JP5248128B2 - 画像信号処理方法及び装置、並びに荷電粒子線装置 - Google Patents
画像信号処理方法及び装置、並びに荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5248128B2 JP5248128B2 JP2008020953A JP2008020953A JP5248128B2 JP 5248128 B2 JP5248128 B2 JP 5248128B2 JP 2008020953 A JP2008020953 A JP 2008020953A JP 2008020953 A JP2008020953 A JP 2008020953A JP 5248128 B2 JP5248128 B2 JP 5248128B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- signal
- display image
- noise amount
- display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
図1は、本発明の第1の実施形態による画像信号処理装置の概略構成を示す図である。画像信号処理装置10は、ノイズ量算出部12と、ノイズ量参照値設定部13と、表示画像を調整対象とするコントラスト・ブライトネス調整部14を備えている。なお、画像信号処理装置10は、CPU(Central Processing Unit)とメモリを備えたコンピュータによって構成され、その中での信号処理をディジタル処理で実行するものを想定しているが、ハードワイヤードで構成してもよい。
画像メモリに記憶された表示画像11は、画像信号処理装置10によって、ノイズ量が一定に調整される。
図7は、本発明の第2の実施形態による画像信号処理装置の構成である。画像信号処理装置80は、ノイズ量算出部12と、ノイズ量参照値設定部13と、信号アンプを調整対象とするコントラスト・ブライトネス調整部81で構成される。なお、画像信号処理装置80は、一般的に、CPU(Central Processing Unit)とメモリを備えたコンピュータによって構成され、その中での信号処理をディジタル処理で実行するものを想定しているが、ハードワイヤードで構成してもよい。また、ノイズ量算出部12とノイズ量参照値設定部13の構成は、第1の実施形態のそれが適用可能である。
図12は、第3の実施形態による荷電粒子千装置であって、表示画像を調整対象とする画像信号調整装置10と、信号アンプを調整対象とする画像信号処理装置80の両方を、荷電粒子線装置に適用した例を示す図である。
Claims (9)
- 表示部に表示されるべき表示画像を調整する画像信号処理方法であって、
ノイズ算出部が、前記表示画像からノイズ量を算出し、
画像調整部が、前記算出されたノイズ量が与えられるノイズ量参照値に一致するように前記表示画像のコントラストとブライトネスを調整することを特徴とする画像信号処理方法。 - 前記画像調整部は、前記表示画像のヒストグラムの幅と位置を変更することにより、前記算出されたノイズ量が与えられるノイズ量参照値に一致するように調整することを特徴とする請求項1に記載の画像信号処理方法。
- 表示部に表示されるべき表示画像を調整する画像信号処理方法であって、
ノイズ算出部が、前記表示画像からノイズ量を算出し、
信号制御部が、前記算出されたノイズ量及びノイズ量参照値から、前記表示画像の信号増幅度及び信号バイアス値を変更することにより、前記算出されたノイズ量を一定にするように前記表示画像のコントラストとブライトネスを調整するための画像制御信号を生成することを特徴とする画像信号処理方法。 - 表示部に表示されるべき表示画像を調整する画像信号処理装置であって、
前記表示画像からノイズ量を算出するノイズ算出部と、
前記算出されたノイズ量が与えられるノイズ量参照値に一致するように前記表示画像のコントラストとブライトネスを調整する画像調整部と、
を備えることを特徴とする画像信号処理装置。 - 前記画像調整部は、前記表示画像のヒストグラムの幅と位置を変更することにより、前記算出されたノイズ量が与えられるノイズ量参照値に一致するように調整することを特徴とする請求項4に記載の画像信号処理装置。
- 表示部に表示されるべき表示画像を調整する画像信号処理装置であって、
前記表示画像からノイズ量を算出するノイズ算出部と、
前記算出されたノイズ量を一定にするように前記表示画像のコントラストとブライトネスを調整するための画像制御信号を生成する信号制御部と、を備え、
前記信号制御部は、前記算出されたノイズ量及びノイズ量参照値から、前記表示画像の信号増幅度及び信号バイアス値を変更することにより、前記画像制御信号を生成することを特徴とする画像信号処理装置。 - 荷電粒子ビームを試料表面に照射して、その試料を観察するための荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子ビームの照射によって前記試料表面から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器による検出信号から、表示部に表示すべき表示画像を生成する画像生成部と、
請求項4又は5に記載の画像信号処理装置と、
前記画像信号処理装置によってコントラストとブライトネスが調整された画像を表示する表示部と、
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子ビームを試料表面に照射して、その試料を観察するための荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子ビームの照射によって前記試料表面から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器による検出信号を制御する信号アンプと、
前記信号アンプによって制御された前記検出信号から、表示部に表示すべき表示画像を生成する画像生成部と、
請求項6に記載の画像信号処理装置と、
前記表示画像を表示する表示部と、を備え、
前記信号アンプは、前記画像信号処理装置によって生成された画像制御信号に基づいて、前記検出信号の増幅度及び/又はバイアス値を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子ビームを試料表面に照射して、その試料を観察するための荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子ビームの照射によって前記試料表面から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器による検出信号を制御する信号アンプと、
前記信号アンプによって制御された前記検出信号から、表示部に表示すべき表示画像を生成する画像生成部と、
請求項6に記載の画像信号処理装置(第1の画像信号処理装置)と、
請求項4又は5に記載の画像信号処理装置(第2の画像信号処理装置)と、
前記表示画像を表示する表示部と、を備え、
前記信号アンプは、前記第1の画像信号処理装置によって生成された画像制御信号に基づいて、前記検出信号の増幅度及び/又はバイアス値を調整し、
