JPH01176646A - 電子顕微鏡像記録再生システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子顕微鏡像の記録再生システムに関するもの
であり、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、
また各種画像処理可能に電気信号で読み取るようにし、
そして電子顕微鏡像が高速で再生されるようにした記録
再生システムに関するものである。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
周知となっている。この電子顕微鏡においては、試料を
透過した電子線により対物レンズの後焦点面に試料の回
折パターンが形成され、その回折波が再び干渉して試料
の拡大像が形成されるようになっている。したがって投
影レンズにより上記拡大像を投影すれば試料の拡大像（
散乱像）が観察され、また上記後焦点面を投影すれば拡
大された試料の回折パターンが観察される。なお対物レ
ンズと投影レンズとの間に中間レンズを配置しておけば
、この中間レンズの焦点距離調節により、上述の拡大像
（散乱像）あるいは回折パターンが随意に得られる。

上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、−括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影
するようにしたり、あるいは蛍光板を配して透過電子線
像を可視化しテレビカメラで撮影したりしていた。しか
し写真フィルムは電子線に対して感度が低い上現像処理
が面倒であるという欠点を有し、一方イメージインテン
シファイアやテレビカメラを用いる場合、画像の鮮鋭度
が低い上、画像に歪みが生じやすいという問題がある。

また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。

上記のような事情に鑑みて本出願人は、電子顕微鏡像を
高感度、高画質で記録再生可能で、しかも各種処理が容
易となるように、顕微鏡像を担持する電気信号が直接得
られる、新しい電子顕微鏡像記録再生方法を提案した（
特開昭［１ｌ−５１７３８号、特開昭８１−９３５３９
号等）。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電
子線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シート等の２次
元センサに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記
録し、次いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を行
なって蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この
放出光を光電的に検出して画像信号を得、この画像信号
を用いて試料の透過電子線像を再生するものである。

上記の２次元センサとは、電子線露出を受けたときその
エネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄積し、後に外
部から刺激を与えると蓄積しているエネルギーの少なく
とも一部を光、電気、音等の検出可能な形態で放出する
能力を持つ材料からなるものである。この２次元センサ
として具体的には、例えば特開昭５５−１２４２９号、
同５５−１１６３４０号、同５５−１６３４７２号、同
５８−１１３９５号、同５６−１０４６４５号公報等に
示される蓄積性蛍光体シートが特に好適に用いられうる
。すなわち、ある種の蛍光体に電子線等の放射線を照射
するとこの放射線のエネルギーの一部がその蛍光体中に
蓄積され、その後その蛍光体に可視光等の励起光を照射
すると、蓄積されたエネルギーに応じて蛍光体が蛍光（
輝尽発光）を示す。このような性質を示す蛍光体を蓄積
性蛍光体と言う。蓄積性蛍光体シートとは、上記蓄積性
蛍光体からなるシート状の記録体のことであり、一般に
支持体とこの支持体上に積層された蓄積性蛍光体層とか
らなる。蓄積性蛍光体層は蓄積性蛍光体を適当な結合剤
中に分散させて形成したものであるが、この蓄積性蛍光
体層が自己支持性である場合、それ自体で蓄積性蛍光体
シートとなりうる。なお、この蓄積性蛍光体シートを形
成するための輝尽性蛍光体の例は、前記特開昭６１−９
３５３９号に詳しく記載されている。

また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５５−
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱蛍光体シートを用いることもできる。この熱蛍
光体シートは、主として熱の作用によって蓄積している
放射線エネルギーを、熱蛍光として放出する蛍光体（熱
蛍光体）からなるシート状の記録体である。

上記電子顕微鏡像記録再生方法においては、蓄積性蛍光
体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録す
るようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録するこ
とが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光量
を低減でき、試料のｔｉｔ　（Ｍを少なくすることがで
きる。またこの方法においては電子顕微鏡像に階調処理
、周波数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易
になり、また前述したような回折パターンの処理や、３
次元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電
気信号をコンピュータに入力することにより、従来に比
べ極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。

