JPH06223764A - 電子顕微鏡像記録読取方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 蓄積性蛍光体シートおよび写真フイルムを混
在させて使用する電子顕微鏡像記録読取方法および装置
において、シート、フイルムの区別なく、共通の情報記
録手段により、ナンバリング情報をシート、フイルムに
記録できるようにする。 【構成】 電子線エネルギーを蓄積する部分11Ａと可視
光により書込み可能な部分11Ｂとを有する蓄積性蛍光体
シート11の部分11Ａに電子顕微鏡画像を、部分11Ｂに可
視光でナンバリング情報を記録する。次いで、部分11Ｂ
からナンバリング情報を読み取り、このナンバリング情
報に基づいて電子顕微鏡像を得る際の読取条件を決定
し、この読取条件に基づいて蓄積性蛍光体シート11から
電子顕微鏡像を表す画像信号を得、これを可視像として
再生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡像を記録
し、読み取る方法および装置に関するものであり、とく
に詳細には、試料に関するナンバリング情報を電子顕微
鏡像とともに蓄積記録可能な電子顕微鏡像記録読取方法
および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、試料を透過させた電子線を電
界あるいは磁界によって屈折させて、試料の拡大像を得
る電子顕微鏡が周知となっている。この電子顕微鏡にお
いては、試料を透過した電子線により対物レンズの後焦
点面に試料の回折パターンが形成され、その回折波が再
び干渉して試料の拡大像が形成されるようになってい
る。したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれ
ば試料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦点
面を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察さ
れる。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズ
を配置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節によ
り、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。

【０００３】上述のようにして形成される拡大像あるい
は回折パターン（以下、一括して透過電子線像と称す
る）を観察するため従来は一般に、投影レンズの結像面
に写真フィルムを配して透過電子線像を露光させたり、
あるいはイメージインテンシファイアを配して透過電子
線像を増幅投影するようにしたり、あるいは蛍光板を配
して透過電子線像を可視化しテレビカメラで撮影したり
していた。しかし写真フィルムは電子線に対して感度が
低い上現像処理が面倒であるという欠点を有し、一方イ
メージインテンシファイアやテレビカメラを用いる場
合、画像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいと
いう問題がある。

【０００４】また上記のような透過電子線像に対して
は、像を見易くする等の目的で階調処理、周波数強調処
理、濃度処理、減算処理、加算処理等の画像処理や、フ
ーリエ解析法による３次元像の再構成、画像の２値化お
よび粒子径測定等のための画像解析、さらには回折パタ
ーンの処理（結晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠
陥の解明等）等の処理が施されることが多いが、このよ
うな場合従来は、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像
をミクロフォトメータで読み取って電気信号に変換し、
この電気信号を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータ
により処理するという煩雑な作業を行なっていた。

【０００５】上記のような事情に鑑みて本出願人は、電
子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、しかも
各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持する電気
信号が直接得られる、新しい電子顕微鏡像記録再生方法
を提案した（特開昭61-51738号、特開昭61-93539号
等）。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電子
線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シート等の２次元
センサに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録
し、次いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を行な
って蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この放
出光を光電的に検出して画像信号を得、この画像信号を
用いて試料の透過電子線像を再生するものである。

【０００６】上記の２次元センサとは、電子線露出を受
けたときそのエネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄
積し、後に外部から刺激を与えると蓄積しているエネル
ギーの少なくとも一部を光、電気、音等の検出可能な形
態で放出する能力を持つ材料からなるものである。この
２次元センサとして具体的には、例えば特開昭55-12429
号、同55-116340 号、同55-163472 号、同56-11395号、
同56-104645 号公報等に示される蓄積性蛍光体シートが
特に好適に用いられうる。すなわち、ある種の蛍光体に
電子線等の放射線を照射するとこの放射線のエネルギー
の一部がその蛍光体中に蓄積され、その後その蛍光体に
可視光等の励起光を照射すると、蓄積されたエネルギー
に応じて蛍光体が蛍光（輝尽発光）を示す。このような
性質を示す蛍光体を蓄積性蛍光体と言う。蓄積性蛍光体
シートとは、上記蓄積性蛍光体からなるシート状の記録
体のことであり、一般に支持体とこの支持体上に積層さ
れた蓄積性蛍光体層とからなる。蓄積性蛍光体層は蓄積
性蛍光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもので
あるが、この蓄積性蛍光体層が自己支持性である場合、
それ自体で蓄積性蛍光体シートとなりうる。なお、この
蓄積性蛍光体シートを形成するための輝尽性蛍光体の例
は、前記特開昭61-93537号に詳しく記載されている。

【０００７】また、上述の２次元センサとして、例えば
特公昭55-47719号、同55-47720号公報等に記載されてい
る熱蛍光体シートを用いることもできる。この熱蛍光体
シートは、主として熱の作用によって蓄積している放射
線エネルギーを、熱蛍光として放出する蛍光体（熱蛍光
体）からなるシート状の記録体である。