前記画像生成部は、前記増幅度及び/又はバイアス値が調整された検出信号から第1の調整後表示画像を生成し、
前記第2の画像信号処理装置は、前記第1の調整後表示画像のコントラストとブライトネスを調整して第2の調整後表示画像を生成し、
前記表示部は、前記第2の調整後表示画像を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020953A JP5248128B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | 画像信号処理方法及び装置、並びに荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020953A JP5248128B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | 画像信号処理方法及び装置、並びに荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009181863A JP2009181863A (ja) | 2009-08-13 |
JP5248128B2 true JP5248128B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=41035657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008020953A Expired - Fee Related JP5248128B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | 画像信号処理方法及び装置、並びに荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5248128B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5478385B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2014-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 |
JP5970199B2 (ja) * | 2012-02-14 | 2016-08-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4235284B2 (ja) * | 1998-08-25 | 2009-03-11 | 株式会社日立製作所 | パターン検査装置およびその方法 |
JP4177375B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2008-11-05 | 株式会社日立製作所 | 回路パターンの検査方法及び検査装置 |
JP4917359B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2012-04-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、及びそれを制御するためのプログラム |
-
2008
- 2008-01-31 JP JP2008020953A patent/JP5248128B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009181863A (ja) | 2009-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7236651B2 (en) | Image evaluation method and microscope | |
JP4500099B2 (ja) | 電子顕微鏡装置システム及び電子顕微鏡装置システムを用いた寸法計測方法 | |
JP4610182B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
JP4917359B2 (ja) | 荷電粒子線装置、及びそれを制御するためのプログラム | |
JP4194526B2 (ja) | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
EP3588532B1 (en) | Charged particle beam apparatus and image acquisition method | |
JP6343508B2 (ja) | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP2008123990A (ja) | 電子線装置及び電子線装置の動作方法 | |
JP5248128B2 (ja) | 画像信号処理方法及び装置、並びに荷電粒子線装置 | |
JP4621098B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡および画像信号処理方法 | |
JP5478385B2 (ja) | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
US10482579B2 (en) | Image processing apparatus, image processing method, and analyzer | |
JP4207353B2 (ja) | 自動コントラスト・ブライトネス調整装置 | |
JP4709785B2 (ja) | 荷電粒子線顕微鏡、画像分解能評価用計算機、及び像分解能評価方法 | |
JPH11296680A (ja) | コントラスト改善機能を有する画像処理装置及び荷電粒子線装置 | |
JP2009002658A (ja) | 薄膜試料の観察方法 | |
JP4653153B2 (ja) | 電子ビーム調整方法、及び走査型電子顕微鏡 | |
JP2005268231A (ja) | 像評価方法及び顕微鏡 | |
JP4231891B2 (ja) | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP4730319B2 (ja) | 像評価方法及び顕微鏡 | |
WO2021149188A1 (ja) | 荷電粒子線装置及び検査装置 | |
JP2010015731A (ja) | 走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡における画像の改良方法 | |
JP2022117643A (ja) | 荷電粒子ビーム装置および荷電粒子ビーム装置のキャリブレーション方法 | |
JP2023046640A (ja) | 荷電粒子線装置および画像調整方法 | |
JP2012112899A (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120717 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130410 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |