JPH0552625B2

JPH0552625B2 -

Info

Publication number: JPH0552625B2
Application number: JP60005159A
Authority: JP
Inventors: Nobufumi Mori; Juichi Hosoi; Kenji Takahashi; Junji Myahara
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1985-01-16
Filing date: 1985-01-16
Publication date: 1993-08-05
Also published as: US4700071A; JPS61163549A

Description

【発明の詳細な説明】（発明の分野）本発明は電子顕微鏡像の記録再生方法に関する
ものであり、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度
で記録し、また各種画像処理可能に電気信号で再
生するようにした電子顕微鏡像の記録再生方法に
関するものである。

（発明の技術的背景および先行技術）従来より、試料を透過させた電子線を電界ある
いは磁界によつて屈折させて、試料の拡大像を得
る電子顕微鏡像が公知となつている。周知のよう
にこの電子顕微鏡においては、試料を透過した電
子線により対物レンズ後焦平面に試料の回折パタ
ーンが形成され、その回折線が再び干渉して試料
の拡大像が形成されるようになつている。したが
つて投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦
平面を投影すれば拡大された試料の回折パターン
が観察される。なお対物レンズと投影レンズとの
間に中間レンズを配置しておけば、この中間レン
ズの焦点距離調節により、上述の拡大像（散乱
像）あるいは回折パターンが随意に得られる。

上述のようにして形成される拡大像あるいは回
折パターン（以下、一括して透過電子線像と称す
る）を観察するため従来は一般に、投影レンズの
結像面に写真フイルムを配して透過電子線像を露
光させたり、あるいはイメージインテンシフアイ
アを配して透過電子線像を増幅投影するようにし
ていた。しかし写真フイルムは電子線に対して感
度が低い上現像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシフアイアを用いる場
合、画像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じや
すいという問題がある。

また上記のような透過電子線像に対しては、像
を見易くする等の目的で階調処理、周波数強調処
理、濃度処理、減算処理、加算処理等の画像処理
や、フーリエ解析法による３次元像の再構成、画
像の２値化および粒子径測定等のための画像解
析、さらには回折パターンの処理（結晶情報の解
析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等の処
理が施されることが多いが、このような場合従来
は、写真フイルムを現像して得た顕微鏡像をミク
ロフオトメータで読み取つて電気信号に変換し、
この電気信号を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピ
ユータにより処理するという煩雑な作業を行なつ
ていた。

上記のような事情に鑑みて本出願人は、電子顕
微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、しか
も各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持
する電気信号が直接得られる、新しい電子顕微鏡
像記録再生方法を提案した（特願昭59−214680号
等）。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、
電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次
いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を行な
つて蓄積されたエネルギーを光として放出させ、
この放出光を光電的に検出して画像信号を得、こ
の画像信号を用いて試料の透過電子線像を再生す
るものである。

上記２次元センサとして具体的には、例えば特
開昭55−12429号、同55−116340号、同55−
163472号、同56−11395号、同56−104645号公報
に示される蓄積性螢光体シートが特に好適に用い
られうる。すなわち、ある種の螢光体に電子線等
の放射線を照射するとこの放射線のエネルギーの
一部がその螢光体中に蓄積され、その後その螢光
体に可視光等の励起光を照射すると、蓄積された
エネルギーに応じて螢光体が螢光（輝尽発光）を
示す。このような性質を示す螢光体を蓄積性螢光
体と言い、蓄積性螢光体シートとは、上記蓄積性
螢光体からなるシート状の記録体のことであり、
一般に支持体とこの支持体上に積層された蓄積性
螢光体層とからなる。蓄積性螢光体層は蓄積性螢
光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもの
であるが、この蓄積性螢光体層が自己支持性であ
る場合、それ自体で蓄積性螢光体シートとなりう
る。なお、この蓄積性螢光体シートを形成するた
めの輝尽性螢光体の例は、前記特願昭59−214680
号明細書に詳しく記載されている。