【０００８】上記電子顕微鏡像記録再生方法において
は、蓄積性蛍光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡
像を蓄積記録するようにしたから、電子顕微鏡像を高感
度で記録することが可能になり、したがって電子顕微鏡
の電子線露光量を低減でき、試料の損傷を少なくするこ
とができる。またこの方法においては電子顕微鏡像に階
調処理、周波数強調処理等の画像処理を施すことも極め
て容易になり、また前述したような回折パターンの処理
や、３次元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、
上記電気信号をコンピュータに入力することにより、従
来に比べ極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。

【０００９】ところで、上述した写真フイルムや蓄積性
蛍光体シートには、例えばデータ整理の便宜のために、
撮影時の倍率、電子線露出量、サンプル名、実験管理番
号等のナンバリング情報を付している。ここで、写真フ
イルムは可視光にも、電子線にも感光するため、ナンバ
リング情報の記録には、例えば光学プリズムが使用され
ている。この光学プリズムを用いた方法とは、ナンバリ
ング情報をＣＲＴ画面に表示し、これを光学プリズムを
介して写真フイルム上に投影して記録するものである。

【００１０】一方、蓄積性蛍光体シートにナンバリング
情報を記録する方法も、本出願人により種々提案されて
いる。例えば、光によりナンバリング情報をシートに書
き込む方法（特開昭56-11346号公報）、蓄積性蛍光体シ
ートの一部を青色光あるいは紫外光で１次励起してお
き、次いで蓄積性蛍光体シートに記録されている情報を
消去可能な赤色光あるいは赤外光のような光により、ナ
ンバリング情報を書き込む方法（特開昭56-18798号公
報）が提案されている。

【００１１】このように、ナンバリング情報を記録媒体
に直接記録することにより、試料の画像と試料に関する
様々な情報を一対一の対応を保った状態で得ることがで
きる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特開昭56-11346号公報に記載されている方法では、ナ
ンバリング情報を書き込むための光の量についてコント
ロールがされていないため、書き込まれるナンバリング
情報が不明確なものとなるおそれがある。また、上述し
た特開昭56-18798号公報に記載されている方法では、蓄
積性蛍光体シートの一部を励起するための光源を設ける
必要があるため、装置が複雑となるおそれがある。

【００１３】さらに、蓄積性蛍光体シートは可視光に感
光せず、また、写真フイルムは上述した特開昭56-18798
号公報における赤色光や赤外光に対して感度が低いた
め、写真フイルムと蓄積性蛍光体シートとを混在させて
使用する電子顕微鏡においては、写真フイルム用と蓄積
性蛍光体シート用との２つのナンバリング情報記録手段
を設ける必要があり、装置が複雑化、大型化するおそれ
があった。

【００１４】本発明は上記事情に鑑み、蓄積性蛍光体シ
ートおよび写真フイルムを混在させて使用する電子顕微
鏡においても、蓄積性蛍光体シートおよび写真フイルム
の区別なく共通の情報記録手段によりナンバリング情報
を蓄積性蛍光体シートおよび写真フイルムに記録するこ
とができる電子顕微鏡像記録読取方法および装置ならび
に電子顕微鏡像記録装置を提供することを目的とするも
のである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明による電子顕微鏡
像記録読取方法は、電子線エネルギーを蓄積するととも
に、一部に可視光により書込み可能な部分を有する蓄積
性蛍光体シートに、試料を透過した電子線を照射するこ
とにより前記試料の電子顕微鏡像を真空状態で蓄積記録
するとともに、該電子顕微鏡像のナンバリング情報を前
記部分に可視光で蓄積記録し、次いで、前記蓄積性蛍光
体シートの前記一部に光照射あるいは加熱を行って蓄積
された前記可視光のエネルギーを光として放出させ、該
放出された放出光を光電的に読み取って前記ナンバリン
グ情報を担持する画像信号を得、該ナンバリング情報を
担持する画像信号に基づいて前記蓄積性蛍光体シートか
ら前記電子顕微鏡像を表す画像信号を得る際の読取条件
を決定し、その後、該読取条件に基づいて、前記蓄積性
蛍光体シートに光を照射して、該蓄積性蛍光体シートに
蓄積記録されている前記電子線のエネルギーを光として
放出させ、該放出された放出光を光電的に読み取って前
記電子顕微鏡像を表す画像信号を得ることを特徴とする
ものである。

