JPS63164151A - 電子顕微鏡像出力方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子顕微鏡像の出力方法に関するものであり、
特に詳細には複数の部分画像を合成して試料の全体的な
電子顕微鏡像を出力する場合に、各部分画像の境界部に
濃度段差が生じないようにした電子顕微鏡像出力方法に
関するものである。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
周知となっている。この電子顕微鏡においては、試料を
透過した電子線により対物レンズの後焦点面に試料の回
折パターンが形成され、その回折波が再び干渉して試料
の拡大像が形成されるようになっている。したがって投
影レンズにより上記拡大像を投影すれば試料の拡大像（
散乱像）が観察され、また上記後焦点面を投影すれば拡
大された試料の回折パターンが観察される。なお対物レ
ンズと投影レンズとの間に中間レンズを配置しておけば
、この中間レンズの焦点距離調節により、上述の拡大像
（ｒｌｌｌｌ乱射るいは回折パターンが随意に得られる
。

上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、一括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従、来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィル
ムを配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメ
ージインテンシフ７１イアを配して透過電子線像を増幅
投影するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線
に対して感度が低い上用像処理が面倒であるという欠点
を有し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合
、画像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じ−＜′）す
いという問題がある。

また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。

上記のような事情に鑑みて本出願人は、電子顕微鏡像を
高感度、高画質で記録再生可能で、しかも各種処理が容
易となるように、顕微鏡像を担持する電気信号が直接得
られる、新しい電子顕微鏡像記録再生方法を提案した（
特開昭６１−５１７３８号、特開昭６１−９３５３９号
′８）。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電
子線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シート等の２次
元センサに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記
録し、次いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を行
なって蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この
放出光を光電的に検出して画像信号を得、この画像信号
を用いて試料の透過電子線像を再生するものである。

上記の２次元センサとは、電子線露出を受けたときその
エネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄積し、後に外
部から刺激を与えると蓄積しているエネルギーの少なく
とも一部を光、電気、音等の検出可能な形態で放出する
能力を持つ材料からなるものである。この２次元センサ
として具体的には、例えば特開昭５５−１２４２９号、
同５５−１１６３４０号、同５５−１６３４７２号、同
５６−１１３９５号、同５６−１０４６４５号公報等に
示される蓄積性蛍光体シートが特に好適に用いられうる
。すなわち、ある種の蛍光体に電子線等の放射線を照射
するとこの放射線のエネルギーの一部がその蛍光体中に
蓄積され、その後その蛍光体に可視光等の励起光を照射
すると、蓄積されたエネルギーに応じて蛍光体が蛍光（
輝尽発光）を示す。このような性質を示す蛍光体を蓄積
性蛍光体と言う。蓄積性蛍光体シートとは、上記蓄積性
蛍光体からなるシート状の記録体のことであり、一般に
支持体とこの支持体上に積層された蓄積性蛍光体層とか
らなる。蓄積性蛍光体層は蓄積性蛍光体を適当な結合剤
中に分散させて形成したものであるが、この蓄積性蛍光
体層が自己支持性である場合、それ自体で蓄積性蛍光体
シートとなりうる。なお、この蓄積性蛍光体シートを形
成するための輝尽性蛍光体の例は、前記特開昭６１−９
３５３９号に詳しく記載されている。

また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５５−
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱蛍光体シートを用いることもできる。この熱蛍
光体シートは、主として熱の作用によって蓄積している
放射線エネルギーを、熱蛍光として放出する蛍光体く熱
蛍光体）からなるシート状の記録体である。

上記電子顕微鏡像記録再生方法においては、蓄積性蛍光
体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録す
るようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録するこ
とが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光量
を低減でき、試料の損傷を少なくすることができる。ま
たこの方法においては電子顕微鏡像に階調処理、周波数
強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり、
また前述したような回折パターンの処理や、３次元像の
再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号を
コンピュータに入力することにより、従来に比べ極めて
簡単かつ迅速に行なえるようになる。

