JPS61240546A

JPS61240546A - 電子顕微鏡像記録読取方法

Info

Publication number: JPS61240546A
Application number: JP60081798A
Authority: JP
Inventors: Nobufumi Mori; 信文森; Kenji Takahashi; 健治高橋; Yuichi Hosoi; 雄一細井
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1985-04-17
Filing date: 1985-04-17
Publication date: 1986-10-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の分野）本発明は電子顕微鏡像の記録読取方法に関するものであ
り、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、また
各種画像処理可能に電気信号で読み取るようにし、そし
て電子顕微鏡像が高速で再生されるようにした記録読取
方法に関するものである。

（発明の技術的背景および先行技術）従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後熱平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。

したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後熱平面を
投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察される
。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを配
置しておりば、この中間レンズの焦点距離調節により、
上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随意に
得られる。

上述のＪこうにして形成される拡大像あるいは回折パタ
ーン（以下、一括して透過電子線像と称する）を観察す
るため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィル
ムを配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメ
ージインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投
影するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に
対して感度が低い上用像処理が面倒であるという欠点を
有し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合、
画像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいという
問題がある。

また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等〉等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してから］ンビコータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。

上記のような事情に鑑みて本出願人は、電子顕微鏡像を
高感度、高画質で記録再生可能で、しかも各種処理が容
易となるように、顕微鏡像を担持する電気信号が直接前
られる、新しい電子顕微鏡像記録再生方法を提案した（
特願昭５９−２１４６８０号等）。この電子顕微鏡像記
録再生方法は基本的に、電子線エネルギーを蓄積する２
次元センサに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積
記録し、次いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を
行なって蓄積されたエネルギーを光として放出させ、こ
の放出光を光電的に検出して画像信号を得、この画像信
号を用いて試料の透過電子線像を再生するものである。

ところが上記のような記録再生方法によって電子顕微鏡
像を再生する場合、視野探し操作を、従来から行なわれ
てきたように、電子顕微鏡の結像面に螢光スクリーンを
配し、この螢光スクリーンに映し出された画像を児なが
ら行なうという手法をとると、電子線露光量を上げなけ
ればならず、試料が損傷しやすくなるという問題がある
。

（発明の目的）そこで本発明は、試料を損傷させず、かつ簡便、短時間
に視野探しを行なうことのできる電子顕微鏡像記録読取
方法を提供することを目的とするものである。

（発明の構成）本発明の電子顕微鏡像記録読取方法は、前述したような
２次元センサに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄
積記録し、次いで該２次元センサに光照射あるいは加熱
を行なって蓄積されたエネルギーを光として放出させ、
この放出光を光電的に検出して画像信号を得るにうにし
た電子顕微鏡像記録読取方法において、視野探し用モニ
タ画像を再生するための画像信号を得るモニタ画像読み
を、最終出力画像を再生するだめの画像信号を得る本読
みよりも高速で行なうようにしたことを特徴とするもの
である。

上記の２次元センサとは、電子線露出を受けたときその
エネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄積し、後に外
部から刺激を与えると蓄積しているエネルギーの少なく
とも一部を光、電気、音等の検出可能な形態で放出する
能力を持つ材料からなるものである。

上記２次元センサとして具体的には、例えば特開昭５５
−１２４．２９号、同５５−１１６３４０号、同５５−
１６３４７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１０
４６４５号公報等に示される蓄積性螢光体シートが特に
好適に用いられうる。

すなわち、ある種の螢光体に電子線等の放射線を照射す
るとこの放射線のエネルギーの一部がその螢光体中に蓄
積され、その後その螢光体に可視光等の励起光を照射す
ると、蓄積されたエネルギーに応じて螢光体が螢光〈輝
尽発光）を示す。このような性質を示す螢光体を蓄積性
螢光体と言い、蓄積性螢光体シートとは、上記蓄積ｆ１
螢光体からなるシート状の記録体のことであり、一般に
支持体とこの支持体上に積層された蓄積性螢光体層どか
らなる。蓄積性螢光体層は蓄積性螢光体を適当な結合剤
中に分散させて形成したものであるが、この蓄積性螢光
体層が自己支持性である場合、それ自体で蓄積性螢光体
シートとなりつる。なお、この蓄積性螢光体シー１〜を
形成するための輝尽性螢光体の例は、前記特願昭５９−
２１４６８０号明細書に詳しく記載されている。