【００１６】また、本発明による電子顕微鏡像記録読取
装置は、電子線エネルギーを蓄積するとともに、一部に
可視光により書込み可能な部分を有する蓄積性蛍光体シ
ートおよび電子線エネルギーを記録する写真フイルムを
選択的に支持する支持部と、該支持部に支持された前記
蓄積性蛍光体シートまたは前記写真フイルムに前記試料
を透過した電子線を照射することにより前記試料の電子
顕微鏡像を真空状態で記録する電子顕微鏡像記録部と、
該電子顕微鏡像のナンバリング情報を前記部分または前
記写真フイルムの一部に可視光で記録する情報記録部と
からなる記録手段と、該記録手段により前記電子顕微鏡
像および前記ナンバリング情報が蓄積記録された前記蓄
積性蛍光体シートの前記一部に、光照射あるいは加熱を
行って蓄積された前記可視光のエネルギーを光として放
出させ、該放出された放出光を光電的に読み取って前記
ナンバリング情報を担持する画像信号を得るナンバリン
グ情報読取手段と、該ナンバリング情報読取手段により
読み取られた前記ナンバリング情報を担持する画像信号
に基づいて、前記蓄積性蛍光体シートから前記電子顕微
鏡像を表す画像信号を得る際の読取条件を決定する読取
条件決定手段と、該読取条件決定手段により決定された
読取条件に基づいて、前記蓄積性蛍光体シートに光を照
射して、該蓄積性蛍光体シートに蓄積記録されている前
記電子線のエネルギーを光として放出させ、該放出され
た放出光を光電的に読み取って前記電子顕微鏡像を表す
画像信号を得る電子顕微鏡像読取手段とからなることを
特徴とするものである。

【００１７】さらに、本発明による電子顕微鏡像記録装
置は、電子線エネルギーを蓄積するとともに、一部に可
視光により書込み可能な部分を有する蓄積性蛍光体シー
トおよび電子線エネルギーを記録する写真フイルムを選
択的に支持する支持部と、該支持部に支持された前記蓄
積性蛍光体シートまたは前記写真フイルムに前記試料を
透過した電子線を照射することにより前記試料の電子顕
微鏡像を真空状態で記録する電子顕微鏡像記録部と、該
電子顕微鏡像のナンバリング情報を前記部分または前記
写真フイルムの一部に可視光で記録する情報記録部とか
らなることを特徴とするものである。

【００１８】

【作用】本発明による電子顕微鏡像記録読取方法および
装置ならびに電子顕微鏡像記録装置は、電子線エネルギ
ーを蓄積するとともに、一部に可視光により書き込み可
能な部分を有する蓄積性蛍光体シートを使用し、試料の
電子顕微鏡像を記録する電子顕微鏡像記録部とナンバリ
ング情報を記録する情報記録部とから電子顕微鏡像記録
部を構成するようにしたため、記録装置の支持部に支持
された記録媒体が、蓄積性蛍光体シートであると写真フ
イルムであるとに拘らず電子顕微鏡像を記録するととも
に、ナンバリング情報を記録することができ、蓄積性蛍
光体シートと写真フイルムとを混在させて使用すること
ができる。

【００１９】また、このナンバリング情報を蓄積性蛍光
体シートおよび写真フイルム自体に記録することができ
るため、ナンバリング情報を他の記録手段に記録したと
きのように、ナンバリング情報と電子顕微鏡像との対応
を誤るという問題もなくなる。そして、記録されたナン
バリング情報に基づいて、蓄積性蛍光体シートから電子
顕微鏡像を表す画像信号を得る際の読取条件を求め、こ
の読取条件に基づいて蓄積性蛍光体シートから電子顕微
鏡像を表す画像信号を得るようにすれば、シートに記録
された電子顕微鏡像に最適な読取条件により電子顕微鏡
像を表す画像信号を得ることができる。

【００２０】

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例について
説明する。

【００２１】図１は、本発明による電子顕微鏡像記録装
置に用いられる蓄積性蛍光体シートの実施例を表す図で
ある。図１に示すように、蓄積性蛍光体シート11は、電
子線を記録するための蓄積性蛍光体を有する部分11Ａ
と、可視光で記録可能であり、赤外線を照射すると可視
光（赤色光）を発する蓄積性蛍光体を有する部分11Ｂと
からなる。

【００２２】ここで、蓄積性蛍光体シート11の部分11Ａ
にある、電子線を記録するための蓄積性蛍光体として
は、例えばＢＦＸ：Ｅｕ等が挙げられ、部分11Ｂにある
可視光で記録可能であり赤外線を照射すると可視光を発
する蓄積性蛍光体としては、例えばＳｒＳ：Ｅｕ，Ｓ
ｍ、ＣａＳ：Ｅｕ，Ｓｍ等が挙げられる。

【００２３】次いで、電子顕微鏡像およびナンバリング
情報の記録について説明する。

【００２４】図２は電子顕微鏡像記録装置を表す図であ
る。

【００２５】図２に示すように、電子顕微鏡１の鏡体部
１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃３と、
電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ等
からなる少なくとも１個の集束レンズ４と、試料台５
と、集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影レンズ
７とを有してなる。試料台５上に載置された試料８を透
過した電子線２は対物レンズ６により屈折され、試料８
の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大散乱像８ａは投
影レンズ７により、結像面９に結像投影される（図中の
８ｂ）。

