JPH06231714A - 蓄積性蛍光体シートホルダおよびそれを使用した電子顕微鏡像記録読取方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 蓄積性蛍光体シートに電子顕微鏡像を記録す
る際の順番と、シートから電子顕微鏡像を表す画像信号
を得る際の順番とがずれてしまった場合にも、撮影条件
に適合した読取条件により電子顕微鏡像を担持する画像
信号を得ることができる蓄積性蛍光体シートホルダおよ
びこれを用いた電子顕微鏡像記録読取方法および装置を
提供する。 【構成】 蓄積性蛍光体シート11を保持する蓄積性蛍光
体シートホルダ31に、撮影条件を記憶する記憶手段33
と、この記憶手段33に撮影条件の書き込み、読出しを行
うコネクタ34とを設ける。電子顕微鏡像記録時に、コネ
クタ34を介して撮影条件書込手段40により撮影条件を記
憶手段33に記憶させ、電子顕微鏡像読取時に、撮影条件
読出手段90により撮影条件を記憶手段33から読出し、撮
影条件に基づいて読取条件を算出し、この読取条件によ
り蓄積性蛍光体シート11から電子顕微鏡像を読み取る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空状態において蓄積
性蛍光体シートを保持する蓄積性蛍光体シートホルダに
関し、とくに詳細には、シートに画像を記録する際の撮
影条件とシートから画像信号を得る際の読取条件とを対
応付けることができる蓄積性蛍光体シートホルダおよび
これを用いた電子顕微鏡像記録読取方法および装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、試料を透過させた電子線を電
界あるいは磁界によって屈折させて、試料の拡大像を得
る電子顕微鏡が周知となっている。この電子顕微鏡にお
いては、試料を透過した電子線により対物レンズの後焦
点面に試料の回折パターンが形成され、その回折波が再
び干渉して試料の拡大像が形成されるようになってい
る。したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれ
ば試料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦点
面を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察さ
れる。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズ
を配置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節によ
り、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。

【０００３】上述のようにして形成される拡大像あるい
は回折パターン（以下、一括して透過電子線像と称す
る）を観察するため従来は一般に、投影レンズの結像面
に写真フィルムを配して透過電子線像を露光させたり、
あるいはイメージインテンシファイアを配して透過電子
線像を増幅投影するようにしたり、あるいは蛍光板を配
して透過電子線像を可視化しテレビカメラで撮影したり
していた。しかし写真フィルムは電子線に対して感度が
低い上現像処理が面倒であるという欠点を有し、一方イ
メージインテンシファイアやテレビカメラを用いる場
合、画像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいと
いう問題がある。

【０００４】また上記のような透過電子線像に対して
は、像を見易くする等の目的で階調処理、周波数強調処
理、濃度処理、減算処理、加算処理等の画像処理や、フ
ーリエ解析法による３次元像の再構成、画像の２値化お
よび粒子径測定等のための画像解析、さらには回折パタ
ーンの処理（結晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠
陥の解明等）等の処理が施されることが多いが、このよ
うな場合従来は、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像
をミクロフォトメータで読み取って電気信号に変換し、
この電気信号を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータ
により処理するという煩雑な作業を行っていた。

【０００５】上記のような事情に鑑みて本出願人は、電
子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、しかも
各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持する電気
信号が直接得られる、新しい電子顕微鏡像記録再生方法
を提案した（特開昭61-51738号、特開昭61-93539号
等）。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電子
線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シート等の２次元
シートに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録
し、次いで該２次元シートに光照射あるいは加熱を行っ
て蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この放出
光を光電的に検出して画像信号を得、この画像信号を用
いて試料の透過電子線像を再生するものである。

