JPH04210786A - 振動子および振動装置 - Google Patents
振動子および振動装置Info
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- JPH04210786A JPH04210786A JP2402159A JP40215990A JPH04210786A JP H04210786 A JPH04210786 A JP H04210786A JP 2402159 A JP2402159 A JP 2402159A JP 40215990 A JP40215990 A JP 40215990A JP H04210786 A JPH04210786 A JP H04210786A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 36
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[0001]
【産業上の利用分野】本発明は振動発生用素子と、該素
子からの振動を受けて振動する振動体に発生させた振動
によって、該振動体に圧接した部材、例えばロータと前
記振動体とを相対的に移動させる振動型モータ用の超音
波振動子、特に鉛筆状のモータ(以下ペンシル型モータ
と称す)の振動子に関するものである。 [0002]
子からの振動を受けて振動する振動体に発生させた振動
によって、該振動体に圧接した部材、例えばロータと前
記振動体とを相対的に移動させる振動型モータ用の超音
波振動子、特に鉛筆状のモータ(以下ペンシル型モータ
と称す)の振動子に関するものである。 [0002]
【従来技術】圧電素子等の振動発生用素子を2枚重ね合
わせ、これら振動発生用素子の上下に振動を受ける導電
性の金属ブロックを設け、導電性のボルト等の締付具に
より上下ブロックを締付け、これにより2枚の振動発生
用素子をブロック間に挾持して構成した振動子が、最近
提案された。 [0003]かかる振動子には、振動子の振動状態を検
出する、例えば圧電素子からなるセンサーが前述の振動
発生用素子と上または下金属ブロックとの間に設けられ
ているが、そのセンサーとしては2枚のセンサーを必要
としていた。 [0004]ここでかかる従来の振動子について図3を
用いて簡単に説明する。 [0005]導電性の金属ブロック1.3の間には厚み
方向に分極された圧電素子7〜13からなる振動発生用
素子が設けられ、A相を構成する圧電素子7.9には、
アース電極19.23及びA相用電極21を介して交流
電圧が印加され、一方B相を構成する圧電素子11,1
3には、アース電極23.27及びB相用電極25を介
して、前述の交流電圧に比べて電気的に90°位相差の
ある交流電圧が印加されている。 [0006]そしてアース電極27と下金属ブロック3
の間には、例えば圧電素子15.17からなる2枚の振
動状態検出用センサーが設けられ、2枚のセンサー15
.17に挟まれた電極29とアース電極27との間から
上下金属ブロックの回転(楕円)振動状態に相応した電
気信号が取り出し得る構成となっている。この従来の超
音波振動子の場合、振動検出用センサーは、図3に示さ
れる様に少なくとも2枚必要となる。 [0007]なぜならば、例えば下側のセンサー17が
存在しないと仮定すると、電極29はボルト5を介して
アース電位の金属ブロック1に電気的に接続されたアー
ス電位の下金属ブロック3に接することになる、アース
電極27と同電位となり、センサー15に生じた電気信
号は出力端27A、29Aから取り出せなくなる。 [0008]また逆にセンサー15が存在しないと仮定
すると、電極27.29は短絡状態となり、センサー1
7の出力信号は出力端27A、29Aから取り出せない
。一方このセンサー15を取り除いた状態において、前
述の短絡状態とならない様に電極29を下側の金属ブロ
ック3に接触させ、電極27.29でセンサー17を挾
持した場合には、センサー17が存在しない場合と同様
の理由により、画電極27.29は同電位となる為にセ
ンサー17の出力信号は取り出せない。 [00091以上の様に、従来の振動子の場合には、少
なくとも2枚のセンサーを必要とし、振動子が高価とな
る欠点があった。 [00101
わせ、これら振動発生用素子の上下に振動を受ける導電
性の金属ブロックを設け、導電性のボルト等の締付具に
より上下ブロックを締付け、これにより2枚の振動発生
用素子をブロック間に挾持して構成した振動子が、最近
提案された。 [0003]かかる振動子には、振動子の振動状態を検
出する、例えば圧電素子からなるセンサーが前述の振動
発生用素子と上または下金属ブロックとの間に設けられ
ているが、そのセンサーとしては2枚のセンサーを必要
としていた。 [0004]ここでかかる従来の振動子について図3を
用いて簡単に説明する。 [0005]導電性の金属ブロック1.3の間には厚み
方向に分極された圧電素子7〜13からなる振動発生用
素子が設けられ、A相を構成する圧電素子7.9には、
アース電極19.23及びA相用電極21を介して交流
電圧が印加され、一方B相を構成する圧電素子11,1
3には、アース電極23.27及びB相用電極25を介
して、前述の交流電圧に比べて電気的に90°位相差の
ある交流電圧が印加されている。 [0006]そしてアース電極27と下金属ブロック3
の間には、例えば圧電素子15.17からなる2枚の振
動状態検出用センサーが設けられ、2枚のセンサー15
.17に挟まれた電極29とアース電極27との間から
上下金属ブロックの回転(楕円)振動状態に相応した電
気信号が取り出し得る構成となっている。この従来の超
音波振動子の場合、振動検出用センサーは、図3に示さ
れる様に少なくとも2枚必要となる。 [0007]なぜならば、例えば下側のセンサー17が
存在しないと仮定すると、電極29はボルト5を介して
アース電位の金属ブロック1に電気的に接続されたアー
ス電位の下金属ブロック3に接することになる、アース
電極27と同電位となり、センサー15に生じた電気信
号は出力端27A、29Aから取り出せなくなる。 [0008]また逆にセンサー15が存在しないと仮定
すると、電極27.29は短絡状態となり、センサー1
7の出力信号は出力端27A、29Aから取り出せない
。一方このセンサー15を取り除いた状態において、前
述の短絡状態とならない様に電極29を下側の金属ブロ
ック3に接触させ、電極27.29でセンサー17を挾
持した場合には、センサー17が存在しない場合と同様
の理由により、画電極27.29は同電位となる為にセ
ンサー17の出力信号は取り出せない。 [00091以上の様に、従来の振動子の場合には、少
なくとも2枚のセンサーを必要とし、振動子が高価とな
る欠点があった。 [00101
【発明が解決しようとする課題]本発明の目的は安価な
振動子を提供せんとするものである。 [0011]本発明の他の目的は振動子の振動状態を一
枚のセンサーで検出できる振動子を提供せんとするもの
である。 [0012]本発明の更に他の目的は、金属ブロックに
設けられた電気−機械エネルギー変換素子に電気信号を
印加することによって前記ブロックの異なる複数の平面
内に振動を励起させ、かつ夫々の振動に時間的に所定の
位相差をだせることにより、前記ブロックの表面に回転
運動を生じさせ、その一端が前記ブロックと作用的に係
合した加圧部材からの付勢力により移動体を前記ブロッ
クに圧接係合し、前記回転運動により前記移動体を摩擦
駆動する形式の超音波振動型モータであって、安価な振
動型モータを提供せんとするものである。 [0013] 【課題を解決するための手段】振動発生用の電気−機械
エネルギー変換素子を導電性のブロックで挾持した構造
の超音波振動子であって、該振動子の振動状態を検出す
る、機械−電気エネルギー変換素子が、前述のブロック
間に挿入される、超音波振動子において、両ブロックの
