JPH01176645A - 電子顕微鏡像記録読取方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子顕微鏡像の記録読取方法および装置に関す
るものであり、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記
録し、また各種画像処理可能に電気信号で読み取るよう
にし、そして電子顕微鏡像が高速で再生されるようにし
た記録読取方法および装置に関するものである。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後焦平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。

したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
料の拡大ｅ！　（散乱像）が観察され、また上記後焦平
面を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察さ
れる。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズ
を配置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節によ
り、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。

上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、−括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影
するようにしたり、あるいは蛍光板を配して透過電子線
像を可視化しテレビカメラで撮影するようにしていた。

しかし写真フィルムは電子線に対して感度が低い上現像
処理が面倒であるという欠点を有し、一方イメージイン
テンシファイアやテレビカメラを用いる場合、画像の鮮
鋭度が低い上、画像に歪みか生じやすいという問題があ
る。

また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、ａ度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。

上記のような“１シ情に鑑みて本出願人は、電子顕微鏡
像を高感度、高画質で記録再生可能で、しかも各種処理
が容易となるように、顕微鏡像を担持する電気信号が直
接前られる、新しい電子顕微鏡１象記録再生方法を提案
した（特開昭６１−５１７３８号、同６１−９３５３９
号等）。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電
子線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シート等の２次
元センサに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記
録し、次いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を行
なって蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この
放出光を充電的に検出して画像信号を得、この画像信号
を用いて試料の透過電子線像を＋ｆｒ生するものである
。

上記の２次元センサとは、電子線露出を受けたときその
エネルギーの少なくとも一部を一時的同蓄積し、後に外
部から刺激を与えると蓄積してい゛るエネルギーの少な
くとも一部を光、電気、音等の検出可能な形態で放出す
る能力を持つ材料からなるものである。この２次元セン
サとして具体的には、例えば特開昭５５−１２４２９号
、同５５−１１６３４０号、同５５−１６３４７２号、
同５６−１１３９５号、同５６−１０４６４５号公報等
に示される蓄積性蛍光体シートが特に好適に用いられう
る。すなわち、ある種の蛍光体に電子線等の放射線を照
射するとこの放射線のエネルギーの一部がその蛍光体中
に蓄積され、その後その蛍光体に可視光等の励起光を照
射すると、蓄積されたエネルギーに応じて蛍光体が蛍光
（輝尽発光）を示す。このような性質を示す蛍光体を蓄
積性蛍光体と言い、蓄積性蛍光体シートとは、上記蓄積
性蛍光体からなるシート状の記録体のことであり、一般
に支持体とこの支持体上に積層された蓄積性蛍光体層と
からなる。蓄積性蛍光体層は蓄積性蛍光体を適当な結合
剤中に分散させて形成したものであるが、この蓄積性蛍
光体層が自己支持性である場合、それ自体で蓄積性蛍光
体シートとなりつる。なお、この蓄積性蛍光体シートを
形成するための輝尽性蛍光体の例は、前記特開昭６１−
９３５３９号に詳しく記載されている。

また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５５−
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱蛍光体シートを用いることもてきる。この熱蛍
光体シートは主として熱の作用によって蓄積している放
射線エネルギーを熱蛍光として放出する蛍光体（熱蛍光
体）からなるシート状の記録体である。

上記電子顕微鏡像記録再生方法においては、蓄積性蛍光
体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録す
るようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録するこ
とが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光量
を低減でき、試料の損傷を少な（することができる。ま
たこの方法におい−では電子顕微鏡像に階調処理、周波
数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり
、また前述したような回折パターンの処理や、３次元１
象の百ｔＦｔ成、画像の２値化等の画像解析も、上記電
気信号をコンピュータに入力することにより、従来に比
べ極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。

（発明か解決しようとする問題点） ところが上記の方法によって電子顕微鏡像を再生する場
合、再生電子顕微鏡像の画質が・場合によってまちまち
になることがある。

このような不具合を解消するための一つの方法として、
例えば特開昭６２−２２２５５６号に示されるような「
先読み」を行なうことが考えられている。この「先読み
」とは、電子顕微鏡像の可視像を１１ｆ生する画像信号
を？４７るための読取処理（本読み）に先立って行なわ
れる、概略の電子顕微鏡像を把握するための読取処理で
あり、この読取処理で把握した概略の電子顕微鏡像情報
に基づいて本読みにおける読取条件や上記画像信号に対
する画像処理条件を設定すれば、常に最良の画質の電子
顕微鏡像を再生することができる。しかしながらこの「
先読み」を実施すれば、当然、読取処理に要する時間が
長引いてしまう。

一方上述のような２次元センサは用いずに、電子顕微鏡
像記録のために写真乾板等を用いる従来の電子顕微鏡に
あっては、視野探しあるいは電子顕微鏡像観察のための
蛍光スクリーンに電子線検出手段を組み込んでおき、該
検出手段が検出した電子線エネルギーに応じて写真乾板
等に対する電子線露出時間を制御することも行なわれて
いる。

このような方法を前記蓄積性蛍光体シート等の２次元セ
ンサを用いる電子顕微鏡像記録再生方法に適用すること
もできるが、この場合は２次元センサに照射される電子
線の平均的なエネルギーしか測定できないので、こうし
て測定した電子線エネルギーに基づいて前述の読取条件
や画像処理条件を設定すると、それらの条件が、実際に
記録されている電子顕微鏡像情報に対して不適正なもの
になってしまうこともある。

そこで本発明は、上記のような不具合を解消し、常に最
良の画質の電子顕微鏡像を再生可能にする電子顕微鏡像
記録読取方法、およびその方法を実施するための装置を
提供することを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段及び作用）本発明の電子
顕微鏡像記録読取方法は、前述したような２次元センサ
に、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次
いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄
積されたエネルギーを光として放出させ、電子顕微鏡像
を担うこの放出光を光電的に読み取って画像信号を得る
電子顕微鏡像記録読取方法において、 上記２次元センサに照射される電子線の線量を該センサ
上の相異なる複数の位置毎に測定し、こうしてｒｌｌ定
した複数通りの電子線量が示す概略の電子顕微鏡像情報
に基づいて、上記放出光の読取りにおける読取条件およ
び／または画像処理条件を設定するようにしたことを特
徴とするものである。

上述の方法は、電子顕微鏡の結像面に固定され、試料を
透過した電子線のエネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シ
ート等の２次元センサと、この２次元センサに光照射あ
るいは加熱を行なって該センサに蓄積されている電子線
エネルギーを光として放出させる励起手段、および上記
２次元センサからの光を光電的に検出して画像信号を得
る光検出器からなる読取系と、 上記２次元センサに照射される電子線の線量を該センサ
上の相異なる複数の位置毎に測定する電子線検出器と、 この電子線検出器が測定した複数通りの電子線量が示す
概略の電子顕微鏡像情報に基づいて、上記放出光の読取
りにおける読取条件および／または画像処理条件を設定
する制御手段とからなる本発明の電子顕微鏡像記録読取
装置によって実施されつる。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は本発明の電子顕微鏡像記録読取装置の一実施例
を示すものである。電子顕微ｖｔ１の鏡体部１ａは、−
様の速度の電子線２を射出する電子銃３と、電子線２を
試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ等からなる少
なくとも１コの集束レンズ４と、試料台５と、上記集束
レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影レンズ７とを有
してなる。

試料台５上に載置された試料８を透過した電子線２は上
記対物レンズ６により屈折され、該試料８の拡大透過像
８ａを形成する。この拡大透過像８ａは投影レンズ７に
より、結像面９に結像投影される（図中の８ｂ）。

上記鏡体部１ａの下方には、本発明による電子顕微鏡像
記録読取装置ＩＯが配置されている。この電子顕微鏡像
記録読取装置１０は、鏡体部ｌａ内の前記結像面９に固
定された蓄積性蛍光体からなる２次元センサ（以下、蓄
積性蛍光体シートｌｌという）と、励起光源１２および
光走査系１３からなる励起毛段と、前記鏡体部１ａの周
壁に設けられた透光窓■４を介して蓄積性蛍光体シート
１１に対向するように配されたフォトマルチプライヤ−
（光電子増倍管）１５と、消去光源１６とを有している
。

上記蓄積性蛍光体シート１１は前述したような蓄積性蛍
光体が透明支持体上に層成されてなるものである。また
励起光源１２は一例としてＨｅ−Ｎｅレーザ、半導体レ
ーザ等からなり、光走査系１３は第１および第２の光偏
向器１３ａ、１３ｂと、固定ミラー１３ｃとからなる。

第１および第２の光偏向器Ｈａ、１３ｂとしてはそれぞ
れ、ガルバノメータミラー、ポリゴンミラー、ホログラ
ムスキャナ、ＡＯＤ等の公知の光偏向器が使用されうる
。励起光源１２から射出された励起光ビーム１２ａは第
１の光偏向器１３ａにより偏向されるとともに、第２の
光偏向器１３ｂにより上記偏向の方向と直角な方向（図
の矢印Ａ方向）に偏向され、例えば鉛ガラス等が嵌め込
まれた透光窓２１を透過して鏡体部１ａ内に入射し、固
定ミラー１３ｃにおいて反射して前記蓄積性蛍光体シー
トｌｌ上に入射する。このようにして蓄積性蛍光体シー
ト１１は励起光ビーム１２ａによりＸ−Ｙ両方向に走査
される。なお図示はしないが、励起光源１２から発せら
れた励起光ビーム１２ａは、蓄積性蛍光体シート１１が
発する輝尽発光光（後に詳述する）の波長領域をカット
するフィルターを通過させ、ビームエキスパンダーによ
りビーム径を調整した後、光偏向器１３ａ、１３ｂで偏
向され、次いでｆθレンズを通過させて均一なビーム径
となされ蓄積性蛍光体シートに入射されるのが好ましい
。

なお鏡体部ｌａ内には、蓄積性蛍光体シート１１への電
子線照射および励起光ビーム照射を妨げない位置（第１
図表示の位置）と、該シー）１１の上方側においてそれ
と平行になる位置とをとりつる電子線検出パネル３０が
配設されている。この電子線検出パネル３０は蓄積性蛍
光体シートｌｌとほぼ同面積のものであり、第３図に示
すように複数（本例では３０個）の電子線検出器３１が
平面的に並べられてなる。この電子線検出器３１として
は、例えばファラデーカップや金属板電流検出器が用い
られる。

前記消去光源１Ｂは蓄積性蛍光体シート１１の励起波長
領域に含まれる光を発生するものである。そして上記第
２の光偏向器１３ｂと固定ミラー１３ｃとの間において
励起光ビーム１２ａの光路中に入る位置と、該光路から
外れた位置とをとりうるミラー１７が配設されている。

消去光源１Ｂが発する消去光ｌｅａはレンズ１８によっ
て集光され、上記ミラー１７が励起光ビーム１２ａの光
路中に入る位置に設定されていれば、該ミラー１７およ
び固定ミラー１３ｃにおいて反射して、蓄積性蛍光体シ
ート１１を全面的に照射する。また対物レンズ７と蓄積
性蛍光体シート１１との間において鏡体部１ａには、電
子線２を遮断しうるシャッター１９が設けられ、蓄積性
蛍光体シート１１とフォトマルチプライヤ−１５との間
には光シヤツター２２が設けられている。そして前記透
光窓１４には、蓄積性蛍光体シート１１が発する輝尽発
光光のみを透過させ、励起光ビーム１２ａを取り除く光
学フィルターを備えたガラス２０が嵌着されている。ま
た鏡体部１ａの内部は通常の電子顕微鏡におけるのと同
様に、蓄積性蛍光体シート１１が配置されている部分も
含めて゛、電子顕微鏡稼動中は真空ポンプ等の公知の手
段により真空状態に維持される。

フォトマルチプライヤ−１５の出力は、電子顕微鏡像読
取用増幅器３３に入力される。この増幅器３３にはＡ／
Ｄ変換器３４が接続され、該Ａ／Ｄ変換器３４の出力は
信号処理回路３６を通してＣＲＴ等の画像再生装置３７
に送られるようになっている。

以下、上記構成の電子顕微鏡像記録読取装置ｌＯによる
電子顕微鏡像の記録、読取りについて詳しく説明する。

試料台５に試料８を載置し、電子銃３、集束レンズ４、
対物レンズ６および投影レンズ７を駆動させ、電子線検
出パネル３０を蓄積性蛍光体シート１１と平行になる位
置に設定し、そして前述のシャッター１９を開くと（第
１図図示の状態）、上記電子線検出パネル３０に、試料
８の拡大透過像を担持する電子線２が照射される。パネ
ル３０の各電子線検出器３１はこの電子線２の照射を受
けると、その電子線量に応じた出力Ｑを発する。なお、
電子線２が上述のように試料８の拡大透過像を担持して
いれば、その線量分布は通常−様ではないので、上記の
各出力Ｑは当然まちまちになる。これらの各出力Ｑは増
幅器２３に入力され、そこで適正レベルに増幅された上
でデータ演算部２４に入力される。これらの出力Ｑは、
各電子線検出器３１が７４？１定した電子線２の線量を
示すものであり、全体としては該電子線２が担う前記試
料８の拡大透過像の概略情報を示すものとなる。データ
演算部２４は、例えばこれらの出力Ｑのヒストグラムに
基づいて、後述の電子顕微鏡像読取りにおける最適な読
取条件、すなわち読取ゲインＳｋと収録スケールファク
ター（ラチチュード）Ｇｐ、および画像処理における最
適な画像処理条件Ｃを求める。

以上のようにして電子線検出パネル３０への電子線照射
がなされた後、シャッター１９が閉じられ、また電子線
検出パネル３０は第１図の表示位置に上げられる。次い
でシャッター１９が所定時間開かれ、結像面９に固定さ
れた蓄積性蛍光体シート１１に、試料８の拡大透過像８
ｂを担持する電子線２のエネルギーが蓄積される。この
電子線露光の際には、光シヤツター２２は閉じられてい
るのが好ましい。

次いで、上述のようにして記録された電子顕微ｖｔ像の
読取りを行なう。本発明方法によって電子顕微鏡像読取
りを行なう際には、まず光シヤツター２２が開かれ、続
いて前述のように励起光源１２から射出され、Ｘ−Ｙ両
方向に偏向された励起光ビーム！２ａがシート１１上に
入射せしめられる。このように偏向された励起光ビーム
１２ａにより蓄積性蛍光体シート１１は２次元的に走査
され、該シート１１は上記電子線エネルギーのレベルに
応じた強度の輝尽発光光を放出する。この輝尽発光光は
シート１１の裏側から、上記励起光ビーム１２ａを取り
除く光学フィルターを備えたガラス２０を介してフォト
マルチプライヤ−１５によって受光され、輝尽発光光量
が光電的に読み取られる。

上記輝尽発光光の光量を担持するフォトマルチプライヤ
＝１５の出力は増幅器３３に入力され、この増幅器３３
において、前記データ演算部２４が決定した適正な読取
ゲインＳｋで増幅され、画像信号Ｓが得られる。この画
像信号ＳはＡ／Ｄ変換器３４において、上記と同様にデ
ータ演算部２４が決定した適正な収録スケールファクタ
ーＧｐでディジタル化される。ディジタル化された画像
信号Ｓｄは、信号処理回路３６において例えば階調処理
や周波数強調等の画像処理（信号処理）を受けた後、Ｃ
ＲＴ等の画像再生装置３７に送られる。この画像再生装
置３７は画像信号Ｓｄに基づいて、蓄積性蛍光体シー）
１１に記録されていた電子顕微鏡像を再生する。なお上
記画像処理条件も、データ演算部２４が決定した条件Ｃ
に設定される。