一方、電子顕微鏡像を可視像として出力する再生装置と
しては従来、電子顕微鏡像を結像面においてテレビカメ
ラで撮影してその像をＣＲＴに表示させ、この表示画像
を光学系を介してインスタント写真フィルムに投影して
該フィルムに記録する装置や、あるいは電子顕微鏡の結
像面に直接写真フィルムを配置して該フィルムを感光さ
せ、このフィルムを現像後その像を印画紙に記録する装
置が多く用いられていた。

（発明が解決しようとする問題点） ところが前者の装置にあっては、画素数が少ないことに
加えて、電子顕微鏡像の変換を何回も行なうために、再
生画像の画質が良くないという問題がある。

一方後者の装置にあっては、再生画像の画質は良いもの
の、カラー表示が困難であるという問題がある。近時電
子顕微鏡像の分析技術の進歩は著しいものがあり、画像
上である元素を特定することも可能となっている。この
ような場合には、再生画像においてその特定の元素を分
かりやすくカラー表示することも望まれているので、上
述のようにカラー表示が困難であるということは、電子
顕微鏡像再生装置としてやや不向きと言える。また、後
者の装置にあっては、再生画像を得るための現像等の処
理が煩雑であり、時間がかかるという問題もある。

そこで本発明は、前述のようにして２次元センサから読
み取った電子顕微鏡像を比較的簡単に高画質で再生可能
で、またカラー表示することもできる電子顕微鏡像記録
再生システムを提供することを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段及び作用）本発明の電子
顕微鏡像出力方法は、先に述べたような２次元センサを
用いる電子顕微鏡像記録再生システムにおいて、 画像再生装置として、熱現像感光材料上に画像信号に基
づいて変調された先ビームを２次元的に走査させ、 この光ビーム走査によって露光された上記感光材料を熱
現像し、 この現像された感光材料上の像を受像材料上に転写する
熱現像記録装置を用いたことを特徴とするものである。

上述の熱現像感光材料としては、「写真工学の基礎」非
銀塩写真綿（１９８２年コロナ社発行）の２４２ｒ（〜
２５５頁、１９７８年４月発行「映像情報」の４０頁、
　ファン　ノストランド　ラインホールドカンパニー（
Ｖａｎ　　Ｎｏ５ｔｒａｎｄ　Ｒｅ１ｎｈｏｌｄ　Ｃｏ
ｍｐａｎｙ）出版のネブレッツ著「ハンドブック　オブ
フォトグラフィ　アンド　レプログラフィＪ　　（Ｎｅ
ｂｌｅｔｔｓ　　、　　　Ｈａｎｄｂｏｏｋ　　ｏｆ’
　　　ＰｈｏｔｏｇｒａｐＦ、ｙ　　　ａｎｄ　　Ｒｅ
ｐｒｏｇｒａｐｈｙ）　７１７版（７ｔｈ　　Ｅｄ、）
の３２頁〜３３頁、米国特許第３，１５２．９０４号、
同第３．３０１，６７８号、同第３，３９２，０２０号
、同第３．４５７．０７５号、英国特許第１．１３１，
１０８号、同第１．１８７．７７７号および、リサーチ
ディスクロージャー誌１９７８年６月号９〜１５頁（Ｒ
Ｄ−１７０２９）に記載されている銀画像を得る熱現像
感光材料の他に、色画像（カラー画像）を得る熱現像感
光材料も利用できる。この色画像を得るための熱現像感
光材料としては、米国特許第３゜５３１．２８８号、同
第３．７６１，２７０号、ベルギー特許第８０２．５１
９号およびリサーチディスクロージャー誌！９７５年９
月号３１．３２頁、米国特許第４．０２１．２４０号、
同第４，４６３，０７９号、同第４．４７４，８８７号
、同第４，４７８．９２７号、同第４，５０７．３８０
号、同第４，５００．６２８号、同第４．４１１１３，
９１４号、特開昭５８−１４９０４１３号、同５８−１
４９０４７号、同５９−１５２４４０号、同５９−１５
４４４５号、同５９−ＩＧ５０５４号、同５９−１８０
５４８号、同５９−１１３８４３９号、同５９−１７４
８３２号、同５９−１７４８３３号、同５９−１７４８
３４号、同５９−１７４８３５号、米国特許第４，４９
９．１８０号、特開昭５９−１１６９４３号、欧州特許
節１２５．５２１号、米国特許第４．４９９，１７２号
、特開昭５９−１８０５３７号、同６１−８４６４０号
、同５９−２１８４４３号、同６１−２３８０５６号、
欧州特許公開節２１０．６６０号に記載されている熱現
像カラー感光材料がある。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は、本発明の一実施例による電子顕微鏡像記録再
生システムの大略を示すものである。電子顕微鏡１の鏡
体部１ａは、−様の速度の電子線２を射出する電子銃３
と、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レン
ズ等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料台
５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影
レンズ７とを有してなる。試料台５上に載置された試料
８を透過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折さ
れ、該試料８の拡大透過像８ａを形成する。