また、」：述の２次元センサとして、例えば特公昭５５
−４７７１９号、同５５−４．７７２０号公報等に記載
されている熱螢光体シー］・を用いることもできる。こ
の熱螢光体シートは主として熱の作用によって蓄積して
いる放射線エネルギーを熱螢光として放出する螢光体（
熱螢光体）からなるシート状の記録体である。

（作　　用）上述のように、モニタ画像読みを本読みＪ：りも高速で
行なえば、このモニタ画像読みの所要時間が短縮され、
視野探しに要する時間が短縮されうる。このように高速
読取りを行なって得られた画像信号に基づいて再生され
るモニタ画像は、本読みの画像信号から再生される最終
出力画像よりも低画質のものとなりやすい。しかしこの
モニタ画像は、最終出力画像の視野範囲を決定するため
に・　　視野範囲が識別できる程度の画質を備えてさえ
いれば、何ら問題は無い。

（実施態様）以下、図面を参照して本発明の実施態様を詳細に説明す
る。

第１図は本発明の第１実施態様による電子顕微鏡像記録
読取装置の大略を示すものである。電子顕微鏡１の鏡体
部１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃３と
、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ
等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料台５
と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影レ
ンズ７とを有してなる。試料台５上に載置された試料８
を透過した電子線２は上記対物レンズ６にＪｚり屈折さ
れ、該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。

この拡大散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面９に
結像投影される（図中の８６）。

上記鏡体部１ａの下方には、本発明による電子顕微鏡像
記録読取装置１０が配置されている。この電子顕微鏡像
記録読取装置１０は、鏡体部１ａ内の前記結像面９に固
定された蓄積性螢光体からなる第１の２次元センサ（以
下、蓄積性螢光体シー１〜１１という）と、励起光源１
２および光走査系１３からなる第１の励起手段と、前記
鏡体部１ａの周壁に設けられた透光窓１４を介して上記
第１の蓄積性螢光体シート１１に対向するように配され
た第１のフォトマル（光電子増倍管）１５と、第１の消
去光源１６とを有している。

上記蓄積性螢光体シート１１は前述したような蓄積性螢
光体が透明支持体上に層成されてなるものである。また
励起光ｍ１２は一例としてＩ」ｅ−Ｎ　ｅレーザ、半導
体レーザ等からなり、光走査系１３は第１および第２の
光偏向器１３ａ、１３ｂと、固定ミシー１３ｃとからな
る。第１および第２の光偏向器１３ａ、　１３ｂとして
はそれぞれ、ガルバノメータミラー、ポリゴンミラー、
ホログラムスキャナ、へ〇Ｄ等の公知の光偏向器が使用
されうる。励起光源１２から射出された励起光ど−ム１
２ａは第１の光偏向器１３ａにより偏向されるとともに
、第２の光偏向器１３ｂにより上記偏向の方向と直角な
方向（図の矢印六方向）に偏向され、例えば鉛ガラス等
が嵌め込まれた透光窓２１を透過して鏡体部１ａ内に入
射し、固定ミラー１３ｃにおいて反射して前記蓄積性螢
光体シート１１上に入射する。このようにして蓄積性螢
光体シートは光ビームによりＸ−Ｙ両方向に走査される
。なお図示はしないが、励起光源１２から発せられた励
起光ビーム１２ａは、蓄積性螢光体シート１１が発する
輝尽発光光（後に詳述する）の波長領域をカットするフ
ィルターを通過させ、ビームエキスパンダーによりビー
ム径を調整した後、光偏向器１３ａ、　１３ｂで偏向さ
れ、次いでｆθレンズを通過させて均一なビーム径とな
され蓄積性螢光体シートに入射されるのが好ましい。

