JPH09134695A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- JPH09134695A JPH09134695A JP29243195A JP29243195A JPH09134695A JP H09134695 A JPH09134695 A JP H09134695A JP 29243195 A JP29243195 A JP 29243195A JP 29243195 A JP29243195 A JP 29243195A JP H09134695 A JPH09134695 A JP H09134695A
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- Japan
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- line
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Abstract
(57)【要約】
【課題】画像メモリを大容量化することなしに高精細な
大容量の画像データが得られる走査電子顕微鏡を提供す
る。 【解決手段】画像データの少なくとも１ライン分の容量
のラインメモリ１４を備え、電子ビームのライン走査の
帰線期間に１ライン分の画像データをラインメモリ１４
とコンピュータ１７間で転送する。
大容量の画像データが得られる走査電子顕微鏡を提供す
る。 【解決手段】画像データの少なくとも１ライン分の容量
のラインメモリ１４を備え、電子ビームのライン走査の
帰線期間に１ライン分の画像データをラインメモリ１４
とコンピュータ１７間で転送する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は試料の微小な領域を
観察する走査電子顕微鏡において、特に、高精細で大容
量の画像データを得ることのできる走査電子顕微鏡に関
する。
観察する走査電子顕微鏡において、特に、高精細で大容
量の画像データを得ることのできる走査電子顕微鏡に関
する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡は多くの研究開発分野で試料
の微細な構造を観察するために用いられている。従来、
電子顕微鏡を用いた試料の評価は、ディスプレイへの表
示や写真に撮影したＳＥＭ（Scanning Electron Micros
cope）像を観察することにより行っていた。しかし、近
年、高性能のパソコンやワークステーションが低価格で
普及するに伴い、ＳＥＭ像を画像データのファイルとし
て保存し、パソコン，ワークステーション等のコンピュ
ータでフィルタ処理等の画像処理を行って評価する技術
が用いられるようになってきた。例として特開平1−848
5 号公報「画像検索・解析ワークステーション」があ
る。さらに、コンピュータを電子顕微鏡の構成要素とし
た、電子顕微鏡も開発されるようになってきた。
の微細な構造を観察するために用いられている。従来、
電子顕微鏡を用いた試料の評価は、ディスプレイへの表
示や写真に撮影したＳＥＭ（Scanning Electron Micros
cope）像を観察することにより行っていた。しかし、近
年、高性能のパソコンやワークステーションが低価格で
普及するに伴い、ＳＥＭ像を画像データのファイルとし
て保存し、パソコン，ワークステーション等のコンピュ
ータでフィルタ処理等の画像処理を行って評価する技術
が用いられるようになってきた。例として特開平1−848
5 号公報「画像検索・解析ワークステーション」があ
る。さらに、コンピュータを電子顕微鏡の構成要素とし
た、電子顕微鏡も開発されるようになってきた。
【０００３】従来のコンピュータを構成要素とした電子
顕微鏡の動作を簡単に説明する。電子銃から放出された
電子ビームを電子レンズで収束し、偏向器で二次元の走
査偏向を行い試料に照射する。試料に電子ビームが照射
されると試料の形状や材質に従った反射電子や二次電子
等の二次粒子が発生する。この二次粒子を二次粒子検出
器で検出増幅した後、Ａ／Ｄ変換器でディジタル値の画