一方、電子顕微鏡像を可視懺として出力する際、複数の
部分画像を合成して試料の全体的な像を出力させること
がある。このような電子顕微鏡像出ツノ方法は、例えば
試料を高分解能で、しかも広い範囲に亘って観察したい
ような場合に広く採用されている。

従来この合成画像出力は具体的に、まず試料各部分（区
画）の電子顕微ｌｔ像のハードコピーを形成し、これら
のハードコピーをつなぎ合わせて合成する、という方法
によって行なわれてきた。

（発明が解決しようとする問題点） ところが、上述のような合成画像出力を行なうと、隣り
合う各部分画像の境界部の濃度が異なり、ここにいわゆ
る濃度段差が生じて、合成画像が見難いものになること
がある。

このような不具合は主に、電子線露光量が各部分画像の
記録毎に僅かずつバラつくことによって生じる。また前
述のような２次元センサを用いる場合には、上記のこと
に加えて、画像読取り時の光照射量あるいは°加熱量が
各部分画像毎にパラつくことによっても上記不具合が生
じるし、さらに各部分画像毎に異なる２次元センサを用
いるようにしたときは、各センサの感度バラツキも上記
不具合を生じる原因となる。

本発明は、前述のような濃度段差を生じることなく、部
分画像を合成して試料の全体的な電子顕微鏡像を出力す
ることができる電子顕微鏡像出力方法を提供することを
目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明の電子顕微鏡像出力方法は、先に述べた２次元セ
ンサを用いる電子顕微鏡像記録再生方法においては、電
子顕微５ｕｉｔを担う画像信号が容易に形成される点に
着目して得られたものであり、この画像信号に基づいて
電子顕微鏡像を出力するに際し、 試料を複数の区画に分けて各区画毎に電子線の蓄積記録
を行ない、 各区画毎に得られた上記画像信号を、各区画が集合され
てなる全体的な試料像を示すように合成し、 各区画についての上記画像信号を、隣り合う区画同士で
それらの境界部の信号値がほぼ等しくなるように補正す
ることを特徴とするものである。

（作　　用） 上記のように隣り合う区画についての画像信号が、境界
部の信号値がほぼ等しくなるように補正されれば、これ
らの画像信号に基づいて出力された画像においては、上
記境界部の濃度がほぼ等しくなり、前述の濃度段差が生
じない。

（実施態様） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は、本発明の方法によって電子顕微鏡像を出力す
る装置の大略を示すものである。電子顕微鏡１の鏡体部
１ａは、一様の速度の電子ＦＡ２を射出する電子銃３と
、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ
等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料台５
と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影レ
ンズ７とを有してなる。試料台５上に載置された試料８
を透過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折され
、該試料８の拡大透過＠８ａを形成する。この拡大透過
像８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影され
る（図中の８ｂ）。

上記鏡体部１ａの下方には、電子顕微鏡像記録読取装置
１０が配置されている。この電子顕微鏡像記録読取装置
１０は、鏡体部１ａ内のｉｔＩ記結像而９面固定された
蓄積性蛍光体からなる２次元センサ（以下、蓄積性蛍光
体シート１１という）と、励起光源１２および光走査系
１３からなる励起手段と、前記鏡体部１ａの周壁に設け
られた透光窓１４を介して蓄積性蛍光体シート１１に対
向するように配されたフォトマルチプライヤー（光電子
増倍管）１５と、消去光源１６とを有している。

