KR20180032178A - 로터리 인코더, 및 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법 - Google Patents

로터리 인코더, 및 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법 Download PDF

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유타카 사이토
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 제1 센서부와 제2 센서부 사이의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 저하를 억제할 수 있는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법을 제안하는 것이다.
[해결 수단] 절대 각도 위치 검출 동작의 전보정 처리로서, 로터리 인코더(1)의 제1 센서부(1a)에서 제1 절대 각도 데이터 abs-1을 취득하고, 제2 센서부(1b)에서 인크리멘탈 각도 데이터 INC를 취득하고, 이들의 위상차 Δp를 취득한다. 이어서, 제1 절대 각도 데이터의 위상을 위상차 Δp로 보정한 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 산출한다. 그리고 인크리멘탈 각도 데이터를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs와 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p의 차에 기초하여 보정값 Δq를 구하고, 보정값 Δq에 의해 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를 얻는다.

Description

로터리 인코더, 및 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법{ROTARY ENCODER AND ABSOLUTE ANGLE POSITION DETECTING METHOD OF ROTARY ENCODER}
본 발명은, 회전체의 순간 시의 절대 각도 위치를 검출하는 로터리 인코더, 및 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법에 관한 것이다.
고정체에 대한 회전체의 회전을 검출하는 로터리 인코더는 특허문헌 1에 기재되어 있다. 이 특허문헌 1의 로터리 인코더는, 제1 센서부와, 제2 센서부를 구비하고, 제1 센서부에서의 검출 결과와, 제2 센서부에서의 검출 결과에 기초하여, 회전체의 순간 시의 절대 각도 위치를 검출한다. 제1 센서부는, N극과 S극이 하나씩 배치된 제1 자석과, 제1 자석에 대향하는 제1 자기 저항 소자와, 제1 자석에 대향하는 제1 홀 소자와, 제1 자석에 대향함과 함께 제1 홀 소자에 대하여 회전 중심 축선 둘레로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자를 구비한다. 제2 센서부는, 회전 중심축 둘레에 배치된 복수 극쌍의 제2 자석과, 제2 자석에 대향하는 제2 자기 저항 소자를 구비한다. 로터리 인코더에서는, 제1 센서부에 있어서 1회전 1주기의 절대 각도 데이터, 및 제2 센서부에 있어서 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 순간 시의 각도 위치를 결정한다.
일본 특허 제5666886호 공보
특허문헌 1과 같이, 제1 센서부 및 제2 센서부를 구비하는 로터리 인코더에서는, 제1 센서부와 제2 센서부 사이에 상대적인 위치 어긋남이 발생하는 경우가 있다. 또한, 각 센서부의 위치 어긋남이 발생하면, 제1 센서부에 있어서 절대 각도 데이터와, 제2 센서부에 있어서 인크리멘탈 각도 데이터 사이에 위상의 어긋남이나 오차가 발생하므로, 검출 정밀도가 저하된다고 하는 문제가 발생한다.
이러한 문제를 감안하여, 본 발명의 과제는, 제1 센서부에서의 검출 결과, 및 제2 센서부에서의 검출 결과에 기초하여 회전체의 절대 각도 위치를 검출한 경우에도, 제1 센서부와 제2 센서부 사이의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 저하를 억제할 수 있는 로터리 인코더, 및 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법을 제공하는 데 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 제1 센서부와, 제2 센서부를 구비하고, 상기 제1 센서부에 있어서 1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터를 취득함과 함께, 상기 제2 센서부에 있어서, N을 2 이상의 양의 정수로 했을 때에 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터를 취득하고, 상기 제1 센서부에서의 제1 검출 결과 및 상기 제2 센서부에서의 제2 검출 결과에 기초하여 절대 각도 위치를 검출하는 로터리 인코더에 있어서, 상기 제1 절대 각도 데이터와 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상차를 취득하는 위상차 취득부와, N주기만큼의 상기 인크리멘탈 각도 데이터를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 산출하는 변환 절대 각도 데이터 산출부와, 상기 위상차에 기초하여 상기 제1 절대 각도 데이터를 보정해서 상기 제1 절대 각도 데이터의 위상을 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터의 위상에 일치시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 제1 위상 보정부와, 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터와 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터의 차에 기초하여 보정값을 취득하는 보정값 취득부와, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 상기 보정값으로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 상대 오차 보정부와, 상기 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 위상차, 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도를 취득하는 절대 각도 취득부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 제1 센서부에서의 제1 검출 결과(1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터) 및 제2 센서부에서의 제2 검출 결과(1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터)에 기초하여 회전체의 순간 시의 절대 각도 위치를 검출한다. 