また前記消去光源１６は蓄積性螢光体シート１１の励起
波長領域に含まれる光を発生づるものである。

そして上記第２の光偏向器１３ｂど固定ミラー１３ｃと
の間において励起光ビーム１２ａの光路中に入る位置と
、該光路から外れた位置とをとりうるミラー１７が配設
されている。消去光源１６が発する消去光１６ａはレン
ズ１８によって集光され、上記ミラー１７が励起光ビー
ム１２ａの光路中に入る位置に設定されていれば、該ミ
ラー１７おＪ、び固定ミラー１３Ｇにおいて反射して、
蓄積性螢光体シート１１を全面的に照射する。また対物
レンズ７と蓄積性螢光体シート１１との間において鏡体
部１ａには、電子線２を遮断しうるシャッター１９が設
【プられ、蓄積性螢光体シート１１と第１のフォトマル
１５との間には光シヤツター２４が設けられている。そ
して前記透光窓１４には、蓄積性螢光体シート１１が発
する輝尽発光光のみを透過さゼ、前記励起光ビーム１２
ａを取り除く光学フィルターを備えたガラス２０が嵌着
されている。また鏡体部１ａの内部は通常の電子顕微鏡
におけるのと同様に、上記蓄積性螢光体シート１１が配
置されている部分も含めて、電子顕微鏡稼動中は真空ポ
ンプ等の公知の手段により真空状態に維持される。

電子顕微鏡像記録読取装置１０はさらに、上記のように
真空状態に維持される部分内において、シート搬送テー
ブル３０と、このシート搬送テーブル３０に沿って配列
されたシート搬送ローラ３１と、第２の消去光源３２と
、集光体３３と、この集光体に光学的に接続された第２
の７オトマル３４と、上記シート搬送テーブル３０上に
載置された第２の蓄積性螢光体シート３５とを有してい
る。上記第２の蓄積性螢光体シート３５はシート搬送ロ
ーラ３１を正転、逆転さぜることにより、シート搬送テ
ーブル３０上を図中左右方向に搬送されるようになって
いる。

また前記励起光源１２と同様の励起光［３６と、前記光
偏向器１３ａあるいは１３ｂと同様の光偏向器３７とか
らなる第２の励起手段が設けられている。上記励起光源
３６から射出された励起光ビーム３６ａは、光偏向器３
７により偏向され、透光窓３８を透過して、蓄積性螢光
体シート３５をその搬送方向と直角な方向に走査するよ
うになっている。またシート搬送テーブル３０には、固
定された前記第１の蓄積性螢光体シート１１に対向する
部分において開Ｉ＝Ｈｏａが設けられ、第２の蓄積性螢
光体シー１〜３５がこの開口３Ｏａ上から図中左方に退
出すれば、蓄積性螢光体シート１１へ電子線２が照射さ
れうるようになっている。

次に上記構成の電子顕微鏡像記録読取装置１０による電
子顕微鏡像の記録、読取りについて詳しく説明する。ま
ず視野探しを行なうため、第２の蓄積性螢光体シート３
５は開口３０ａ上から上記のように退出した位置（第１
図図示の位置）に置かれる。

そして前述のシャッター１９を開くと（第１図図示の状
態）、結像面９に固定された第１の蓄積ｆ’ｌ螢光体シ
ート１１に、試料８の拡大散乱像８ｂ＠担持する電子線
２のエネルギーが蓄積される。この電子線露光の際には
、光シヤツター２４は閉じられていることが好ましい。

次いでシャッター１９が閉じられ光シヤツター２４は開
かれて、続いて前述のように励起光源１２から射出され
、Ｘ−Ｙ両方向に偏向された励起光ビーム１２ａがシー
ト１１上に入射せしめられる。このように偏向された励
起光ビーム１２ａにより蓄積性螢光体シート１１は２次
元的に走査され、該シート１１は上記電子線エネルギー
のレベルに応じた強度の輝尽発光光を放出する。この輝
尽発光光はシート１１の裏側から、上記励起光ビーム１
２ａを取り除く光学フィルターを備えたガラス２０を介
して第１のフォトマル１５によって受光され、輝尽発光
光量が光電的に読み取られる。

上記輝尽発光光を第１のフォトマル１５によって読み取
って得られた電気信号は、画像処理回路２２に伝えられ
必要な画像処理が施された上、モニタ画像再生装置２３
へ送られる。このモニタ画像再生装置２３としては通常
、ＣＲＴ等のディスプレイ装置が用いられる。このよう
に前記輝尽発光光量に対応した電気信号を用いて画像を
出力することにより、上記輝尽発光光が担持する前記拡
大散乱像８ｂが再生される。

電子顕微鏡オペレータは、上記のようにしてモニタ画像
再生装置２３に再生された拡大散乱像８ｂ（モニタ画＠
）の視野を観察し、それに応じて試料台５上の試ｌ３１
８の位置を調整し、所望の視野範囲の拡大散乱＠８ｂが
得られるようにする。