また、上述の２次元センサとして、例えば特公
昭55−47719号、同55−47720号公報等に記載され
ている熱螢光体シートを用いることもできる。こ
の熱螢光体シートは主として熱の作用によつて蓄
積している放射線エネルギーを熱螢光として放出
する螢光体（熱螢光体）からなるシート状の記録
体であり、その製造法は上記蓄積性螢光体シート
と同様である。

電子顕微鏡の結像面に上記蓄積性螢光体シート
を配置して、該シートに透過電子線による電子顕
微鏡像を蓄積記録したならば、このシートを可視
光等の励起光で走査するか掃引加熱して螢光を生
ぜしめ、この螢光を光電的に読み取れば、透過電
子線像に対応する電気信号が得られる。こうして
得られた電気的画像信号を用いれば、CRT等の
デイスプレイに電子顕微鏡像を表示させることも
できるし、あるいはハードコピーとして永久記録
することもできるし、さらには上記画像信号を一
旦磁気テープ、磁気デイスク等の記憶媒体に記憶
させておくこともできる。

上記電子顕微鏡像記録再生方法においては、蓄
積性螢光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡
像を蓄積記録するようにしたから、電子顕微鏡像
を高感度で記録することが可能になり、したがつ
て電子顕微鏡の電子線露光量を低減でき、試料の
損傷を少なくすることができる。またこの方法に
おいては電子顕微鏡像に階調処理、周波数強調処
理等の画像処理を施すことも極めて容易になり、
また前述したような回折パターンの処理や、３次
元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上
記電気信号をコンピユータに入力することによ
り、従来に比べ極めて簡単かつ迅速に行なえるよ
うになる。

ところが、上記電子顕微鏡像記録再生方法によ
り電子顕微鏡像を記録再生する場合、記録が高感
度でなされるためか、スポツト状の画像が現れた
り、また散乱電子線または２次×線によると思わ
れるカブリが試料の電子顕微鏡像とともに再生さ
れてしまうことがある。

（発明の目的）そこで本発明は、上記不具合を生じるとのない
電子顕微鏡像記録再生方法を提供することを目的
とするものである。

（発明の構成）本発明の電子顕微鏡像記録再生方法は、前述し
たような２次元センサに、試料を透過した電子線
を真空状態で蓄積記録し、次いで該２次元センサ
に光照射あるいは加熱を行なつて蓄積されたエネ
ルギーを光として放出させ、この放出光を光電的
に検出して画像信号を得るようにした電子顕微鏡
像記録再生方法において、上記２次元センサに試
料を透過させない電子線を真空状態で蓄積記録
し、次いでこの２次元センサから上記と同様にし
て蓄積エネルギーを光として放出させ、この放出
光を光電的に検出して参照画像信号を得るととも
に、この参照画像信号と上記画像信号の対応する
画素の信号間で演算を行なつて信号を得、この信
号によつて試料の電子顕微鏡像を再生することを
特徴とするものである。

（作用）上記参照画像信号と画像信号がれぞれ、電子顕
微鏡像のスポツト状の像やカブリを担持する成分
を含む場合、上記スポツト状の像やカブリを担持
する成分が打ち消されるような演算を行ない、こ
の演算によつて得られた信号を用いれば、上記ス
ポツト状の像やカブリが現れない電子顕微鏡像を
再生することができる。

（実施態様）以下、図面に示す実施態様に基づいて本発明を
詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施態様方法を実施する
電子顕微鏡像記録再生装置の大略を示すものであ
る。この電子顕微鏡像記録再生装置は、通常の電
子顕微鏡１の鏡体部１ａの下部に、少なくとも電
子顕微鏡像の露光時（記録時）は電子線像の結像
面と同一の真空系に属するように配置された２次
元センサとしての蓄積性螢光体シート１０、この
シート１０を真空状態に置いたまま励起で走査す
る励起手段、および前記シート１０から放出され
る輝尽発光光を光電的に検出する検出手段からな
る記録・読取部１ｂを設けてなるものである。こ
の鏡体部１ａ及び記録・読取部１ｂの一部（図中
ハツチングで示した枠の内部）は、電子顕微鏡の
稼動中、周知の手段によつて真空状態に保持され
る。

鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射出す
るフイラメント３ａを備える電子銃３と、電子線
２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ等
からなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料
台５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６
と、投影レンズ７とを有している。試料台５上に
載置された試料８を透過した電子線２は上記対物
レンズ６により屈折され、該試料８の拡大散乱像
８ａを形成する。この拡大散乱像８ａは投影レン
ズ７により、結像面９に結像投影される（図中の
８ｂ）。

一方、記録・読取部１ｂは、円筒形の駆動ロー
ル１０１と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛
けわたしたエンドレスベルト状の蓄積性螢光体シ
ート１０、He−Neレーザ、半導体レーザ等の励
起光源１１とこの励起光源１１から射出される励
起光ビーム１１ａをシート１０の幅方向に偏向さ
せるガルバノメータミラー等の光偏向器１２とか
らなる励起手段、及び励起光ビーム１１ａによつ
てシート１０から放出される輝尽発光光を集光す
る集光体１４の射出端面に設けられ、上記輝尽発
光光を励起光を取り除くフイルターを介して受光
し光電変換して電気信号に変えるフオトマル等の
光電変換器１５からなる検出手段を有している。
蓄積性螢光体シート１０は可撓性に富むエンドレ
スベルト状の支持体の表面に、前述のような蓄積
性螢光体の層を積層して形成されたものである。
このシート１０は駆動ローラ１０１と従動ローラ
１０２の間に掛けわたされ、駆動装置（図示せ
ず）によつて回転される駆動ローラ１０１により
矢印Ａ方向に回転可能である。

本実施態様では、エンドレスベルト状の蓄積性
螢光体シート１０、これを移動させる駆動ローラ
１０１、従動ローラ１０２、集光体１４及び光電
変換器１５を真空系内に配置してあるが、集光体
１４をその端部が器壁をつらぬいて真空系外に出
るように配置すれば、光電変換器１５を真空系外
に設置することができる。

鏡体部１ａと記録・読取部１ｂの間に設けられ
ているシヤツター（図示せず）を開くと、記録箇
所（すなわち結像面９）に位置する蓄積性螢光体
シート１０の部分に、試料の拡大散乱像８ｂを担
持する電子線エネルギーが蓄積される。次いでシ
ート１０のこの部分は駆動ローラ１０１の回転に
より記録箇所外へ移動されるとともに、未露光の
部分が記録箇所に送られる。なお上記拡大散乱像
８ｂをシート１０に記録するに際しては、例えば
特願昭59−214680号、同59−214681号明細書等に
記載されているピント合わせ方法を採用すること
ができる。

シート１０の上記電子線エネルギーが蓄積記録
がされた部分は駆動ローラ１０１の回転により読
取箇所へ移動される。本実施態様では真空系の外
部において前記のように偏向された励起光ビーム
１１ａを、鉛ガラスなどの透光性の壁部材１９ａ
を通してシート１０に入射させ、このビーム１１
ａにより該シート１０をその幅方向に主走査する
一方、このシート１０を駆動ローラ１０１によつ
て幅方向とは直角の方向（矢印Ａ方向）へ移動さ
せることにより、シート１０を副走査する。この
励起光照射によつて蓄積性螢光体シート１０から
発生する輝尽発光光は、集光体１４の入射端面
（シート１０に向けられた端面）から集光体１４
内に入射し、この中を全反射によつて進み、集光
体１４の射出端面に接続された光電変換器１５で
受光され、輝尽発光光量が光電的に読み取られ
る。光電変換器１５から出力された画像信号Ｓは
増幅器とＡ／Ｄ変換器を含む対数変換器１６によ
り対数値のデジタル画像信号logSに変換される。
このデジタル画像信号logSは例えば磁気デイス
クなどの記憶媒体１７の画像フアイル１７Ａに記
憶される。

