JP3155382B2 - 位置検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、油圧シリンダのロッド
などアクチュエータのストローク位置を高精度で検出す
る装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】油圧シリンダのピストンロッドなどのス
トローク位置を検出する装置として、ピストンロッドの
表面に軸方向に一定の間隔で弱磁性部を形成した磁気ス
ケールを構成し、シリンダ側に取り付けた磁気センサの
検出信号がピストンロッドの変位によって正弦波形で変
化することを利用して、変位の増分値から分解能の高い
位置検出を行う相対位置検出型のものが知られており、
本願出願人も特開平４−１３６７１３号公報に高精度の
測定が行えるものを提案している。

【０００３】相対位置検出型の位置検出装置ではストロ
ークの所定の位置に達したときに警報装置などを駆動す
るため、シリンダなどにリミットスイッチ等のセンサを
設けてピストンロッドに治具などを固定し、この治具な
どがリミットスイッチに当接するとリミット信号を発生
するようにしたものが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置ではシリンダなどに設けたリミットスイッチが
外部に露出しているため振動等の外部環境に弱く、ま
た、リミット位置を変更する際にはリミットスイッチを
取り外してから再度設置するために多大な労力を要する
という問題があった。

【０００５】そこで本発明は、容易にリミット位置を変
更可能な位置検出装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、図１におい
て、移動方向に所定のピッチで弱磁性部を配設した磁気
スケール３と、磁気スケール３のピッチに対応して９０
゜の位相差をもった正弦波を出力する一対の磁気センサ
５と、磁気スケール３のピッチ毎の各センサ出力ピーク
値をそれぞれ更新・格納する手段５３と、各ピーク値か
ら各ピッチ毎の振央値を演算する手段５４と、前記振央
値とセンサ出力の比較結果に基づいて粗位置を演算する
手段５５と、前記ピーク値と振央値からセンサ出力の正
規化係数を演算する手段５６と、前記正規化係数に基づ
いてセンサ出力を補正する手段５７と、２相の補正され
た正規化信号を用いて三角関数逆演算により精位置を演
算する手段５８と、粗位置と精位置とを合算して位置信
号を出力する手段５９とを備えた位置検出装置におい
て、前記更新・格納される各センサ出力ピーク値と共に
複数のリミット位置を格納するメモリＲＡＭ５１と、通
信手段を介して前記メモリＲＡＭ５１に格納される各リ
ミット位置を設定する手段と、前記メモリＲＡＭ５１に
格納されている複数のリミット位置と前記位置信号とを
比較してこれら信号が一致するときにリミット信号を出
力する手段５２とを備える。

【０００７】

【作用】したがって、センサ出力のピーク値は各ピッチ
毎に格納手段に更新・格納され、各ピッチにおけるピー
ク値と振央値の差の逆数が正規化係数として決められ
る。センサ出力にこの正規化係数を乗じることで磁気ス
ケールのピッチ毎にセンサ出力は補正され、各振幅レベ
ルの同一化が行われ、正規化された２相の信号により精
位置と粗位置とをそれぞれ演算してから合算することで
位置信号が出力される。

【０００８】位置信号が予め設定したリミット位置に達
すると比較演算手段からリミット信号が出力される。

【０００９】

【実施例】図２〜４に本発明の実施例を示す。

【００１０】図２において、１は図示しない油圧シリン
ダを構成する磁性材料（強磁性部）で形成されたピスト
ンロッドで、このピストンロッド１の表面には軸方向に
所定のピッチＰをもって所定の深さの弱磁性部２を形成
し、これにより磁気スケール３を構成する。

【００１１】この弱磁性部２の幅は所定のピッチＰの半
分であるＰ／２を備え、磁気スケール３の弱磁性部２と
強磁性部４はともにＰ／２の幅を備えてピッチＰで配設
される。

【００１２】図示しない油圧シリンダの一端にはピスト
ンロッド１の変位に伴って磁気スケール３の１ピッチを
１周期とし、互いに９０゜の位相差を備えた２相の正弦
波を出力する一対の磁気センサ５が備えられる。

【００１３】磁気センサ５からの２相の出力信号Ａ、Ｂ
は、図３に示すようにマイクロコンピュータなどで構成
されるコントローラ７に入力されて、これに基づいてピ
ストンロッド１のストロークの相対位置が演算される。
この相対位置の演算は、例えば、磁気センサ５のＡ、Ｂ
相それぞれのピーク値に基づいて求めた正規化係数に基
づいて１／２Ｐ単位の位置と、各ピッチ間を所定数に分
割した位置を求め、これらを合算することでストローク
の相対位置が求められる。