電位は種々の手段によって異なる電位とされる。このた
めに、例えば1個の検出素子により振動状態の検出が可
能となる。 [0014]
振動子を提供せんとするものである。 [0011]本発明の他の目的は振動子の振動状態を一
枚のセンサーで検出できる振動子を提供せんとするもの
である。 [0012]本発明の更に他の目的は、金属ブロックに
設けられた電気−機械エネルギー変換素子に電気信号を
印加することによって前記ブロックの異なる複数の平面
内に振動を励起させ、かつ夫々の振動に時間的に所定の
位相差をだせることにより、前記ブロックの表面に回転
運動を生じさせ、その一端が前記ブロックと作用的に係
合した加圧部材からの付勢力により移動体を前記ブロッ
クに圧接係合し、前記回転運動により前記移動体を摩擦
駆動する形式の超音波振動型モータであって、安価な振
動型モータを提供せんとするものである。 [0013] 【課題を解決するための手段】振動発生用の電気−機械
エネルギー変換素子を導電性のブロックで挾持した構造
の超音波振動子であって、該振動子の振動状態を検出す
る、機械−電気エネルギー変換素子が、前述のブロック
間に挿入される、超音波振動子において、両ブロックの
電位は種々の手段によって異なる電位とされる。このた
めに、例えば1個の検出素子により振動状態の検出が可
能となる。 [0014]
【実施例】図1は本発明を適用した振動型モータの一実
施例の分解斜視図で、図3と同一機能を有する部材には
図3の符号と同一符号を付し、対応関係を分かり易くし
た。 [0015]また図2は図1に示すモータの断面図を示
している。 [00161図1.2に示す実施例と図3に示す例との
差異は、PZT等で構成される、機械−電気エネルギー
変換素子としての圧電素子17(図3参照)を省き、そ
の代わりに下金属ブロック1と下金属ブロック3とを電
気的に絶縁する為の絶縁体としての絶縁ワッシャ31を
設けた点である。 [0017]図1.2において、1は中間部がくびれ、
また中心には導電性のボルト5のネジ部5Aと螺合する
ネジ穴IAを有する導電性の上金属ブロックで、上面に
はロータ33の摺動部33Aと圧接係合する摺動部IB
が設けられる。 [0018]3は径の異なる2つの穴3A、3Bを有す
る、導電性の下金属ブロックである。この穴3A、3B
の径はブロック3とボルト5とが接触しないように、ボ
ルト5の基部5B、中間部5Cの夫々の径より大きい径
となっている。 [0019]5は前述の5A、5B、5Cを有すると共
に、その端部にはナツト41と螺合するネジ部5Dを有
する図1に示す様な形状のボルト、 [002017〜13は、例えばPZTで構成される、
電気−機械エネルギー変換素子としての中空円形状の圧
電素子で、圧電素子7.9はA相を構成し、また圧電素
子11.13はB相を構成する。尚、該実施例では、A
相、B相夫々の相が2枚の圧電素子で構成されるが、各
相の圧電素子は1枚だけであっても良い。 [00211前述の各圧電素子は17〜13の中空部の
径はボルト5の中間部5Cの外径により大きく、また中
心線を挟んで図示の様な極性であって、かつまた厚み方
向に分極されている。 [0022]15は超音波振動子を構成する金属ブロッ
ク1.3の振動状態を検出するために機械−電気エネル
ギー変換素子としての圧電素子で形成されたセンサーで
、センサー15の中空部の径もセンサー15がボルト5
に接触しないようにボルト5の中間部5Cの外径より大
きい。 [0023]19.21,23は圧電素子7.9に電源
43より1、例えば20 [KHzl程度の交流電圧を
供給する電極、23.25.27は電源43から出力さ
れる交流電圧とは位相差があり、かつ例えば20[KH
2]程度の交流電圧を電源45より圧電素子11.13
に供給する電極である。なお、アース電極23は、ボル
ト5の中間部5Cを介してアース電極27に電気的に接
続されている。 [0024]27.29は振動体としての金属ブロック
