JPH04136713A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

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JPH04136713A
JPH04136713A JP2258901A JP25890190A JPH04136713A JP H04136713 A JPH04136713 A JP H04136713A JP 2258901 A JP2258901 A JP 2258901A JP 25890190 A JP25890190 A JP 25890190A JP H04136713 A JPH04136713 A JP H04136713A
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下浦　洋一
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英城 山形
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は油圧シリンダのピストンロッドのストローク位
置等を検出する装置の改良に関するものである。
（従来の技術） 油圧シリンダのピストンロッドのストローク位置を検出
するために、ピストンロッドの表面に軸方向に一定のピ
ッチ間隔で非磁性材を埋め込んで磁気スケールを作り、
シリンダ側に取付けた磁気センサの出力信号がピストン
ロッドの移動により正弦波形をもって変化することを利
用して、分解能の高い位置検出を行うようにした装置が
、本出願人をはじめとして、幾つか提案されている（特
開昭６３−２６３４１８号、特開平１−２６９０１５号
、特開平２−１０５０１３号公報他）号公報上ンサはピ
ストンロッドの移動により磁気スケールの１ピツチにつ
いて一周期となる正弦波を出力するが、一対の磁気セン
サを互いに９０゜の位相差をもつ２相の正弦波を出力す
るようにピストンロッドの軸方向にずらせてセットして
おき、この２相の出力から三角関数逆演算により、各ピ
・ンチ内でも高分解能にストローク位置が求められるの
である。
具体的には、たとえば実開平１−１７３６０４号公報に
もあるが、次のような手法を用いる。
第１０図は、磁気センサの出力波形を示すものであるが
、９０°の位相差をもつ２つのセンサ出力は、一方を正
弦波（ｓｉｎ＞とすると他方を余弦波（Ｃｏｓ）とみな
すことができ、この場合、磁気スケールの１ピツチ（０
〜２π）におけるピストン口・ラド位置によるセンサ出
力Ｙ＋　＋Ｆ２は、それぞれｙ、＝ｖ、ｓｉｎθ ｙ２＝ｖ２ｃｏｓθ となる、ところで、ｖｌとｖ２は磁気センサや磁気スケ
ールの特性に基づいて決まるピーク電圧値で、ｖｌ＝ｖ
２となるようにゲイン調整ができるとすると、ｔａｎθ
＝ｓｉｎθ／ｃｏｓθ＝ｙＩ／ｙ２となる。したがって
、センサ出力ｙ１とｙ２から角度位置θを求めると、 θ＝　ｊａｎ−’　（ｙ＋／　ｙ２） となる、１ピツチ（あるいは１／２ピツチ）内における
ピストンロッドのストローク位置（精位置）は、θが求
まると、 Δ１＝＜ｐ／２π）・θ として演算することができる。（ただしｐ＝ピッチ量）
。
磁気スケールの１ピツチ（１／２ピツチ）づつの粗位置
については、センサ出力のピーク値あるいは振央値をみ
ることにより求められるので、これとピッチ間の精位置
とを合算することにより、１ピツチ内でも非常に高い分
解能をもってストローク位置を測定することが可能とな
るのである。
（発明が解決しようとする課題） ところで、上記において、センサ電圧のピーク値につい
てはゲイン調整により、Ｖｌ＝Ｖ２となることを前提に
してストローク位置を算出しているが、実際には２つの
センサ出力信号は、絶えず一定の振幅、振央をもつとは
限らず、これらは磁気センサを構成する磁気抵抗素子の
特性のバラツキ、ピストンロッドの非磁性材の渭深さの
バラツキ、あるいは温度変化等によって、振幅や振央が
ピッチ毎に変動することがあり、これらを正確に補正し
ない限り、算出されたストローク位置の精度は保証され
ない。
つまり第１１図にも示すように、磁気スケールのピッチ
毎の溝深さの違いは、磁気センサ出力信号の振幅に直接
的なバラツキを引き起こすと共に、各磁気センサによる
振央レベルの相違、温度変化による振央レベルのドリフ
ト、振幅の変化等が当然のことながら発生する。
この結果、前述したような磁気センサの初期的なゲイン
調整だけでは、とくにピッチ毎の振幅の相違等の変動分
を補償することはできず、精度の高い位置検出は難しく
なる。
もちろん、ピストンロッドに刻む磁気スケールの渭深さ
の加工を高精度に行うことにより、位置検出精度は改善
されるが、それにも限度があり、しかもこのように高い
加工精度を維持する場合、加工コストの大幅な上昇が免
れえない。
本発明はこのような問題を解決することを目的とするも
ので、磁気センサ、スケールの固有の特性を把握しなが
らスケールピッチ毎に出力信号を正規化し、機械的な精
度を必要とすることなしに精密な位置検出を可能とした
装置を提供するものである。
（課題を解決するための手段） 本発明は第１図にも示すように、移動方向に所定のピッ
チで非磁性材を配列して形成した磁気スケール５１と、
磁気スケールのピッチに対応した正弦波を９０°の位相
差をもって出力する一対の磁気センサ５２と、磁気スケ
ールのピッチ毎の各センサ出力ピーク値をそれぞれ更新
・格納する手段５３と、各ピーク値から各ピッチ毎の振