【００１４】磁気センサ５の出力信号Ａ、Ｂはサンプル
ホールド回路ＳＨＡ、ＳＨＢ、及びアナログ・デジタル
コンバータＡＤＣを介してコントローラ７の中央演算処
理部ＣＰＵに入力される。

【００１５】コンパレータＣＡ、ＣＢはＣＰＵにおいて
演算された磁気センサ５の出力信号Ａ、Ｂの各ピッチに
おける最大値と最小値との中央値である振央値を基準値
として出力信号Ａ、Ｂと比較し、振央値よりも大きいと
きにＨレベル、小さいときにＬレベルの信号を出力す
る。なお、ＤＡＣＡ、ＤＡＣＢはＣＰＵで演算された各
振央値をアナログ変換するデジタル・アナログコンバー
タである。

【００１６】メモリＲＡＭには磁気センサ５の出力信号
Ａ、Ｂの各ピッチごとのピーク値が格納されるととも
に、ピストンロッド１の任意の位置でリミット信号を発
生するための設定器８により予め設定されたリミット位
置＃０〜３が格納される。

【００１７】この設定器８は図４に示すように、４個の
ディップスイッチ８１〜８４により構成され、ピストン
ロッド１のストロークを４桁の２進数を組み合わせた任
意の位置をリミット位置としてメモリＲＡＭに設定す
る。すなわち、ディップスイッチ８１、８２で１／１０
０mm単位の小数点以下２桁を、ディップスイッチ８３、
８４で１mm単位の小数点以上の２桁が設定される。さら
に、最上位桁を設定するディップスイッチ８４の最上位
ビットを切り換えることによりピストンロッド１上の正
負を設定することができる。この設定器８によりメモリ
ＲＡＭには最大４箇所のリミット位置が設定される。

【００１８】メモリＲＡＭに順次更新・格納されるセン
サ信号Ａ、Ｂは、図５に示すように、Ａ相とＢ相とに分
けられ、ピーク値（最大値及び最小値）と共に格納され
たピーク値の内容（信頼度）を表すクラス値が格納され
る。

【００１９】ピーク値は最大値が偶数、最小値が奇数と
なるようにメモリＲＡＭの位置が決められて実際の測定
値が格納される。ただし、初期セット時には期待値がセ
ットされている。そして、クラス値は格納されるピーク
値の内容に応じて後述するように、３種の重みづけ係数
として表される。

【００２０】ここで、図６〜１０のフローチャートを参
照して位置演算及びリミット位置の判定方法について説
明する。

【００２１】まず、図６、７は、センサ信号Ａ（Ａ相セ
ンサ信号）とセンサ信号Ｂ（Ｂ相センサ信号）がそれぞ
れ振央値をクロスしたときに実行されるもので、図６に
おいてコンパレータＣＡの出力が変化したことを検出し
てＡ相センサ信号が振央値をクロスすることを判定する
と、同時にＢ相センサ信号のピーク値ホールドモードに
切り換えられる。（Ｓ１〜２）図５にも示すように、Ａ
相センサ信号が振央値をクロスする位置にあるときは、
Ｂ相センサ信号は最大値又は最小値をとるので、これを
サンプルホールドしておく。

【００２２】Ａ相センサ信号が振央値をクロスしたとき
に、磁気スケール３の１ピッチまたは１／２ピッチの粗
位置が求まり、また、そのとき両コンパレータＣＡ、Ｃ
Ｂの出力値がハイレベルまたはローレベルのいずれかで
一致しているかどうかにより、ストローク方向が判断さ
れ、一致しているときにはＡ相粗位置カウンタをカウン
トダウンし、不一致であればカウントアップする。

【００２３】Ａ相センサ信号とＢ相センサ信号とは９０
゜の位相差をもつが、ピストンロッド１の移動方向によ
って、互いの位相が進んだり遅れたりし、仮にＡ相の位
相がＢ相の位相よりも９０゜だけ進んでいるストローク
方向を正方向とすると、図５にも示すように、Ａ相が振
央値をクロスした直後のコンパレータの出力は、常時Ｂ
相のコンパレータ出力と相違する。したがって、正方向
にストロークしているときはＡ相粗位置カウンタをカウ
ントアップし、そうでないときにはカウントダウンす
る。