1.3の振動に応じたセンサー15からの電気信号を出
力端子27A、29Aに出力する電極である。 [0025]出力端子27A、29Aはセンサー15か
らの出力信号を不図示の振動子制御回路に伝達するもの
である。 [0026]31は導電性ボルト5の上面5Eと下金属
ブロック3の下面との間に設けられ、下金属ブロック3
と上金属ブロック1とがボルト5を介して短絡状態、即
ち同電位となることを防止する絶縁部材としての絶縁ワ
ッシャで、図2に示す様にボルト5の中間部5Cの外径
より大きな径を有する孔を有している。 [0027]33は振動子としての金属ブロック1.3
が供給される交流電圧に応答して振動した時に回転する
中空ロータ、37は出力部材35を介してロータ35に
接した軸受、35Aは出力部材35の端部に設けられた
振動型モータの出力取出ギヤで、不図示の撮影レンズ駆
動用ヘリコイドネジに係合している。47.49はモー
タ固定部材43と中間部材39との間に設けられ、中間
部材39、軸受37、出力部材35を介してロータ33
を振動子としての上金属ブロック1に圧接させるバネで
ある。 [0028]つぎに上記構成にかかる振動型モータの動
作について説明する。 [0029]電極19〜27を介して電源43.45か
ら交流電圧がA相、B相用圧電素子7〜13に供給され
ると、圧電素子7〜13に生じた振動によって振動子1
.3の2つの平面内に振動が励起され、またこれら振動
が、夫々の交流電圧間に位相差があることによって時間
的に所定の位相差を有している為に振動子1.3の表面
には回転運動が生じる。その為に振動子を構成する金属
ブロック1に圧接係合したロータ33は回転運動をする
。 [00301この結果、出力ギヤ35Aより回転出力が
取り出され、カメラのヘリコイドネジは移動して、撮影
レンズは移動するものである。 [00311次にセンサー15の出力信号について説明
する。 [0032]アース電極19に接触した金属ブロック1
はアース電位となるが、下金属ブロック3は絶縁ワッシ
ャ31により電極19と同電位であるアース電位になら
ないので、下金属ブロック3に接触した電極29もアー
ス電位ではない。 [0033]従って、センサー15より出力されて、振
動子1.3の振動状態に応じた電気信号が電極27.2
9を介して出力端子27A、29Aより出力されるもの
である。 [0034]以上の様に本実施例によれば、絶縁ワッシ
ャ31により上、下金属ブロックの電位を異ならしたの
で、1個のセンサー15だけを用いても振動型モータの
振動子の振動状態を検出できるものである。 [0035]つぎに本発明を適用した振動型モータの他
の実施例について説明する。 [0036]図4は本発明の第2実施例にかかる振動型
モータの分解斜視図で、第1実施例の場合は絶縁ワッシ
ャ31を用いて両金属ブロック1.3が同電位となるこ
とを防止したが、該第2実施例はこのワッシャ31を用
いない例である。即ち、第1実施例ではボルト5は導電
性の金属のボルトであったが、図4に示す実施例は、絶
縁性材料、例えばジルコニアによって作られたボルト5
0を用いた例である。なお他の機素は第1実施例のもの
と、同一であるので、同符号を付してその説明を省略す
る。 [0037]また図5、図6は、ボルト5としては、第
1実施例同様導電性のボルトを用いるが、ボルト5のネ
ジ部5Aの表面に絶縁塗料を貼布してボルト5と土金属
ブロック1とを電気的に絶縁し、またロータ33、出力
部材35、軸受37、ボルト5等を介して、上、下金属
ブロック1.3が電気的に短絡することを防止する為に
第1実施例に示した固定部材43(図2参照)を絶縁性
のセラミック等で構成した例である。 [0038]なお図5.6に示した実施例における他の
機素は第1実施例のものと同一であるので同一符号を付
してその説明を省く。 [00391以上の様に本発明は超音波振動子を構成す
る振動発生用金属ブロックを異なる電位としたので、振
動検出用センサーを1枚節約することができ、その結果