像データに変換し、画像メモリに記憶する。電子ビーム
の走査が終了した後、画像メモリに記憶した画像データ
をコンピュータに転送し、コンピュータでの複雑な画像
処理や文書編集ソフトウェアを用いたレポート作成等を
行う。このような従来の構成における画像メモリの容量
は、得ようとする二次元画像のサイズに応じた容量とな
る。
顕微鏡の動作を簡単に説明する。電子銃から放出された
電子ビームを電子レンズで収束し、偏向器で二次元の走
査偏向を行い試料に照射する。試料に電子ビームが照射
されると試料の形状や材質に従った反射電子や二次電子
等の二次粒子が発生する。この二次粒子を二次粒子検出
器で検出増幅した後、Ａ／Ｄ変換器でディジタル値の画
像データに変換し、画像メモリに記憶する。電子ビーム
の走査が終了した後、画像メモリに記憶した画像データ
をコンピュータに転送し、コンピュータでの複雑な画像
処理や文書編集ソフトウェアを用いたレポート作成等を
行う。このような従来の構成における画像メモリの容量
は、得ようとする二次元画像のサイズに応じた容量とな
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】走査電子顕微鏡の性能
が向上するとともに得られる画像が高分解能になり、画
像データの容量が大きくなってきている。また、パソコ
ンやワークステーション等のコンピュータが扱える画像
データのサイズも処理速度の向上やメモリの大容量化に
よって大きくなってきている。さらに、コンピュータの
プリンタが従来の電子顕微鏡の写真の分解能よりも高分
解能で大きなサイズの画像を出力できるようになってい
る。そこで、走査電子顕微鏡で高精細なＳＥＭ像を得
て、コンピュータ処理する要望が高まっている。しか
し、従来の走査電子顕微鏡の構成で、高精細な大容量の
画像データを得ようとすると画像メモリの容量もそれに
応じた大容量のものが必要になる。
が向上するとともに得られる画像が高分解能になり、画
像データの容量が大きくなってきている。また、パソコ
ンやワークステーション等のコンピュータが扱える画像
データのサイズも処理速度の向上やメモリの大容量化に
よって大きくなってきている。さらに、コンピュータの
プリンタが従来の電子顕微鏡の写真の分解能よりも高分
解能で大きなサイズの画像を出力できるようになってい
る。そこで、走査電子顕微鏡で高精細なＳＥＭ像を得
て、コンピュータ処理する要望が高まっている。しか
し、従来の走査電子顕微鏡の構成で、高精細な大容量の
画像データを得ようとすると画像メモリの容量もそれに
応じた大容量のものが必要になる。
【０００５】本発明の目的は、大容量の画像メモリなし
に高精細な大容量の画像データが得られる走査電子顕微
鏡を提供することにある。
に高精細な大容量の画像データが得られる走査電子顕微
鏡を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、得ようとす
るＳＥＭ像の画像データの少なくとも１ライン分のライ
ンメモリを備え、電子ビームの二次元走査の１ライン走
査の帰線期間にラインメモリとコンピュータ間で画像デ
ータの転送を行うことにより達成される。
るＳＥＭ像の画像データの少なくとも１ライン分のライ
ンメモリを備え、電子ビームの二次元走査の１ライン走
査の帰線期間にラインメモリとコンピュータ間で画像デ
ータの転送を行うことにより達成される。
【０００７】本発明によれば、画像メモリの容量を高精
細な画像の１ライン分に削減でき、高精細な画像の全サ
イズにまで大容量化することなしに高精細な大容量の画
像データを得ることができる。
細な画像の１ライン分に削減でき、高精細な画像の全サ
イズにまで大容量化することなしに高精細な大容量の画
像データを得ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明の第１の実施例である走査電子顕微鏡
のブロック図である。電子銃１から放射された電子ビー
ム７を電子レンズ２で収束し、偏向器３で二次元の走査
偏向して試料５に照射する。試料５に電子ビーム７が照
射されると試料の形状や材質に従った反射電子や二次電