【００２６】電子顕微鏡の鏡体部１ａの下方には、電子
顕微鏡像記録装置10が配置されている。この電子顕微鏡
像記録装置10は、図中左方に、２次元シートとしての蓄
積性蛍光体シート11を多数枚収めた供給用マガジン12が
収納されるシート供給部13と、このシート供給部13の下
方に配され、供給用マガジン12と同様の受納用マガジン
15を収納するシート受納部16とを有し、さらに結像面９
を含むように形成された記録部14と、この記録部14と上
記シート供給部13との間に配された消去光源17とを有し
ている。この消去光源17において電子顕微鏡像記録前の
蓄積性蛍光体シートの残像や宇宙線等によるカブリを消
去する。

【００２７】シート供給部13に装着された供給用マガジ
ン12内の蓄積性蛍光体シート11は、一例としてシート11
の端部を把持するシート供給アーム20により、マガジン
12から１枚ずつ取り出され、２枚のガイド板21間に送ら
れ、シート供給ローラ22および給排ローラ23、28ａ、28
ｂによって、記録部14に送られるようになっている。ま
た、上述のようにして記録部14に送られた蓄積性蛍光体
シート11は、給排ローラ28ａ、28ｂを上記の場合とは反
対方向に回転させ、そしてガイド板24を図２の破線表示
位置に動かすことにより、給排ローラ23およびシート送
出しローラ25を介して２枚のガイド板26の間に送られ、
シート供給アーム20と同様のシート送出しアーム27によ
り、シート受納部16の受納用マガジン15内に落とし込ま
れるようになっている。

【００２８】そして鏡体部１ａと記録部14との間には、
それぞれ図中矢印Ａ方向に回動可能なシャッター30と、
蛍光スクリーン31とが設けられ、これらシャッター30と
スクリーン31は各々、図示しないレバーによって回動操
作されるようになっている。またスクリーン31の上方に
おいて、鏡体部１ａの周壁には例えば鉛ガラスからなる
観察窓32が設けられている。

【００２９】また、記録部14には、蓄積性蛍光体シート
11の部分11Ｂに、ナンバリング情報を記録するための、
光ファイバ41、ＣＲＴ42およびナンバリング情報作成部
44とからなる情報記録部40が設けられており、情報記録
部40は電子顕微鏡操作部43により操作される。

【００３０】鏡体部１ａの内部と、電子顕微鏡像記録装
置10の内部は、電子顕微鏡の稼働中、公知の排気装置に
よって真空状態に維持されるが、鏡体部１ａと電子顕微
鏡像記録装置10との間には公知の遮断部材（図示せず）
が設けられ、この遮断部材によって鏡体部１ａ内部と電
子顕微鏡像記録装置10の内部とを互いに遮断することに
より、供給用マガジン12の装着、および受納用マガジン
15の取出しの際に、電子顕微鏡像記録装置10内の真空を
破壊しても、鏡体部１ａ内は真空状態に維持できるよう
になっている。

【００３１】蓄積性蛍光体シート11に電子顕微鏡像の記
録を行う際、シート供給部13内には蓄積性蛍光体シート
11を多数枚収めた供給用マガジン12が収納され、またシ
ート受納部16内には空の受納用マガジン15が収納され
る。そしてシャッター30と蛍光スクリーン31は、電子線
２を遮る位置（図中水平位置）に設定される。続いて前
述したシート供給アーム20、シート供給ローラ22および
給排ローラ23、28ａ、28ｂにより、供給用マガジン12内
の最下位の蓄積性蛍光体シート11が記録部14に送られ
る。給排ローラ28ａ、28ｂは、蓄積性蛍光体シート11が
結像面９に位置すると停止され、この位置に蓄積性蛍光
体シート11を保持する。

【００３２】電子線２は蛍光スクリーン31に当たって蛍
光を発生させるので、電子線２が担持する拡大散乱像８
ａが、観察窓32を通して観察される。このように蛍光ス
クリーン31を観察して拡大散乱像８ａのピント、倍率お
よび視野範囲が決定された後、シャッター30と蛍光スク
リーン31は、前述のレバーを操作することにより、電子
線２を遮らない位置まで跳ね上げられる。こうすると電
子線２は、記録部14にセットされている蓄積性蛍光体シ
ート11に到達し、拡大散乱像８ｂを担持する電子線エネ
ルギーがシート11に蓄積記録される。

【００３３】この電子線の記録と同時に、電子顕微鏡操
作部43を通して、ナンバリング情報作成部44においてナ
ンバリング情報、すなわち電子顕微鏡の撮影時における
露出に伴う様々な情報（露出量、倍率、サンプル名）が
作成され、この作成されたナンバリング情報はＣＲＴ42
に表示されて光ファイバ41を通って、蓄積性蛍光体シー
ト11の部分11Ｂに記録される。

【００３４】このように電子顕微鏡像とナンバリング情
報の記録を行った後、シャッター30が閉じられる。そし
て拡大散乱像８ｂおよびナンバリング情報を蓄積記録し
た蓄積性蛍光体シート11は、給排ローラ23、28ａ、28
ｂ、シート送出しローラ25およびシート送出しアーム27
により、受納用マガジン15内に収納される。