この拡大透過像８ａは投影レンズ７により、結像面９に
結像投影される（図中の８ｂ）。

上記鏡体部１ａの下方には、電子顕微鏡像記録読取装置
ＩＯが配置されている。この電子顕微鏡像記録読取装置
ＩＯは、鏡体部１ａ内の前記結像面９に固定された蓄積
性蛍光体からなる２次元センサ（以下、蓄積性蛍光体シ
ート１１という）と、励起光源１２および光走査系１３
からなる励起手段と、前記鏡体部１ａの周壁に設けられ
た透光窓１４を介して蓄積性蛍光体シート１１に対向す
るように配されたフォトマルチプライヤ−（光電子増倍
管）　１５と、消去光源１６とを有している。

上記蓄積性蛍光体シート１１は前述したような蓄積性蛍
光体が透明支持体上に層成されてなるものである。また
励起光源１２は一例としてＨｅ−Ｎｅレーザ、半導体レ
ーザ等からなり、光走査系１３は第１および第２の光偏
向器ＩＬａ、１３ｂと、固定ミラー１３ｃとからなる。

第１および第２の光偏向器１３ａ、１．３ｂとしてはそ
れぞれ、ガルバノメータミラー、ポリゴンミラー、ホロ
グラムスキャナ、ＡＯＤ等の公知の光偏向器が使用され
うる。励起光源１２から射出された励起光ビーム１２ａ
は第１の光偏向器１３ａにより偏向されるとともに、第
２の光偏向器１３ｂにより上記偏向の方向と直角な方向
（図の矢印Ａ方向）に偏向され、例えば鉛ガラス等が嵌
め込まれた透光窓２１を透過して鏡体部１ａ内に入射し
、固定ミラー１３ｃにおいて反射して前記蓄積性蛍光体
シート１１上に入射する。このようにして蓄積性蛍光体
シート１１は、励起光ビーム１２ａによりＸ−７両方向
に走査される。なお図示はしないが、励起光源１２から
発せられた励起光ビーム１２ａは、蓄積性蛍光体シート
ｌｌが発する輝尽発光光（後に詳述する）の波長領域を
カットするフィルターを通過させ、ビームエキスパンダ
ーによりビーム径を調整した後、光偏向器１３ａ、　１
３ｂで偏向され、次いでｆθレンズを通過させて均一な
ビーム径として蓄積性蛍光体シート１１に入射されるの
が好ましい。

前記消去光源１Ｂは蓄積性蛍光体シート１１の励起波長
領域に含まれる光を発生するものである。そして上記第
２の光偏向器１３ｂと固定ミラー１３ｃとの間において
励起光ビーム１２ａの光路中に入る位置と、該光路から
外れた位置とをとりうるミラー１７が配設されている。