上記読み取りの終了後、駆動ローラ１０１を駆
動させて、蓄積性螢光体シート１０の画像記録部
分を消去ゾーン２０に送る。この消去ゾーン２０
では、真空系外に設けられた螢光灯等の消去用光
源２１から放出される消去光が、透光性の壁部材
１９ｂを通して前記シート１０に照射される。こ
の消去用光源２１は蓄積性螢光体シート１０に、
該螢光体の励起波長領域に含まれる光を照射する
ことにより、この蓄積性螢光体シート１０の螢光
体層に蓄積されている残像や、シート１０の螢光
体中に不純物として含まれている²²⁶Raなどの放
射性元素によるノイズを放出させるものであり、
例えば特開昭56−11392号に示されているような
タングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ラ
ンプ、キセノンフラツシユランプあるいはレーザ
光源等が任意に選択使用され得る。

こうして残像やノイズが消去されたシート１０
の画像記録部分は前記記録部に送られ、そこで前
述のようにして再度電子線２が照射される。しか
しこの場合、試料８は試料台５から取り外され、
電子銃３から射出された電子線２が直接的にシー
ト１０に照射される。こうして電子線エネルギー
を蓄積記録したシート１０の部分は、再度読取部
へ移動され、前述と同じようにして該シート１０
に対して励起光ビーム１１ａが照射され、それに
よつてシート１０から発生される輝尽発光光が光
電変換器１５によつて読み取られる。光電変換器
１５から出力された参照画像信号Srは、対数変
換器１６によつて対数値のデジタル画像信号
logSrに変換され、このデジタル画像信号logSrは
前記記憶媒体１７の画像フアイル１７Ｂに記憶さ
れる。なおシート１０が十分に長い場合には、画
像読取りのために該シート１０が所定長さだけ送
られた際、シート１０の記録可能な部分が記録部
に送られて来るので、次回の画像記録はこの部分
に行なえばよく、したがつて１回の画像記録の度
にシート１０を一巡させる必要はない。

次に、上記のようにして得られたデジタル画像
信号logS，logSrによる電子顕微鏡像再生につい
て説明する。まず前記記憶媒体１７の画像フアイ
ル１７Ａ，１７Ｂからそれぞれ、デジタル画像信
号logS，logSrが読み出され、サブトラクシヨン
演算回路２５に入力される。このサブトラクシヨ
ン演算回路２５は、上記２つのデジタル画像信号
logS，logSrを必要に応じて適当な重みづけをし
た上で対応する画素毎に減算（サブトラクシヨ
ン）し、デジタルの差信号を求める。。

前述したように蓄積性螢光体シート１０を用い
て高感度で拡大散乱像８ｂを記録すると、スポツ
ト状の像やカブリが記録されてしまうことがあ
る。このような場合、デジタル画像信号logS，
logSrはともに、上記スポツト状の像やカブリを
担持する成分を含むものとなるが、上記のように
両信号間で対応する画素毎に減算を行なえば、こ
れらのスポツ状の像やノイズを担持する成分が打
ち消される。つまり上記差信号Ssubは、拡大散
乱像８ｂのみを担持するものとなる。