子等の二次粒子８が発生する。二次粒子８を二次粒子検
出器４で検出増幅し、Ａ／Ｄ変換器１１でディジタル値
の画像データに変換する。画像データをラインメモリ１
４に記憶する。ラインメモリ１４は画像サイズの１ライ
ン分の容量のメモリである。例えば、画像のサイズを
２,５６０画素×１,９２０画素、画像の階調を８ビット
とするとラインメモリの容量は２０キロビット(２,５６
０画素×８ビット）となる。ラインメモリアドレス制御
回路１３は、電子ビームの走査信号に同期した書込みア
ドレスの生成と画像データをコンピュータ１７に転送す
る際の読出しアドレスの生成を行う。図２は電子ビーム
を二次元走査してＳＥＭ像を得る場合のラインメモリ１
４のタイミングチャートである。走査電子顕微鏡の電子
ビームの走査は周囲のノイズの影響を減少させるために
商用電源周波数に同期させることが多い。ここでは１ラ
イン走査の周期を６０Ｈｚとし、帰線時間を１ｍｓとす
ると１ライン走査の時間は約１５.７ｍｓ となる。１ラ
インの画像データの分解能を２,５６０ 画素とすると約
６μｓに１回の間隔で画像データをラインメモリ１４に
書込む。１ライン走査が終わり電子ビームの走査の帰線
時間になるとラインメモリ１４に記憶した画像データを
コンピュータ１７に転送する。ラインメモリ１４とコン
ピュータ１７を８ビットバスで接続し、転送速度を１０
ＭＢ／ｓとすると２,５６０ バイトの画像データは、帰
線時間の１ｍｓ以内である約２５６μｓで転送が終了す
る。ラインメモリ１４とコンピュータ１７は、専用のイ
ンタフェースによって接続すると高速の転送速度が得ら
れるが、ＳＣＳＩ等の汎用のインターフェースを用いて
も１０ＭＢ／ｓ程度の転送速度が可能である。この１ラ
イン走査毎の動作を最終ラインの１,９２０ 本目まで繰
り返すと２次元の高精細な画像データがコンピュータ１
７に記憶される。
る。図１は本発明の第１の実施例である走査電子顕微鏡
のブロック図である。電子銃１から放射された電子ビー
ム７を電子レンズ２で収束し、偏向器３で二次元の走査
偏向して試料５に照射する。試料５に電子ビーム７が照
射されると試料の形状や材質に従った反射電子や二次電
子等の二次粒子８が発生する。二次粒子８を二次粒子検
出器４で検出増幅し、Ａ／Ｄ変換器１１でディジタル値
の画像データに変換する。画像データをラインメモリ１
４に記憶する。ラインメモリ１４は画像サイズの１ライ
ン分の容量のメモリである。例えば、画像のサイズを
２,５６０画素×１,９２０画素、画像の階調を８ビット
とするとラインメモリの容量は２０キロビット(２,５６
０画素×８ビット）となる。ラインメモリアドレス制御
回路１３は、電子ビームの走査信号に同期した書込みア
ドレスの生成と画像データをコンピュータ１７に転送す
る際の読出しアドレスの生成を行う。図２は電子ビーム
を二次元走査してＳＥＭ像を得る場合のラインメモリ１
４のタイミングチャートである。走査電子顕微鏡の電子
ビームの走査は周囲のノイズの影響を減少させるために
商用電源周波数に同期させることが多い。ここでは１ラ
イン走査の周期を６０Ｈｚとし、帰線時間を１ｍｓとす
ると１ライン走査の時間は約１５.７ｍｓ となる。１ラ
インの画像データの分解能を２,５６０ 画素とすると約
６μｓに１回の間隔で画像データをラインメモリ１４に
書込む。１ライン走査が終わり電子ビームの走査の帰線
時間になるとラインメモリ１４に記憶した画像データを
コンピュータ１７に転送する。ラインメモリ１４とコン
ピュータ１７を８ビットバスで接続し、転送速度を１０
ＭＢ／ｓとすると２,５６０ バイトの画像データは、帰
線時間の１ｍｓ以内である約２５６μｓで転送が終了す
る。ラインメモリ１４とコンピュータ１７は、専用のイ
ンタフェースによって接続すると高速の転送速度が得ら
れるが、ＳＣＳＩ等の汎用のインターフェースを用いて
も１０ＭＢ／ｓ程度の転送速度が可能である。この１ラ
イン走査毎の動作を最終ラインの１,９２０ 本目まで繰
り返すと２次元の高精細な画像データがコンピュータ１
７に記憶される。
【０００９】図３は本発明の第２の実施例である走査電
子顕微鏡のブロック図である。第１の実施例の構成に加
えて、Ｄ／Ａ変換器１８と写真撮影装置２２を備えてい