따라서, 높은 분해능으로 회전체의 순간 시의 절대 각도 위치를 검출할 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터의 위상차를 취득해서 제1 절대 각도 데이터의 위상을 인크리멘탈 각도 데이터의 위상에 일치시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 산출함과 함께, 인크리멘탈 각도 데이터를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터와 위상 보정 제1 절대 각도 데이터의 차에 기초하여 보정값을 구하고, 이러한 보정값에 의해 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 얻는다. 여기서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터는, 제1 절대 각도 데이터에 당해 제1 절대 각도 데이터와 N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터의 상대적인 오차가 부가된 것이 된다. 따라서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터는, 이들 사이의 상대적인 오차가 없어지거나, 또는 억제된다. 따라서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도 위치를 결정하면, 제1 센서부와 제2 센서부의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 저하를 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 취득하기 위해서는, 상기 보정값 취득부는, 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터로부터 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고, 상기 상대 오차 보정부는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터에 상기 보정값을 가산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 취득하기 위해서는, 상기 보정값 취득부는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고, 상기 상대 오차 보정부는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 보정값을 감산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것으로 할 수 있다.
본 발명에 있어서, 기억부를 더 구비하고, 상기 보정값 취득부는 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 상기 기억부에 기억 보유하고, 상기 상대 오차 보정부는, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 기억부에 기억 보유한 보정값과, 기억부에 기억 보유한 보정값 사이를 보완한 중간 보정값에 의해 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정할 수 있으므로, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터 사이의 오차를, 보다 억제할 수 있다. 또한, 중간 보정값은 연산에 의해 얻을 수 있으므로, 보정값을 기억 보유하는 용량을 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절대 각도 취득부는, 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성부와, 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교부와, 상기 위상 비교부에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 위상 보정부와, 상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정부를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터에 있어서도, 인크리멘탈 각도 데이터와의 사이에 위상 어긋남 등의 오차가 있는 경우에, 이들의 오차를 보정에 의해 억제할 수 있다. 또한, 절대 각도 위치의 결정은, 제1 센서부에서의 제1 검사 결과를 위상차로 보정한 위상차 위상 보정 제1 검출 결과를 사용해서 행하므로, 제1 센서부와 제2 센서부 사이의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 정밀도의 저하를, 보다 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 센서부는 회전 중심축 둘레에 N극과 S극이 하나씩 배치된 제1 자석과, 상기 제1 자석의 회전 중심 축선 방향에서 대향하는 제1 자기 저항 소자와, 상기 제1 자석에 대향하는 제1 홀 소자와, 상기 제1 자석에 대향함과 함께 상기 제1 홀 소자에 대하여 상기 회전 중심 축선 둘레로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자를 구비하고, 상기 제2 센서부는, 상기 회전 중심축 둘레에 복수 극쌍이 배치된 제2 자석과, 상기 제2 자석에 대향하는 제2 자기 저항 소자를 구비하는 것으로 할 수 있다.