上記蓄積性蛍光体シート１１は前述したような蓄積性蛍
光体が透明支持体上に層成されてなるものである。まｌ
ζ励起光源１２は一例としてＨｅ−Ｎｅレーザ、半導体
レーザ等からなり、光走査系１３は第１および第２の光
偏向器１３ａ、１３ｂと、固定ミラー１３ｃとからなる
。第１；Ｂよび第２の光偏向器１３ａ　、　１３ｂとし
てはそれぞれ、ガルバノメータミラー、ポリゴンミラー
、ホログラムスキャナ、へ〇Ｄ等の公知の光−内器が使
用されつる。励起光源１２からＩＩ）Ｊ出された励起光
ビーム１２ａは第１の光偏向器１３ａにより偏向される
とともに、第２の光偏向器１３ｂにより上記偏向の方向
と直角な方向（図の矢印へ方向）に偏向され、例えば鉛
ガラス等が嵌め込まれた透光窓２１を透過して鏡体部１
ａ内に入射し、固定ミラー１３ｃにＪ３いて反射して前
記蓄積性蛍光体シート１１上に入射する。このようにし
て蓄積性蛍光体シート１１は、励起光ビーム１２ａによ
りＸ−Ｙ両方向に走査される。なお図示はしないが、励
起光源１２から発せられた励起光ビーム１２ａは、蓄積
性蛍光体シート１１が発する輝尽発光光（侵に詳述する
）の波長領域をカットするフィルターを通過させ、ビー
ムエキスパンダーによりビーム径を調整した後、光偏向
器１３ａ、１３ｂで偏向され、次いでｆθレンズを通過
させて均一なビーム径として蓄積性蛍光体シート１１に
入射されるのが好ましい。

前記消去光源１６は蓄積性蛍光体シート１１の励起波長
領域に含まれる光を発生するものである。そして上記第
２の光偏向器１３ｂと固定ミラー１３ｃとの間において
励起光ビーム１２ａの光路中に入る位置と、該光路から
外れた位置とをとりうるミラー１１が配設されている。

消去光源１６が発する消去光＋６ａはレンズ１８によっ
て集光され、上記ミラー１７が励起光ビーム１２ａの光
路中に入る位置に設定されていれば、該ミラー１７およ
び固定ミラー１３ｃにＪ３いて反射して、蓄積性蛍光体
シート１１を全面的に照射する。また対物レンズ７と蓄
積性蛍光体シー１−１１との間において鏡体部１ａには
、電子線２を遮断しうるシャッター１９が設けられ、蓄
積性蛍光体シート１１とフォトマルチプライヤ−１５と
の間には光シヤツター２２が設けられている。そして前
記透光窓１４には、蓄積性蛍光体シート１１が発する輝
尽発光光のみを透過させ、励起光ビーム１２ａを取り除
く光学フィルターを備えたガラス２０が嵌着されている
。また鏡体部１ａの内部は通常の電子顕微鏡にお【ノる
のと同様に、蓄積性蛍光体シート１１が配置されている
部分も含めて、電子顕微鏡稼動中は真空ポンプ等の公知
の手段により真空状態に維持される。

フォトマルチプライヤ−１５の出力は増幅器２３、Ａ／
Ｄ変換器２４、信号処理回路２５に入力され、最終的に
例えばＣＲＴ等の画像再生装″？ｉ２６に送られる。な
お信号処理回路２５から出力されるディジタル画像信号
Ｓｄは、後述する画像メモリ５０にも入力可能となって
いる。

以下、上記構成の電子顕微鏡像記録読取装置１０による
電子顕微鏡像の記録、読取りについて詳しく説明する。

試料台５に試料８を載置し、電子銃３、集束レンズ４、
対物レンズ６および投影レンズ７を駆動させ、そして前
述のシャッター１９を開くと（第１図図示の状態）、結
像面９に固定された蓄積性蛍光体シート１１に、試料８
の拡大透過像８ｂを担持する電子Ｆｉｉ２のエネルギー
が蓄積される。この電子線露光の際に、光シヤツター２
２は閉じられているのが好ましい。次いでシャッター１
９が閉じられ光シヤツター２２は開かれ、続いて前述の
ように励起光源１２から射出され、Ｘ−Ｙ両方向に偏向
された励起光ビーム１２ａがシート１１上に入射せしめ
られる。このように偏向された励起光ビーム１２ａによ
り蓄積性蛍光体シート１１は２次元的に走査され、該シ
ート１１は上記電子線エネルギーのレベルに応じた強度
の輝尽発光光を放出する。