【００２４】ここで、Ａ相粗位置カウンタと後述するＢ
相粗位置カウンタとは、Ａ相粗位置カウンタ値−Ｂ相粗
位置カウンタ値が０または１となるように、予め初期設
定してあり、Ｓ６で両カウンタの値を減算することによ
り粗位置カウンタのエラーをチェックすることができ
る。

【００２５】すなわち、センサ信号線の切断、ノイズ過
多またはコンパレータの出力低下などにより粗位置カウ
ンタが誤動作し、両カウンタの差が０または１でなくな
ったときには、直ちに異常を判断することができ、Ｓ７
によりエラーを出力する。

【００２６】次に、Ｓ８でＡ相ピーク値と振央値から、
Ａ相センサ信号の正規化係数の演算を行う。この正規化
係数は磁気スケール１のピッチ毎のセンサ出力の振幅の
違いを補正して同一レベルに整えるための係数で、精位
置を演算するときの正規化処理で利用される。

【００２７】この正規化係数Ａscは、１／｜ピーク値Ａ
pe−振央値Ａce｜として求める。なお、このＡ相ピーク
値と振央値については、図７のフローチャートにより求
めた値を用いる。

【００２８】仮に｜ピーク値Ａpe−振央値Ａce｜の正規
な値を１として、実測値がその２倍弱の大きさとする
と、この場合の正規化係数は１／２となって、後述する
ように正規化係数をＡ相センサ信号の振幅にこの正規化
係数を乗ずることにより、振幅値＝１と補正して各ピッ
チの振幅を正規なものと同一レベルに置換することがで
きる。

【００２９】次に、先にホールドをかけておいたＢ相セ
ンサ信号のピーク値を更新する（Ｓ９）。この更新処理
は後述する図８のフローチャートにしたがって行われ
る。

【００３０】Ｓ１０ではＢ相振央値の演算を行う時期に
あるかを判断し、センサ信号がピーク値にあれば振央値
の演算を行う（Ｓ１１）。

【００３１】振央値の演算は、ストローク方向に応じて
これから進んでいく同一ピッチ内において、最新の最大
値と最小値の中間値として求めるが、振央値そのものは
大きく変化することが少ないため、前後数ピッチ間の最
大値と最小値との平均値として算出することができる。

【００３２】この演算結果はＢ相振央値として粗位置演
算及びその位置検出精度確保のために出力される（Ｓ１
２）。

【００３３】図７のＢ相センサ信号が振央値をクロスし
たときの処理は、上記説明したＡ相センサ信号の振央値
クロス時の処理と同一であるが、反対相であることから
アップダウンカウントの判定が逆になっている。図５に
も示すように、Ｂ相センサ信号が振央値をクロスしたと
きには、Ａ相センサ信号はピーク値をとり、したがっ
て、ここでは上記と同様にしてＡ相ピーク値の更新と振
央値とが演算され、また、Ｂ相センサ信号の正規化係数
が演算される（Ｓ１′〜１２′）次に、図８のピーク値
の更新は、Ａ相、Ｂ相センサ信号の振央値クロス時に、
互いに反対相に対して行われ、振央値のクロス時にピー
クホールドをかけたセンサ信号のピーク値を取り込んで
から、その位置に既に格納されているピーク値のクラス
チェックを行う（Ｓ２１、２２）。

【００３４】そして、各クラス毎に設定されている重み
付け係数Ｇu、Ｅs、Ｍeを選択し、この係数に基づいて
更新ピーク値を算出する（Ｓ２３〜２６）。

【００３５】この演算は、既に格納されているピーク値
に選択された係数を乗じたものと、現在取り込んだピー
ク値に基準係数Ｔeを乗じたものを加算し、これを前記
基準係数と選択係数とを加算した値で除算して行われ
る。なお、選択係数は前述のように、Ｍe＝１とする
と、Ｍe＞Ｅs＞Ｇuの関係をもち、またＴeは通常１であ
る。また、この基準係数は更新回数に応じて（１／更新
回数）としてもよく、現在取り込んだピーク値を優先さ
せるためにＴe＞１としてもよい。

【００３６】ピーク値の更新は信号取り込みのエラー等
をも考慮し、実測値が格納されていない初期において
も、期待値からできるだけ早期に真値に近付けて演算結
果の精度を高めるため、クラスによって異なる重み付け
係数を用いて補正した値を、現在のピーク値と平均化処
理した上で更新ピーク値として格納する。