央値を演算する手段５４と、振央値とセンサ出力の比較
結果に基づいて粗位置を演算する手段５５と、ピーク値
と振央値からセンサ出力の正規化係数を演算する手段５
６と、前記正規化係数に基づいてセンサ出力を補正する
手段５７と、２相の補正された正規化信号を用いて三角
関数逆演算により精位置を演算する手段５８と、粗位置
と精位置とを合算して位置信号を出力する手段５９とを
備える。
（作用） センサ出力信号のピーク値は各ピッチ毎にメモリに更新
・格納され、各ピッチにおけるピーク値と振央値の差の
逆数が正規化係数として求められる。
実際のセンサ出力にこの正規化係数を乗じることにより
、磁気スケールのピッチ毎にセンサ出力の補正がなされ
、これにより各振幅レベルの同一化が図れる。
このようして正規化された２相の信号により、粗位置と
精位置とを演算し、これを合算して位置信号を算出する
ので、磁気スケールのバラツキ等による出力変動を補償
して、精度のよい位置信号を出力することができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第２図は本発明を油圧シリンダのピストンロッドストロ
ーク位置を検出するために適用した実施例であって、磁
性材で形成されたピストンロッド１の表面には軸方向に
所定の間隔をもって浅い溝が形成され、この溝に非磁性
部材を埋め込んで等ピッチの非磁性部２を形成し、これ
により磁気スケール３を構成する。
油圧シリンダのシリンダ側、例えば軸受部４の近傍には
、ピストンロッド１の変位に伴い磁気スケール３の１ピ
ツチを一周期として、かつ９０”だけ位相の異なる２相
の正弦波を出力する一対の磁気センサ５が備えられる。
磁気センサ５からの２相の出力信号Ａ、Ｂは第３図に示
すように、マイコン等により構成されるコントローラ７
に入力され、これに基づいてピストンロッド１のストロ
ーク位置が演算される。
コントローラ７は、基本的には、磁気センサ出力信号の
ピーク値をもとにして求めた正規化係数に基づいてセン
サ出力を各ピッチ毎に同一振幅レベルに補正し、この正
規化信号に基づいて１／２ピッチ単位の粗位置と、各ピ
ッチ間を所定数に分割した精位置とを求め、これらを合
算してストローク位置を算出するようになっている。
前記出力信号Ａ、Ｂはサンプルホールド回路ＳＨＡ、Ｓ
ＨＢ、アナログ・デジタルコンバータＡＤＣを介してコ
ントローラ７の中央演算部ＣＰＵに入力される。ＳＨＡ
、ＳＨＢは後述するメモリＲＡＭへのピーク値の収集時
にセンサ信号のピーク値（最大値、最小値）を取り込ん
だり、精位置演算のためのセンサ信号収集時に用いられ
る。
コンパレータＣＡ、ＣＢはＣＰＵにおいて演算されたセ
ンサ信号の各ピッチにおける最大値と最小値との中央値
、つまり振央値を比較基準値として各センサ信号Ａ、Ｂ
と比較して、振央値よりも大きいときにＨレベル、小さ
いときにＬレベルの信号を出力する。なお、ＤＡＣＡ、
ＤＡＣＢはＣＰＵで演算された各振央値をアナログ変換
するデジタル・アナログコンバータである。
メモリＲＡＭは、センサ信号Ａ、Ｈのピーク値等を各ピ
ッチ毎に順次更新・格納するもので、第４図に示すよう
に、Ａ相とＢ相に分けられ、ピーク値（最大値と最小値
）と共に格納されたピーク値の内容（信頼度）をあられ
すクラス値が格納される。
ピーク値は最大値が偶数、最小値が奇数となるように位
置が決められ、実際の測定値が格納されていくのである
が、初期セット時には期待値が格納される。そして、ク
ラス値は格納されているピーク値の内容により異なる、
Ｍ　ｅ　、　Ｅ　ｓ　、　Ｇ　ｕの３種類があり、後述
するように、ピーク値の更新時に更新値を決定するため
の重みづけ係数をあられしている。
初期セット時は推測値であるＧｕが、実測時には実測値
であるＭｅが、そして実測値の結果を他のピッチ位置で
の格納値に反映させる概略値としてＥ３が設定される。
なお、具体的には例えば、Ｍｅ＝１とすると、Ｍ　ｅ＞
　Ｅ　ｓ＞　Ｇ　ｕとなっている。
次に、コントローラ７で実行される演算動作について、
第５図〜第７図のフローチャートに基づいて説明する。
第７図はセンサ信号Ａ、Ｂから粗位置と精位置とを求め
てストローク位置の演算を行う処理動作のフローチャー
トであるが、その前に、第５図（Ａ）（Ｂ）による各セ
ンサ信号Ａ、Ｂの損失値と正規化係数の演算処理と、第
６図によるピーク値の更新・格納処理について説明する
。
第５図（Ａ）（Ｂ＞は、センサ信号Ａ（Ａ相センサ信号
）と、センサ信号Ｂ（Ｂ相センサ信号）がそれぞれ損失
値をクロスしたときに実行されるもので、まず第５図（
Ａ）において、コンパレータＣＡの出力が変化したこと
を検出してＡ相センサ信号が賢夫レベルをクロスしたこ
とを判定すると、同時にＢ相センサ信号のピーク値ホー
ルドを指令する（ステップ１〜２）。
第４図にも示すように、Ａ相センサ信号が損失クロス位
置にあるときは、Ｂ相センサ信号は最大値または最小値
をとるので、これをサンプルホールドしておく。なお、
このＢ相ビーク値の収集及び更新については、第６図の
フローチャートで説明する。
Ａ相センサ信号が損失値をクロスしたときに、磁気スケ
ールの１ピツチまたは１／２ピツチの粗位置が求まり、
また、そのとき両コンパレータＣＡ、ＣＢの出力値が（
ＨまたはＬのいずがで）一致しているかどうかにより、
ストローク方向が判断でき、一致しているときは、Ａ相
粗位置カウンタをカウントダウンし、そうでないときは
カウントアツプする（ステップ４，５）。
Ａ相センサ信号とＢ相センサ信号とは９０°の位相をも
