JPH04209457A - 画像表示を行う分析装置 - Google Patents
画像表示を行う分析装置Info
- Publication number
- JPH04209457A JPH04209457A JP2406325A JP40632590A JPH04209457A JP H04209457 A JPH04209457 A JP H04209457A JP 2406325 A JP2406325 A JP 2406325A JP 40632590 A JP40632590 A JP 40632590A JP H04209457 A JPH04209457 A JP H04209457A
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- JP
- Japan
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- circuit
- signal
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- Withdrawn
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- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［０００１１
【産業上の利用分野］ 本発明は画像とヒストグラムの
対応を明確にした画像表示を行う分析装置に関する。 ［０００２］ 【従来の技術】 例えば、電子顕微鏡の像再生装置にお
いては、電子エネルギーを蓄積する蓄積性螢光体シート
等の蓄積記録媒体（２次元センサ）に、試料を透過した
電子線を真空状態で蓄積記録し１次いで該蓄積記録媒体
に、例えば光照射あるいは加熱を行ってエネルギーを与
える事によって蓄積されたエネルギーを光として放出さ
せ、この放出光を光電的に検出して画素信号を得、この
画素信号を表示装置に供給して試料の透過電子線像の再
生を行っていた。 ［０００３］又、前記表示装置の画面上に、該画面上に
表示される透過電子像の各画素の信号強度がどの信号強
度区間にどれだけ分布するかを表すヒストグラムを表示
していた。 ［０００４］
対応を明確にした画像表示を行う分析装置に関する。 ［０００２］ 【従来の技術】 例えば、電子顕微鏡の像再生装置にお
いては、電子エネルギーを蓄積する蓄積性螢光体シート
等の蓄積記録媒体（２次元センサ）に、試料を透過した
電子線を真空状態で蓄積記録し１次いで該蓄積記録媒体
に、例えば光照射あるいは加熱を行ってエネルギーを与
える事によって蓄積されたエネルギーを光として放出さ
せ、この放出光を光電的に検出して画素信号を得、この
画素信号を表示装置に供給して試料の透過電子線像の再
生を行っていた。 ［０００３］又、前記表示装置の画面上に、該画面上に
表示される透過電子像の各画素の信号強度がどの信号強
度区間にどれだけ分布するかを表すヒストグラムを表示
していた。 ［０００４］
【発明が解決しようとする課題】 前記表示装置の画面
上には画像とヒストグラムが表示されるが、該画像の特
定位置の画素の信号強度がヒストグラム上のどの信号強
度区間に属するかは分からない。 ［０００５］本発明は、画像の特定位置の画素の信号強
度がヒストグラム上のどの信号強度区間に属するかを示
す事を目的としたものである。 ［０００６］
上には画像とヒストグラムが表示されるが、該画像の特
定位置の画素の信号強度がヒストグラム上のどの信号強
度区間に属するかは分からない。 ［０００５］本発明は、画像の特定位置の画素の信号強
度がヒストグラム上のどの信号強度区間に属するかを示
す事を目的としたものである。 ［０００６］
【課題を解決するための手段】 その為に本発明は、画
像表示手段に表示された試料像中の任意の位置を指示す
るための指示手段、該指示手段によって指示された画素
の信号強度に対応する前記グラフ中の信号強度区間を他
の区間と識別できるように表示するための手段を備えた
。 ［０００７］
像表示手段に表示された試料像中の任意の位置を指示す
るための指示手段、該指示手段によって指示された画素
の信号強度に対応する前記グラフ中の信号強度区間を他
の区間と識別できるように表示するための手段を備えた
。 ［０００７］
【実施例】 図１は本発明の一実施例として示した画像
表示を行う分析装置の概略図を示したものである。図中
１は蓄積性螢光体シート、２はレーザ光光源、３はレー
ザ光、４はミラー、５は励起光、６は光電子増倍管、７
はアンプ、８はＡＤ変換器、９はミラー駆動源、１０は
書き込み回路、１１はフレームメモリ、１２は制御装置
、１３はヒストグラム作成回路、１４．１７は呼び出し
回路、１５，１８．１９は合成回路、１６はメモリ、２
０はデイスプレィ、２１は操作卓である。 ［０００８］さて、前記蓄積性螢光体シート１には試料
（図示せず）を透過した電子が蓄積記録されている。先
ず、ミラー駆動源９よりの信号に基づき駆動するミラー
４により、レーザ光光源２からのレーザ光３を蓄積性螢
光体シート１上で走査させる。該レーザ光の照射による
エネルギー付与により該蓄積性螢光体シート１から蓄積
記録されていた電子に基づくエネルギーが光として放出
され、該光は光電子増倍管６に検出される。該検出され
た光に基づく画素信号はアンプ７、ＡＤ変換器８を介し
てフレームメモリ１１に送られる。前記ミラー駆動源９
