツド10
も同様に第3図bの状態でセパレータ4とフロツ
ピー媒体3とを吸着いて保持する。
そして、それぞれのアームの吸着ヘツド10が
供給パレツト2及び収納位置にある収納パレツト
(6a又は6b,6c,6d)の位置のうちの1
つの収納パレツトそしてフロツピー検査ユニツト
5に対して、これらの上端から所定の距離離れた
所定の上昇位置まで来るとこの上昇は停止する。
この状態では、第1のアーム7aと第2のアー
ム7bのヘツド10は、セパレータ4とフロツピ
ー媒体3とを上下関係に保持した状態にあつて、
第3のアーム7cのヘツド10はセパレータ4と
フロツピー媒体3とを保持していない状態にあ
る。
ここで、アームユニツト7は、移送制御機構8
により、120度回転する。そこで第1のアーム7
aが第2のアーム7bの位置へ、第2のアーム7
bが第3のアーム7cの位置へ、そして第3のア
ーム7cが第1のアーム7aの位置へとそれぞれ
移動する。
一方、先の検査結果に応じて、コントロールユ
ニツト11によりスタツカテーブル9が回転制御
されて、4つの収納パレツト6a,6b,6c又
は6dのうちの検査の結果(合格、上面不合格、
下面不合格、両面不合格)に対応する収納パレツ
ト6a,6b,6c又は6dの1つが第2のアー
ム7b(回転前には第3のアーム7cがあつた位
置)のヘツト10に対応する収納位置に位置決め
される。
そして、前記と同様にアームユニツト7が降下
して同様な処理を繰返す。
このようにして1枚づつ、セパレータ4を上に
てセパレータ4とフロツピー媒体3とを上下関係
に保持した状態でともに移送して供給パレツト2
からフロツピー検査ユニツト5へと移送するとと
もに、検査済みフロツピー媒体3とセパレータ4
とを供給時と同様にセパレータ4を上とした上下
関係を保つて、フロツピー検査ユニツト5から収
納パレツトへと移送する。
一方、収納パレツト側では、検査結果に応じ
て、コントロールユニツト11によりスタツカテ
ーブル9が回転制御されて、合格、上面不合格、
下面不合格、両面不合格の検査結果に応じて4つ
の収納パレツト6a,6b,6c又は6dのうち
対応するものが検査済みフロツピー媒体3をセパ
レータ4とともに受入れる。
また、これらの収納されたフロツピー媒体3の
数量と供給パレツト2にある残りのフロツピー媒
体3の数量とは、ともにコントロールユニツト1
1の演算処理部で管理されていて、それぞれ200
枚に達した時点で、供給パレツト2は、空の処理
に入つて、収納パレツト側に移送される。また、
収納パレツト6a,6b,6c又は6dは排出処
理に入る。
以上説明してきたが、実施例では、120度に配
置したアームにより、セパレータとフロツピー媒
体とをセパレータを上とした上下関係に保持した
状態で移送しているが、セパレータは必ずしも必
要なく、また、アームは、3つである必要はな
い。これは、複数あればよく、その間隔も120度
に限定されるものではなく、所定の間隔であれば
よい。
また、その対象としては、フロツピー媒体に限
定されるものではなく、光デイスクのような、い
わゆるシート状の記録媒体の検査装置であればど
のようなものであつてもよい。
[発明の効果] 以上の説明から理解できるように、この発明の
記録媒体検査装置は、所定の間隔で配置された3
以上のアームを備えていて、第1のアームは供給
側にあるシート状の記録媒体をピツクアツプする
位置に位置付けられ、第2のアームは、ピツクア
ツプしたシート状の記録媒体を検査する記録媒体
駆動装置にセツトする位置に位置付けられ、第3
のアームは記録媒体駆動装置からピツプアツプし
た検査終了済みのシート状の記録媒体を回収する
位置に位置付けられ、これら第1、第2、第3の
アームがともに所定角度回転駆動されて、第1の
アームは供給側にあるシート状の記録媒体を記録
媒体駆動装置にセツトする位置へと移送し、第2
のアームは検査済みのシート状の記録媒体をそれ
を回収する位置へと移送し、第3のアーム又はこ
れに先行する他のアームがシート状の記録媒体を