이어서, 본 발명은 제1 센서부와, 제2 센서부를 구비하고, 상기 제1 센서부에 있어서 1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터를 취득함과 함께, 상기 제2 센서부에 있어서, N을 2 이상의 양의 정수로 했을 때에 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터를 취득해 두고, 상기 제1 센서부에서의 제1 검출 결과 및 상기 제2 센서부에서의 제2 검출 결과에 기초하여 절대 각도 위치를 검출하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법에 있어서, 상기 제1 절대 각도 데이터와 상기 인크리멘탈 각도 데이터와 위상차를 취득하는 위상차 취득 공정과, N주기만큼의 상기 인크리멘탈 각도 데이터를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 산출하는 변환 절대 각도 데이터 산출 공정과, 상기 위상차에 기초하여 상기 제1 절대 각도 데이터를 보정해서 상기 제1 절대 각도 데이터의 위상을 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터의 위상에 일치시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 제1 위상 보정 공정과, 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터와 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터의 차에 기초하여 보정값을 취득하는 보정값 취득 공정과, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 상기 보정값으로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 상대 오차 보정 공정과, 상기 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 위상차, 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도를 취득하는 절대 각도 취득 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 제1 센서부에서의 제1 검출 결과(1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터) 및 제2 센서부에서의 제2 검출 결과(1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터)에 기초하여 회전체의 순간 시의 절대 각도 위치를 검출한다. 따라서, 높은 분해능으로 회전체의 순간 시의 절대 각도 위치를 검출할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터의 위상차를 취득해서 제1 절대 각도 데이터의 위상을 인크리멘탈 각도 데이터의 위상에 일치시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 산출함과 함께, 인크리멘탈 각도 데이터를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터와 위상 보정 제1 절대 각도 데이터의 차에 기초하여 보정값을 구하고, 이러한 보정값에 의해 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 얻는다. 여기서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터는, 제1 절대 각도 데이터에 당해 제1 절대 각도 데이터와 N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터의 상대적인 오차가 부가된 것이 된다. 따라서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터는, 이들 사이의 상대적인 오차가 없어지거나, 또는 억제된다. 따라서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도 위치를 결정하면, 제1 센서부와 제2 센서부의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 저하를 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 취득하기 위해서는, 상기 보정값 취득 공정에서는, 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터로부터 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고, 상기 상대 오차 보정 공정에서는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터에 상기 보정값을 가산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 취득하기 위해서는, 상기 보정값 취득 공정에서는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고, 상기 상대 오차 보정 공정에서는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 보정값을 감산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것으로 할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 보정값 취득 공정은, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 기억부에 기억 보유하고, 상기 상대 오차 보정 공정은, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 기억부에 기억 보유한 보정값과, 기억부에 기억 보유한 보정값 사이를 보완한 중간 보정값에 의해 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정할 수 있으므로, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터 사이의 오차를, 보다 억제할 수 있다. 또한, 중간 보정값은 연산에 의해 얻을 수 있으므로, 보정값을 기억 보유하는 용량을 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절대 각도 취득 공정은, 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성 공정과, 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교 공정과, 상기 위상 비교 공정에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 제2 위상 보정 공정과, 상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 하면, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터에 있어서도, 인크리멘탈 각도 데이터와의 사이에 위상 어긋남 등의 오차가 있는 경우에, 이들의 오차를 보정에 의해 억제할 수 있다. 또한, 절대 각도 위치의 결정은, 제1 센서부에서의 제1 검사 결과를 위상차로 보정한 위상차 위상 보정 제1 검출 결과를 사용해서 행하므로, 제1 센서부와 제2 센서부 사이의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 정밀도의 저하를, 보다 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 센서부는, 회전 중심축 둘레에 N극과 S극이 하나씩 배치된 제1 자석과, 상기 제1 자석의 회전 중심 축선 방향에서 대향하는 제1 자기 저항 소자와, 상기 제1 자석에 대향하는 제1 홀 소자와, 상기 제1 자석에 대향함과 함께 상기 제1 홀 소자에 대하여 상기 회전 중심 축선 둘레로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자를 구비하고, 상기 제2 센서부는, 상기 회전 중심축 둘레에 복수 극쌍이 배치된 제2 자석과, 상기 제2 자석에 대향하는 제2 자기 저항 소자를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에서는, 제1 센서부에서의 제1 절대 각도 데이터에 당해 제1 절대 각도 데이터와 제2 센서부에서의 인크리멘탈 각도 데이터의 상대적인 오차를 부가한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 취득하고, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 및 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도 위치를 검출한다. 여기서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터 사이에서는, 제1 절대 각도 데이터와 N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 사이의 상대적인 오차가 없어지거나, 또는 상대적인 오차가 억제된다. 따라서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도 위치를 취득하면, 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 저하를 억제할 수 있다.
도 1은, 본 발명을 적용한 로터리 인코더의 외관 등을 도시하는 설명도이다.
도 2는, 도 1의 로터리 인코더의 고정체의 일부를 절결해서 도시하는 측면도이다.
도 3은, 로터리 인코더의 센서부 등의 구성을 도시하는 설명도이다.
도 4는, 로터리 인코더의 각도 위치의 검출 원리를 도시하는 설명도이다.