の発生する信号に同期した信号は前記書き込み回路１０
に送られており、該書き込み回路１０は該信号に基づき
アドレス指定信号を前記フレームメモリ１１に送る。こ
の結果、該アドレス指定信号の指定する前記フレームメ
モリ１１の各アドレスに光電子増倍管６で検出された光
に基づく画素信号が記録される。 ［０００９］前記制御装置１２は、前記フレームメモリ
１１から画素信号を呼び出し、前記ヒストグラム作成回
路１３に送る。又、該制御装置１２からヒストグラム作
成回路１３に信号強度区間指定信号が送られる。該ヒス
トグラム作成回路１３は、該信号強度区間指定信号に基
づき、前記制御装置１２から送られて来る画素信号を夫
々の区間に分類する。そして、該ヒストグラム作成回路
１３は夫々の区間に分類した画素信号の個数を計算する
。該夫々の区間と、該夫々の区間に属する画素信号の個
数を表す信号は前記メモリ１６に記憶される。 ［００１０１前記呼び出し回路１４は、フレームメモリ
１１から画素信号を呼び出し、前記合成回路１５に送る
。又、前記操作卓２１は、カーソル位置指定信号を合成
回路１５に送る。該合成回路１５は、カーソル位置指定
信号と前記呼び出し回路１４から送られてくる画素信号
を合成して前記合成回路１９に送る。 ［００１１］又、前記呼び出し回路１７は、前記メモリ
１６から前記区間信号と個数信号を呼び出し、前記合成
回路１８に送る。又、前記制御装置１２は、前記フレー
ムメモリ１１から、前記カーソル指定位置信号に対応し
て記憶されている画素信号を呼び出し、前記信号強度区
間指定信号に基づき該画素信号が属する区間を求め、該
求めた区間に基づいたマーク位置指定信号を合成回路１
８に送る。該合成回路１８は、マーク位置指定信号と前
記呼び出し回路１７から送られてくる信号を合成して前
記合成回路１９に送る。該合成回路１９は、前記合成回
路１５．１８から送られてくる信号を合成して前記デイ
スプレィ２０に送る。 ［００１２１図２は前記合成回路１９からの信号を受け
た前記デイスプレィ２０の画面上に表示される画像を示
したものである。該画面上には、透過電子線像とヒスト
グラムが表示される。像観察者が、該透過電子線像の特
定位置を前記操作卓２１により指定すれば、該特定位置
にカーソルが移動する。又、ヒストグラム上には、該特
定位置の画素の信号強度がヒストグラム上でどの区間に
属するかを示すライン状のマークＭが付けられる。 ［００１３］尚、本発明は、走査電子顕微鏡やＸ線マイ
クロアナライザや光電子分光装置等にも応用可能である
。 ［００１４］
表示を行う分析装置の概略図を示したものである。図中
１は蓄積性螢光体シート、２はレーザ光光源、３はレー
ザ光、４はミラー、５は励起光、６は光電子増倍管、７
はアンプ、８はＡＤ変換器、９はミラー駆動源、１０は
書き込み回路、１１はフレームメモリ、１２は制御装置
、１３はヒストグラム作成回路、１４．１７は呼び出し
回路、１５，１８．１９は合成回路、１６はメモリ、２
０はデイスプレィ、２１は操作卓である。 ［０００８］さて、前記蓄積性螢光体シート１には試料
（図示せず）を透過した電子が蓄積記録されている。先
ず、ミラー駆動源９よりの信号に基づき駆動するミラー
４により、レーザ光光源２からのレーザ光３を蓄積性螢
光体シート１上で走査させる。該レーザ光の照射による
エネルギー付与により該蓄積性螢光体シート１から蓄積
記録されていた電子に基づくエネルギーが光として放出
され、該光は光電子増倍管６に検出される。該検出され
た光に基づく画素信号はアンプ７、ＡＤ変換器８を介し
てフレームメモリ１１に送られる。前記ミラー駆動源９
の発生する信号に同期した信号は前記書き込み回路１０
に送られており、該書き込み回路１０は該信号に基づき
アドレス指定信号を前記フレームメモリ１１に送る。こ
の結果、該アドレス指定信号の指定する前記フレームメ
モリ１１の各アドレスに光電子増倍管６で検出された光
に基づく画素信号が記録される。 ［０００９］前記制御装置１２は、前記フレームメモリ
１１から画素信号を呼び出し、前記ヒストグラム作成回
路１３に送る。又、該制御装置１２からヒストグラム作
成回路１３に信号強度区間指定信号が送られる。該ヒス
トグラム作成回路１３は、該信号強度区間指定信号に基
づき、前記制御装置１２から送られて来る画素信号を夫
々の区間に分類する。そして、該ヒストグラム作成回路
１３は夫々の区間に分類した画素信号の個数を計算する
。該夫々の区間と、該夫々の区間に属する画素信号の個
数を表す信号は前記メモリ１６に記憶される。 ［００１０１前記呼び出し回路１４は、フレームメモリ
１１から画素信号を呼び出し、前記合成回路１５に送る
。又、前記操作卓２１は、カーソル位置指定信号を合成
回路１５に送る。該合成回路１５は、カーソル位置指定
信号と前記呼び出し回路１４から送られてくる画素信号
を合成して前記合成回路１９に送る。 ［００１１］又、前記呼び出し回路１７は、前記メモリ
１６から前記区間信号と個数信号を呼び出し、前記合成
回路１８に送る。又、前記制御装置１２は、前記フレー
ムメモリ１１から、前記カーソル指定位置信号に対応し
て記憶されている画素信号を呼び出し、前記信号強度区
間指定信号に基づき該画素信号が属する区間を求め、該
求めた区間に基づいたマーク位置指定信号を合成回路１
８に送る。該合成回路１８は、マーク位置指定信号と前
記呼び出し回路１７から送られてくる信号を合成して前
記合成回路１９に送る。該合成回路１９は、前記合成回