この輝尽発光光はシート１１の裏側から、上記励起光ビ
ーム１２ａを取り除く光学フィルターを備えたガラス２
０を介してフォトマルチプライヤ−１５によって受光さ
れ、輝尽発光光量が充電的に読み取られる。

上記輝尽発光光の光量を担持するフォトマルチプライヤ
−１５の出力は、増幅器２３によって適正レベルの電気
信号（読取画像信号）Ｓに増幅される。

次いでこの読取画像信号ＳはＡ／Ｄ変換器２４において
、ディジタル画像信号Ｓｄに変換され、信号処理回路２
５において例えば階調処理、周波数強調処理等の信号処
理を受けて画像再生装置２６に送られる。このように画
像再生装置２６において読取画像信＠Ｓに基づいて画像
を出力することにより、−Ｆ記輝尽発光光が担持する前
記拡大透過像８ｂが再生される。

な５３画像再生装置２６としては、前述のＣＩ’＜　Ｔ
の他、第２図に示すような光走査記録装置ら好適に用い
られる。以下、この第２図の光走り記録装置により画像
再生する場合について簡単に説明する。

感光フィルム１００を第２図に矢印Ｙで示り一副走査方
向に移動させるとともに、記録光としてのレーザビーム
１０１を光偏向器１０４により感光フィルム１００上に
おいて矢印Ｘ方向に主走査させ、該レーザビーム１０１
を信号供給回路１０２からの画像信号に基づいてＡ１０
変調器１０３により変調することにより、感光フィルム
１００上に可視像を形成する。

上記変調用画像信号として、前述の信号処理回路２５か
ら出力された信号を用いれば、蓄積性蛍光体シート１１
に蓄積記録された前記拡大透過像８ｂが感光フィルム１
００に再生される。

なお信号処理回路２５から出力された画像信号は、以上
説明のように直ちに画像再生装置２６に送って電子顕微
鏡像再生に供してもよいし、あるいは後に画像再生する
ために、一旦磁気テープ、磁気ディスク等の記憶媒体２
８に記憶させておいてもよい。

以上説明のようにして輝尽発光光の読取り、すなわら電
子顕微鏡像の読取りが終了した後、光シヤツター２２が
閉じられ、ミラー１７は励起光ビーム１２ａの光路中に
入る位置に立てられ、そして消去光ｉ！ｉ１６が点灯さ
れる。それによりシート１１の表面には、該消去光源１
６が発する消去光１６ａが照射される。蓄積性蛍光体シ
ート１１に前記のように励起光ビーム１２ａが照射され
ても、該シート１１に蓄積されていた電子線エネルギー
がすべて放出される訳ではなく、残像が残る場合がある
。しかし上記のようにして蓄積性蛍光体シート１１に消
去光１６ａを照射すれば、上記残像が消去され、蓄積性
蛍光体シート１１が再使用可能となる。またこの消去光
照射により、シート１１の蛍光体中に不純物としてて含
まれている２ａｉ　Ｒａなとの放射性元素によるノイズ
成分も放出される。上記消去光ＩＩｊｉｉｅとしては、
例えば特開昭５６−１１３９２号に示されているような
タングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、
キセノンフラッシュランプあるいはレーザ光源等が任意
に這択使用され得る。また読取り用の励起光源１２を消
去用に兼用してもよい。

なお視野探しとピント合せのための画像は、以上説明し
たのと全く同様にして画像再生装置２６に出力可能であ
り、この画像を観察しながら視野探しとピント合せを行
なえばよい。

次に、前述したように試料８の複数の部分を合成して出
力する場合について説明する。本例においては、第３図
に示すように、試料８を４×４＝１６の区画に分け、各
区画についての電子顕微鏡像ＰＫ、Ｐ２・・・Ｐｕｓを
集めて１枚の大きな画像を合成する。このような各区画
の画像を蓄積性蛍光体シート１１に記録する際、視野設
定は所定の手順に従って行なわれ、それにより、互いに
隣接する１６の区画の電子顕微鏡像Ｐｒ　、Ｐｚ・・・
Ｐ＋ｃが順次菩積性蛍光体シート１１に記録される。こ
の際１枚の画像を記録する毎に前述の画像読取りが行な
われ、それによって得られた読取画像信号Ｓｄはメモリ
５０に記録される。そして先に述べた消去を繰り返して
、１６の区画すべてについての読取画像信号Ｓｄが各区
画と対応付けて順次メモリ５０に記憶される。