消去光源１６が発する消去光ｔｅａはレンズ１８によっ
て集光され、上記ミラー１７が励起光ビーム１２ａの光
路中に入る位置に設定されていれば、該ミラー１７およ
び固定ミラー１３ｃにおいて反射して、蓄積性蛍光体シ
ート１１を全面的に照射する。また対物レンズ７と蓄積
性蛍光体シー４１１との間において鏡体部１ａには、電
子線２を遮断しうるシャッター１９が設けられ、蓄積性
蛍光体シート１１とフォトマルチプライヤ−１５との間
には先シャッター２２が設けられている。そして前記透
光窓１４には、蓄積性蛍光体シートｌｌが発する輝尽発
光光のみを透過させ、励起光ビーム１２ａを取り除く光
学フィルターを備えたガラス２０が嵌着されている。ま
た鏡体部１ａの内部は通常の電子顕微鏡におけるのと同
様に、蓄積性蛍光体シート１１が配置されている部分も
含めて、電子顕微鏡稼動中は真空ポンプ等の公知の手段
により真空状態に維持される。

以下、上記構成の電子顕微鏡像記録読取装置１０による
電子顕微鏡像の記録、読取りについて詳しく説明する。

試料台５に試料８を載置し、電子銃３、集束レンズ４、
対物レンズ６および投影レンズ７を駆動させ、そして前
述のシャッター１９を開（と（第１図図示の状態）、結
像面９に固定された蓄積性蛍光体シート［１に、試料８
の拡大透過像８ｂを担持する電子線２のエネルギーが蓄
積される。この電子線露光の際に、光シヤツター２２は
閉じられているのが好ましい。次いでシャッター１９が
閉じられ光シヤツター２２は開かれ、続いて前述のよう
に励起光源１２から射出され、Ｘ−７両方向に偏向され
た励起光ビーム１２ａがシーＨ１上に入射せしめられる
。このように偏向された励起光ビーム１２ａにより蓄積
性蛍光体シート１１は２次元的に走査され、該シート１
１は上記電子線エネルギーのレベルに応じた強度の輝尽
発光光を放出する。

この輝尽発光光はシート１１の裏側から、上記励起光ビ
ーム１２ａを取り除く光学フィルターを備えたガラス２
０を介してフォトマルチプライヤ−１５によって受光さ
れ、輝尽発光光量が光電的に読み取られる。

上記輝尽発光光の光量を担持するフォトマルチプライヤ
−１５の出力は、増幅器２３によって適正レベルの電気
信号（読取画像信号）Ｓに増幅される。

次いでこの読取画像信号ＳはＡ／Ｄ変換器２４において
、ディジタル画像信号Ｓｄに変換され、信号処理回路２
５において例えば階調処理、周波数強調処理等の信号処
理を受けて画像再生装置６０に送られる。

以下、上記画像再生装置６０を詳しく示す第２図を参照
して、電子顕微鏡像の再生について説明する。画像再生
装置６０の機台６２へ収容されるマガジン６４には、記
録材料としてロール状の熱現像感光材料６６が収容され
ている。この感光材料６６はその外周から引き出され、
カッタ６８で所定長さに切断された後に、記録ドラムと
しての回転ドラム７０の外周に巻き付けられるようにな
っている。この回転ドラム７０の外周に対応して画像記
録用ヘッドとしての露光ヘッド７２が配置されており、
この露光ヘッド７２には３色の光ビームを発する発光素
子７３が取り付けられている。これらの発光素子７３の
作動（ＯＮ−ＯＦＦあるいは光出力）は、前記信号処理
回路２５から出力された画像信号Ｓｄを受ける変調回路
７１により、この画像信号Ｓｄに基づいて制御される。

それにより各発光素子７３が発する光ビームが変調され
る。そして回転ドラム７０が矢印り方向に回転されると
ともに、露光ヘッド７２が該ドラム７０の表面に沿って
その長平方向に移動されることにより、上記光ビームの
主走査、副走査がなされ、熱現像感光材料６６には上記
光ビームが２次元的に照射される。これらの光ビームは
上述の通り画像信号Ｓｄに基づいて変調されているので
、これらの光ビームの照射を受けた熱現像感光材料６６
には、画像信号Ｓｄが担持する画像、すなわち前述した
蓄積性蛍光体シー１−１１に蓄積記録された試料８の電
子顕微鏡像が写真潜像として記録される。