【０００６】上記の２次元シートとは、電子線露出を受
けたときそのエネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄
積し、後に外部から刺激を与えると蓄積しているエネル
ギーの少なくとも一部を光、電気、音等の検出可能な形
態で放出する能力を持つ材料からなるものである。この
２次元シートとして具体的には、例えば特開昭55-12429
号、同55-116340 号、同55-163472 号、同56-11395号、
同56-104645 号公報等に示される蓄積性蛍光体シートが
特に好適に用いられうる。すなわち、ある種の蛍光体に
電子線等の放射線を照射するとこの放射線のエネルギー
の一部がその蛍光体中に蓄積され、その後その蛍光体に
可視光等の励起光を照射すると、蓄積されたエネルギー
に応じて蛍光体が蛍光（輝尽発光）を示す。このような
性質を示す蛍光体を蓄積性蛍光体と言う。蓄積性蛍光体
シートとは、上記蓄積性蛍光体からなるシート状の記録
体のことであり、一般に支持体とこの支持体上に積層さ
れた蓄積性蛍光体層とからなる。蓄積性蛍光体層は蓄積
性蛍光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもので
あるが、この蓄積性蛍光体層が自己支持性である場合、
それ自体で蓄積性蛍光体シートとなりうる。なお、この
蓄積性蛍光体シートを形成するための輝尽性蛍光体の例
は、前記特開昭61-93537号に詳しく記載されている。

【０００７】また、上述の２次元シートとして、例えば
特公昭55-47719号、同55-47720号公報等に記載されてい
る熱蛍光体シートを用いることもできる。この熱蛍光体
シートは、主として熱の作用によって蓄積している放射
線エネルギーを、熱蛍光として放出する蛍光体（熱蛍光
体）からなるシート状の記録体である。

【０００８】上記電子顕微鏡像記録再生方法において
は、蓄積性蛍光体シート等の２次元シートに電子顕微鏡
像を蓄積記録するようにしたから、電子顕微鏡像を高感
度で記録することが可能になり、したがって電子顕微鏡
の電子線露光量を低減でき、試料の損傷を少なくするこ
とができる。またこの方法においては電子顕微鏡像に階
調処理、周波数強調処理等の画像処理を施すことも極め
て容易になり、また前述したような回折パターンの処理
や、３次元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、
上記電気信号をコンピュータに入力することにより、従
来に比べ極めて簡単かつ迅速に行えるようになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この蓄積性
蛍光体シートは真空状態において電子顕微鏡像が蓄積記
録されるものであり、真空状態におけるシート保持のた
めに、各シートはそれぞれホルダに保持され、このシー
トを保持した複数のホルダが複数枚重ね合せられて画像
記録用のＴＥＭマガジンに挿入されて、上述した電子顕
微鏡内において、順次電子顕微鏡像が記録されるもので
ある。そして、電子顕微鏡像の記録が終了した後に、Ｔ
ＥＭマガジンが取り出されて、このＴＥＭマガジンから
蓄積性蛍光体シートを保持したホルダが取り出され、画
像読取り用のＩＰマガジンに挿入される。このホルダが
挿入されたＩＰマガジンが、画像読取装置にセットされ
て、ホルダに保持された蓄積性蛍光体シートに記録され
た電子顕微鏡像が順次読み取られるものである。

【００１０】しかしながら、シートをＴＥＭマガジンか
らＩＰマガジンに入れ替える際に、何らかのミスにより
シートを撮影した順序を間違えたりする場合がある。こ
のように、シートを撮影した順番を間違えると、撮影を
行った順番に電子顕微鏡像の読取りを行うことができな
くなり、電子顕微鏡像を記録した際の撮影条件と電子顕
微鏡像を読み取る際の読取条件との対応が取れなくな
り、これにより撮影条件に適合した読取条件により電子
顕微鏡像を担持する画像信号を得ることができなくなっ
てしまうという問題があった。とくに、シートの入れ換
えは暗室内で行われるため、順序を間違えることが多か
った。

【００１１】また、シートの入替えを行わず、ＴＥＭマ
ガジンを直接画像読取装置にセットする場合であって
も、電子顕微鏡像を読み取る際に、シートが読取装置内
で詰まったりすることにより、シートを読み取る順番が
撮影時とは異なってしまう場合があった。

【００１２】本発明は上記事情に鑑み、蓄積性蛍光体シ
ートに電子顕微鏡像を記録する際の順番と、シートから
画像信号を得る際の順番とがずれてしまった場合にも、
撮影条件に適合した読取条件により電子顕微鏡像を担持
する画像信号を得ることができる蓄積性蛍光体シートホ
ルダおよびこれを用いた電子顕微鏡像記録読取方法およ
び装置を提供することを目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明による蓄積性蛍光
体シートホルダは、電子線エネルギーを蓄積記録する蓄
積性蛍光体シートを保持するためのホルダにおいて、所
定の情報を記憶するための記憶手段と、該記憶手段に前
記所定の情報を書き込みまたは読み出しを行う外部手段
と接続するコネクタとを設けたことを特徴とするもので
ある。