、超音波振動子、及び超音波振動子を駆動源とする振動
型モータを安価に提供することができるものである。
施例の分解斜視図で、図3と同一機能を有する部材には
図3の符号と同一符号を付し、対応関係を分かり易くし
た。 [0015]また図2は図1に示すモータの断面図を示
している。 [00161図1.2に示す実施例と図3に示す例との
差異は、PZT等で構成される、機械−電気エネルギー
変換素子としての圧電素子17(図3参照)を省き、そ
の代わりに下金属ブロック1と下金属ブロック3とを電
気的に絶縁する為の絶縁体としての絶縁ワッシャ31を
設けた点である。 [0017]図1.2において、1は中間部がくびれ、
また中心には導電性のボルト5のネジ部5Aと螺合する
ネジ穴IAを有する導電性の上金属ブロックで、上面に
はロータ33の摺動部33Aと圧接係合する摺動部IB
が設けられる。 [0018]3は径の異なる2つの穴3A、3Bを有す
る、導電性の下金属ブロックである。この穴3A、3B
の径はブロック3とボルト5とが接触しないように、ボ
ルト5の基部5B、中間部5Cの夫々の径より大きい径
となっている。 [0019]5は前述の5A、5B、5Cを有すると共
に、その端部にはナツト41と螺合するネジ部5Dを有
する図1に示す様な形状のボルト、 [002017〜13は、例えばPZTで構成される、
電気−機械エネルギー変換素子としての中空円形状の圧
電素子で、圧電素子7.9はA相を構成し、また圧電素
子11.13はB相を構成する。尚、該実施例では、A
相、B相夫々の相が2枚の圧電素子で構成されるが、各
相の圧電素子は1枚だけであっても良い。 [00211前述の各圧電素子は17〜13の中空部の
径はボルト5の中間部5Cの外径により大きく、また中
心線を挟んで図示の様な極性であって、かつまた厚み方
向に分極されている。 [0022]15は超音波振動子を構成する金属ブロッ
ク1.3の振動状態を検出するために機械−電気エネル
ギー変換素子としての圧電素子で形成されたセンサーで
、センサー15の中空部の径もセンサー15がボルト5
に接触しないようにボルト5の中間部5Cの外径より大
きい。 [0023]19.21,23は圧電素子7.9に電源
43より1、例えば20 [KHzl程度の交流電圧を
供給する電極、23.25.27は電源43から出力さ
れる交流電圧とは位相差があり、かつ例えば20[KH
2]程度の交流電圧を電源45より圧電素子11.13
に供給する電極である。なお、アース電極23は、ボル
ト5の中間部5Cを介してアース電極27に電気的に接
続されている。 [0024]27.29は振動体としての金属ブロック
1.3の振動に応じたセンサー15からの電気信号を出
力端子27A、29Aに出力する電極である。 [0025]出力端子27A、29Aはセンサー15か
らの出力信号を不図示の振動子制御回路に伝達するもの
である。 [0026]31は導電性ボルト5の上面5Eと下金属
ブロック3の下面との間に設けられ、下金属ブロック3
と上金属ブロック1とがボルト5を介して短絡状態、即
ち同電位となることを防止する絶縁部材としての絶縁ワ
ッシャで、図2に示す様にボルト5の中間部5Cの外径
より大きな径を有する孔を有している。 [0027]33は振動子としての金属ブロック1.3
が供給される交流電圧に応答して振動した時に回転する
中空ロータ、37は出力部材35を介してロータ35に
接した軸受、35Aは出力部材35の端部に設けられた
振動型モータの出力取出ギヤで、不図示の撮影レンズ駆
動用ヘリコイドネジに係合している。47.49はモー
タ固定部材43と中間部材39との間に設けられ、中間
部材39、軸受37、出力部材35を介してロータ33
を振動子としての上金属ブロック1に圧接させるバネで
ある。 [0028]つぎに上記構成にかかる振動型モータの動
作について説明する。 [0029]電極19〜27を介して電源43.45か
