JP2005174555A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】 走査型電子顕微鏡において、試料のスリミングを低減し、視認性のよい最適な画質が得られる画像処理方法を提供する。
【解決手段】 フレーム積算数を減らすことによって、スリミングを低減させる。フレーム積算数が減少すると、2次電子検出量が減少するためプローブ電流量の増加により2次電子検出量を増加させる。電子線走査を行い、ヒストグラムを作成し(S12)、ヒストグラムを2次微分することによって(S13)、試料像のコントラストが変化する階調とプローブ電流量を算出する(S16)。算出したプローブ電流量に適した積算フレーム数と、試料像に適したコントラストを調整することにより(S17)、試料のスリミングを抑え、視認性のよい最適な試料画像を得て測長する(S18)。
【選択図】 図6
Description
図1に、本発明による走査型顕微鏡の概略図を示す。陰極101と第一陽極102の間には、制御演算部119で制御される高電圧制御電源104により電圧が印加され、所定のエミッション電流が陰極101から引き出される。陰極101と第二陽極103の間には制御演算部119で制御される高電圧制御電源104により加速電圧が印加されるため、陰極101から放出された一次電子線110は加速されて後段のレンズ系に進行する。一次電子線110は、収束レンズ制御電源106で制御された収束レンズ105で収束され、絞り板107で一次電子線110の不要な領域が除去される。その後、対物レンズ制御電源112で制御された対物レンズ111により試料113に微小スポットとして収束され、偏向コイル108で試料上を二次元的に走査される。偏向コイル108の走査信号は、観察倍率に応じて偏向コイル制御電源109により制御される。また、試料113は二次元的に移動可能で、試料ステージ114に固定されている。試料ステージ114はステージ制御部115により移動される。一次電子線110の照射によって試料113から発生した二次電子116は二次電子検出器117により検出され、増幅器118によって増幅される。描画部120は検出された二次信号を可視信号に変換して別の平面上に適宜配列するように制御を行うことで、試料表示部121に試料の表面形状に適応した画像を試料像として表示する。入力部122はオペレーターと制御演算部119のインターフェイスを行うもので、オペレーターはこの入力部122を介して上記の各ユニットの制御や測定点の指定や寸法測定の指令を行う。
B=S/N …(1)
S/N:I0=X:Ip …(2)
Ip=X・I0・N/S …(3)
Claims (8)
- 電子線源と、前記電子線源より放出された一次電子線を試料表面上に収束するレンズ系と、前記収束された一次電子線を試料表面上で二次元的に走査する走査部と、電子線照射により試料から発生する二次信号を検出する検出器と、前記検出器の検出信号を増幅する増幅器と、前記増幅器で増幅された信号に基づいて試料像を形成する描画部と、制御演算部とを備え、
前記制御演算部は、試料像の輝度ヒストグラムを作成し、前記輝度ヒストグラムから求められる画像の明るさが全階調幅の略中央に来るように前記一次電子線の電流値を制御し、画像の明るさに対応したコントラストが得られるように前記増幅器の増幅条件を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、前記制御演算部は、前記輝度ヒストグラムを関数化した曲線の低階調値側領域及び高階調値側領域で2次微分が極値を取る階調値を算出し、当該2つの階調値が所定の階調範囲内に含まれるように前記増幅器の増幅条件を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、前記制御演算部は、前記輝度ヒストグラムを関数化した曲線が低階調値端領域にピークを有するとき、当該ピーク領域を前記曲線の低階調値側に接し階調軸と交わる接線によって置き換えた仮想的なヒストグラムから求められる画像の明るさが全階調幅の略中央に来るように前記一次電子線の電流値を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項3記載の走査型電子顕微鏡において、前記制御演算部は、前記接線が階調軸と交わる階調値と前記曲線の高階調値側領域で2次微分が極値を取る階調値とが所定の階調範囲内に含まれるように前記増幅器の増幅条件を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1記載の走査型電子顕微鏡において、前記制御演算部は、前記輝度ヒストグラムを関数化した曲線が高階調値端領域にピークを有するとき、当該ピーク領域を前記曲線の高階調値側に接し階調軸と交わる接線によって置き換えた仮想的なヒストグラムから求められる画像の明るさが全階調幅の略中央に来るように前記一次電子線の電流値を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項5記載の走査型電子顕微鏡において、前記制御演算部は、前記接線が階調軸と交わる階調値と前記曲線の低階調値側領域で2次微分が極値を取る階調値とが所定の階調範囲内に含まれるように前記増幅器の増幅条件を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1〜6のいずれか1項記載の走査型電子顕微鏡において、前記制御演算部は、前記一次電子線の電流値に基づいてフレーム積算数を算出することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項7記載の走査型電子顕微鏡において、表示部を備え、前記試料像の輝度ヒストグラムと、前記一次電子線の電流量と、前記フレーム積算数を表示することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
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