以上述べたように本発明においては、複数の電子線検出
器３１がｎｌｌ＋定した電子線量に基づいて電子顕微鏡
像の概略情報を把握し、この電子顕微鏡像情報に基づい
て、蓄積性蛍光体シート１１からの輝尽発光光読取りに
おける読取ゲイン、および画像信号Ｓの収録スケールフ
ァクター、さらには画像処理条件を最適に設定できるよ
うになっているので、画像再生装置３７において再生さ
れる電子顕微鏡像は、常にコントラストが適正で観察性
に優れたものとなる。なお上記読取ゲイン等の条件は、
前述のように複数の電子線検出器３１の出力Ｑに基づい
て決定する他、これらの出力Ｑの他に、蓄積性蛍光体シ
ート１１への電子線露出時間等も加味して決定するよう
にしてもよい。

以上のようにして電子顕微鏡像の読取りが終了した後、
光シヤツター２２が閉じられ、ミラー１７は励起光ビー
ム！２ａの光路中に入る位置に立てられ、そして消去光
源１６が点灯される。それによりシーＨ１の表面には、
該消去光源１６が発する消去光１６ａが照射される。蓄
積性蛍光体シート１１に前記のように励起光ビーム１２
ａが照射されても、該シート１１に蓄積されていた電子
線エネルギーがすべて放出される訳ではなく、残像が残
る場合がある。

しかしこのように蓄積性蛍光体シート１１に消去光１［
ｉａを照射すれば、上記残像が消去され、蓄積性蛍光体
シート１１が再使用可能となる。またこの消去光照射に
より、シート１１の蛍光体中に不純物として含まれてい
るＺ２Ｇ　ＲＨなどの放射性元素によるノイズ成分も放
出される。上記消去光源１６とじては、例えば特開昭５
６−１１３９２号に示されているようなタングステンラ
ンプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、キセノンフラッ
シュランプあるいはレーザ光源等が任意に選択使用され
得る。また読取り用の励起光源１２を消去用に兼用して
もよい。

なお画像再生装置３７としては、前述のＣＲＴの他、第
２図に示すような光走査記録装置も好適に用いられる。

以下、この第２図の光走査記録装置により画像再生する
場合について簡単に説明する。

感光フィルム１００を第２図に矢印Ｙで示す副走査方向
に移動させるとともに、記録光としてのレーザビーム１
０１を光偏向器１０４により感光フィルム１００上にお
いて矢印Ｘ方向に主走査させ、該レーザビーム１０１を
信号供給回路１０２からの画像信号に基づいてＡ１０変
調器１０３により変調することにより、感光フィルム１
００上に可視像を形成する。

上記変調用画像信号として、前述の画像再生装置３７か
ら出力された信号を用いれば、蓄積性蛍光体シート１１
に蓄積記録された前記拡大透過像８ｂが感光フィルム＋
００に再生される。

なお信号処理回路３６から出力された画像信号は、以上
説明のように直ちに画像再生装置３７に送って電子顕微
鏡像再生に供してもよいし、あるいは後に画像再生する
ために、−旦磁気テープ、磁気ディスク等の記憶媒体３
８に記憶させておいてもよい。

また蓄積性蛍光体シート１１上の複数の位置において電
工線２の線量を測定するためには、第３図に示した電子
線検出パネル３０以外の手段を用いることも可能である
。第５図はこの電子線量ΔＩＩＩ定手段定則段例を示し
ている。この測定手段は、前記電子線検出パネル３０と
同様に蓄積性蛍光体シート１１上において該シート１１
とほぼ平行となる位置と、蓄積性蛍光体シート１１上か
ら退出してこのシート１１への電子線照射を妨げない位
置とをとりつるステージ４０と、このステージ４０上に
おいて縦横方向に移動自在とされた１つの電子線検出器
３１と、この電子線検出器３１を移動させるモータ４１
および４２と、これらのモータ４Ｌ　４２の駆動を制御
して、上記電子線検出器３１をステージ４０上で所定の
順路に従って２次元的に移動させる２次元移動制御回路
４３とを有している。この測定手段によって電子線量を
測定する様、ステージ４０は上記のように蓄積性蛍光体
シー１−１１上の位置に配され、電子線検出器３１が移
動される。２次移動制御回路４３はモータ４１．４２の
回転量に基づいて電子線検出器３１の位置を求め、この
位置を示す信号Ｒをデータ演算部２４に入力する。電子
線検出器３１は移動開始時から連続的に作動状態とされ
、したがって増幅器２３からデータ演算部２４には電子
線量を示す信号が連続的に入力されるが、データ演算部
２４は上記位置信号Ｒに基づいて、電子線検出器３１が
ステージ４０上（すなわち蓄積性蛍光体シート１１上）
の複数の所定位置に到達する毎に増幅器２３からの信号
をサンプリングして、そのサンプリングした信号から上
記各所定位置毎の電子線量をそれぞれ求める。このよう
にして、後に蓄積性蛍光体シートＩＩ上に照射される電
子線の線量が、該シー１−１１上の複数の位置毎に求め
られる。データ演算部２４はこうして求めた電子線口に
基づいて、前述の場合と同様にして適正な読取ゲインＳ
ｋ、収録スケールファクターＧｐ１画像処理条件Ｃを求
める。