る。コンピュータのプリンタで出力したＳＥＭ画像は、
分解能や画像サイズが従来の走査電子顕微鏡の写真に比
べ優れているが、現状のプリンタは出力時間や価格の点
で写真に劣る。そこで、本構成によれば、コンピュータ
１７で処理した画像データを写真に撮影することができ
る。図４は取込んだＳＥＭ画像を写真に撮影する際のラ
インメモリ１４のタイミングチャートである。偏向制御
回路１０はSEM像を得る際と同様に走査信号を発生する
が、写真撮影装置２２に走査信号を与える。走査が始ま
る前に１ライン分の画像データをコンピュータ１７から
ラインメモリ１４に転送する。走査が始まるとラインメ
モリ１４を走査信号と同期して読出し、Ｄ／Ａ変換器１
８でアナログ信号に変換して写真撮影装置２２に与え、
１ラインの写真を撮影する。１ライン走査の帰線期間に
次のラインの画像データをコンピュータ１７からライン
メモリ１４に転送する。これを繰り返して画像を写真に
撮影することができる。
子顕微鏡のブロック図である。第１の実施例の構成に加
えて、Ｄ／Ａ変換器１８と写真撮影装置２２を備えてい
る。コンピュータのプリンタで出力したＳＥＭ画像は、
分解能や画像サイズが従来の走査電子顕微鏡の写真に比
べ優れているが、現状のプリンタは出力時間や価格の点
で写真に劣る。そこで、本構成によれば、コンピュータ
１７で処理した画像データを写真に撮影することができ
る。図４は取込んだＳＥＭ画像を写真に撮影する際のラ
インメモリ１４のタイミングチャートである。偏向制御
回路１０はSEM像を得る際と同様に走査信号を発生する
が、写真撮影装置２２に走査信号を与える。走査が始ま
る前に１ライン分の画像データをコンピュータ１７から
ラインメモリ１４に転送する。走査が始まるとラインメ
モリ１４を走査信号と同期して読出し、Ｄ／Ａ変換器１
８でアナログ信号に変換して写真撮影装置２２に与え、
１ラインの写真を撮影する。１ライン走査の帰線期間に
次のラインの画像データをコンピュータ１７からライン
メモリ１４に転送する。これを繰り返して画像を写真に
撮影することができる。
【００１０】図５は本発明の第３の実施例である走査電
子顕微鏡のブロック図である。第１の実施例の構成に加
えて、演算器１２を備えている。走査電子顕微鏡のＳＥ
Ｍ像を得る際に何枚かの画像を加算して１枚のノイズを
減少させた画像とするフレーム加算と呼ばれるフレーム
間の演算処理がある。図６はフレーム間の演算処理を行
う際のラインメモリ１４のタイミングチャートである。
ここでは４枚のフレーム加算を行う場合を説明する。１
フレーム目の画像データを得る際には、ラインメモリ１
４をクリアする。走査が始まると演算器１２は、ライン
メモリ１４から読出したクリアしたデータと新たな画像
データを加算枚数の４で除算した値を加算してラインメ
モリ１４に書込む。これを繰り返して１ラインの画像デ
ータをラインメモリ１４に記憶する。１ライン走査の終
了後の帰線期間にラインメモリ１４に記憶している１ラ
イン分の画像データをコンピュータ１７に転送し、さら
に、ラインメモリ１４をクリアする。この１ライン走査
の処理を繰り返して１フレームの画像データをコンピュ
ータ１７に記憶する。２枚目のフレームの走査が始まる
前にコンピュータ１７に記憶してある画像データの１ラ
イン分の画像データをラインメモリ１４に転送する。走
査が始まると演算器１２は、ラインメモリ１４から読出
した画像データと新たな画像データを加算枚数の４で除
算した値を加算してラインメモリ１４に書込む。これを
繰り返して１ラインの画像データがラインメモリ１４に
記憶する。１ライン走査の終了後の帰線期間にラインメ
モリ１４に記憶している１ライン分の画像データをコン
ピュータ１７に転送し、さらに、コンピュータ１７に記
憶してある画像データの１ライン分の画像データをライ
ンメモリ１４に転送する。この１ライン走査の処理を繰
り返して１フレーム目と２フレーム目を加算した画像デ
ータをコンピュータ１７に記憶する。このフレーム処理
を４フレーム分繰り返すと４枚のフレーム加算を行った
画像がコンピュータ１７に記憶される。この場合、ライ
ン走査の帰線期間に、ラインメモリ１４からコンピュー