【００１４】また、本発明による電子顕微鏡像記録読取
方法は、上述した本発明による蓄積性蛍光体シートホル
ダを用いるものであり、該ホルダに保持された蓄積性蛍
光体シートに試料を透過した電子線を照射することによ
り前記試料の電子顕微鏡像を所定の撮影条件により真空
状態で蓄積記録するとともに、前記撮影条件を前記コネ
クタを介して前記記憶手段に記憶させ、次いで、前記記
憶手段に記憶された前記撮影条件を読み出し、該読み出
された撮影条件に基づいて、前記蓄積性蛍光体シートか
ら前記電子顕微鏡像を担持する画像信号を得る際の読取
条件を算出し、該算出された読取条件に基づいて前記シ
ートに光照射あるいは加熱を行って、蓄積された前記電
子線のエネルギーを光として放出させ、該放出光を光電
的に読み取って前記資料の前記電子顕微鏡像を担持する
前記画像信号を得ることを特徴とするものである。

【００１５】さらに、本発明による電子顕微鏡像記録読
取装置は、上述した本発明による電子顕微鏡像記録読取
方法を実施するためのものであり、本発明による蓄積性
蛍光体シートホルダに保持された蓄積性蛍光体シートに
試料を透過した電子線を照射することにより前記試料の
電子顕微鏡像を所定の撮影条件により真空状態で蓄積記
録し、該電子顕微鏡像が蓄積記録された蓄積性蛍光体シ
ートに光照射あるいは加熱を行って、蓄積された前記電
子線のエネルギーを光として放出させ、該放出光を光電
的に読み取って前記試料の電子顕微鏡像を担持する画像
信号を得る電子顕微鏡像記録読取装置において、前記撮
影条件を前記コネクタを介して前記記憶手段に記憶する
撮影条件記憶手段と、該撮影条件記憶手段により前記記
憶手段に記憶された撮影条件を読み出す撮影条件読出手
段と、該撮影条件読出手段により読み出された撮影条件
に基づいて、前記蓄積性蛍光体シートから前記電子顕微
鏡像を担持する前記画像信号を得る際の読取条件を算出
する読取条件演算手段とを備え、該読取条件演算手段に
より求められた前記読取条件に基づいて、前記画像信号
を得ることを特徴とするものである。

【００１６】また、本発明による電子顕微鏡像記録装置
は、本発明による電子顕微鏡像記録読取装置を構成する
ものであり、上述した本発明による蓄積性蛍光体シート
ホルダに保持された蓄積性蛍光体シートに試料を透過し
た電子線を照射することにより前記試料の電子顕微鏡像
を所定の撮影条件により真空状態で蓄積記録する電子顕
微鏡像記録装置において、前記撮影条件を前記コネクタ
を介して前記記憶手段に記憶する撮影条件記憶手段を備
えたことを特徴とするものである。

【００１７】さらに、本発明による電子顕微鏡像読取装
置は、上述した本発明による電子顕微鏡像記録読取装置
を構成するものであり、本発明による蓄積性蛍光体シー
トホルダに保持された電子顕微鏡像が蓄積記録された蓄
積性蛍光体シートに光照射あるいは加熱を行って、蓄積
された前記電子線のエネルギーを光として放出させ、該
放出光を光電的に読み取って前記試料の電子顕微鏡像を
担持する画像信号を得る電子顕微鏡像読取装置におい
て、前記コネクタを介して前記記憶手段に記憶された撮
影条件を読み出す撮影条件読出手段と、該撮影条件読出
手段により読み出された撮影条件に基づいて、前記蓄積
性蛍光体シートから前記電子顕微鏡像を担持する前記画
像信号を得る際の読取条件を算出する読取条件演算手段
とを備え、該読取条件演算手段により求められた前記読
取条件に基づいて、前記画像信号を得ることを特徴とす
るものである。