この差信号Ssubは画像処理回路２６において
階調処理、周波処理等の画像処理（信号処理）が
施されてから、画像再生装置２７へ送られる。こ
の画像再生装置２７は、CRT等のデイスプレイ
でもよいし、また第２図に示されるように、感光
フイルムに光走査記録を行なう記録装置でもよ
い。以下、この第２図の光走査記録装置により画
像再生する場合について簡単に説明する。感光フ
イルム３５を第２図に矢印Ｙで示す副走査方向に
移動させるとともに、記録光としてのレーザビー
ム３１を感光フイルム３５上において矢印Ｘ方向
に主走査させ、該レーザビーム３１を信号供給回
路３２からの画像信号に基づいてＡ／Ｏ変調器３
３により変調することにより、感光フイルム３５
上に可視像を形成する。上記変調用画像信号とし
て、前述の画像処理回路２６から出力された信号
を用いれば、シート１０に蓄積記録された前記拡
大散乱像８ｂが感光フイルム３５に再生される。
前述のように上記差信号Ssubは、スポツト状の
像やカブリを担持する成分を含まないものとなつ
ているから、該差信号Ssubに基づいて感光フイ
ルム３５に再生された画像は、スポツト状の像や
カブリが現れることなく、試料８の拡大散乱像８
ｂを正しく示すものとなる。また、この最終出力
画像はその画像サイズが、前記結像面９のサイズ
（すなわち２次元センサへの蓄積記録面積）より
も大きく設定され、結像面９上における画面サイ
ズよりも拡大して再生されるのが好ましい。

第２図の如き画像走査記録装置にて拡大した画
像を出力するためには、その走査線密度を蓄積性
螢光体シート１０から画像情報を得る際の読み取
り走査線密度より粗にすればよい。本発明のよう
な小サイズの蓄積性螢光体シートから充分な画像
情報を得るには読み取り走査線密度は10ピクセ
ル／mm以上、特に15ピクセル／mm〜100ピクセ
ル／mmの範囲に設定するのが好ましいが、再生像
記録のための走査線密度はこれによりも粗とし、
好ましくは５ピクセル／mm〜20ピクセル／mmの範
囲において使用した読み取り走査線密度よりも粗
い走査線密度を選択すれば、画質の低下なく拡大
再生像を得ることができる。

なお画像信号処理回路２６から出力された画像
信号は、以上説明のように直ちに画像再生装置２
７に送つて電子顕微鏡像記録再生に供してもよい
し、あるいは後に画像再生するために、一旦磁気
テープ、磁気デイスク等の記憶媒体２８に記憶さ
せておいてもよい。

また拡大散乱像８ｂの記録部と読取部との間に
適当な遮光シヤツター等を設けておけば、拡大散
乱像８ｂが記録された画像の読取りと同時に、試
料８を透過させない電子線２の記録を行なうこと
も可能になる。また上記のようなエンドレスベル
ト状の蓄積性螢光体シート１０を用いずに、所定
サイズの１枚の蓄積性螢光体シートを記録部と読
取部との間で往復搬送して、画像記録、読取りを
交互に行なうようにしてもよいし、さらにはこの
ような蓄積性螢光体シートを１枚あるいは複数枚
エンドレスベルト等の搬送手段に固定して、循環
使用するようにしてもよい。これらの場合、ピン
トを変えた複数の画像を１枚の蓄積性螢光体シー
トに分割して蓄積記録してもよい。さらに上記実
施態様におけるのとは逆に、試料８を透過させな
い電子線２の蓄積記録を、拡大散乱像８ｂの蓄積
記録に先立つて行なうようにしてもよい。

また、前述した減算における重みづけの係数や
再生画像の濃度を概略一定にするためのバイアス
成分は、電子銃３の電子線加速電圧、電流密度、
さらには電子線照射時間等の条件によつて最適値
が決定されるので、これらの条件と上記係数やバ
イアス成分の組合せテーブルを記憶手段に記憶さ
せておくとともに、電子顕微鏡から上記各条件を
示す信号を取り出し、これらの信号に応じ上記テ
ーブルに基づいて重みづけ係数およびバイアス成
分を決定するようにすれば、サブトラクシヨン演
算回路２５において上記重みづけ係数やバイアス
成分をいちいち設定する必要が無くなり、差信号
作成が自動化されうる。