なお以上説明した蓄積性螢光体シート１１からの画像読
取りは、後述する蓄積性螢光体シート３５からの画像読
取りにおけるよりも十分高速で行なわれるようにする。

そのためには、励起光ビーム１２ａのＸ−Ｙ方向走査を
高速で行ない、あるいは読取りをより大きな画素単位で
行なえばよい。

上述のモニタ画像読取りが終了した後、第１の７オトマ
ル１５と光学フィルターガラス２０の間に設けられた光
シヤツター２４が閉じられ、ミラー１７は励起光ビーム
１２ａの光路中に入る位置に立てられ、そして第１の消
去光源１６が点灯される。それによりシート１１の表面
には、該第１の消去光源１６が発する消去光１６ａが照
射される。蓄積性螢光体シート１１に前記のように励起
光ビーム１２ａが照射されても、該シート１１に蓄積さ
れていた電子線エネルギーがすべて放出される訳ではな
く、残像が残る場合がある。しかしここで上記のように
蓄積性螢光体シート１１に消去光を照射すれば、上記残
像が消去され、蓄積性螢光体シート１１が再使用可能と
なる。またこの消去光照射により、シート１１の螢光体
中に不純物として含まれている２２８Ｒａなどの放射性
元素によるノイズ成分も放出される。上記消去光源１６
としては、例えば特開昭５６−１１３９２号に示されて
いるようなタングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外
線ランプ、キセノンフラッシュランプあるいはレーザ光
源等が任意に選択使用され得る。また読取り用の励起光
源１２を消去用に兼用してもよい。

以上の操作を何回か行なって、モニタ画像再生装置２３
に、所望の視野範囲の拡大散乱像８ｂが再生されるよう
になったら、次に最終出力画像を得るための記録と本読
みを行なう。まず前記シャッター１９が閉じられ、シー
ト搬送テーブル３０上の第２の蓄積性螢光体シート３５
は、シート搬送ローラ３１を回転駆動させることにより
、開口３Ｏａ上の位置に移動され、ここに静置される。

次いでシャツター１９が開かれると、前記モニタ画像の
記録の場合と同様に、試料８の拡大散乱像８ｂを担持す
る電子線２のエネルギーが蓄積性螢光体シート３５に蓄
積される。次いでシャッター１９が閉じられ、蓄積性螢
光体シート３５は上記の場合とは反対方向にシート搬送
ローラ３１を回転駆動させることにより、図中左方に所
定速度で搬送される。このどき前）ホしたようにして励
起光ビーム３６ａが蓄積性螢光体シート３５を走査しく
主走査）、また該シー１〜３５が移送されて副走査がな
されることにより、このシート３５は励起光ビーム３６
ａにより２次元的に走査される。それにより蓄積性螢光
体シート３５は、拡大散乱像８ｂを担持する輝尽発光光
を放出する。

この輝尽発光光は、蓄積性螢光体シー１−３５の全幅に
亘って延びる入射端面を有する集光体３３によって集光
され、第２の７オトマル３４により光電的に検出される
。

上記輝尽発光光を第２のフォトマル３４によって読み取
って得られた電気信号は、画像処理回路３９に入力され
必要な画像処理が施された上で、画像再生装置４０に送
られる。この画像再生装置４０は、前記モニタ画像再生
装置２３と同様にＣＲＴ等のディスプレイであってもよ
いし、また感光フィルムに光走査記録を行なってハード
コピーを得るような装置でもよい。このように輝尽発光
光量に対応した電気信号を用いて画像を出ツノすること
により、上記輝尽発光光が担持する拡大散乱像８ｂが最
終出力画像として再生される。そしてこの拡大散乱像８
ｂは、前述の視野探し操作を行なったことにより、所望
の視野範囲のものとなる。なお上記蓄積性螢光体シート
３５からの画像読取りは、前述した蓄積性螢光体シート
１１からの画像読取りにお（プるよりも低速で行ない、
十分に高画質の最終出力画像が得られるようにする。そ
のためには、励起光ビーム３６ａの主走査速度、副走査
速度を比較的低く設定し、またより小さな画素単位で読
取りを行なうようにすればよい。

上記読取りが終了した後、蓄積性螢光体シート３５は第
２の消去光源３２に対向する位置まで搬送され、そこで
該消去光源３２から、前述したような消去光の照射を受
け、再使用可能な状態になる。