【００１８】

【作用】本発明による蓄積性蛍光体シートホルダは、記
憶手段と、この記憶手段に所定の情報の書込みまたは読
出しを行うためのコネクタを設けるようにしたため、こ
のホルダに保持された蓄積性蛍光体シートに電子顕微鏡
像を記録する際に、この記憶手段に記録時の撮影条件を
記憶させ、次いでこのシートから画像信号を得る際に、
記憶手段に記憶された撮影条件を読み出し、読み出され
た撮影条件に基づいて画像信号を得る際の読取条件を算
出し、この読取条件によって電子顕微鏡像の画像信号を
得るようにすれば、１つのシートの撮影条件に適合した
読取条件を求めることができる。そしてこれにより、撮
影用のＴＥＭマガジンに挿入されたホルダを、読取用の
ＩＰマガジンに入れ替える際に撮影した順番と異なる順
番で挿入してしまった場合でも、シート詰まり等により
電子顕微鏡像を読み取る順番が変わってしまった場合で
あっても、確実に撮影した条件に適合した読取条件によ
ってシートから電子顕微鏡像の読取りを行うことができ
る。

【００１９】

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例について
説明する。

【００２０】図２は本発明による蓄積性蛍光体シートホ
ルダの実施例を表す図である。

【００２１】図２に示すように、本発明による蓄積性蛍
光体シートホルダ31は、蓄積性蛍光体シート11を保持す
るためのフレーム状のホルダ本体32からなるものであ
り、ホルダ本体32内に、所定の情報を記憶するための記
憶手段であるＳＲＡＭ33と、このＳＲＡＭ33に所定の情
報を書き込みまたは読出しを行う外部手段と接続するコ
ネクタ34と、ＳＲＡＭ33の電源となるバッテリ35とを備
えてなるものである。

【００２２】以下、この蓄積性蛍光体シートホルダを用
いた電子顕微鏡像記録読取装置の実施例について説明す
る。

【００２３】まず図３を参照して、電子顕微鏡像の蓄積
記録（撮影）について説明する。電子顕微鏡１の鏡体部
１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃３と、
電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ等
からなる少なくとも１個の集束レンズ４と、試料台５
と、集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影レンズ
７とを有してなる。試料台５上に載置された試料８を透
過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折され、該
試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大散乱像８
ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影される
（図中の８ｂ）。

【００２４】電子顕微鏡の鏡体部１ａの下方には、電子
顕微鏡像記録装置10が配置されている。この電子顕微鏡
像記録装置10は、図中左方に、蓄積性蛍光体シート11が
収納されたホルダ31を多数収めた供給用マガジン12が収
納されるシート供給部13と、このシート供給部13の下方
に配され、供給用マガジン12と同様の受納用マガジン15
を収納するシート受納部16とを有し、さらに結像面９を
含むように形成された記録部14と、この記録部14とシー
ト供給部13との間に配された消去光源17とを有してい
る。また、記録部14には、ホルダ31のコネクタ34と接続
して、蓄積性蛍光体シート11に試料の電子顕微鏡像を記
録する際の撮影条件をホルダ31内のＳＲＡＭ33に記憶す
るための書込部41を有する撮影条件書込手段40が配され
ている。

【００２５】シート供給部13に装着された供給用マガジ
ン12内のホルダ31に収納された蓄積性蛍光体シート11
は、一例としてホルダ31の端部を把持するシート供給ア
ーム20により、マガジン12からホルダ31毎に１つずつ取
り出され、２枚のガイド板21間に送られ、シート供給ロ
ーラ22および給排ローラ23、28ａ、28ｂによって、記録
部14に送られるようになっている。また、上述のように
して記録部14に送られたホルダ31は、給排ローラ28ａ、
28ｂを上記の場合とは反対方向に回転させ、そしてガイ
ド板24を図３の破線表示位置に動かすことにより、給排
ローラ23およびシート送出しローラ25を介して２枚のガ
イド板26の間に送られ、シート供給アーム20と同様のシ
ート送出しアーム27により、シート受納部16の受納用マ
ガジン15内に落とし込まれるようになっている。