また鏡体部１ａの試料８と電子銃３の間にシヤ
ツターを設け、撮影時以外は電子線を遮断するよ
うにすれば、試料８の損傷が更に防止される。

以上透過電子線による試料８の拡大散乱像を記
録再生する実施態様について説明したが、本発明
は、前述した試料の回折パターンを記録再生する
ために適用することもできる。第３図は試料８の
回折パターン８ｃを記録する様子を示すものであ
る。本実施態様において電子顕微鏡４０は、対物
レンズ６と投影レンズ７との間に中間レンズ４１
を備えたものが使用され、対物レンズ７の後焦平
面に形成された試料８の回折パターン８ｃは、上
記後焦平面に焦点を合わせた中間レンズ４１およ
び投影レンズ７により、結像面９に拡大投影され
る。この場合にも上記結像面９に２次元センサと
しての蓄積性螢光体シート１０を配置すれば、該
シート１０に透過電子線２による上記回折パター
ン８ｃの拡大像が蓄積記録される。この蓄積記録
された回折パターン８ｃは、前記第１図で説明し
たのと全く同様にして読取り可能であり、その読
取画像信号と、前記と同様にして得た参照画像信
号との差信号を用いて、上記回折パターン８ｃを
CRTに表示したり、あるいはハードコピーとし
て再生したりすることができる。

なお記録条件の変動による影響をなくしあるい
は観察性の優た電子顕微鏡像を得るためには、蓄
積性螢光体シート１０に蓄積記録した透過電子線
像（拡大散乱像あるいは拡大回折パターン）の記
録状態、試料の性状、あるいは記録方法等によつ
て決定される記録パターンを試料観察のための可
視像の出力に先立つて把握し、この把握した蓄積
記録情報に基づいて読取ゲインを適な値に調節
し、あるいは画像処理回路２６において適当な画
像処理（信号処理）を施すことが好ましい。ま
た、記録パターンのコントラストに応じて分解能
が最適化されるように収録スケールフアクターを
決定することが、観察性のすぐれた再生画像を得
るために要求される。

このように可視像の出力に先立つて蓄積性螢光
体シート１０の蓄積記録情報を把握する方法とし
て、例えば特開昭58−89245号に示されているよ
うな方法が使用可能である。すなち試料８の観察
のための可視像を得る読取り操作（本読み）の際
に照射すべき励起光のエネルギーよりも低いエネ
ルギーの励起光を用いて、前記本読みに先立つて
予め蓄積性螢光体シート１０に蓄積記録されてい
る蓄積記録情報を把握するための読取り操作（先
読み）を行ない、シート１０の蓄積記録情報を把
握し、しかる後に本読みを行なつて、前記先読み
情報に基づいて読取ゲインを適当に調節し、収録
スケールフアクターを決定し、あるいは適当な信
号処理を施すことができる。

また蓄積性螢光体シート１０から放出された輝
尽発光光を光電的に読み取る光電読取手段として
は、前述のようなフオトマルを用いる他に、光導
電体あるいはフオトダイオードなどの固体光電変
換素子を用いることもできる（特願昭58−86226
号、特願昭58−86227号、特願昭58−219313号お
よび特願昭58−219314号の各明細書、および特開
昭58−121874号公報参照）。この場合には、多数
の固体光電変換素子がシート１０全表面を覆うよ
うに構成され、シート１０と一体化されてもよい
し、あるいはシート１０に近接した状態で配置さ
れていてもよい。また、光電読取手段は複数の光
電変換素子が線状に連なつたラインセンサであつ
てもよいし、あるいは一画素に対応する一個の固
体光電変換素子が蓄積性螢光体シート１０の全表
面に亘つて走査移動されるように構成されてもよ
い。

上記の場合の読取用励起光源としては、レーザ
等のような点光源のほかに、発光ダイオード
（LED）が半導体レーザ等を列状に連ねてなるア
レイなどの線光源が用いられてもよい。このよう
な装置を用いて読取りを行なうことにより、蓄積
性螢光体シート１０から放出される輝尽発光光の
損失を防ぐと同時に、受光立体角を大きくして
Ｓ／Ｎを高めることができる。また、得られる電
気信号は励起光の時系列的な照射によつてではな
く、光検出器の電気的な処理によつて時系列化さ
れるために、読取速度を速くすることが可能であ
る。