上記メモリ５０は、撰述する＝度データ計算部５１、濃
度合せデータ処理部５２、濃度データ用メモリ５３、制
御部５４およびメモリ５５とともに濃度合せ用信号補正
装置５６を構成するものであり、これらは公知のコンピ
ュータシステムから構成される。温度データ計算部５１
はメモリ５０に記憶された読取画像信号Ｓｄのうちから
、まず第１番目の電子顕微鏡像Ｐ１と第２番目の電子顕
微鏡像Ｐ２　　（第３図参照）を担う画像信号３ｄｒ　
、Ｓｄｚを読み出し、そしてこれら２組の画像信号Ｓｄ
Ｌ　、ＳＯ２から、両電子顕微鏡＠Ｐｔ、Ｐｚの境界部
の例えば各１画素列Ｌｌ’　、Ｌｚに関する画像信号を
それぞれ抽出する。これら画素列Ｌｒ　’　、Ｌ２の部
分の濃度は本来ηいに等しいはずであるが、先に述べた
ような理由でそうならないことがある。そこで濃度デー
タ計算部５１は、画素列Ｌ１’についての複数の画像信
号の平均値Ａ１＋を求めるとともに、画素列Ｌ２につい
ての複数の画像信号の平均値Ａ２を求めた上で、 ｋｚ＝Ａｌ’　　Ａ２ なるに２の値を求める。この値に２は、電子顕微Ｅｎ　
＠　Ｐ　ｚについての補正値として、濃度データ用メモ
リ５３に記憶される。第１番目の電子顕微！Ｕ　（！Ｊ
！Ｐｌに関する画像信号Ｓｄｔは、そのまま濃度合せデ
ータ処理部５２を介してメモリ５５に記憶される。

−５第２番目の電子顕微鏡像Ｐ２に関する画像信号Ｓｄ
ｚは、上記補正係数に２を読み出す制御部５４によって
制御される濃度合せデータ処理部５２において、一様に
この補正係数に２を加えるように補正される。こうして
補正された画像信号５（ｊｚ　’は、第２番目の電子顕
微鏡像Ｐ２に関する画像信号としてメモリ５５に記憶さ
れる。

次に濃度データ計算部５１は第２番目の電子顕微鏡＠Ｐ
２および第３番目の電子顕微鏡像Ｐ３についての画像信
号Ｓｄ２、ＳＯ２をメモリ５０から読み出し、上記と同
様に境界部画素列Ｌｚ’、Ｌ３（第３図参照）の画像信
号の平均値Ａ２　’　、Ａ３を求めた上で、メモリ５３
から前記に２の値を読み出し、 ｋ３−（ｋｚ　＋Ａ２　’　）　−Ａ３なるに３の値を
求める。この値に３は、電子顕微鏡像Ｐ３についての補
正値として濃度データ用メモリ５３に記憶される。そし
て電子顕微鏡像Ｐ３に関する画像信号Ｓ　ｄ　３は、前
述と同様に温度合せデータ処理部５２にＪ５いて、一様
に上記の補正係数に３を加えるように補正される。こう
して補正された画像信号Ｓｄ３’は、第３番目の電子顕
微鏡像Ｐ３に関する画像信号としてメモリ５５に記憶さ
れる。以上述べた信号補正は、第３図に矢印で示す順序
に従って、順次第１６番目の電子顕微鏡像ＰＩＧに関す
る画像信号Ｓｄｔらについてまで行なわれる。