【００２６】そして鏡体部１ａと記録部14との間には、
それぞれ図中矢印Ａ方向に回動可能なシャッター30と、
蛍光スクリーン36とが設けられ、これらシャッター30と
スクリーン36は各々、図示しないレバーによって回動操
作されるようになっている。また、スクリーン36の上方
において、鏡体部１ａの周壁には例えば鉛ガラスからな
る観察窓37が設けられている。

【００２７】鏡体部１ａの内部と、電子顕微鏡像記録装
置10の内部は、電子顕微鏡の稼働中、公知の排気装置に
よって真空状態に維持されるが、鏡体部１ａと電子顕微
鏡像記録装置10との間には公知の遮断部材（図示せず）
が設けられ、該遮断部材によって鏡体部１ａ内部と電子
顕微鏡像記録装置10の内部とを互いに遮断することによ
り、供給用マガジン12の装着、および受納用マガジン15
の取出しの際に、電子顕微鏡像記録装置10内の真空を破
壊しても、鏡体部１ａ内は真空状態に維持できるように
なっている。

【００２８】蓄積性蛍光体シート11に電子顕微鏡像の記
録を行う際、シート供給部13内には蓄積性蛍光体シート
11を保持したホルダ31を多数収めた供給用マガジン12が
収納され、またシート受納部16内には空の受納用マガジ
ン15が収納される。そしてシャッター30と蛍光スクリー
ン36は、電子線２を遮る位置（図中水平位置）に設定さ
れる。続いて前述したシート供給アーム20、シート供給
ローラ22および給排ローラ23、28ａ、28ｂにより、供給
用マガジン12内の最下位のホルダ31が記録部14に送られ
る。こうしてホルダ31が送られるとき、消去光源17が点
灯され、ホルダ31内のシート11は残存電子線エネルギー
の消去を受ける。給排ローラ28ａ、28ｂは、ホルダ31が
前記結像面９に位置すると停止され、この位置にホルダ
31を保持する。

【００２９】電子線２は蛍光スクリーン36に当たって蛍
光を発生させるので、電子線２が担持する拡大散乱像８
ａが、観察窓37を通して観察される。このように蛍光ス
クリーン36を観察して拡大散乱像８ａのピント、倍率お
よび視野範囲が決定された後、シャッター30と蛍光スク
リーン36は、前述のレバーを操作することにより、電子
線２を遮らない位置まで跳ね上げられる。こうすると電
子線２は、記録部14にセットされているホルダ31に保持
された蓄積性蛍光体シート11に到達し、拡大散乱像８ｂ
を担持する電子線エネルギーが該シート11に蓄積記録さ
れる。この際、ホルダ31のコネクタ34と撮影条件書込手
段40の書込部41とが接続され、蓄積性蛍光体シート11に
照射された電子線エネルギー量等の撮影条件がホルダ31
内のＳＲＡＭ33に記憶される。

【００３０】上述したようにシャッター30を開いて電子
線露光を行った後、シャッター30が閉じられる。そして
拡大散乱像８ｂを蓄積記録した蓄積性蛍光体シート11を
保持したホルダ31は、給排ローラ23、28ａ、28ｂ、シー
ト送出しローラ25およびシート送出しアーム27により、
受納用マガジン15内に収納される。

【００３１】上記の操作が繰り返されると、受納用マガ
ジン15内には、電子顕微鏡像記録済みの蓄積性蛍光体シ
ート11を保持したホルダ31がまとめて収納される。そこ
で一連の電子顕微鏡像記録が終了したならば、この受納
用マガジン15をシート受納部16から取り出し、次いで、
受納用マガジン15内のシート11を保持したホルダ31を取
り出し、読取用マガジン38に入れ替え、蓄積性蛍光体シ
ート11を保持したホルダ31を電子顕微鏡像読取装置にか
ける。