なお最終的に出力される拡大散乱像８Ｆ）を蓄積性螢光
体シート３５に蓄積記録するに際しては、この拡大散乱
像８ｂのピントを正しく合わせることが必要になる。そ
のためには、前記モニタ画像を観察し、それに応じて電
子顕微鏡１のピント合わけ“ツマミ（図示せず）を操作
するようにしてもよい。その際、読取領域の一部又は数
ケ所を視野探しのだめの読取よりも密に読み取れば、短
時間のうちに正確なピント合せを可能とする画像が得ら
れ、好ましい。あるいは視野範囲が決定した後、蓄積性
螢光体シート３５を用いて画像再生装置４０に狭い範囲
のピント合わせ用画像を再生し、それを観察して行なっ
てもよい。

以上説明したようにこの記録読取装置１０においては、
視野探しのだめのモニタ画像を高速で読み取るようにし
ているから、この視野探しに要する時間を確実に短縮す
ることができる。

次に本発明の第２実施態様について説明する。

第２図は本発明の第２実施態様による電子顕微鏡像記録
読取装置５０を示すものである。なおこの第２図におい
て、前記第１図中の要素と同等の要素には同番号を付し
、それらについての説明は省略する〈以下、同様〉。こ
の第２図の装置においてはモニタ画像記録のために、可
撓性を有する蓄積性螢光体シート１１が一例として４枚
使用され、それらはエンドレスベルト５１に固定されて
いる。シャッター１９が開かれ、拡大散乱像８ｂを担持
する電子線２のエネルギーが蓄積性螢光体シート１１に
蓄積された後、上記エンドレスベルト５１が回転され、
その蓄積性螢光体シート１１はエンドレスベルト５１の
下側において所定速痕で搬送される。それとともに蓄積
性螢光体シート１１は、励起光源１２から射出され光偏
向器５２により偏向された励起光ビーム１２ａの走査を
受（プる。このとき蓄積性螢光体シート１１から発せら
れる輝尽発光光は、前記第１図の装置の集光体３３と第
２のフォトマル３４と同様の、集光体５３、第１の７オ
トマル５４を用いて光電的に検、出される。この第１の
フォトマル５４の出力信号は、画像処理回路２２を通し
てモニタ画像再生装置２３に送られ、前述した視野探し
用モニタ画像の再生に供される。上記読取りが終了した
後、蓄積性螢光体シート１１は第１の消去光源５５に対
向する位置までさらに移送され、この消去光源５５から
前記消去光の照射を受ける。

またこの第２図の装置においては、シート供給部５６と
シート受納部５７とが設けられ、最終出力画像記録用の
第２の蓄積性螢光体シー１〜３５は、予め上記シート供
給部５６に集積収納されるようになっている。そしてこ
れら集積された蓄積性螢光体シート３５は、−例として
該シート３５の端部を把持するシート供給アーム４５に
よって１枚ずつ取り出され、シート搬送ローラ３１によ
り図中右方に搬送される。そしてシート搬送テーブル３
０の開口３０ａ上において静置され、前述したようにし
て電子線２の照射を受ける。こうして最終出力画像とし
ての拡大散乱像８ｂを蓄積記録した蓄積性螢光体シート
３５は、その後は前記第１図の装置におけるのと同様に
して画像読取り（本読み）、消去光照射を受け、シート
受納部５７上に集積される。シート供締部５６にセット
された蓄積性螢光体シート３５がすべて使用されたなら
ば、シート受納部５７のハツチ５８を開けて蓄積性螢光
体シート３５を取り出し、ハツチ５９を聞りてこれらの
シート３５をシート供給部５６に再セットする。なおこ
のような装置においては、ハツチ５８．５９を開けて電
子顕微鏡像記録読取装置５０内の真空状態を破壊しても
、電子顕微鏡鏡体部１ａの内部の真空状態が破壊されイ
ｆいように、該鏡体部１ａと記録読取装Ｎ５０との間に
、公知の遮断部材を設けるのが好ましい。また蓄積性螢
光体シート３５の残像およびノイズの消去は、該シート
３５をシート受納部５７から取り出した後、消去専用装
置において行なうようにしてもよい。