また、以上述べた蓄積性螢光体シート１０に代
えて熱螢光体シートを用いる場合、このシートか
ら蓄積エネルギーを加熱によつて放出させるに
は、例えばCO₂レーザなどの熱線を放出する加熱
源を用い、この熱線で熱螢光体シートを走査すれ
ばよく、そのためには例えば特公昭55−47720号
公報等の記述を参考にすればよい。

また蓄積性螢光体シート１０等の２次元センサ
を、真空状態内に置いたまま画像読取りを行なう
ことは必ずしも必要ではなく、電子顕微鏡像蓄積
記録後、真空状態を破壊して２次元センサを取り
出し、電子顕微鏡とは別個に設けた読取装置を用
いて画像読取りを行なつてもよい。しかし前記実
施態様におけるように、電子像結像面と共通の真
空系内で２次元センサを循環して使用すれば、従
来のフイルム法のように真空を破壊してフイルム
交換等を行なう必要がなく、連続的に多数の撮影
を行なうことが可能になる。

（発明の効果）以上詳細に説明した通り本発明方法によれば、
蓄積性螢光体シート等の２次元センサに電子顕微
鏡像を蓄積記録するようにしたから、電子顕微鏡
像を高感度で記録することが可能になり、したが
つて電子顕微鏡の電子線露光量を低減でき、試料
の損傷を少なくすることができる。また本発明方
法においては、前述のような差信号を用いて電子
顕微鏡像を再生するようにしているので、スポツ
ト状の像やカブリが現れない、正しい電子顕微鏡
像を再生することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施態様方法を実施する
装置を示す概略図、第２図は本発明方法において
用いられる画像再生装置の一例を示す概略図、第
３図は本発明の第２実施態様方法が適用される電
子顕微鏡の一部を示す概略図である。１，４０……電子顕微鏡、２……電子線、８…
…試料、８ｂ……拡大散乱像、８ｃ……回折パタ
ーン、９……電子顕微鏡の結像面、１０……蓄積
性螢光体シート、１１……励起光源、１１ａ……
励起光ビーム、１２……光偏向器、１４……集光
体、１５……光電変換器、２５……サブトラクシ
ヨン演算回路、２７……画像再生装置、３１……
レーザビーム、３２……信号供給回路、３３……
変調器、３５……感光フイルム、Ｓ……画像信
号、Sr……参照画像信号、Ssub……差信号。

Claims

【特許請求の範囲】１電子線エネルギーを蓄積する２次元センサ
に、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録
し、次いで前記２次元センサに光照射あるいは加
熱を行なつて蓄積されたエネルギーを光として放
出させ、この放出光を光電的に検出して画像信号
を得る電子顕微鏡像記録再生方法において、前記
試料を透過させない電子線を前記２次元センサに
真空状態で蓄積記録し、この２次元センサに光照
射あるいは加熱を行なつて蓄積されたエネルギー
を光として放出させ、この放出光を光電的に検出
して参照画像信号を得るとともに、この参照画像
信号と前記画像信号の対応する画素の信号間で演
算を行なつて信号を得、この信号によつて前記試
料の電子顕微鏡像を再生することを特徴とする電
子顕微鏡像記録再生方法。２前記放出光の検出を、前記２次元センサを真
空状態に置いたままで行なうことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生
方法。３前記２次元センサとして蓄積性螢光体シート
を用い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過し
た電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前記蓄
積性螢光体シートを励起光又は熱線で走査して螢
光を放出させ、この放出された螢光を光電的に検
出することを特徴とする特許請求の範囲第１項ま
たは第２項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。４前記演算として減算を行なつて差信号を得、
この差信号によつて前記試料の電子顕微鏡像を再
生することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の電子顕微鏡像記録再生方法。