露光後の感光材料６６は回転ドラム７ｏの逆転により、
スクレーパγ４で回転ドラム７ａから剥離され、水塗布
部７６で画像形成用溶奴としての水が付与された後に、
内部が加熱部とされた熱現像転写部７８へと送られる。

一方、トレイ８０に収容されている複数枚の受像材料８
２のうち最上部の１枚が、上記熱現像転写部７８へ送ら
れる。

熱現像転写部７８では互いに密着する搬送ローラ８４．
８Ｂが入口部に設けられており、感光材料６Ｂと受像材
料８２を密着させた後に出口部の搬送ローラ８８．９０
へと送り込むようになっている。中間部には搬送ローラ
９２．９４が設けられ、搬送ローラ８４．８Ｂから送り
出されて密着している感光材料６Ｂと受像材料８２を搬
送ローラ８８．９０へ送り出す。なお各搬送ローラは図
示しないモータにより駆動される。

各搬送ローラは、感光材料６６と受像材料８２の搬送経
路の反対側にそれぞれ配置されたヒータ９Ｂ（電熱体）
によって、所定温度に加熱されるようになっている。熱
現像感光材料６Ｂがこれらの加熱された搬送ローラに接
することにより、該感光材料６Ｂの写真潜像が熱現像さ
れ、現像された画像は該感光材料６６から遊離して、受
像材料８２に転写される。

熱現像転写部７８の後流には剥離手段９８が配置されて
おり、熱現像転写部７８から送り出された感光材料６Ｂ
を廃棄感光材料収容箱９Ｂへ、受像材料８２を乾燥装置
９７へと分離して送り出すようになっている。上述のよ
うにして電子顕微鏡像が転写された受像材料８２は、乾
燥装置９７で乾燥された後に機台６２の頂部に形成され
た取出トレイ９８上へ送り出される。

以上説明のようにして、′受像材料６２には試料８の電
子顕微鏡像が最終的に記録される。ここで、信号処理回
路２５において画像信号Ｓｄにカラー化の処理を施せば
、上記電子顕微鏡像をカラー表示することができる。そ
してこのカラー化に当たっては、前述したように試料８
の特定の元素を所定の色で表示することも可能である。

なお前記露光ヘッド７２の発光素子７３が発する光ビー
ムの径を例えば２５〜２００μｍ１さらに好ましくは５
０〜１５０μｍ程度とすることにより、上記受像材料６
２に最終的に記録される画像を、上記数値程度の大きさ
の画素からなる高精細なものとすることができる。

なお信号処理回路２５から出力された画像信号は、以上
説明のように直ちに画像再生装置６０に送って電子顕微
鏡像再生に供してもよいし、あるいは後に画像再生する
ために、−旦磁気テープ、磁気ディスク等の記憶媒体２
８に記憶させておいてもよい。

前述のようにして輝尽発光光の読取り、すなわち電子顕
微鏡像の読取りが終了した後、光シヤツター２２が閉じ
られ、ミラー１７は励起光ビーム１２ａの光路中に入る
位置に立てられ、そして消去光源１６が点灯される。そ
れによりシート１１の表面には、該消去光源１６が発す
る消去光ｌｅａが照射される。

蓄積性蛍光体シート１１に前記のように励起光ビーム１
２ａが照射されても、該シート１１に蓄積されていた電
子線エネルギーがすべて放出される訳ではなく、残像が
残る場合がある。しかし上記のようにして蓄積性蛍光体
シートｌｌに消去光ｌｅａを照射すれば、上記残像が消
去され、蓄積性蛍光体シート１１が再使用可能となる。

またこの消去光照射により、シート１１の蛍光体中に不
純物としてて含まれている２２１ｉＲａなどの放射性元
素によるノイズ成分も放出される。上記消去光Ｆｉ、Ｉ
Ｇとしては、例えば特開昭５６−１１３９２号に示され
ているようなタングステンランプ、ハロゲンランプ、赤
外線ランプ、キセノンフラッシュランプあるいはレーザ
光源等が任意に選択使用され得る。また読取り用の励起
光源１２を消去用に兼用してもよい。