ピツクアツプする位置に位置付けられるというも
のであるので、アームを回転制御だけで同時にシ
ート状の記録媒体を移送するので、ジヤケツトに
収納することなしに、その供給から、検査、そし
てその回収までの処理を同時にしかも裸の状態で
連続的に処理することが可能となる。
その結果、簡単な制御により高速な検査処理が
実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明を適用した一実施例のフロ
ツピー録媒体検査装置の概要図、第2図a,b
は、それぞれその収納パレツトとフロツピー媒体
及びセパレータとの関係を説明する図、第3図a
は、その吸着ヘツドの吸着パレツト又は収納パレ
ツト上に配置されているときの断面説明図、第3
図bは、アームが引揚げられたとき又はは搬送状
態におけるセパレータとフロツピー媒体とその吸
着ヘツドとの関係を説明する図、第3図cは、ア
ームが降ろされたときのセパレータとフロツピー
媒体とその吸着ヘツドとの関係を説明する図、第
4図aから第4図dは、アームに設けられた爪の
作用を説明するための図である。 1はハンドリングユニツト、2は供給パレツト
3はフロツピー記録媒体、4はセパレータ、5は
フロツピー検査ユニツト、6a,6b,6c,6
dはそれぞれ収納パレツト、7はアームユニツ
ト、7a,7b,7cはそれぞれ第1、第2、第
3のアーム、8は移送制御機構、9はスタツカテ
ーブル、10は吸着ヘツド。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 所定の間隔で配置された3以上のアームを備
    え、その第1のアームは供給側にあるシート状の
    記録触媒をピツクアツプする位置に位置付けら
    れ、その第2のアームは、ピツクアツプしたシー
    ト状の記録媒体を検査する記録媒体駆動装置にセ
    ツトする位置に位置付けられ、その第3のアーム
    は前記記録媒体駆動装置からピツクアツプした検
    査終了済みのシート状の記録媒体を回収する位置
    に位置付けられ、これら第1、第2、第3のアー
    ムがともに所定角度回転駆動されて、第1のアー
    ムは供給側にあるシート状の記録媒体を前記記録
    媒体駆動装置にセツトする位置へと移送し、第2
    のアームは検査済みのシート状の記録媒体をそれ
    ぞれ回収する位置へと移送し、第3のアーム又は
    これに先行する他のアームがシート状の記録媒体
    をピツクアツプする位置に位置付けられることを
    特徴とする記録媒体検査装置。 2 シート状の記録媒体は、フロツピー記録媒体
    であつて、ほぼ120度の間隔で配置された第1、
    第2、第3のアームからなり、第1、第2、第3
    の各アームには、それぞれ前記フロツピー記録媒
    体を吸着する吸着ヘツドが設けられていて、第2
    のアームにおける吸着ヘツドによりピツクアツプ
    されている記録媒体が記録媒体駆動装置にセツト
    されてその検査が終了したときにこの検査の終了
    の終了に応じて、第1のアームはその吸着ヘツド
    により供給側のシート状の記録媒体を保持し又は
    保持した状態となり、第2のアームはその吸着ヘ
    ツドにより検査済みのシート状の記録媒体を保持
    し又は保持した状態となり、第3のアームは検査
    済みのシート状の記録媒体を放ち又は放した状態
    となつて、これら第1、第2、第3のアームが回
    転されて、第1のアームが第2のアームの位置へ
    と移動し、第2のアームが第3のアームの位置へ
    と移動し、第3のアーム又はこれに先行する他の
    アームが第1のアームの位置へ位置付けられるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の記録
    媒体検査装置。
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