【００３５】上記の操作が繰り返されると、受納用マガ
ジン15内には、電子顕微鏡像記録済みの蓄積性蛍光体シ
ート11がまとめて収納される。そこで一連の電子顕微鏡
像記録が終了したならば、この受納用マガジン15をシー
ト受納部16から取り出し、蓄積性蛍光体シート11を電子
顕微鏡像読取装置にかける。

【００３６】以下、図３を参照してこの電子顕微鏡像読
取装置について説明する。

【００３７】図３は、本発明による電子顕微鏡像読取装
置の概略を表すブロック図である。

【００３８】電子顕微鏡像およびナンバリング情報が記
録された蓄積性蛍光体シート11は、画像読取部60におい
て電子顕微鏡像が読み取られるが、電子顕微鏡像が読み
取られる前に、情報読取手段61において、蓄積性蛍光体
シート11の部分11Ｂに記録されているナンバリング情報
が読み取られ、次いで情報制御部62においてこのナンバ
リング情報に基づいて、電子顕微鏡像を読み取る際の読
取条件としての読取ゲインＳｋ、収録スケールファクタ
Ｇｐとが求められ、この読取条件が画像読取部60に入力
され、この読取条件に基づいて蓄積性蛍光体シート11よ
り電子顕微鏡像が読み取られる。ここで読み取られた電
子顕微鏡像の画像信号は画像処理手段63に入力される一
方、情報読取手段61において読み取られたナンバリング
情報も画像処理手段63に入力される。

【００３９】画像処理手段63においては、必要な画像処
理が施され、ナンバリング情報とともに再生手段64に入
力され、この再生手段64において電子顕微鏡像とナンバ
リング情報とが可視像として再生される。

【００４０】以下、上述した画像読取部60の詳細につい
て説明する。

【００４１】図４は、画像読取部60の詳細である電子顕
微鏡像読取装置を表す図である。図４に示す画像読取装
置は、円筒面の内側にシートを保持し、円筒面の中心軸
を回転中心として回転する回転体からシート11に向けて
光ビームを射出させて円筒走査を行うものであり、その
詳細については特開昭52-16123号公報に開示されてい
る。

【００４２】図４に示すように、本発明の実施例による
画像読取装置70は、シート保持手段としての円筒面71a
を有するプラテン71を有する。このプラテン71は図示し
ない駆動手段により図示矢印Ａ方向に移動させられるも
のである。また、プラテン71の近傍には、プラテン71に
搬送されるシートからナンバリング情報を読み取るため
の、赤外線を発するＬＥＤと赤色光に感度を有するフォ
トダイオードとからなる情報読取手段72が配されてい
る。また、プラテン71の上方には走査用光学系が配さ
れ、この走査用光学系により、蓄積性蛍光体シート11に
蓄積記録されている電子顕微鏡像の読取りが行われる。

【００４３】前述したように電子顕微鏡像が蓄積記録さ
れた蓄積性蛍光体シート11は、図示しない公知の搬送手
段によって搬送され、その前端部がプラテン71の下部に
送り込まれる。次いで、情報読取手段72のＬＥＤから赤
外線が発せられ、蓄積性蛍光体シート11の部分11Ｂにこ
の赤外線が照射される。これにより、蓄積性蛍光体シー
ト11の部分11Ｂに記録されたナンバリング情報が赤色光
として発せられ、この赤色光がフォトダイオードに検出
されて光電変換され、電気信号のナンバリング情報とし
て情報制御部62に送られる。次いで、シート11はプラテ
ン71の円筒面に沿って所定の位置まで送られ、プラテン
71上に保持される。

【００４４】シート11がプラテン71上に保持されると、
走査用光学系において、励起光源であるＨｅ−Ｎｅレー
ザ73からは励起光としてのレーザ光74が発せられる。こ
のレーザ光74は不要な波長の光をカットするフィルタ75
を通過した後、強度を調整するための音響光学光変調器
（ＡＯＭ）76を通過し、さらに２枚の反射ミラー77、78
に入射して光路を変える。なお、ミラー78は、入射した
レーザ光74のうちのごく一部の光を一定の割合で透過さ
せるものとなっており、このミラー78を透過したレーザ
光74ａの強度は、光検出器79により検出される。光検出
器79は検出したレーザ光74ａの強度に応じてＡＯＭ76を
制御して、ＡＯＭ76から出射するレーザ光74の強度が常
に一定となるようにする。

【００４５】ミラー78により反射されたレーザ光74は、
ビームエキスパンダ80を通過して所定のビーム径に拡大
された後、その波長領域の光を透過させ、後述する輝尽
発光光の波長領域の光は反射するダイクロイックミラー
81に入射する。なおこのダイクロイックミラー81のレー
ザ光入射面81ａは、入射するレーザ光74のうちのごく一
部の光を反射するように表面処理を施されており、こう
して反射されたレーザ光74ｂは、集束レンズ82により集
束されて開口板83の開口を通過し、光検出器84により検
出される。この光検出器84はレーザ光74ｂの入射位置を
検出することにより、その光軸が所定の角度にあるか否
かを検知し、レーザ光74ｂの位置に応じて記ミラー77,7
8 の角度を微調整させる信号を発する。