なお視野探しとピント合せのための画像は、以上説明し
たのと全く同様にして画像再生装置６０に出力可能であ
り、この画像を観察しながら視野探しとピント合せを行
なうことができる。またその他、ＣＲＴ等のデイスプレ
ィ装置にモニタ画像を出力させ、このモニタ画像を観察
しながら視野探しとピント合せを行なってもよい。

なお、上述の実施例のシステムにおいては、２次元セン
サに電子顕微鏡像を記録するための記録装置と、２次元
センサに記録された電子顕微鏡像を読み取るための読取
装置とが一体化されて電子顕微鏡像記録読取装置１０と
されているが、例えば特開昭６１−２３７３５５号公報
に示されているように、記録装置と読取装置とは互に別
体として設けられてもよい。この場合、記録装置におい
て２次元センサに電子顕微鏡像の記録が行なわれた後２
次元センサは記録装置より取り出されて読取装置にかけ
られ、記録電子顕微鏡像の読取りが行なわれる。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の電子顕微鏡像記録再生
システムにおいては、最終的な電子顕微鏡像を再生記録
する装置として、熱現像感光材料に光ビームを照射して
画像記録する装置が用いられているから、比較的簡単に
高画質の電子顕微鏡像を再生可能で、またこの電子顕微
鏡像をカラー表示することも容易に可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の電子顕微鏡像記録再生システムの一例
を示す概略図、 第２図は上記システムに用いられた画像再生装置を示す
概略側面図である。 １・・・電子顕微鏡　　　　２・・・電子線８・・・試
料　　　　　　　９・・・電子顕微鏡の結像面１０・・
・電子顕微鏡像記録読取装置 １１・・・蓄積性蛍光体シート１２・・・励起光源１２
ａ・・・励起光ビーム　　■３・・・光走査系１３ａ、
　１３ｂ・・・光偏向器 １５・・・フォトマルチプライヤ−１６・・・消去光源
１６ａ・・・消去光　　　　　２３・・・増幅器２４・
・・Ａ／Ｄ変換器　　　２５・・・信号処理回路６０・
・・画像再生装置　　　６Ｂ・・・熱現像感光材料７０
・・・回転ドラム　　　　７２・・・露光ヘッド７３・
・・発光素子　　　　　７６・・・水塗布部７８・・・
熱現像転写部　　　８２・・・受像材料第１図 第２図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
   料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前
   記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積さ
   れたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光電
   的に検出して画像信号を得、この画像信号を画像再生装
   置に入力し、該画像信号に基づいて前記試料の電子顕微
   鏡像を再生する電子顕微鏡像記録再生システムにおいて
   、 前記画像再生装置として、熱現像感光材料上に前記画像
   信号に基づいて変調された光ビームを２次元的に走査さ
   せ、 この光ビーム走査によって露光された前記感光材料を熱
   現像し、 この現像された感光材料上の像を受像材料上に転写する
   熱現像記録装置が用いられたことを特徴とする電子顕微
   鏡像記録再生システム。
2. （２）前記２次元センサとして蓄積性蛍光体シートを用
   い、この蓄積性蛍光体シートに試料を透過した電子線を
   真空状態で蓄積記録し、次いで該蓄積性蛍光体シートを
   励起光で走査して蛍光を放出させ、この放出された蛍光
   を光電的に検出することを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の電子顕微鏡像記録再生システム。
3. （３）前記熱現像感光材料への電子顕微鏡像記録を、画
   素サイズ２５〜２００μｍで行なうことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡像記
   録再生システム。
4. （４）前記熱現像感光材料への電子顕微鏡像記録を、画
   素サイズ５０〜１５０μｍで行なうことを特徴とする特
   許請求の範囲第３項記載の電子顕微鏡像記録再生システ
   ム。