つが、ピストンロッドの移動方向によって、互いの位相
が進んだり遅れたりし、仮に、Ａ相の位相がＢ相よりも
９０”だけ進んでいるストロークが正方向であるとする
と、第４図にもあるように、Ａ相が損失値をクロスした
直後のコンパレータの出力は、常にＢ相のコンパレータ
出力と相違する。したがって、正方向にストロークして
いるときは、Ａ相粗位置カウンタをカウントアツプし、
そうでないときは、カウントダウンするのである。
ところで、Ａ相粗位置カウンタと後述するＢ相粗位置カ
ウンタとは、第８図のグラフにも示すように、Ａ相粗位
置カウンタ値−Ｂ相粗位置カウンタ値＝０または１とな
るように、予め初期設定してあり、ステップ６で、これ
ら両カウンタの値を引き算することにより、粗位置カウ
ンタのエラーチエツクすることができる。
つまり、センサ信号線の断線やノイズ過多、コンパレー
タの出力不良等により、粗位置カウンタが誤動作し、両
カウンタの差値がＯまたは１でなくなったときは、直ち
に異常を判断することができる。なお、異常時にはエラ
ーを出力する（ステップ７）。
次いで、ステップ８でＡ相ビーク値と損失値から、Ａ相
信号の正規化係数の演算を行う。この正規化係数は磁気
スケールピッチ毎のセンサ出力の振幅の違いを補正して
、同一レベルに整えるための補正係数で、精位置を演算
するときの正規化処理で利用される。
この正規化係数Ａｓｃは、１／ｌピーク値Ａｐｅ−損失
値Ａｃｅｌとして求める。なお、このＡ相ビーク値と損
失値については、第５図（Ｂ）のルーチンによって求め
た値を用いる。
仮に１ピーク値−損失値１の正規な値を１として、実測
値がその２倍の大きさであったとすると（なお損失値は
後述するように、各ピッチにおいて、最大値と最小値の
中間値として求められる）、この場合の正規化係数は１
／２となり、後述するように、正規化係数をＡ相センサ
信号の振幅に乗じることにより、つまり２倍の振幅値に
この正規化係数（１／２）をかけることにより、振幅値
＝１と補正して、振幅を正規なものと同一レベルに置換
することができる。
次いで、先にホールドをかけておいたＢ相信号のピーク
値を更新する（ステップ９）、この更新処理は後述する
第６図のフローチャートにしたがって行なわれる。
ステップ１０でＢ相損失値の演算を行う時期にあるかど
うかを判断し、センサ信号がピーク値にあるときに、損
失値の演算を行う（ステップ１１）。
損失値の演算は、基本的にはストローク方向に応じてこ
れから進んでいく同一ピッチ内において、最新の最大値
と最小値の中間値として求めるが、損失値そのものは大
きく変動することが少ないため、前後数ピツチ間の最大
値と最小値との平均値として算出することもて゛きる。
この演算結果はＢ相損失値として粗位置演算並びに、そ
の位置検出精度確保のために出力される（ステップ１２
）。
次ぎに第５図（Ｂ）のＢ相センサ信号損失りロス時の処
理であるが、これはいま説明したＡ相センサ信号損失り
ロス時の処理と基本的には同一であるが、反対相である
ことから、アップダウンカウントの判定が逆になってい
る。
第４図にも示すように、Ｂ相センサ信号が損失値をクロ
スしたときは、Ａ相センサ信号はピーク値をとり、した
がって、ここでは前記と同じようにして、Ａ相ビーク値
の更新と損失値とが演算され、また、Ｂ相信号正規化係
数が演算される（ステップ１゛〜１２゛）。
次ぎに第６図のピーク値の更新処理は、Ａ、Ｂ相信号の
損失クロス時に、互いに反対相に関して行なわれるもの
で、損失クロス時にピークホールドをかけたセンサ信号
ピーク値を取り込んでから、その位置に既に格納されて
いるピーク値のクラスチエツクを行う（ステップ２１．
２２）。
そして、各クラス毎に設定されている重みづけ係数Ｇｕ
、Ｅｓ、Ｍｅを選択して、この係数に基づいて更新ピー
ク値を算出する（ステップ２３〜２６）。
この演算は、既に格納されているピーク値に選択された
係数をかけたものと、現在取込んだピーク値に基準係数
（Ｔａ）をかけたものを加え、これを基準係数と選択係
数とを加えた値で割ることにより行う。なお、選択係数
は前述のように、Ｍｅｌとすると、Ｍｅ＞Ｅｓ＞Ｇｕの
関係をもち、またＴａは通常１である。なお、この基準
係数は更新回数に応じて（１／更新回数）としてもよく
、また現在取込んだピーク値を優先させるためにＴａ〉
１としてもよい。
ピーク値の更新は信号取込のエラー等をも考慮し、実測
値が格納されていない初期においても、期待値からでき
るだけ早期に真値に近付け、演算結果の精度を高めるた
め、クラスによって異なる重みづけ係数を用いて補正し
た値を、現在のビーり値と平均化処理した上で更新ピー
ク値として格納するのである。
さらに、ステップ２８〜３３で、現在のピーク値が格納
された位置の２個先、２個前の位置（ピーク値が最大値
相当であれば、その前後のピッチの最大値格納位置にあ
たる）のピーク値のクラスが、最も初期の推測値であれ
ば、現在の更新ピーク値を格納し、そのクラスを概略値
に書き替え、このようにして現在までの実測値に基づい
て、前後に格納される期待値としてのピーク値をできる
だけ早い段階で真値に近付ける。
つまり、ステップ２８〜３０で、２個先のピーク値のク
ラスをチエツクし、推測値Ｇｕであるときは、格納済み
ピーク値を、現在のピーク値に変更し、そのクラスを概
略値に書き替え、さらに、ステップ３１〜３３で、２個
前のピーク値のクラスチエツクを行い、同様にして推測
値のときは、変更と書き替えを行う。
なお、クラスチエツクした結果、概略値または実測値で