【００４６】ダイクロイックミラー81を透過したレーザ
光74は、その光路に配されたスピナー85に入射して反射
偏向される。このスピナー85は、入射するレーザ光74に
対して45°の傾きを有する反射面86ａを備えた偏向ミラ
ー86を、スピンドルモータ86Ａによって矢印Ｂ方向に連
続的に高速回転させるものである。なお、この偏向ミラ
ー22はプラテン71の円筒面71ａの中心軸上においてレー
ザ光74を反射するように配されており、この反射位置か
ら蓄積性蛍光体シート11上までのレーザ光光路長は常に
一定となる。また、ミラー86により反射偏向されたレー
ザ光74の光路には、平行光として入射したレーザ光74
を、蓄積性蛍光体シート11上で所望のスポットに集束さ
せる集光レンズ87が設けられている。この集光レンズ87
はスピナー85の一部として、偏向ミラー86と一体的に高
速回転される。スピナー85により反射偏向されたレーザ
光74は、蓄積性蛍光体シート11上を繰り返し矢印Ｂ方向
に主走査する。それとともに、前述のようにプラテン71
が一定速度で矢印Ａ方向に移動することにより副走査が
なされ、レーザ光74は蓄積性蛍光体シート11上を２次元
的に走査する。なお、上記のような集光レンズ87は、そ
の径を大型化させることなく蓄積性蛍光体シート上に近
接した位置に配することができるので、焦点距離の短い
レンズを集光レンズ87として用いて励起光を極めて小さ
いスポット径に集束させ、高密度読取りを行うことがで
きる。

【００４７】本実施例においてレーザ光74が照射された
蓄積性蛍光体シート11の部分からは、その部分に蓄積記
録された画像情報に応じた輝尽発光光88が発せられる。
この輝尽発光光88は励起光照射位置から無指向性の光と
して発するが、励起光照射位置から焦点距離ｆだけ離し
て配された集光レンズ87を通過することにより平行光と
なる。平行光となった輝尽発光光88は、スピナーの偏向
ミラー86で反射された後、ダイクロイックミラー81に入
射して反射される。ダイクロイックミラー81によって反
射された輝尽発光光88の光路には、この輝尽発光光88を
集束させる検出レンズ89が設けられており、輝尽発光光
88はこの検出レンズ89により集束して、フォトマルチプ
ライヤー89に入射する。また、輝尽発光光88の検出レン
ズ89による集束位置には、画像情報として必要な範囲内
の輝尽発光光88のみを通過させる大きさの開口91ａを有
する開口板91が配されている。蓄積性蛍光体シート11に
入射したレーザ光74の一部がシート表面において反射
し、この反射光が集光レンズ等の装置内の部材に当たっ
て再度反射されて蓄積性蛍光体シート11の所定のレーザ
光照射位置以外の部分を励起すると、これらの部分から
は輝尽発光光が生じるが、これらの輝尽発光光は集光レ
ンズ87や検出レンズ89を経ることによって、所定の位置
から発せられた輝尽発光光とは異なった位置に導かれ
る。したがってこれらの輝尽発光光は開口板91によりカ
ットされ、フォトマルチプライヤー90に入射することが
防止される。このように開口板91を設けたことにより、
本装置においては、反射励起光や蓄積性蛍光体シートに
おける散乱励起光により生じた輝尽発光光をカットし、
精度の高い画像情報の読取りを行うことができる。

【００４８】なお、蓄積性蛍光体シート11上で反射し、
集光レンズ87を通過したレーザ光74が、輝尽発光光88と
ともに開口板91の開口91ａを通過してしまうことが考え
られるので、フォトマルチプライヤー90の受光面上には
輝尽発光光88の波長領域の光のみを選択的に透過させる
フィルタが設けられており、開口91ａを通過したレーザ
光74をカットするようになっている。フォトマルチプラ
イヤー90は入射した輝尽発光光88を光電的に読み取っ
て、読取画像信号を出力する。この読取画像信号は、前
述した画像処理手段63において処理された後、ＣＲＴ、
光走査記録装置等の再生手段64に入力され、放射線画像
が可視像としてＣＲＴに表示されたりハードコピーとし
て再生される。

【００４９】以上述べたようにして放射線画像情報の読
取りが終了する時点で、プラテン71はシート11が供給さ
れた位置まで移動しており、読取り終了後この位置で停
止される。蓄積性蛍光体シート11がプラテン71からシー
ト搬送系上に送り出される。