タ１７への画像データの転送とコンピュータ１７からラ
インメモリ１４への画像データの転送を行わなければな
らない。しかし、第１の実施例で述べた転送速度であれ
ば、この場合も十分に可能である。
子顕微鏡のブロック図である。第１の実施例の構成に加
えて、演算器１２を備えている。走査電子顕微鏡のＳＥ
Ｍ像を得る際に何枚かの画像を加算して１枚のノイズを
減少させた画像とするフレーム加算と呼ばれるフレーム
間の演算処理がある。図６はフレーム間の演算処理を行
う際のラインメモリ１４のタイミングチャートである。
ここでは４枚のフレーム加算を行う場合を説明する。１
フレーム目の画像データを得る際には、ラインメモリ１
４をクリアする。走査が始まると演算器１２は、ライン
メモリ１４から読出したクリアしたデータと新たな画像
データを加算枚数の４で除算した値を加算してラインメ
モリ１４に書込む。これを繰り返して１ラインの画像デ
ータをラインメモリ１４に記憶する。１ライン走査の終
了後の帰線期間にラインメモリ１４に記憶している１ラ
イン分の画像データをコンピュータ１７に転送し、さら
に、ラインメモリ１４をクリアする。この１ライン走査
の処理を繰り返して１フレームの画像データをコンピュ
ータ１７に記憶する。２枚目のフレームの走査が始まる
前にコンピュータ１７に記憶してある画像データの１ラ
イン分の画像データをラインメモリ１４に転送する。走
査が始まると演算器１２は、ラインメモリ１４から読出
した画像データと新たな画像データを加算枚数の４で除
算した値を加算してラインメモリ１４に書込む。これを
繰り返して１ラインの画像データがラインメモリ１４に
記憶する。１ライン走査の終了後の帰線期間にラインメ
モリ１４に記憶している１ライン分の画像データをコン
ピュータ１７に転送し、さらに、コンピュータ１７に記
憶してある画像データの１ライン分の画像データをライ
ンメモリ１４に転送する。この１ライン走査の処理を繰
り返して１フレーム目と２フレーム目を加算した画像デ
ータをコンピュータ１７に記憶する。このフレーム処理
を４フレーム分繰り返すと４枚のフレーム加算を行った
画像がコンピュータ１７に記憶される。この場合、ライ
ン走査の帰線期間に、ラインメモリ１４からコンピュー
タ１７への画像データの転送とコンピュータ１７からラ
インメモリ１４への画像データの転送を行わなければな
らない。しかし、第１の実施例で述べた転送速度であれ
ば、この場合も十分に可能である。
【００１１】図７は本発明の第４の実施例である走査電
子顕微鏡のブロック図である。これまで述べてきた実施
例の構成に加えて、表示メモリ１６，表示メモリアドレ
ス制御回路１５，表示信号制御回路１９，Ｄ／Ａ変換器
２０，表示ディスプレイ２３を備えている。走査電子顕
微鏡の操作は、高精細なＳＥＭ像を得る前に視野の位置
決めやフォーカス等の調整作業を行う必要がある。この
調整作業の際には高分解能の走査を行う必要がなく、走
査速度もフレ−ム速度を早くするほうが調整作業も容易
となる。ラインメモリ１４は走査の速度が早くなるとコ
ンピュータ１７との転送ができなくなる問題がある。そ
こで、走査速度が早い場合に表示メモリ１６を用いる。
表示メモリ１６は、表示ディスプレイ２３の表示サイズ
の画像データを記憶できる容量のメモリである。例え
ば、表示ディスプレイの表示サイズを６４０画素×４８
０画素、階調を８ビットとすると表示メモリ１６の容量
は２.５ メガビット（６４０画素×４８０画素×８ビッ
ト）となる。表示メモリアドレス制御回路１５は、電子
ビームの走査信号に同期した書込みアドレスの生成と表
示信号制御回路１９が発生する表示信号に同期した読出
しアドレスの生成を行う。表示メモリ１６の読出しは、
電子ビームの走査にかかわらず表示ディスプレイ２３の
表示速度で行う。高精細の画像データを得るための走査
を行っている際には、画像データ間引いて表示メモリ１
６に書込み、途中の状態を表示ディスプレイ２３に表示
する。
子顕微鏡のブロック図である。これまで述べてきた実施
例の構成に加えて、表示メモリ１６，表示メモリアドレ
ス制御回路１５，表示信号制御回路１９，Ｄ／Ａ変換器
２０，表示ディスプレイ２３を備えている。走査電子顕