あると判定されたときは、そのままとして、ピーク値の
変更とクラスの書き替えは行わない 次ぎに第７図のフローチャートにより、以上のようにし
て求めた損失値、ピーク値、正規化係数等を用いて、Ａ
、Ｂ相センサ信号を正規化した上で、粗位置と精位置と
を求め、さらにこれらを合算してストローク位置を算出
する処理行程を説明する。
まず、Ａ、Ｂ相センサ信号を同時にサンプルホールドし
た後、Ａ／Ｄ変換して、センサ信号Ａｓ、信号Ｂｓとし
て取り込むくステップ４１）。
そして、ステップ４２と４３で、現在の損失値Ａｃｅ。
Ｂｅｅと、正規化（補正）係数Ａ　ｓｅ　、　Ｂ　ｓｃ
とを用いて、Ａ相とＢ相のセンサ信号の正規化処理を行
う。
Ａ相センサ信号の正規化信号Ａｃｏは、センサ信号Ａｓ
から損失値Ａｃｅを引き、前述した正規化係数Ａｓｃを
かけることにより求め、同様にして正規化信号Ｂｃｏも
算出され、これらにより前述したように、各ピッチにお
ける振幅レベルが同一レベルに修正される。つまり、第
１１図のように各ピッチにおける振幅が相違する場合で
も、個々を同一的な振幅をもつ信号に補正できるのであ
る。
次ぎにステップ４４でこの正規化信号の合成振幅を求め
、正規化された信号が正しいものであるかどうかを判定
する。
第９図に正規範囲の判定グラフを示すが、両センサ信号
は、ｓｉｎθとｃＯ８θに相当するので、５ｉｎ２θ＋
ｅＯ８２θ＝１から描かれるサークルに対して、所定幅
の範囲を正規な状態として、合成振幅がこの範囲に入れ
ば、正規化された信号ＡｃｏとＢｅｏは共に正しい範囲
内にあると認定する６合成振幅がこの範囲を出ると、正
規化された信号は信頼度に欠けるものと判定され、エラ
ーが出力される。
この範囲は、センサ信号位相差の許容範囲やノイズ許容
レベル等を考慮して決めればよく、これにより、高精度
な位置検出を保証するチエツク機能、またセンサ信号の
断線や短絡等による不具合のチエツク機能も果たすこと
ができる。
次いでこのＡ、Ｂ正規化信号にもとづき精位置の演算を
行うが、同時に粗位置を表すＡ、Ｂ相粗位置カウンタの
値の選択を行う。
センサ信号は若干のノイズも含んでいるため、損失クロ
ス時の前後の微小角度範囲では粗位置カウンタの値は信
頼性に欠けることもあり、損失クロス時に直ちにそのカ
ウンタ値を採用して単純に精位置に合算すると、思わぬ
誤差を生ずることが考えられる。そこで、２つの粗位置
カウンタを用い、しかも粗位置カウンタのカウンタ値が
変化しない領域で、その相の粗位置カウンタを選択して
精位置と組み合わせることにより、正確度を高めるので
ある。
この演算は第８図の正規化信号（Ａｃｏ−Ｂｃｏ）の合
成振幅のグラフ（ｓｉｎ２θ＋ｅ０８”θ＝１）におい
て、４５°線で分割されたどの領域に現在位置が存在す
るかの判定から開始される。
４５°線とは、図示のように原点から＋（１／４）、（
３／４）　、　（５／４）　、　（７／４）π）線を表
している。また、Ａ相粗位置カウンタとＢ相粗位置カウ
ンタの値は、縦軸横軸を境にして一致したり異なったり
する。
この４５°線で分割された４つの各領域では、いずれか
の相の粗位置カウンタが変化するので、現在位置の領域
に対してその１つ前の領域のカウンタ値を選択すれば、
安定して正しい粗位置が確定できる。
そこで、ステップ４５で両正規化信号ＡｃｏとＢｃ。
の絶対値の大小から領域を判定してから、粗位置と前述
した三角関数逆演算による精位置の算出に入る。つまり
、ステップ４５〜５０において、正規化信号ＢｃｏがＡ
ｃｏよりも絶対値で大きい領域では、Ｂ相粗位置カウン
タを選択し、まず、Ｂ相粗位置カウンタのカウント値か
ら粗位置を求める。
そして精位置Ｆｄは、１００　／　ｙｒ　−ｔａｎ−’
　ｌ　Ａｃ。
／Ｂｅｏｌとして算出する。即ち、縦軸（Ｂｃｏ軸）か
らの偏差量として計算する。この場合、磁気スケールピ
ッチを２ｍ−に設定しくしたがって粗位置は１−単位）
、この粗位置間を１００分割したものを精位置の単位量
（したがって精位置は０．０１ｍｍ単位）としである、
なお、さらに高い精度を求めるときは、粗位置間を１０
０分割でなく、例えば１０００分割することも可能で、
このときは式中の定数として１０００を用いることで、
０．００１１１＋Ｉ単位までの精位置を求められる。
なお、この場合、三角関数の逆演算処理として、ｊａｎ
−’を利用したが、正規化信号合成振幅値を用いて５ｉ
ｎ−’、ＣＯ３−’による処理を行ってもよい。
このようにして精位置Ｆｄを求めたら、ステップ４８で
両相の正規化センサ信号ＡｅｏとＢｃｏの符号の同一性
を判断して、精位置の補正を行う。
もし、符号が相違するならば、ステップ４９で補正精位
置として（５０＋Ｆｄ）を、また符号が同一のときはス
テップ５０で（５０−Ｆｄ）を算出する。
これに対して、ステップ４５で正規化信号Ａｃｏの絶対
値がＢｃｏよりも大きいときは、ステップ５１〜５５に
進み、粗位置としてＡ相粗位置カウンタのカウント値を
とり、精位置をＦｄ＝（１００／　ｒ）ｔａｎ’　Ｉ　
Ｂ　ｃｏ／　Ａ　ｃｏ　ｌとして横軸からの偏差量とし
て演算し、両正規化信号の符号の同一性を判断したうえ
で、精位置補正を行う。
符号が一致しているときは、ステップ５５で精位置とし
て（Ｆｄ）を、不一致のときはステップ５４において（
−Ｆｄ）を出力する。
第８図にも示すように、Ｂ相信号が損失値をクロスする
のは、０→π→０（２π）・・・で、Ａ相信号のクロス
位置は（１／２）π→（３／２）π→（１／２）π・・
・となる。
そして粗位置信号としては、（７／４）π−（１／４）
πはその間で変化しないＡ相粗位置カウンタ値、く１／