【００３７】さらに、Ｓ２８〜３３で現在のピーク値が
格納された位置の２個先、２個前の位置（ピーク値が最
大値相当であれば、その前後のピーク値の最大値格納位
置にあたる）のピーク値のクラスが、最も初期の推測値
であれば現在の更新ピーク値を格納し、そのクラスを概
略値に書き換え、このようにして現在までの実測値に基
づいて前後に格納される期待値としてのピーク値をでき
るだけ早い段階で真値に近付ける。

【００３８】すなわち、推測値であればＳ２８〜３０
で、２個先のピーク値のクラスをチェックし、推測値Ｇ
uであれば格納済みピーク値を現在のピーク値に変更し
てそのクラスを概略値に書き換え、さらにＳ３１〜３３
で２個前のピーク値のクラスをチェックし、同様にして
推測値のときは変更と書き換えを行う。

【００３９】なお、クラスをチェックした結果、概略値
または実測値であると判定されたときはそのままとし、
ピーク値の更新とクラスの書き換えは行わない。

【００４０】次に、図９のフローチャートにより、以上
のようにして求めた振央値、ピーク値、正規化係数等を
用いて、Ａ相及びＢ相センサ信号を正規化した上で粗位
置と精位置を求め、さらにこれらを合算してストローク
位置を算出する。

【００４１】まず、Ａ、Ｂ相センサ信号を同時にサンプ
ルホールドした後、Ａ／Ｄ変換してセンサ信号Ａs、Ｂs
として取り込む（Ｓ４１）。Ｓ４２、４３において現在
の振央値Ａce、Ｂceと正規化係数Ａsc、Ｂscとを用いて
Ａ相及びＢ相のセンサ信号の正規化を行う。

【００４２】Ａ相センサ信号の正規化信号Ａcoは、セン
サ信号Ａｓから振央値Ａceを減算し、前述した正規化係
数Ａscを乗ずることにより求められ、これらにより各ピ
ッチにおける振幅レベルが同一レベルに修正される。

【００４３】Ｓ４４では、この正規化信号の合成振幅を
求め、正規化された信号が正しいものであるかどうかを
判定する。図１２に正規判定の判定領域を示し、両セン
サ信号はsinθとcosθに相当するため、sin²θ＋cos²θ
＝１によって描かれる円に対して所定の幅を正規な状態
とする。前記合成振幅がこの範囲に入れば正規化された
信号ＡcoとＢcoは共に正しいものと判定される一方、こ
の範囲を出るとエラーと判定されてエラー信号が出力さ
れる。

【００４４】つぎに、このＡ、Ｂ正規化信号に基づいて
精位置の演算を行うが、同時に粗位置を示すＡ、Ｂ粗位
置カウンタの値の選択を行う。

【００４５】センサ信号に含まれるノイズを除去するた
め、まず、図１１に示す正規化信号Ａco−Ｂcoの合成波
のグラフ（sin²θ＋cos²θ＝１）において、現在位置が
図中４５゜線で分割されたどの領域にあるかを判定す
る。この４５゜線は図示のように原点から｛（１／４、
３／４、５／４、７／４）π｝線を示す。４５゜線で分
割された４つの領域では、どちらかの相の粗位置カウン
タが変化するので、現在位置の領域に対してその１つ前
の領域のカウンタ値を選択すれば精度の高い粗位置を確
定することができる。

【００４６】そこで、Ｓ４５において正規化信号Ａcoと
Ｂcoの絶対値の大小から領域を判定し、粗位置を選択す
ると共に精位置を後述する三角関数逆演算により算出す
る。

【００４７】Ｓ４５〜５０では正規化信号｜Ｂco｜が｜
Ａco｜より大きい領域では、Ｂ相粗位置カウンタを選択
してカウント値を粗位置とする。

【００４８】精位置を算出する三角関数逆演算は、図１
３に示すように、Ａ相センサ出力を正弦波（sinθ）、
Ｂ相センサ出力を余弦波（cosθ）とすると、磁気スケ
ール３の１ピッチ（０〜２π）におけるピストンロッド
１の移動によるＡ相、Ｂ相センサ出力ｙ₁、ｙ₂は次式の
ように表される。

【００４９】ｙ₁ ＝ ｖ₁sinθ ｙ₂ ＝ ｖ₂cosθ ここで、ｖ₁、ｖ₂は磁気センサ５及び磁気スケール３の
特性に基づくピーク電圧値であり、ｖ₁＝ｖ₂となるよう
にゲインを調整すると、 tanθ ＝ sinθ／cosθ ＝ ｙ₁／ｙ₂ となる。したがって、センサ出力ｙ₁、ｙ₂より角度θは
次式によって求められる。