なお上記第５図の装置におけるように１つの電子線検出
器３１を２次元的に移動させるのとは反対に、１つの電
子線検出器３１を蓄積性蛍光体シートＵ上の任意位置に
停止させるとともに、電子顕微鏡１の各レンズへの電界
あるいは磁界の印加状態を制御することによって電子線
２を蓄積性蛍光体シートｌｌ上を２次元的に移動するよ
うに偏向させ、それにより、後の電子顕微鏡像記録時に
蓄積性蛍光体シートＩｌ上の別個の箇所に照射されるこ
とになる電子線の線量をそれぞれ該電子線検出器３１に
よって順次測定するようにしてもよい。

また、上述の実施例のシステムにおいては、２次元セン
サに電子顕微鏡像を記録するための記録装置と、２次元
センサに記録された電子顕微鏡像を読み取るための読取
装置とが一体化されて電子顕微鏡像記録読取装置１０と
されているが、例えば特開昭６１−２３７３５５号公報
に示されているように、記録装置と読取装置とは互に別
体として設けられてもよい。この場合、記録装置におい
て２次元センサに電子顕微鏡像の記録が行なわれた後２
次元センサは記録装置より取り出されて読取装置にかけ
られ、記録電子顕微鏡像の読取りが行なわれる。

次に、前述の回折パターンを記録し、読み取る場合の方
法について説明する。第４図は試料８の回折パターン８
ｃを記録する様子を示すものである。本例において電子
顕微鏡８０は、対物レンズ６と投影レンズ７との間に中
間レンズ８１を備えたものが使用され、対物レンズ７の
後焦平面に形成された試料８の回折パターン８ｃは、上
記後焦平面に焦点を合わせた中間レンズ８１および投影
レンズ７により、結像面９に拡大投影される。この場合
にも上記結像面９に２次元センサとしての蓄積性蛍光体
シートｌｌを配置すれば、該シート１１に透過電子線２
による上記回折パターン８ｃの拡大像が蓄積記録される
。この蓄積記録された回折パターン８ｃは、前記第１図
で説明したのと全く同様にして読取り可能であり、その
読取り像はＣＲＴに表示したり、あるいはハードコピー
として再生したりすることができる。この場合も、上記
のようにして電子顕微鏡像（回折パターン８ｃ）を蓄積
性蛍光体シート１１に蓄積記録するのに先立って、前述
したような電子線検出パネル３０を蓄積性蛍光体シート
１１上に配して、電子線２の線量を該シートｌｌ上の各
位置毎に測定することにより、このシート１１に蓄積記
録される回折パターン８ｃの概略の情報を把握すること
が可能になる。