４）π→（３／４）πはＢ相粗位置カウンタ値、（３／
４）π−（５／４）πはＡ相粗位置カウンタ値、（５／
４）π→（７／４）πはＢ相粗位置カウンタ値をそれぞ
れ選択すればよく、これに精位置信号を合算すると位置
信号が得られる。
ここで、精位置は前述したように磁気スケールの１／２
ピッチ間を１００分割するので、Ｏ→πを１００等分、
π→０（２π）を１００等分することになる。
いま、角度θがＯ〜（１／４）πの範囲では、Ａ相セン
サ信号の絶対値が大きく、このとき、両相センサ信号の
符号は同一であるから、この範囲は、Ａ相粗位置カウン
タ値（例えばＮ）に精位置Ｆｄをそのまま加算すればよ
く、ストローク位置５ｔ＝Ｎ＋Ｆｄ／１００となる。
角度θが（１／４）π〜＜１／２）πの範囲は、Ｂ相セ
ンサ信号の絶対値が大きく、かつ両相センサ信号の符号
は同一であるので、精位置５Ｏ−Ｆｄを、Ｂ相粗位置カ
ウンタ値（Ｎ）に加算する。
例えばθ＝　（１／２）πの位置では、Ｆｄ＝Ｏとなり
、精位置は５０となり、ストローク位置ＳｔはＮ＋５０
／１００となる。
角度θが（１／２）π〜（３／４）πの範囲は、Ｂ相セ
ンサ信号の絶対値が大きく、両センサ信号の符号は相違
し、したがって精位置は、５０＋Ｆｄとなり、これをＢ
相粗位置カウンタ値（Ｎ）に加算する。つまり、５ｔ＝
Ｎ＋（５０＋Ｆｄ）／１００となる。
さらに角度θが（３／４）π〜πまでの範囲は、Ａ相セ
ンサ信号の絶対値が大きく、両相センサ信号の符号は相
違しているので、精位置は−Ｆｄと補正される。このと
きの粗位置はＡ相粗位置カウンタ値（Ｎ＋１）であり、
したがって５ｔ＝（Ｎ＋１）Ｆｄ／１００となる。なお
、Ａ相粗位置カウンタ値は、図示のようにストローク方
向が正の場合は、π／２の位置でＮからＮ＋１にカウン
トアツプする。ストローク方向が逆の場合は３π／２の
位置でカウントダウンされることになり、正方向移動時
と同様にＡ相粗位置カウンタはＮ＋ｌとなっている。
角度θ＝πのときは、Ｆｄ＝０となり、Ａ相粗位置カウ
ンタの値（Ｎ＋１）が、ストローク位置をあられす。
角度θがπから２π（０）までの範囲も、上記と同様に
して、位置演算を行うことができる。
そして、ステップ５６において、粗位置と精位置とを合
算したストローク位置信号Ｓｔを出力する。
このようにして、粗位置間を１００分割した精位置によ
り補間して、高分解能でストローク位置を算出すること
ができる。
（発明の効果） 以上のように本発明によれば、磁気センサ信号のピーク
値を、ピストンロッドの全ストロークにわたって、磁気
スケールのピッチ毎に更新・格納していき、これに基づ
いてセンサ信号の振幅レベルを同一化する補正、並びに
賢夫調整を行うため、磁気スケールの加工誤差によりピ
ッチ毎にセンサの出力信号が変動したり、経時的な変化
や温度変化による変動を生じても、常に精度の良い安定
した位置検出を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のクレーム対応図、第２図は本発明の実
施例を示すもので、センサ部分の拡大説明図、第３図は
コントローラのブロック図、第４図はセンサ信号とピー
ク値の格納の様子を示す説明図、第５図（Ａ）（Ｂ）は
正規化係数と損失値の演算動作のフローチャート、第６
図はピーク値の更新動作のフローチャート、第７図はセ
ンサ信号の正規化と精位置及び粗位置から位置信号を求
める演算動作のフローチャート、第８図はＡ、Ｂ相信号
の合成振幅特性における粗位置カウンタの値と象限位置
の関係を示す説明図、第９図は同じく合成振幅の説明図
、第１０図は公知のストローク位置演算のための説明図
、第１１図は実際のセンサ信号の出力波形を示す説明図
である。 １・・・ピストンロッド、２・・・非磁性部、３・・・
磁気スケール、５・・・磁気センサ、７・・・コントロ
ーラ。 ２：非磁性部 ３：磁気スケール コントローラ Ｎ 図 第 ５図（Ｂ） 第 図 第 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、移動方向に所定のピッチで非磁性材を配列して形成
    した磁気スケールと、磁気スケールのピッチに対応した
    正弦波を９０゜の位相差をもって出力する一対の磁気セ
    ンサと、磁気スケールのピッチ毎の各センサ出力ピーク
    値をそれぞれ更新・格納する手段と、各ピーク値から各
    ピッチ毎の振央値を演算する手段と、振央値とセンサ出
    力の比較結果に基づいて粗位置を演算する手段と、ピー
    ク値と振央値からセンサ出力の正規化係数を演算する手
    段と、前記正規化係数に基づいてセンサ出力を補正する
    手段と、２相の補正された正規化信号を用いて三角関数
    逆演算により精位置を演算する手段と、粗位置と精位置
    とを合算して位置信号を出力する手段とを備えることを
    特徴とする位置検出装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4344291A1 (de) * 1992-12-24 1994-06-30 Kayaba Industry Co Ltd Axialer Positionsdetektor für eine Stange
JP2007240531A (ja) * 2006-03-08 2007-09-20 Liebherr-France Sas 液圧シリンダ用の位置測定システム