【００５０】θ ＝ tan^-1（ｙ₁／ｙ₂） １ピッチＰ（または１／２ピッチＰ）におけるピストン
ロッド１の精位置Ｆ_Dは上記θに基づいて次式により算
出される。

【００５１】Ｆ_D ＝ （Ｐ／２π）×θ ここで、磁気スケール３の１ピッチＰを例えば２mmに設
定し（したがって粗位置は１mm単位）、この粗位置間隔
を１００等分したものを精位置の単位量とすると、１／
１００mm単位の精位置Ｆ_Dは次式により算出される。

【００５２】 Ｆ_D ＝ （１００／π）×tan^-1（｜Ａco｜／｜Ｂco｜） こうして算出さた精位置をＳ４８において、正規化セン
サ信号ＡcoとＢcoとの符号の同一性を判定して補正す
る。

【００５３】もし、符号が相違すればＳ４９で補正精位
置として（５０＋Ｆ_D）を、符号が一致すればＳ５０で
（５０−Ｆ_D）を算出する。

【００５４】これに対して、Ｓ４５で正規化信号Ａcoの
絶対値がＢcoより大きいときは、Ｓ５１〜５５に進み、
粗位置としてＡ相粗位置カウンタのカウント値をとり、
精位置Ｆ_Dを次式により算出する。

【００５５】 Ｆ_D ＝ （１００／π）×tan^-1（｜Ｂco｜／｜Ａco｜） 一方、符号が一致しているときには、Ｓ５５で精位置と
してＦ_Dを、不一致のときにはＳ５４において−Ｆ_Dを出
力する。

【００５６】図１１にも示すように、Ｂ相センサ信号が
振央値をクロスするのは０→π→０（２π）で、Ａ相セ
ンサ信号のクロス位置は１／２π→３／２π→１／２π
となる。

【００５７】ここで粗位置信号は、７／４π→１／４
π、３／４π→５／４πの間でＡ相粗位置カウンタを、
１／４π→３／４π、５／４π→７／４πの間でＢ相粗
位置カウンタをそれぞれ選択すればよく、これに精位置
をＳ５６で合算すれば精度の高い位置信号を得ることが
できる。

【００５８】次に、図１０に示すフローチャートにおい
て、上記算出された位置信号に基づいて設定器８によっ
て予め設定されたリミット位置の判定を行う。なお、コ
ントローラ７のメモリＲＡＭにはピストンロッド１のス
トローク上で最大４カ所のリミット位置＃０〜３が設定
され、設定器８のディップスイッチ８１、８２により小
数点以下２桁が１／１００mm単位で、ディップスイッチ
８３、８４によって小数点以上が１mm単位でそれぞれ設
定されている。

【００５９】Ｓ６１でメモリＲＡＭに格納された各リミ
ット位置の値を読み込んだ後、Ｓ６２でリミット位置＃
０の値と上記算出した現在位置とを比較して、現在位置
がリミット位置＃０より大きければＳ６３でリミット信
号＃０を発生させる一方、現在位置がリミット位置＃０
未満であればＳ６４でリミット信号＃０の信号を停止す
る。ここで、コントローラ７が発生するリミット信号
は、一例を示せば、負論理のＴＴＬレベルの信号であ
り、Ｓ６３ではリミット信号がＬｏｗとなり、Ｓ６４で
はリミット信号がＨｉｇｈとなる。

【００６０】以下、Ｓ６５〜７３では上記Ｓ６２〜６４
と同様にして、現在位置とリミット位置＃１〜３とをそ
れぞれ比較し、現在位置がリミット位置より大きければ
リミット信号を発生する。

【００６１】このようにして、上記フローチャートの処
理を繰り返すことにより、磁気センサ５の２相のセンサ
出力に基づいて粗位置と精位置を求めてから現在位置を
高い精度で算出し、設定器８で予め設定したリミット位
置を検出してリミット信号を発生するため、高精度かつ
応答性の高いリミット位置の検出が可能となり、設定器
８では任意の位置にリミット位置を容易に変更すること
ができ、さらに、リミット位置の数も任意に設定するこ
とが可能となる。

【００６２】図１４は他の実施例を示し、前記第１の実
施例におけるディップスイッチ８１〜８４をロータリス
イッチ９１〜９４によって構成したもので、その他の構
成は前記第１の実施例と同様である。