この第２図の装置においても、モニタ画像読みを、シー
ト搬送テーブル３０上における本読みよりも高速で行な
うようにすれば、前述と同様の効果が得られる。

次に本発明の第３実施態様について説明する。

第３図は本発明の第３実施態様による電子顕微鏡像記録
読取装置６０を示すものである。この記録読取装置６０
は、前記第２図の記録読取装置５０から、第２の消去光
源３２、集光体３３、第２のフォトマル３４、励起光源
３６、光偏向器３７が除かれてなるものである。したが
って、最終的に出力される拡大散乱像８ｂを蓄積記録し
た蓄積性螢光体シー１〜３５は、画像読取り（本読み）
と消去光照射を受けないで、シート受納部５７に収納さ
れる。そして拡大散乱像記録済みの蓄積性螢光体シート
３５が何枚かシート受納部５７に収納されたならば、ハ
ツチ５８を同番プてぞれらを取り出し、本読み専用装置
にかけてＲ終出力画像を得る前記本読みを行なう。なお
この本読み専用装置は図示していないが、前記第１図の
装置、あるいは第２図の装置において本読みを行なう読
取部と同様に形成すればよい。

この第３図の装置においても、モニタ画像読みを、上記
本読み専用装置におりる本読みよりも高速で行なうＪ：
うにすれば、前述と同様の効果が得られる。

なお、上記３つの実施態様においては、モニタ画像記録
用の第１の蓄積性螢光体シー１〜１１と、最終出力画像
記録用の第２の蓄積性螢光体シー１〜３５は、互いに別
のものが使用されているが、第２図に示されるエンドレ
スベルト５１のようなシート循環搬送手段を１つだ（プ
設け、そこに固定した蓄積性螢光体シートをモニタ画像
記録用、最終出力画像記録用に兼用してもよい。しかし
上記実施態様におけるように両用途の蓄積性螢光体シー
トが混在しないにうにしておけば、モニタ画像記録用に
は古くなった蓄積性螢光体シート、あるいはあまり性能
の良くない蓄積性螢光体シートを用いることができて経
済的である。

以上においては、視野探し用モニタ画像の読取部と最終
出力画像の読取部を別々に設【プた態様について説明し
たが、視野探し用モニタ画像と最終出力画像の読取りを
一つの読取部で行なってもよい。第４図はそのように構
成した本発明の第４実施態様による電子顕微鏡像記録読
取装置７０を示すものである。この第４図の装置におい
ては、Ｘ−Ｙ方向の走査速度をモニタ画像読取時と最終
出力画像読取時とで切り換えられるようにした駆動回路
７１が備えられており、第１図の装置について説明した
と同様にして視野探しが行なわれ、モニタ画像再生出力
装置２３に所望の視野範囲の拡大散乱像８ｂが再生され
るようになったら、蓄積性螢光体シート１１に消去光を
照射し、次に最終出力画像の拡大散乱像８ｂを担持する
電子線エネルギーを蓄積記録し、次いで前記駆動回路７
１を最終出力画像の読取モードに切り換えて最終出力画
像の読取りを行なう。また、前記の視野探し用モニタ画
像の読取りは高速で（叩ちにり低い励起エネルギーで）
行なわれるために、この読取りの終了後も蓄積性螢光体
シート１１にはまだ検出可能なｍの電子線エネルギーが
蓄積記録されている。従って、視野探しを行なって所望
の視野範囲の拡大散乱像８ｂをモニタ画像再生出力装置
２３に認めたら、再度蓄積記録操作（露出操作）を行な
うことなく、駆動回路７１を最終出力画像の読取モード
に切り換えて、前記視野範囲の拡大散乱像８ｂを担持し
ている蓄積性螢光体シート１１を走査し最終出力画像の
読取りを行なってもよい。

以上透過電子線による試料８の拡大散乱像を記録再生す
る実施態様について説明したが、本発明は、前述した試
料の回折パターンを記録再生するために適用することも
できる。第５図は試料８の回折パターン８Ｃを記録する
様子を示すものである。本実施態様において電子顕微鏡
８０は、対物レンズ６と投影レンズ７との間に中間レン
ズ８１を備えたものが使用され、対物レンズ７の後熱平
面に形成された試料８の回折パターン８Ｇは、上記後熱
平面に焦点を合わせた中間レンズ７１および投影レンズ
７により、結像面９に拡大投影される。この場合にも上
記結像面９に２次元センサとしての蓄積性螢光体シート
１１あるいは３５を配置すれば、該シート１１あるいは
３５に透過電子線２による上記回折パターン８Ｇの拡大
像が蓄積記録される。この蓄積記録された回折パターン
８Ｃは、前記第１〜４図で説明したのと全く同様にして
読取り可能であり、その読取り像はＣＲＴに表示したり
、あるいはハードコピーとして再生したりすることがで
きる。