微鏡の操作は、高精細なＳＥＭ像を得る前に視野の位置
決めやフォーカス等の調整作業を行う必要がある。この
調整作業の際には高分解能の走査を行う必要がなく、走
査速度もフレ−ム速度を早くするほうが調整作業も容易
となる。ラインメモリ１４は走査の速度が早くなるとコ
ンピュータ１７との転送ができなくなる問題がある。そ
こで、走査速度が早い場合に表示メモリ１６を用いる。
表示メモリ１６は、表示ディスプレイ２３の表示サイズ
の画像データを記憶できる容量のメモリである。例え
ば、表示ディスプレイの表示サイズを６４０画素×４８
０画素、階調を８ビットとすると表示メモリ１６の容量
は２.５ メガビット（６４０画素×４８０画素×８ビッ
ト）となる。表示メモリアドレス制御回路１５は、電子
ビームの走査信号に同期した書込みアドレスの生成と表
示信号制御回路１９が発生する表示信号に同期した読出
しアドレスの生成を行う。表示メモリ１６の読出しは、
電子ビームの走査にかかわらず表示ディスプレイ２３の
表示速度で行う。高精細の画像データを得るための走査
を行っている際には、画像データ間引いて表示メモリ１
６に書込み、途中の状態を表示ディスプレイ２３に表示
する。
【００１２】
【発明の効果】２,５６０画素×１,９２０画素で８ビッ
ト階調の高精細な画像を得るための画像メモリとして、
従来の構成では３９メガビット（２,５６０画素×１,９
２０画素×８ビット）の容量が必要であったのに比べ、
本発明によれば、ラインメモリ１４と表示メモリ１６を
合わせても３メガビット以下となり、画像メモリを大容
量化することなしに高精細な大容量の画像データを得る
ことができる。画像がさらに高精細になるとメモリの削
減量は大きくなる。
ト階調の高精細な画像を得るための画像メモリとして、
従来の構成では３９メガビット（２,５６０画素×１,９
２０画素×８ビット）の容量が必要であったのに比べ、
本発明によれば、ラインメモリ１４と表示メモリ１６を
合わせても３メガビット以下となり、画像メモリを大容
量化することなしに高精細な大容量の画像データを得る
ことができる。画像がさらに高精細になるとメモリの削
減量は大きくなる。
【図１】本発明の第１の実施例の走査電子顕微鏡のブロ
ック図。
ック図。
【図２】ＳＥＭ像を得る際のラインメモリの動作を示す
タイミングチャート。
タイミングチャート。
【図３】本発明の第２の実施例の走査電子顕微鏡のブロ
ック図。
ック図。
【図４】写真撮影の際のラインメモリの動作を示すタイ
ミングチャート。
ミングチャート。
【図５】本発明の第３の実施例の走査電子顕微鏡のブロ
ック図。
ック図。
【図６】演算処理の際のラインメモリの動作を示すタイ
ミングチャート。
ミングチャート。
【図７】本発明の第４の実施例の走査電子顕微鏡のブロ
ック図。
ック図。
１…電子銃、２…電子レンズ、３…偏向器、４…二次粒
子検出器、５…試料、６…試料台、７…電子ビーム、８
…二次粒子、９…レンズ制御回路、１０…偏向制御回
路、１１…Ａ／Ｄ変換器、１２…演算器、１３…ライン
メモリアドレス制御回路、１４…ラインメモリ、１５…
表示メモリアドレス制御回路、１６…表示メモリ、１７
…コンピュータ、１８…Ｄ／Ａ変換器、１９…表示信号
制御回路、２０…Ｄ／Ａ変換器、２１…プリンタ、２２
…写真撮影装置、２３…表示ディスプレイ。
子検出器、５…試料、６…試料台、７…電子ビーム、８
…二次粒子、９…レンズ制御回路、１０…偏向制御回
路、１１…Ａ／Ｄ変換器、１２…演算器、１３…ライン
メモリアドレス制御回路、１４…ラインメモリ、１５…
表示メモリアドレス制御回路、１６…表示メモリ、１７
…コンピュータ、１８…Ｄ／Ａ変換器、１９…表示信号
制御回路、２０…Ｄ／Ａ変換器、２１…プリンタ、２２
…写真撮影装置、２３…表示ディスプレイ。
Claims (3)
- 【請求項１】電子ビームを放出する電子銃と、前記電子
銃が放出した前記電子ビームを収束する電子レンズと、
収束した電子ビームを試料上に二次元走査させる偏向器
と、試料から発生する二次粒子を検出する二次粒子検出
器と、検出信号をディジタルの画像データに変換するＡ
／Ｄ変換器と、画像データを処理するコンピュータとで