JP2009528530A (ja) * 2006-03-02 2009-08-06 ムービング マグネット テクノロジーズ 変化する磁化方向を有する位置センサ及び同センサの製造方法
JP2013019802A (ja) * 2011-07-12 2013-01-31 Jtekt Corp 回転角検出装置
JP2016510886A (ja) * 2013-03-15 2016-04-11 アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー 電源オフ時に測定閾値をメモリデバイス内に格納可能な磁界センサおよび関連方法
CN105674865A (zh) * 2014-12-05 2016-06-15 Ｋｙｂ株式会社 行程传感器
WO2017169172A1 (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 Ｋｙｂ株式会社 磁気検出ユニット及びこれを備えるストローク検出装置
US10845434B2 (en) 2012-01-06 2020-11-24 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor having a temperature compensated threshold on power up

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3173531B2 (ja) * 1992-09-18 2001-06-04 ソニー株式会社 位置検出方法
US5497083A (en) * 1992-12-24 1996-03-05 Kayaba Kogyo Kabushiki Kaisha Rod axial position detector including a first scale having equidistant magnetic parts and a second scale having unequally distant parts and differing field strengths
US5526282A (en) * 1993-06-03 1996-06-11 Computational Systems, Inc. Alignment analyzer with graphical alignment tolerance display
DE4319322C2 (de) * 1993-06-11 1998-04-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US5442283A (en) * 1993-09-03 1995-08-15 Allegro Microsystems, Inc. Hall-voltage slope-activated sensor
WO1995024612A1 (de) * 1994-03-07 1995-09-14 International Business Machines Corporation Verfahren und vorrichtung zur schnellen interpolation von zwischenwerten aus periodischen phasenverschobenen signalen und zur erkennung von defekten in einem drehkörper
US5442313A (en) * 1994-05-27 1995-08-15 The Torrington Company Resolution multiplying circuit
DE19544948C2 (de) * 1995-12-01 2002-09-26 Gemac Ges Fuer Mikroelektronik Digitale Interpolationseinrichtung mit Amplituden- und Nullageregelung der Eingangssignale
JPH09264759A (ja) * 1996-03-29 1997-10-07 Mitsubishi Electric Corp エンコーダの信号補正方法および装置
DE19623742A1 (de) * 1996-06-14 1997-12-18 Wittenstein Motion Contr Gmbh Einrichtung zur Verschiebeweg- und/oder Positionserfassung bei einem Spindeltrieb
JP3531374B2 (ja) * 1996-09-03 2004-05-31 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 変位量検出装置
JP3531375B2 (ja) * 1996-09-03 2004-05-31 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 変位量検出装置
CN1216822A (zh) * 1997-10-31 1999-05-19 沃尔沃建造设备(韩)有限公司 用于行程传感缸的绝对位置检测方法
JP4239042B2 (ja) * 1998-06-19 2009-03-18 株式会社安川電機 ２次元アブソリュート位置センサおよびロボット