【００５０】上述したように読取りが終了した蓄積性蛍
光体シート11は、図示しないシート搬送手段に搬送さ
れ、消去手段に送られる。

【００５１】図５(a) ，(b) は消去手段を表す図であ
る。図５(a) に示すように消去手段92は、２つの消去用
光源93ａ，93ｂを有するものであり、消去用光源93ａは
シート11の部分11Ａに照射されて、シート11の部分11Ａ
の残存電子線エネルギーを放出させる。一方、消去用光
源93ｂはシート11の部分11Ｂに照射され、シート11の部
分11Ｂの残存可視光エネルギーを放出させる。なお、消
去手段92には、各消去用光源93ａ，93ｂの光が互いに干
渉しないように遮光板94が設けられている。

【００５２】なお、消去手段は、図５(a) に示すよう
に、２つの消去用光源93ａ，93ｂを有するもののみでな
く、図５(b) に示すように、１つの消去用光源95を設
け、シート11の部分11Ａ，11Ｂと対応するようなフィル
タ96ａ，96ｂを設け、消去用光源95から発せられた光を
シート11の各部分11Ａ，11Ｂの残存エネルギーを放射で
きるような波長の光として、蓄積性蛍光体シート11の残
存電子線エネルギーおよび残存可視光のエネルギーを放
出させるようにしてもよい。

【００５３】上述したように、残存エネルギーが放出さ
れた蓄積性蛍光体シート11は再度、電子顕微鏡像の記録
に供されることとなる。

【００５４】なお、上述した実施例においては、画像読
取装置は図４に示したものに限定されるものではなく、
例えば図６に示すような読取装置としてもよいものであ
る。

【００５５】図６は、本発明による電子顕微鏡画像読取
装置の別の実施例を表す図である。なお、図６において
は、簡単のためフォトマルチプライヤー、スピナー、ミ
ラーおよびダイクロイックミラーのみ番号に「′」を付
して示し、詳細な説明は省略する。

【００５６】図６に示すように画像読取装置70′は、そ
れぞれ電子顕微鏡像読取用のＨｅ−Ｎｅレーザ100 とナ
ンバリング情報読取用のＩＲレーザ101 の２つの光源を
切り換え可能に有するものである。また、フォトマルチ
プライヤー90′の入射面には、青色フィルタ102 Ａと赤
色フィルタ102 Ｂとからなるフィルタ102 が配されてい
る。

【００５７】まず、蓄積性蛍光体シート11からナンバリ
ング情報を読み取る際には、ＩＲレーザ101 から光を発
し、フィルタ102 を赤色フィルタ102 に切り換えて、蓄
積性蛍光体シート11の部分11Ｂから発せられた輝尽発光
光をフォトマルチプライヤー90′に集光する。次いでシ
ート11から電子顕微鏡像を読み取る際には、光源を切り
換えてＨｅ−Ｎｅレーザ100 から光を発し、フィルタ10
2 を青色フィルタ102Ａに切り換えて、蓄積性蛍光体シ
ート11の部分11Ａから発せられた輝尽発光光をフォトマ
ルチプライヤー90′に集光するものである。フォトマル
チプライヤー90′は前述したように、入力された輝尽発
光光を光電的に読み取り、読取画像信号を出力する。こ
の読取画像信号は前述した画像処理手段63において処理
された後、再生手段64に入力されて、可視像として再生
される。

【００５８】なお、上述した実施例においては、蓄積性
蛍光体シートを、電子顕微鏡像用の蓄積性蛍光体を設け
た部分と、可視像用の蓄積性蛍光体を設けた部分とに分
けているが、電子線エネルギーと可視光エネルギーとを
ともに蓄積記録可能な蓄積性蛍光体（例えば、前述した
ＳｒＳ：Ｅｕ，Ｓｍ、ＣａＳ：Ｅｕ，Ｓｍ等）をシート
の全面に設けるようにしてもよい。このようにすれば、
読取装置において情報読取手段を別個に設ける必要がな
く、また消去手段においても、消去用光源を２つ設けた
り、フィルタを設けたりする必要がなくなり好ましい。

【００５９】また、上記実施例においては、蓄積性蛍光
体シートに対する電子顕微鏡像およびナンバリング情報
の記録および読取りについて説明したが、写真フイルム
も蓄積性蛍光体シートと同様にして電子顕微鏡像および
ナンバリング情報が記録される。なお、電子顕微鏡像お
よびナンバリング情報が記録された写真フイルムは、図
示しない現像手段により現像され、可視像が得られるも
のである。

【００６０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
る電子顕微鏡像記録読取方法および装置は、ナンバリン
グ情報を可視光により蓄積性蛍光体シートに書き込むよ
うにしたため、写真フイルムと蓄積性蛍光体シートとを
混在させて使用することができる。さらに、ナンバリン
グ情報を蓄積性蛍光体シートおよび写真フイルム自体に
記録することができるため、ナンバリング情報を他の記
録手段に記録したときのように、ナンバリング情報と電
子顕微鏡像との対応付けを誤るという問題もなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に用いられる蓄積性蛍光体シートの一実
施例を表す図