なお、記録条件の変動による影響をなくしあるいは観察
性の優れた電子顕微鏡像を得るためには、蓄積性螢光体
シート１１に蓄積記録した透過電子線像（拡大散乱像あ
るいは拡大回折パターン）の記録状態、試料の性状、あ
るいは記録方法等にＪ：つて決定される記録パターンを
試料観察のための可視像の出力に先立って把握し、この
把握した蓄積記録情報に基づいてフォトマル１５の読取
ゲインを適当な値に調節し、あるいは適当な信号処理を
施すことが好ましい。また、記録パターンのコントラス
１〜に応じて分解能が最適化されるように収録スケール
ファクターを決定することが、観察性のすぐれた再生画
像を得るために要求される。

このように可視像の出力に先立って蓄積性螢光体シート
１１の蓄積記録情報を把握する方法として、例えば特開
昭５８−８９２４５号に示されているような方法が使用
可能である。すなわち試料８の観察のための最終出力画
像を得る読取り操作（本読み）の際に照射すべき励起光
のエネルギーよりも低いエネルギーの励起光を用いて、
前記本読みに先立って予め蓄積性螢光体シート３５に蓄
積記録されている蓄積記録情報を把握するための読取り
操作（先読み）を行ない、シートは３５の蓄積記録情報
を把握し、しかる後に本読みを行なって、前記先読み情
報に基づいて読取ゲインを適当に調節し、収録スケール
ファクターを決定し、あるいは適当な信号処理を施すこ
とができる。また、前記モニタ画像を再生するために蓄
積性螢光体シート１１から読み取った画像情報に基づい
て、上記の蓄積記録情報を把握することも可能である。

また、以上述べた蓄積性螢光体シート１１あるいは３５
に代えて熱螢光体シートを用いる場合、このシートから
蓄積エネルギーを加熱によって放出させるには、例えば
ＣＯ２レーザなどの熱線を放出する加熱源を用い、この
熱線で熱螢光体シートを走査すればよく、そのためには
例えば特公昭５５−４７７２０号公報等の記述を参考に
すればよい。

（発明の効果）以上詳細に説明した通り本発明によれば、蓄積性螢光体
シート等の２次元センサに視野探しおよび最終出力のた
めの電子顕微鏡像を蓄積記録するようにしたから、電子
顕微鏡像を高感度で記録することが可能になり、したが
って電子顕微鏡の電子線露光量を低減でき、試料の損傷
を少なくすることができる。しかも本発明においては電
子顕微鏡像が電気信号として読み取られるから、電子顕
微鏡像に階調処理、周波数強調処理等の画像処理を施す
ことも極めて容易になり、また前述したような回折パタ
ーンの処理や、３次元像の再構成、画像の２値化等の画
像解析も、上記電気信号をコンピュータに入力すること
により、従来に比べ極めて簡単かつ迅速に行なえるよう
になる。

さらに、電子顕微鏡像を蓄積記録する２次元センサは、
光照射、加熱等の処理を施すことにより再使用可能であ
るから、本発明によれば従来の銀塩写真システムを採用
する場合等に仕べ、より経済的に電子類ｍ鏡像を再生で
きる。