構成される走査電子顕微鏡において、画像データの少な
くとも１ライン分の容量のラインメモリを備え、電子ビ
ームの二次元走査の１ライン走査の後の帰線時間に前記
ラインメモリに記憶している１ライン分の画像データを
前記コンピュータに転送することを特徴とする走査電子
顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、前記電子ビームの二次
元走査の１ライン走査の前の帰線時間に前記コンピュー
タに記憶している１ライン分の画像データを前記ライン
メモリに転送する走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１において、走査中の画像をリアル
タイムで表示する表示ディスプレイと、少なくとも前記
表示ディスプレイの表示サイズの容量の表示メモリを備
え、走査速度がテレビ速度の際には表示ディスプレイの
表示サイズの走査を行う走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29243195A JPH09134695A (ja) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29243195A JPH09134695A (ja) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09134695A true JPH09134695A (ja) | 1997-05-20 |
Family
ID=17781708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29243195A Pending JPH09134695A (ja) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09134695A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009135273A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン寸法計測方法及び走査電子顕微鏡 |
| JP2009211959A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 画像前処理装置 |
| WO2015039101A1 (en) * | 2013-09-16 | 2015-03-19 | Kla-Tencor Corporation | Electron emitter device with integrated multi-pole electrode structure |
-
1995
- 1995-11-10 JP JP29243195A patent/JPH09134695A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009135273A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン寸法計測方法及び走査電子顕微鏡 |
| JP2009211959A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 画像前処理装置 |
| WO2015039101A1 (en) * | 2013-09-16 | 2015-03-19 | Kla-Tencor Corporation | Electron emitter device with integrated multi-pole electrode structure |
| US9793089B2 (en) | 2013-09-16 | 2017-10-17 | Kla-Tencor Corporation | Electron emitter device with integrated multi-pole electrode structure |
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