【００３２】以上説明したようにして複数の蓄積性蛍光
体シート11に次々と電子顕微鏡像を蓄積記録（撮影）す
る際、蓄積性蛍光体シート11を保持した各ホルダ31のＳ
ＲＡＭ33に撮影条件が記憶される。以下、図１を参照し
てこの点について説明する。電子顕微鏡１の蛍光スクリ
ーン36には、電子線検出器50が組み込まれており、各蓄
積性蛍光体シート11に照射される前にこのスクリーン36
に照射された電子線２の平均的な電流量がこの検出器50
によって検出される。この電子線検出器50が出力する電
子線電流量を示す信号Ｄ１は、撮影条件記憶装置40に入
力される。また電子顕微鏡１の露出時間設定器52から
は、シャッター30の開時間（シャッター時間）を示す信
号Ｄ２が出力され、この信号Ｄ２も撮影条件記憶装置40
に入力される。この平均的な電流量とシャッター時間と
を表す信号Ｄ１，Ｄ２がホルダ31のコネクタ34に接続し
た書込部41によりホルダ31内のＳＲＡＭ33に記憶され
る。

【００３３】以上述べた撮影条件のＳＲＡＭ33への書込
みは、供給マガジン12内の蓄積性蛍光体シート11を保持
した各ホルダ31に電子顕微鏡像が蓄積記録される都度逐
一行われる。

【００３４】前述したように受納用マガジン15をシート
受納部16から取り出した後、受納用マガジン15内のシー
ト11を保持したホルダ31が、読取用マガジン38に入れ替
えられる。次いで、この読取用マガジン38は電子顕微鏡
像読取装置80にセットされる。

【００３５】図１に示すように電子顕微鏡像読取装置80
にセットされたマガジン38からは、公知の手段によって
蓄積性蛍光体シート11を収納したホルダ31が一つずつ取
り出され、そのホルダ31のコネクタ34が、電子顕微鏡像
読取装置80内にある撮影条件読出手段90の読出部91と接
続され、ＳＲＡＭ33に記憶されている撮影条件が読み出
される。この読み出された撮影条件は撮影条件読出手段
90に入力され、ここで電子顕微鏡像読取装置80における
電子顕微鏡像読取時の読取条件が求められる。すなわ
ち、前述した平均的な電流量とシャッター時間の積で求
められる電子線露出量は、蓄積性蛍光体シート11に蓄積
記録される電子顕微鏡像情報と対応があるので、撮影条
件読出手段90内においては、入力された信号Ｄ１とＳ２
が示す電流量とシャッター時間の積（電子線露出量）に
基づき、予め定められたプログラムに従って蓄積性蛍光
体シート11に対する適正な読取ゲインＳk と、収録スケ
ールファクターＧp とが求められる。こうして求められ
た読取条件としての読取ゲインＳk と収録スケールファ
クターＧp とに基づいて読取りが行われるのである。

【００３６】以下、図４を参照してこの電子顕微鏡像読
取りについて説明する。

【００３７】前述したように撮影条件が読み出されたホ
ルダ31から、蓄積性蛍光体シート11が取り出され、その
シート11は例えばエンドレスベルトからなるシート搬送
手段70上に載置される。そしてＨｅ−Ｎｅレーザ管等の
励起光源71から射出される励起光ビーム72を、ガルバノ
メータミラー等の光偏向器73によって偏向し、蓄積性蛍
光体シート11を該ビーム72により矢印Ｘ方向に走査する
（主走査）。それとともにシート搬送手段70により、蓄
積性蛍光体シート11を主走査方向と略直角な矢印Ｙ方向
に移動させる（副走査）。それにより蓄積性蛍光体シー
トは、その全面に亘って励起光ビーム72の照射を受け
る。この励起光照射により蓄積性蛍光体シート11は、蓄
積記録した電子線エネルギーに応じたレベルの輝尽発光
光74を放出する。この輝尽発光光74は集光体75の入射端
面75ａから集光体75内に入射し、この集光体75内を全反
射を繰り返して進んで射出端面75ｂから射出し、この射
出端面75ｂに接続されたフォトマルチプライヤー等の光
検出器76に受光され、輝尽発光光74の光量が光電的に読
み取られる。光検出器76から出力される電気信号は、蓄
積性蛍光体シート11に蓄積記録されていた電子線エネル
ギーのレベルを示すものであり、この電気信号はログア
ンプ81において対数増幅される。このログアンプ81が出
力するアナログの読取画像信号Ｓは、Ａ／Ｄ変換器82に
おいてディジタル化される。このディジタル化における
収録スケールファクター、およびログアンプ81における
読取ゲインはそれぞれ、撮影条件読出手段90において算
出された値Ｇp 、Ｓk に設定される。ここで、これら読
取条件の算出は、読取りが行われる各シート11を収納し
たホルダ31毎になされる。したがって、電子顕微鏡像記
録装置10において電子顕微鏡像が記録された順番と読取
りを行う順番とがランダムであっても各シート11と読取
条件とが正しく対応して行く。

【００３８】Ａ／Ｄ変換器82が出力するディジタルの画
像信号Ｓｄは、画像処理回路77に送られて必要な画像処
理が施された上、画像再生装置78に入力される。この画
像再生装置78は、ＣＲＴなどのディスプレイでもよい
し、また感光フィルムに光走査記録を行う記録装置であ
ってもよい。このように輝尽発光光量に対応した電気信
号を用いて画像を出力することにより、輝尽発光光74が
担持する拡大散乱像８ｂが再生される。

【００３９】そして画像信号Ｓｄを得る過程で、読取ゲ
インおよび収録スケールファクターは、読取条件決定回
路51がシート11への電子線露出量に基づいて決定した最
適な値に設定されているから、再生画像はコントラスト
が適正で観察性に優れたものとなる。また、本来電子顕
微鏡像の撮影に比べれば長い時間を要する読取処理にお
いて、読取条件を決定するための操作（いわゆる「先読
み」等）を行う必要が無いから、読取処理は迅速に行わ
れうる。

【００４０】なお以上述べた実施例においては、電子線
露出量のみに基づいて読取条件を算出するようにしてい
るが、その他の加速電圧、試料の種類、撮影の種類（拡
大像あるいは回折像）等の条件も加味して読取条件を算
出してもよい。また電子線電流量も、前述の平均的な値
の他、蓄積性蛍光体シート上の複数の位置毎に部分的に
求めて、それらの値のヒストグラム等に基づいて決定し
てもよい。

【００４１】また、上述した実施例においては撮影条件
の記憶手段としてＳＲＡＭを用いているが、とくにこれ
に限定されるものではなく、フラッシュメモリ等他のい
かなる記憶手段を用いるようにしてもよい。

【００４２】さらに上述した読取条件決定を行うための
情報以外に、撮影番号やサンプル名、拡大率、その他の
コメント等を画像毎に記憶しておき、これらを画像出力
の際に表示するようにしてもよい。

【００４３】なお、以上述べた蓄積性蛍光体シートに代
えて熱蛍光体シートを用いる場合、このシートから蓄積
エネルギーを加熱によって放出させるには、例えばＣＯ
₂ レーザなどの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線
で熱蛍光体シートを走査すればよく、そのためには例え
ば特公昭55-47720号公報等の記述を参考にすればよい。

【００４４】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
る蓄積性蛍光体シートホルダおよび電子顕微鏡像記録読
取方法および装置は、ホルダに撮影条件を記憶するため
の記憶手段を設け、撮影時にはこの記憶手段に撮影条件
を記憶し、読取り時には記憶手段から撮影条件を読み出
して、この撮影条件に基づいて読取条件を求めるように
したため、シートの順番が電子顕微鏡像撮影時と読取り
時とで異なる場合であっても、各シート毎に確実に撮影
条件に適合した読取条件により電子顕微鏡像の読取りを
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法を実施するための電子顕微鏡像記
録再生装置を示す概略図

【図２】本発明による蓄積性蛍光体シートホルダの実施
例を表す図

【図３】電子顕微鏡像記録撮影装置を構成する電子顕微
鏡像記録装置を表す側面図

【図４】電子顕微鏡像記録撮影装置を構成する電子顕微
鏡像読取装置を示す概略斜視図

【符号の説明】

１ 電子顕微鏡 ２ 電子線 ９ 電子顕微鏡の結像面 10 電子顕微鏡像記録装置 11 蓄積性蛍光体シート 12 供給用マガジン 13 シート供給部 14 記録部 15 受納用マガジン 16 シート受納部 20 シート供給アーム 22 シート供給ローラ 23、28ａ、28ｂ 給排ローラ 25 シート送出しローラ 27 シート送出しアーム 31 ホルダ 33 記憶手段 34 コネクタ 38 読取用マガジン 40 撮影条件書込手段 50 電子線検出器 52 露出時間設定器 70 シート搬送手段 71 励起光源 72 励起光ビーム 74 輝尽発光光 76 光検出器 77 画像処理回路 78 画像再生装置 80 電子顕微鏡像読取装置 81 ログアンプ 82 Ａ／Ｄ変換器 90 撮影条件読出手段

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線エネルギーを蓄積記録する蓄積性
   蛍光体シートを保持するためのホルダにおいて、 所定の情報を記憶するための記憶手段と、該記憶手段に
   前記所定の情報を書き込みまたは読み出しを行う外部手
   段と接続するコネクタとを設けたことを特徴とする蓄積
   性蛍光体シートホルダ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の蓄積性蛍光体シートホル
   ダに保持された蓄積性蛍光体シートに試料を透過した電
   子線を照射することにより前記試料の電子顕微鏡像を所
   定の撮影条件により真空状態で蓄積記録するとともに、
   前記撮影条件を前記コネクタを介して前記記憶手段に記
   憶させ、 次いで、前記記憶手段に記憶された前記撮影条件を読み
   出し、 該読み出された撮影条件に基づいて、前記蓄積性蛍光体
   シートから前記電子顕微鏡像を担持する画像信号を得る
   際の読取条件を算出し、 該算出された読取条件に基づいて前記シートに光照射あ
   るいは加熱を行って、蓄積された前記電子線のエネルギ
   ーを光として放出させ、該放出光を光電的に読み取って
   前記試料の前記電子顕微鏡像を担持する前記画像信号を
   得ることを特徴とする請求項１記載の蓄積性蛍光体シー
   トホルダを使用した電子顕微鏡像記録読取方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の蓄積性蛍光体シートホル
   ダに保持された蓄積性蛍光体シートに試料を透過した電
   子線を照射することにより前記試料の電子顕微鏡像を所
   定の撮影条件により真空状態で蓄積記録し、該電子顕微
   鏡像が蓄積記録された蓄積性蛍光体シートに光照射ある
   いは加熱を行って、蓄積された前記電子線のエネルギー
   を光として放出させ、該放出光を光電的に読み取って前
   記試料の電子顕微鏡像を担持する画像信号を得る電子顕
   微鏡像記録読取装置において、 前記撮影条件を前記コネクタを介して前記記憶手段に記
   憶する撮影条件記憶手段と、 該撮影条件記憶手段により前記記憶手段に記憶された撮
   影条件を読み出す撮影条件読出手段と、 該撮影条件読出手段により読み出された撮影条件に基づ
   いて、前記蓄積性蛍光体シートから前記電子顕微鏡像を
   担持する前記画像信号を得る際の読取条件を算出する読
   取条件演算手段とを備え、 該読取条件演算手段により求められた前記読取条件に基
   づいて、前記画像信号を得ることを特徴とする電子顕微
   鏡像記録読取装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の蓄積性蛍光体シートホル
   ダに保持された蓄積性蛍光体シートに試料を透過した電
   子線を照射することにより前記試料の電子顕微鏡像を所
   定の撮影条件により真空状態で蓄積記録する電子顕微鏡
   像記録装置において、 前記撮影条件を前記コネクタを介して前記記憶手段に記
   憶する撮影条件記憶手段を備えたことを特徴とする電子
   顕微鏡像記録装置。
5. 【請求項５】 請求項１記載の蓄積性蛍光体シートホル
   ダに保持された電子顕微鏡像が蓄積記録された蓄積性蛍
   光体シートに光照射あるいは加熱を行って、蓄積された
   前記電子線のエネルギーを光として放出させ、該放出光
   を光電的に読み取って前記試料の電子顕微鏡像を担持す
   る画像信号を得る電子顕微鏡像読取装置において、 前記コネクタを介して前記記憶手段に記憶された撮影条
   件を読み出す撮影条件読出手段と、 該撮影条件読出手段により読み出された撮影条件に基づ
   いて、前記蓄積性蛍光体シートから前記電子顕微鏡像を
   担持する前記画像信号を得る際の読取条件を算出する読
   取条件演算手段とを備え、 該読取条件演算手段により求められた前記読取条件に基
   づいて、前記画像信号を得ることを特徴とする電子顕微
   鏡像読取装置。