【００６３】設定器９は０〜９の数値を設定可能な４桁
のロータリスイッチ９１〜９４と、リミット位置の正負
の符号を設定するディップスイッチ９５を備え、ロータ
リスイッチ９１、９２で小数点以下２桁を、ロータリス
イッチ９３、９４で小数点以上の２桁をそれぞれ設定す
る。ロータリスイッチ９１〜９４が１０進数で表示され
るため、容易に設定値を判定することができ、スイッチ
を回転させることにより容易に数値の変更が可能となっ
て操作性を向上させることができる。

【００６４】なお、上記実施例において、リミット位置
をコントローラ７に接続された設定器８によって設定し
たが、通信手段等によりメモリＲＡＭへ設定してもよ
い。

【００６５】また、リミット位置の設定方法は上記実施
例においてはＢＣＤコードとしたが、これに限定される
ことなくバイナリ設定などであってもよい。

【００６６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気セン
サの出力に基づいて粗位置と精位置からなる現在位置を
高い精度で算出し、予め設定したリミット位置と比較演
算してリミット信号を発生するため、高精度かつ応答性
の高いリミット位置の検出が可能となり、リミット位置
を容易に変更することができ、リミット位置の数も任意
に設定することが可能となる。また、各センサ出力ピー
ク値を更新・格納するメモリＲＡＭに複数のリミット位
置を格納し、通信手段を介して前記メモリＲＡＭに格納
される各リミット位置を設定するようにしたので、リミ
ット位置の設定数が設定器の数に限定されず、任意数の
リミット位置を設定することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す構成図である。

【図２】本発明の実施例を示す磁気スケールの拡大図で
ある。

【図３】コントローラのブロック図である。

【図４】設定器を示す概略図である。

【図５】各ピッチにおける磁気センサの出力信号の変化
を示す図である。

【図６】Ａ相の正規化係数及び振央値を演算するフロー
チャートである。

【図７】同じくＢ相の正規化係数及び振央値を演算する
フローチャートである。

【図８】ピーク値の更新動作を示すフローチャートであ
る。

【図９】精位置及び粗位置から位置信号を求める演算動
作のフローチャートである。

【図１０】リミット位置の判定動作を示すフローチャー
トである。

【図１１】Ａ相、Ｂ相の合成振幅における粗位置カウン
タと象限位置の関係を示す図である。

【図１２】同じく合成振幅の説明図である。

【図１３】ストローク位置の演算の説明図である。

【図１４】他の実施例を示す設定器の概略図である。

【符号の説明】

１ ピストンロッド ３ 磁気スケール ２ 弱磁性部 ５ 磁気センサ ７ コントローラ ８ 設定器 ５１ リミット位置設定手段 ５２ 比較演算手段 ５３ ピーク値更新・格納手段 ５４ 振央値演算手段 ５５ 粗位置演算手段 ５６ 正規化係数演算手段 ５７ センサ出力補正手段 ５８ 精位置演算手段 ５９ 位置信号演算手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−29103（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−136713（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34 102 G01D 5/00 - 5/252 G01D 5/39 - 5/62

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】移動方向に所定のピッチで弱磁性部を配設
   した磁気スケールと、磁気スケールのピッチに対応して
   ９０゜の位相差をもった正弦波を出力する一対の磁気セ
   ンサと、磁気スケールのピッチ毎の各センサ出力ピーク
   値をそれぞれ更新・格納する手段と、各ピーク値から各
   ピッチ毎の振央値を演算する手段と、前記振央値とセン
   サ出力の比較結果に基づいて粗位置を演算する手段と、
   前記ピーク値と振央値からセンサ出力の正規化係数を演
   算する手段と、前記正規化係数に基づいてセンサ出力を
   補正する手段と、２相の補正された正規化信号を用いて
   三角関数逆演算により精位置を演算する手段と、粗位置
   と精位置とを合算して位置信号を出力する手段とを備え
   た位置検出装置において、前記更新・格納される各センサ出力ピーク値と共に複数
   のリミット位置を格納するメモリＲＡＭと、通信手段を
   介して前記メモリＲＡＭに格納される各リミット位置を
   設定する手段と、前記メモリＲＡＭに格納されている複
   数の リミット位置と前記位置信号とを比較してこれら信
   号が一致するときにリミット信号を出力する手段とを備
   えたことを特徴とする位置検出装置。