DE50002537D1 (de) 1999-03-30 2003-07-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren und schaltungsanordnung zur korrektur von periodischen signalen eines inkrementalen positionsmesssystems
DE19939497C2 (de) 1999-08-20 2001-09-27 Samson Ag Antrieb eines Stellventils mit Sensiereinheit zur Ventilpositionserfassung
DE10004080C1 (de) * 2000-01-31 2001-09-06 Infineon Technologies Ag Sensorvorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Ausgangssignals einer Sensorvorrichtung
US8517923B2 (en) * 2000-04-03 2013-08-27 Intuitive Surgical Operations, Inc. Apparatus and methods for facilitating treatment of tissue via improved delivery of energy based and non-energy based modalities
DE10124761B4 (de) * 2001-05-21 2004-02-19 Siemens Ag Sensorzeile und Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung
US20040176683A1 (en) * 2003-03-07 2004-09-09 Katherine Whitin Method and apparatus for tracking insertion depth
US8882657B2 (en) 2003-03-07 2014-11-11 Intuitive Surgical Operations, Inc. Instrument having radio frequency identification systems and methods for use
EP1526361A1 (en) * 2003-09-26 2005-04-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Analog position encoder
EP1557646B1 (de) * 2004-01-14 2012-02-08 TRW Automotive Electronics & Components GmbH Drehwinkelgeber sowie Verfahren zum Abtasten der Codescheibe eines Drehwinkelgebers
DE102004062278A1 (de) * 2004-12-23 2006-07-13 Siemens Ag Messelement und Messverfahren mit einer Spur zur Bestimmung einer Lage
JP5565990B2 (ja) * 2005-07-08 2014-08-06 オリンパス株式会社 エンコーダ
KR20070073273A (ko) * 2006-01-04 2007-07-10 삼성전자주식회사 휴대용 단말기에서 폴더의 회전 상태를 감지하는 장치 및방법
WO2007148461A1 (ja) * 2006-06-19 2007-12-27 Panasonic Corporation エンコーダ信号の位相補正回路
US8258779B2 (en) * 2008-11-26 2012-09-04 Deere & Company Transmission shift rail position sensor
GB0909724D0 (en) 2009-06-05 2009-07-22 Renishaw Plc Position measurement encoder and method of operation
DE102010019485B4 (de) * 2010-05-05 2012-10-31 Austriamicrosystems Ag Sensoranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Sensoranordnung
DE102010019484B9 (de) 2010-05-05 2012-12-06 Austriamicrosystems Ag Sensoranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Sensoranordnung
DE102014216295A1 (de) 2014-08-15 2016-02-18 Continental Teves Ag & Co. Ohg Auflösungserhöhung im Drehzahlsignal zwischen Drehzahlpulsen
DE102014226610B4 (de) * 2014-12-19 2024-05-29 Allegro Microsystems, LLC. Schaltvorrichtung eines Fahrzeuggetriebes