【図２】本発明による電子顕微鏡像記録装置の実施例を
表す図

【図３】本発明による電子顕微鏡像読取装置の実施例を
表すブロック図

【図４】本発明による電子顕微鏡像読取装置の実施例を
表す図

【図５】本発明による消去手段を表す図

【図６】本発明による電子顕微鏡像読取装置の別の実施
例を表す図

【符号の説明】

１ 電子顕微鏡 ２ 電子線 ９ 電子顕微鏡の結像面 10 電子顕微鏡像記録装置 11 蓄積性蛍光体シート 12 供給用マガジン 13 センサ供給部 14 記録部 15 受納用マガジン 16 センサ受納部 20 シート供給アーム 22 シート供給ローラ 23、28ａ、28ｂ 給排ローラ 25 シート送出しローラ 27 シート送出しアーム 50 電子線検出器 61 情報読取手段 62 情報制御手段 63 画像処理手段 64 再生手段 71 プラテン 71ａ 円筒面 73 Ｈe −Ｎe レーザ 74，74a ，74b レーザ光 79 光検出器 81 ダイクロイックミラー 82 集束レンズ 83 開口板 84 光検出器 85 スピナー 86 偏向ミラー 86Ａ スピンドルモータ 87 集光レンズ 88 輝尽発光光 89 検出レンズ 90 フォトマルチプライヤー 91 開口板 96ａ 開口

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線エネルギーを蓄積するとともに、
   一部に可視光により書込み可能な部分を有する蓄積性蛍
   光体シートに、試料を透過した電子線を照射することに
   より前記試料の電子顕微鏡像を真空状態で蓄積記録する
   とともに、該電子顕微鏡像のナンバリング情報を前記部
   分に可視光で蓄積記録し、 次いで、前記蓄積性蛍光体シートの前記一部に光照射あ
   るいは加熱を行って蓄積された前記可視光のエネルギー
   を光として放出させ、 該放出された放出光を光電的に読み取って前記ナンバリ
   ング情報を担持する画像信号を得、 該ナンバリング情報を担持する画像信号に基づいて前記
   蓄積性蛍光体シートから前記電子顕微鏡像を表す画像信
   号を得る際の読取条件を決定し、 その後、該読取条件に基づいて、前記蓄積性蛍光体シー
   トに光を照射して、該蓄積性蛍光体シートに蓄積記録さ
   れている前記電子線のエネルギーを光として放出させ、
   該放出された放出光を光電的に読み取って前記電子顕微
   鏡像を表す画像信号を得ることを特徴とする電子顕微鏡
   像記録読取方法。
2. 【請求項２】 電子線エネルギーを蓄積するとともに、
   一部に可視光により書込み可能な部分を有する蓄積性蛍
   光体シートおよび電子線エネルギーを記録する写真フイ
   ルムを選択的に支持する支持部と、該支持部に支持され
   た前記蓄積性蛍光体シートまたは前記写真フイルムに前
   記試料を透過した電子線を照射することにより前記試料
   の電子顕微鏡像を真空状態で記録する電子顕微鏡像記録
   部と、該電子顕微鏡像のナンバリング情報を前記部分ま
   たは前記写真フイルムの一部に可視光で記録する情報記
   録部とからなる記録手段と、 該記録手段により前記電子顕微鏡像および前記ナンバリ
   ング情報が蓄積記録された前記蓄積性蛍光体シートの前
   記一部に、光照射あるいは加熱を行って蓄積された前記
   可視光のエネルギーを光として放出させ、該放出された
   放出光を光電的に読み取って前記ナンバリング情報を担
   持する画像信号を得るナンバリング情報読取手段と、 該ナンバリング情報読取手段により読み取られた前記ナ
   ンバリング情報を担持する画像信号に基づいて、前記蓄
   積性蛍光体シートから前記電子顕微鏡像を表す画像信号
   を得る際の読取条件を決定する読取条件決定手段と、 該読取条件決定手段により決定された読取条件に基づい
   て、前記蓄積性蛍光体シートに光を照射して、該蓄積性
   蛍光体シートに蓄積記録されている前記電子線のエネル
   ギーを光として放出させ、該放出された放出光を光電的
   に読み取って前記電子顕微鏡像を表す画像信号を得る電
   子顕微鏡像読取手段とからなることを特徴とする電子顕
   微鏡像記録読取装置。
3. 【請求項３】 電子線エネルギーを蓄積するとともに、
   一部に可視光により書込み可能な部分を有する蓄積性蛍
   光体シートおよび電子線エネルギーを記録する写真フイ
   ルムを選択的に支持する支持部と、該支持部に支持され
   た前記蓄積性蛍光体シートまたは前記写真フイルムに前
   記試料を透過した電子線を照射することにより前記試料
   の電子顕微鏡像を真空状態で記録する電子顕微鏡像記録
   部と、該電子顕微鏡像のナンバリング情報を前記部分ま
   たは前記写真フイルムの一部に可視光で記録する情報記
   録部とからなることを特徴とする電子顕微鏡像記録装
   置。