合成画像を出力する際には、書込み制御部５１がメモリ
５５から各電子顕微鏡像Ｐｒ　、Ｐ２・・・ＰｌＧに関
する画像信号Ｓｄｘ　、Ｓｄｚ　’　、ＳＯ２’・・・
５ｄＩ６′を読み出し、これらの信号をプリ゛ンタ５８
に入力させる。このとき各画像信号は、１６の画像Ｐ＋
〜Ｐ１ｇが、第３図図示の通りに合成されるように組み
変えられた上でプリンタ５８に入力される。

それにより該プリンタ５８からは、１６の画像が４×４
に合成されて試料８の広い範囲を示す電子顕微鏡像６０
のハードコピーが出力される。なおこのプリンタ５８と
しては、例えば第２図に示したような装置が利用されつ
る。

上記の合成電子顕微鏡＠６０を担う画像信号Ｓｄ’は、
先に述べたような補正を受けているから、隣接する各画
像の境界部Ｌ１と１２　、Ｌ２　’とＬ３、・・・の信
号値が等しくなっている。したがってこの合成電子顕微
鏡像６０においては、各画像の境界部に濃度段差が生じ
ることがない。

なお上記例においては、電子顕微鏡倣Ｐ６以降の電子顕
微鏡像に関しては、前述のような信号補正を受ける際に
、隣接２画像が既に信号補正を受けていることになる。

すなわち、例えば電子顕微鏡像Ｐ８が信号補正を受ける
際、その上側の電子顕微１１ｔＩｉＩＰ　３と右側の電
子顕微鏡像Ｐ５が既に信号補正を受けた状態となってい
る。前記画像信号の補正は、補正完了後の２　Ｖ４接画
像のどちらに基づいて行１ｚつでも本来間じになるはず
であるが、補正誤差等のために、そうならないこともあ
る。

そこで電子顕微鏡像Ｐ６以降の電子顕微ｕｉ像に関して
は、既に補正を受けた２Ｆａ接画像の双方に基づいて上
記の補正を行なうようにしてもよい。つまり例えば電子
顕微Ｒ像Ｐ６に関しては、前述のようにして電子顕微鏡
像Ｐ６に関する補正後画像信号Ｓ　ｄ　ｓｏに基づいて
得られる補正値に６の他に、補正後電子顕微鏡像Ｐ３と
電子顕微鏡像Ｐ６との境界部の画像信号に基づいて前記
と同様の補正値に６′を求め、これら両補正値に６、ｋ
８′の例えば平均値を画像信号Ｓ　ｄ　ａに一様に加え
るようにしてもよい。

あるいは、電子顕微鏡Ｂ４　Ｐ　ｓの上境界部Ｈ６、右
境界部Ｌａ　　（第３図参照）の平均濃度が、それぞれ
上側の電子顕微Ｍ　ｆｉ！　Ｐ　３の境界部Ｈ３°、右
側の電子顕微鏡像Ｐ５の境界部Ｌｓ’の平均濃度と等し
くなるように画像信号Ｓｄ６を補正してもよい。すなわ
ちこの場合は、上記上境界部Ｈ６、右境界部Ｌ６の各画
像信号の平均値をそれぞれＢ８、八６とし、境界部Ｈ３
’　、Ｌ！１　’の各画像信号の平均値をそれぞれ８３
　’　、Ａｓ　’　とすると、第５図に示すように元の
画像信号Ｓ　ｄ　ｓを、信号値Ｂ６は（Ｂ３　’　＋に
３）に、また信号値へ〇は（Ａａ°十ｋＳ）に変換され
るように、直線ｆが示す特性で変換すればよい。上記直
線ｆの式は、変換後の画像信号をＳ　ｄ　ｓ　’とする
と、Ｂ３’＋に３−Ａ６’　ｋｓ Ｓｄｓ’＝　　　□　　　　　　（Ｓｄ６　８６）＋（
Ｂ３’＋に３）Ｂｓ　　Ａｓ であるから、結局電子顕微鏡像Ｐ６を担う元の画像信号
Ｓ　ｄ　ｓのすべてを上式で示すように直線変換してＳ
　ｄ　ｓ　’とずればよい。そして次の第７番目の電子
顕微鏡像Ｐｒ以降についても、同様の操操を行なえばよ
い。なお第７番目の電子顕微鏡像Ｐｒの画像信号Ｓ　ｄ
　ｒを上記のように変換する際は、境界部Ｌ６°の平均
信号値（Ａｓ　’　＋ｋｓ　）は上記変換後の画像信号
Ｓｄｓ’に基づいて求め、また第１１番目の電子顕微１
像Ｐａの画像信号５ｄ１１を上記のように変換する際も
、境界部Ｈ６１の平均信号値（Ｂｓ　’　＋ｋｓ　）を
変換後の画像信号５（ｊｓ　’に基づいて求める。以下
、同様である。