JP2017044665A (ja) * 2015-08-28 2017-03-02 アイシン精機株式会社 回転センサ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4293814A (en) * 1979-08-08 1981-10-06 Ford Motor Company Crankshaft position sensor circuitry for providing stable cyclical output signals without regard to peak to peak variations in sensor signals
DE3024716C2 (de) * 1980-06-30 1986-10-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Digitales Längen- oder Winkelmeßsystem
JPS609635A (ja) * 1983-06-29 1985-01-18 Toshiba Mach Co Ltd 工作機械における変位補正装置
US4754411A (en) * 1983-07-25 1988-06-28 Cain Encoder Co. Angular position detector
JPS6157809A (ja) * 1984-08-30 1986-03-24 Sotsukishiya:Kk 磁束応答形マルチギヤップヘッド
JPS61110006A (ja) * 1984-11-05 1986-05-28 Fanuc Ltd 位置検出方法
JPS61281902A (ja) * 1985-06-07 1986-12-12 Toshiba Mach Co Ltd 絶対位置検出装置
US4811254A (en) * 1985-12-17 1989-03-07 Nippon Gakki Seizo Kabushiki Kaisha Displacement detector for an encoder
JPS6454281A (en) * 1987-08-25 1989-03-01 Anritsu Corp Metal detecting apparatus
JPH01297507A (ja) * 1988-05-26 1989-11-30 Hitachi Ltd 磁気的に位置や速度を検出する装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4344291A1 (de) * 1992-12-24 1994-06-30 Kayaba Industry Co Ltd Axialer Positionsdetektor für eine Stange
JP2009528530A (ja) * 2006-03-02 2009-08-06 ムービング マグネット テクノロジーズ 変化する磁化方向を有する位置センサ及び同センサの製造方法
JP2007240531A (ja) * 2006-03-08 2007-09-20 Liebherr-France Sas 液圧シリンダ用の位置測定システム
JP2013019802A (ja) * 2011-07-12 2013-01-31 Jtekt Corp 回転角検出装置
US10845434B2 (en) 2012-01-06 2020-11-24 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor having a temperature compensated threshold on power up
JP2016510886A (ja) * 2013-03-15 2016-04-11 アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー 電源オフ時に測定閾値をメモリデバイス内に格納可能な磁界センサおよび関連方法
US11009565B2 (en) 2013-03-15 2021-05-18 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor and associated method that can store a measured threshold value in a memory device during a time when the magnetic field sensor is powered off
CN105674865A (zh) * 2014-12-05 2016-06-15 Ｋｙｂ株式会社 行程传感器
JP2016109539A (ja) * 2014-12-05 2016-06-20 Ｋｙｂ株式会社 ストロークセンサ
WO2017169172A1 (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 Ｋｙｂ株式会社 磁気検出ユニット及びこれを備えるストローク検出装置
JP2017181280A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 Ｋｙｂ株式会社 磁気検出ユニット及びこれを備えるストローク検出装置

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DE69119526T2 (de) 1996-12-12
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