そして本発明においては、視野探し用モニタ画像を再生
するためモニタ画像読みを、最終出力画像を再生するた
めの本読みよりも高速で行なうようにしているので、視
野探しに要する時間を短縮し、最終出力画像を短時間の
うちに再生することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１．２．３および４図はそれぞれ、本発明の第１．２
．３および４実施態様方法により電子顕微鏡像記録読取
りを行なう装置を示す概略図、第５図は本発明方法が適
用される電子顕微鏡の他の例を示す概略図である。１．７０・・・電子顕微鏡　　２・・・電子線８・・・
試料　　　　　　　９・・・電子顕微鏡の結像面１０．
５０．６０・・・電子顕微鏡像記録読取装置１１．３５
・・・蓄積性螢光体シー１−１２．３Ｇ・・・励起光源
１２ａ、３６ａ・・・励起光ビーム　　１３・・・光走
査系１３ａ、　１３ｂ、　３７．５２　・・・光偏向器
１５．５４・・・第１のフォトマル１６．５５・・・第１の消去光源２３・・・モニタ画像再生装置３０・・・シート搬送テーブル３１・・・シート搬送ローラ　３２・・・第２の消去光
源３４・・・第２のフォトマル　４０・・・画像再生装
置４５・・・シート供給アーム　５１・・・エンドレス
ベル１〜Ｙ１・・・駆動回路（自発）手続補正層　　　　　　８特許庁長官　殿　　　　　　　　　　　昭和６１年１月
８日　　　　　′１、事件の表示　　　　　　　　　　
　　　　　　しＩ特願昭６０−８１７９８号２、発明の名称電子顕微鏡像記録読取方法３、補正をする者事件との関係　　　　　特許出願人任　所　　　神奈川県南足柄市中沼２１０番地名　称　
　　　富士写真フィルム株式会社４、代理人東京都港区六本木５丁目２番１号５、補正命令の日付　　　な　　しＯｒニア、補正の内容）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。）明細書箱６亘第２．１０，２０行、同第９頁第２行、
同第３０頁第１８行、同第３１頁第１行「視野探し」の
後に［および／またはビン１〜合わせ」を挿入する。・）同第９頁第８行「識別できる」の後に「、あるいはピント合わせのため
にピント状態が確認できる。」を挿入する。特許請求の範囲（１）　電子線エネルギーを蓄積する２次元セン−リ−
に、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次
いで前記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって
蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この放出光
を光電的に検出して画像信号を得る電子顕微鏡像記録読
取方法において、視野探しおよび／またはピント検査用
モニタ画像を再生するための画像信号を得るモニタ画像
読みを最終出力画像を再生するための画像信号を得る本
読みよりも高速で行なうことを特徴とする電子顕微鏡像
記録読取方法。（２）　前記本読みとモニタ画像読みとを、前記２次元
センサを真空状態に置いたままで行なうことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録読取方
法。（３）　前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを
用い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子線
を真空状態で蓄積記録し、次いで該蓄積性螢光体シート
を励起光で走査して螢光を放出さゼ、この放出された螢
光を光電的に検出刃ることを特徴とする特許請求の範囲
第１項または第２項記載の電子顕微鏡像記録読取方法。（４）　前記モニタ画像読みを、前記本読みにおけるよ
りも大きい画素単位で行なうことを特徴とする特許請求
の範囲第１項から第３項いずれか１項記載の電子顕微鏡
像記録読取方法。（５）　前記本読みとモニタ画像読みの少インくとも一
方を、前記２次元センサを電子顕微鏡像結像面に固定し
たまま行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項か
ら第４項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録読取方法
。（６）　前記本読みとモニタ画像読みとを、相異イする
２次元センサを用いて行なうことを特徴とする特許請求
の範囲第１項から第５項いずれか１項記載の電子顕微鏡
像記録読取方法。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前
記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積さ
れたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光電
的に検出して画像信号を得る電子顕微鏡像記録読取方法
において、視野探し用モニタ画像を再生するための画像
信号を得るモニタ画像読みを最終出力画像を再生するた
めの画像信号を得る本読みよりも高速で行なうことを特
徴とする電子顕微鏡像記録読取方法。
（２）前記本読みとモニタ画像読みとを、前記２次元セ
ンサを真空状態に置いたままで行なうことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録読取方法
。
（３）前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを用
い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子線を
真空状態で蓄積記録し、次いで該蓄積性螢光体シートを
励起光で走査して螢光を放出させ、この放出された螢光
を光電的に検出することを特徴とする特許請求の範囲第
１項または第２項記載の電子顕微鏡像記録読取方法。
（４）前記モニタ画像読みを、前記本読みにおけるより
も大きい画素単位で行なうことを特徴とする特許請求の
範囲第１項から第３項いずれか１項記載の電子顕微鏡像
記録読取方法。
（５）前記本読みとモニタ画像読みの少なくとも一方を
、前記２次元センサを電子顕微鏡像結像面に固定したま
ま行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第
４項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録読取方法。
（６）前記本読みとモニタ画像読みとを、相異なる２次
元センサを用いて行なうことを特徴とする特許請求の範
囲第１項から第５項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記
録読取方法。