また各部分画像の画像信号を補正してゆく順序は上記例
におけるものに限らず、例えば第４図に矢印で示すよう
な順序に設定しても構゛わない。

ざらに、上記実施例では電子顕微鏡Ｉｎ　Ｐ　２以降の
電子顕微鏡像に関してはすべて補正をかけるようにして
いるが、所望の領域のみに補正をかけられるように信号
補正装置５６を構成してもよい。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の電子顕微鏡像出力方法
によれば、合成される各部分画像間の境界部に濃度段差
が生じることを確実に防止できるから、観察しやすい良
質の合成電子顕微鏡像が得られるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法により電子顕微Ｍ像を出力する装置
の一例を示す概略図、 第２図は本発明に係る電子顕微鏡像の出力装置の一例を
示す概略斜視図、 第３図と第４図は、本発明に係る合成画像と信号補正順
序の例を示す概略図、 第５図は本発明方法における信号変換を説明する説明図
である。 １・・・電子顕微鏡　　　　２・・・電子線８・・・試
料　　　　　　　９・・・電子顕微鏡の結像面１０・・
・電子顕微鏡像記録読取装置 １１・・・蓄積性蛍光体シート　　　１２・・・励起光
源１２ａ・・・励起光ビーム　　　　　１３・・・光走
査系１３ａ、１３ｂ・・・光偏向器 １５・・・フォトマルｆプライヤー　１６・・・消去光
源ｔｅａ・・・消去光　　　　　２３・・・増幅器２４
・・・Δ／Ｄ変換器　　　２５・・・信号処理回路２６
・・・画像再生装置　　　５０．５５・・・メモリ５１
・・・濃度データ計算部 ５２・・・濃度合せデータ処理部 ５３・・・濃度データ用メモリ ５４・・・制御部　　　　　　５６・・・信号補正装置
５７・・・書込み制御部　　　５８・・・プリンタ６０
・・・合成電子類（２２鏡像 Ｐ１〜ＰＩＧ・・・部分画像　Ｓｄ・・・読取画像信号
Ｓｄ’・・・補正後の読取画像信号 ＬＩＮ　Ｌ２、ｌ−２’　、Ｌ３、ＬＳ’Ｎ　ＬＡ、Ｌ
６’、１」３°、Ｈ６、＋１６’・・・部分画像の境界
部第１図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
   料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前
   記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なつて蓄積さ
   れたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光電
   的に検出して画像信号を得、該画像信号に基づいて電子
   顕微鏡像を出力する電子顕微鏡像出力方法において、 試料を複数の区画に分けて各区画毎に前記蓄積記録を行
   ない、 各区画毎に得られた前記画像信号を、各区画が集合され
   てなる全体的な試料像を示すように合成し、 各区画についての前記画像信号を、隣り合う区画同士で
   それらの境界部の信号値がほぼ等しくなるように補正す
   ることを特徴とする電子顕微鏡像出力方法。
2. （２）前記２次元センサとして蓄積性蛍光体シートを用
   い、この蓄積性蛍光体シートに試料を透過した電子線を
   真空状態で蓄積記録し、次いで該蓄積性蛍光体シートを
   励起光で走査して蛍光を放出させ、この放出された蛍光
   を光電的に検出することを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の電子顕微鏡像記録読取方法。