ら交流電圧がA相、B相用圧電素子7〜13に供給され
ると、圧電素子7〜13に生じた振動によって振動子1
.3の2つの平面内に振動が励起され、またこれら振動
が、夫々の交流電圧間に位相差があることによって時間
的に所定の位相差を有している為に振動子1.3の表面
には回転運動が生じる。その為に振動子を構成する金属
ブロック1に圧接係合したロータ33は回転運動をする
。 [00301この結果、出力ギヤ35Aより回転出力が
取り出され、カメラのヘリコイドネジは移動して、撮影
レンズは移動するものである。 [00311次にセンサー15の出力信号について説明
する。 [0032]アース電極19に接触した金属ブロック1
はアース電位となるが、下金属ブロック3は絶縁ワッシ
ャ31により電極19と同電位であるアース電位になら
ないので、下金属ブロック3に接触した電極29もアー
ス電位ではない。 [0033]従って、センサー15より出力されて、振
動子1.3の振動状態に応じた電気信号が電極27.2
9を介して出力端子27A、29Aより出力されるもの
である。 [0034]以上の様に本実施例によれば、絶縁ワッシ
ャ31により上、下金属ブロックの電位を異ならしたの
で、1個のセンサー15だけを用いても振動型モータの
振動子の振動状態を検出できるものである。 [0035]つぎに本発明を適用した振動型モータの他
の実施例について説明する。 [0036]図4は本発明の第2実施例にかかる振動型
モータの分解斜視図で、第1実施例の場合は絶縁ワッシ
ャ31を用いて両金属ブロック1.3が同電位となるこ
とを防止したが、該第2実施例はこのワッシャ31を用
いない例である。即ち、第1実施例ではボルト5は導電
性の金属のボルトであったが、図4に示す実施例は、絶
縁性材料、例えばジルコニアによって作られたボルト5
0を用いた例である。なお他の機素は第1実施例のもの
と、同一であるので、同符号を付してその説明を省略す
る。 [0037]また図5、図6は、ボルト5としては、第
1実施例同様導電性のボルトを用いるが、ボルト5のネ
ジ部5Aの表面に絶縁塗料を貼布してボルト5と土金属
ブロック1とを電気的に絶縁し、またロータ33、出力
部材35、軸受37、ボルト5等を介して、上、下金属
ブロック1.3が電気的に短絡することを防止する為に
第1実施例に示した固定部材43(図2参照)を絶縁性
のセラミック等で構成した例である。 [0038]なお図5.6に示した実施例における他の
機素は第1実施例のものと同一であるので同一符号を付
してその説明を省く。 [00391以上の様に本発明は超音波振動子を構成す
る振動発生用金属ブロックを異なる電位としたので、振
動検出用センサーを1枚節約することができ、その結果
、超音波振動子、及び超音波振動子を駆動源とする振動
型モータを安価に提供することができるものである。
【図1】本発明を適用した振動型モータの部分分解斜視
図である。
図である。
【図2】図1に示したモータ断面図である。
【図3】従来の振動型モータの分解斜視図である。
【図4】本発明を適用した振動型モータの第2実施例の
部分分解斜視図である。
部分分解斜視図である。
【図5】本発明の第3実施例にかかる振動型モータの部
分分解斜視図である。
分分解斜視図である。
【図6】図5に示したモータの断面図である。
5AI 絶縁塗料
31 絶縁ワッシャ
43AA 絶縁性固定部材
50 絶縁性ボルト
【図3】
【図5】
Claims (1)
- 【請求項1】電極を介して供給される電気信号に応答し
て振動を発生する電気−機械エネルギー変換素子と、該
変換素子を挾持し、前記振動に応じた振動を発生する導
電性ブロックと、該ブロックに圧接され、前記ブロック
の振動状態に応じた検出信号を発生する、機械−電気エ
ネルギー変換素子と、前記ブロック間を異なる電位とす
るための部材とを設けたことを特徴とする振動子。
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