JP4653153B2 - 電子ビーム調整方法、及び走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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図1に、本発明による走査型顕微鏡の概略図を示す。陰極101と第一陽極102の間には、制御演算部119で制御される高電圧制御電源104により電圧が印加され、所定のエミッション電流が陰極101から引き出される。陰極101と第二陽極103の間には制御演算部119で制御される高電圧制御電源104により加速電圧が印加されるため、陰極101から放出された一次電子線110は加速されて後段のレンズ系に進行する。一次電子線110は、集束レンズ制御電源106で制御された集束レンズ105で集束され、絞り板107で一次電子線110の不要な領域が除去される。その後、対物レンズ制御電源112で制御された対物レンズ111により試料113に微小スポットとして集束され、偏向コイル108で試料上を二次元的に走査される。偏向コイル108の走査信号は、観察倍率に応じて偏向コイル制御電源109により制御される。また、試料113は二次元的に移動可能で、試料ステージ114に固定されている。試料ステージ114はステージ制御部115により移動される。一次電子線110の照射によって試料113から発生した二次電子116は二次電子検出器117により検出され、増幅器118によって増幅される。描画部120は検出された二次信号を可視信号に変換して別の平面上に適宜配列するように制御を行うことで、試料表示部121に試料の表面形状に適応した画像を試料像として表示する。入力部122はオペレーターと制御演算部119のインターフェイスを行うもので、オペレーターはこの入力部122を介して上記の各ユニットの制御や測定点の指定や寸法測定の指令を行う。
B=S/N …(1)
S/N:I0=X:Ip …(2)
Ip=X・I0・N/S …(3)
Claims (10)
- 試料に電子ビームを走査し、前記試料から発生する電子を検出器により検出し、当該検出信号を増幅器によって増幅し、当該走査によって得られる複数のフレームを積算して画像を形成する際の前記電子ビームの条件を調整する電子ビーム調整方法であって、
電子ビームを走査して得られた画像の輝度ヒストグラムを形成するステップと、
当該形成された輝度ヒストグラムを、前記画像の視認性が向上する位置に、前記電子ビームの電流及び前記増幅器のダイナミックレンジを調整することによって移動させるステップと、
を備えることを特徴とする電子ビーム調整方法。 - 前記調整された電子ビームの電流値に基づいて、フレーム積算枚数を決定することを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム調整方法。
- 前記フレーム積算枚数は、当該フレーム積算枚数と前記調整された電子ビームの電流の乗算結果が、予め定められた定数となるように決定されることを特徴とする請求項2に記載の電子ビーム調整方法。
- 前記定数は、前記試料の種類によって異なることを特徴とする請求項3に記載の電子ビーム調整方法。
- 電子源と、
当該電子源より放出された電子ビームを試料上に集束するレンズと、
前記集束された電子ビームを、設定されたフレーム積算枚数に基づいて、前記試料上で走査する走査偏向器と、
前記試料より放出される電子を検出する検出器と、
前記検出器の検出信号を増幅する増幅器と、
当該増幅器によって増幅された信号に基づいて画像を形成する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記電子ビームを走査して得られた画像の輝度ヒストグラムを形成し、前記電子ビームの電流及び前記増幅器のダイナミックレンジを調整することによって、前記輝度ヒストグラムを前記画像の視認性が向上する位置に移動させることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 前記制御装置は、前記調整された電子ビームの電流値に基づいて、フレーム積算枚数を決定することを特徴とする請求項5に記載の走査型電子顕微鏡。
- 前記制御装置は、当該フレーム積算枚数と前記調整された電流の乗算結果が予め定められた定数となるように、前記フレーム積算枚数を決定することを特徴とする請求項6に記載の走査型電子顕微鏡。
- 前記制御装置は、前記試料の種類ごとに異なる前記定数を用いることを特徴とする請求項7に記載の走査電子顕微鏡。
- 電子源と
当該電子源より放出された電子ビームを試料上に集束するレンズと、
前記集束された電子ビームを、設定されたフレーム積算枚数に基づいて、前記試料上で走査する走査偏向器と、
前記試料より放出される電子を検出する検出器と、
前記検出器の検出信号を増幅する増幅器と、
当該増幅器によって増幅された信号に基づいて画像を形成する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記電子ビームを走査して得られた画像の輝度ヒストグラムを形成し、前記電子ビームの電流及び前記増幅器のダイナミックレンジを調整することによって、前記輝度ヒストグラムを前記画像の視認性が向上する位置に移動させ、前記調整された電子ビームの電流と、当該電子ビームの電流と前記フレーム積算枚数との関係を示す定数であって、前記試料の種類ごとに異なる定数から前記フレーム積算枚数を決定することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 前記定数は、前記電子ビームの電流と前記フレーム積算枚数の乗数であることを特徴とする請求項9に記載の走査型電子顕微鏡。
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