路１５．１８から送られてくる信号を合成して前記デイ
スプレィ２０に送る。 ［００１２１図２は前記合成回路１９からの信号を受け
た前記デイスプレィ２０の画面上に表示される画像を示
したものである。該画面上には、透過電子線像とヒスト
グラムが表示される。像観察者が、該透過電子線像の特
定位置を前記操作卓２１により指定すれば、該特定位置
にカーソルが移動する。又、ヒストグラム上には、該特
定位置の画素の信号強度がヒストグラム上でどの区間に
属するかを示すライン状のマークＭが付けられる。 ［００１３］尚、本発明は、走査電子顕微鏡やＸ線マイ
クロアナライザや光電子分光装置等にも応用可能である
。 ［００１４］
【発明の効果】 本発明によれば、画像の特定位置の画
素の信号強度がヒストグラム上でどの信号強度区間に属
するかを指示するようにしたので、該特定位置の画素の
信号強度が直ぐに分かる。
素の信号強度がヒストグラム上でどの信号強度区間に属
するかを指示するようにしたので、該特定位置の画素の
信号強度が直ぐに分かる。
【図１】本発明の一実施例として示した画像表示を行う
分析装置の概略図
分析装置の概略図
【図２】デイスプレィの画面上に表示される画像を示し
たもの
たもの
Claims (1)
- 【請求項１】分析により得られた情報に基づいて試料像
を表示するための画像表示手段、該画像を構成する各画
素がどの信号強度区間にどれだけ分布するかを表す頻度
分布を算出する手段、該算出された頻度分布をグラフ表
示するため手段を備えた画像表示を行う分析装置におい
て、前記画像表示手段に表示された試料像中の任意の位
置を指示するための指示手段、該指示手段によって指示
された画素の信号強度に対応する前記グラフ中の信号強
度区間を他の区間と識別できるように表示するための手
段を備えた画像表示を行う分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2406325A JPH04209457A (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | 画像表示を行う分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2406325A JPH04209457A (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | 画像表示を行う分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04209457A true JPH04209457A (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=18515934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2406325A Withdrawn JPH04209457A (ja) | 1990-12-06 | 1990-12-06 | 画像表示を行う分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04209457A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008066312A (ja) * | 2007-11-26 | 2008-03-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子ビーム調整方法、及び走査型電子顕微鏡 |
| US7375329B2 (en) | 2003-12-05 | 2008-05-20 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope |
| JP2009208150A (ja) * | 2008-09-01 | 2009-09-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 常温接合装置 |
-
1990
- 1990-12-06 JP JP2406325A patent/JPH04209457A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7375329B2 (en) | 2003-12-05 | 2008-05-20 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope |
| JP2008066312A (ja) * | 2007-11-26 | 2008-03-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子ビーム調整方法、及び走査型電子顕微鏡 |
| JP4653153B2 (ja) * | 2007-11-26 | 2011-03-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子ビーム調整方法、及び走査型電子顕微鏡 |
| JP2009208150A (ja) * | 2008-09-01 | 2009-09-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 常温接合装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980312 |