また、以上述べた蓄積性蛍光体シート１１に代えて熱蛍
光体シートを用いる場合、このシートから蓄積エネルギ
ーを加熱によって放出させるには、例えばＣＯ２レーザ
などの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線で熱蛍光
体シートを走査すればよく、そのためには例えば特公昭
５５−４７７２０号公報等の記述を参考にすればよい。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明においては、蓄積性蛍光
体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録し
た後、該センサから電子顕微鏡像を読み取るに当たり、
２次元センサに照射される電子線の線量を２次元センサ
上の複数の位置毎に測定して電子顕微鏡像情報の概略を
把握し、この把握した情報に基づいて上記読取り時の読
取条件および／または画像処理条件を適正に設定するよ
うにしているから、常に最も観察性の優れた高画質の電
子顕微鏡を再生することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例装置を示す概略図、第２図は
本発明方法によって得られた読取画像信号に括づいて電
子顕微鏡像を再生する装置の一例を示す概略斜視図、 第３図は第１図の装置における電子線＝ａｐｌ定手段合
手段平面図、 第４図は本発明方法が適用されうる別の電子顕微鏡の例
を示す概略図、 第５図は本発明の別の実施例における電子線量測定手段
を示す平面図である。 １．８０・・・電子顕微鏡　　２・・・電子線８・・・
試料　　　　　　　９・・・電子顕微鏡の結像面１０・
・・電子顕微鏡像記録読取装置 １１・・・蓄積性蛍光体シート１２・・・励起光源１２
ａ・・・励起光ビーム　　１３・・・光走査系１３ａ、
　１３ｂ・・・光偏向器 １５・・・フォトマルチプライヤ− １６・・・消去光源　　　　　ｌｅａ・・・消去光２３
．３３・・・増幅器　　　　２４・・・データ演算部３
０・・・電子線検出パネル　３１・・・電子線検出器３
４・・・Ａ／Ｄ変換器　　　３Ｂ・・・信号処理回路３
７・・・画像再生装置　　　４０・・・ステージ４１．
４２・・・モータ　　　　４３・・・２次元移動制御回
路第１図 第２図

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
   料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前
   記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積さ
   れたエネルギーを光として放出させ、電子顕微鏡像を担
   うこの放出光を光電的に読み取って画像信号を得る電子
   顕微鏡像記録読取方法において、 前記２次元センサに照射される電子線の線量を該センサ
   上の相異なる複数の位置毎に測定し、こうして測定した
   複数通りの電子線量が示す概略の電子顕微鏡像情報に基
   づいて、前記放出光の読取りにおける読取条件および／
   または前記画像信号に対する画像処理条件を設定するこ
   とを特徴とする電子顕微鏡像記録読取方法。
2. （２）前記放出光の読取りを、前記２次元センサを真空
   状態に置いたままで行なうことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録読取方法。
3. （３）前記２次元センサとして蓄積性蛍光体シートを用
   い、この蓄積性蛍光体シートに試料を透過した電子線を
   真空状態で蓄積記録し、次いで該蓄積性蛍光体シートを
   励起光で走査して蛍光を放出させ、この放出された蛍光
   を光電的に検出することを特徴とする特許請求の範囲第
   １項または第２項記載の電子顕微鏡像記録読取方法。
4. （４）前記電子線量の測定を、前記２次元センサとほぼ
   平行な面上に並べて配置された複数の電子線検出器で行
   なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第３項
   いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録読取方法。
5. （５）前記電子線量の測定を、前記２次元センサとほぼ
   平行な面内において２次元的に移動する１つの電子線検
   出器で行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項か
   ら第３項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録読取方法
   。
6. （６）電子顕微鏡の結像面に配置され、試料を透過した
   電子線のエネルギーを蓄積する２次元センサと、 この２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって該セ
   ンサに蓄積されている電子線エネルギーを光として放出
   させる励起手段、および前記２次元センサからの光を光
   電的に検出して画像信号を得る光検出器からなる読取系
   と、 前記結像面に配置された２次元センサに照射される電子
   線の線量を該センサ上の相異なる複数の位置毎に測定す
   る電子線検出器と、 この電子線検出器が測定した複数通りの電子線量が示す
   概略の電子顕微鏡像情報に基づいて、前記放出光の検出
   における読取条件および／または前記画像信号に対する
   画像処理条件を設定する制御手段とからなる電子顕微鏡
   像記録読取装置。
7. （７）前記電子線検出器が、前記２次元センサとほぼ平
   行な面上に並べて複数配置されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第６項記載の電子顕微鏡像記録読取装置
   。
8. （８）前記電子線検出器が１つ設けられ、該検出器が、
   前記２次元センサとほぼ平行な面内において２次元的に
   移動自在に形成されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第６項記載の電子顕微鏡像記録読取装置。