도 5는, 로터리 인코더의 각도 위치의 결정 방법의 기본적 구성을 도시하는 설명도이다.
도 6은, 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터의 위상차 및 위상 보정 제1 절대 각도 데이터의 설명도이다.
도 7은, 변환 절대 각도 데이터의 설명도이다.
도 8은, 보정값의 설명도이다.
도 9는, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터의 설명도이다.
도 10은, 로터리 인코더의 각도 위치의 결정 방법의 구체적 구성을 도시하는 설명도이다.
도 11은, 제2 절대 각도 데이터의 위상이 진행되고 있는 경우의 설명도이다.
도 12는, 제2 절대 각도 데이터의 위상이 지연되고 있는 경우의 설명도이다.
도 13은, 절대 각도 위치를 검출하는 절대 각도 위치 검출 동작의 흐름도이다.
이하에, 도면을 참조하여, 본 발명을 적용한 로터리 인코더의 실시 형태를 설명한다. 이하의 설명에서는, 로터리 인코더로서, 센서부가 자석 및 감자 소자(자기 저항 소자, 홀 소자)에 의해 구성된 자기식 로터리 인코더를 중심으로 설명한다. 이 경우, 고정체에 자석을 설치하고, 회전체에 감자 소자를 설치한 구성, 및 고정체에 감자 소자를 설치하고, 회전체에 자석을 설치한 구성 중 어떠한 구성을 채용해도 되지만, 이하의 설명에서는 고정체에 감자 소자를 설치하고, 회전체에 자석을 설치한 구성을 중심으로 설명한다. 또한, 이하에 참조하는 도면에 있어서, 자석 및 감자 소자 등의 구성에 대해서 모식적으로 도시하고 있으며, 제2 자석에 있어서 자극에 대해서는 그 수를 줄여서 모식적으로 도시하고 있다. 또한, 자기 저항 소자(감자 소자)에 있어서 자기 저항 패턴의 구성에 대해서도, 서로의 위치를 어긋나게 하여 모식적으로 도시하고 있다.
(전체 구성)
도 1은, 본 발명을 적용한 로터리 인코더의 외관 등을 도시하는 설명도이다. 도 1의 (a)는, 로터리 인코더를 회전 축선 방향의 일방측 또한 경사 방향에서 본 경우의 사시도이며, 도 1의 (b)는, 회전 축선 방향의 일방측으로부터 본 경우의 평면도이다. 도 2는, 본 발명을 적용한 로터리 인코더의 고정체의 일부를 절결해서 도시하는 측면도이다.
로터리 인코더(1)는 고정체(10)에 대한 회전체(2)의 회전 축선 주위의 회전을 자기적으로 검출하는 장치다. 고정체(10)는 모터 장치의 프레임 등에 고정되고, 회전체(2)는 모터 장치의 회전 출력축 등에 연결된 상태로 사용된다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 고정체(10)는 센서 기판(15)과, 센서 기판(15)을 지지하는 복수의 지지 부재(11)를 구비한다. 본 예에 있어서, 지지 부재(11)는 원형의 개구부(122)가 형성된 저판부(121)를 구비한 베이스체(12)와, 베이스체(12)에 고정된 센서 지지판(13)을 포함한다.
센서 지지판(13)은 베이스체(12)에 있어서 개구부(122)의 테두리 부분으로부터 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)을 향해서 돌출된 대략 원통 형상의 동체부(123)에 나사(191, 192) 등에 의해 고정되어 있다. 센서 지지판(13)으로부터는, 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)을 향해서 복수개의 단자(16)가 돌출되어 있다. 동체부(123)에 있어서 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)에 위치하는 단부면에는, 돌기(124)나 구멍(125) 등이 형성되어 있고, 이러한 구멍(125) 등을 이용하여, 동체부(123)에는 센서 기판(15)이 나사(193) 등에 의해 고정되어 있다. 그때, 센서 기판(15)은 돌기(124) 등에 의해 소정 위치에 위치 결정된 상태로 고정밀도로 고정된다. 센서 기판(15)에 있어서, 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)의 면에는 커넥터(17)가 설치되어 있다. 회전체(2)는 동체부(123)의 내측에 배치되는 원통 형상의 부재이며, 그의 내측에는 모터의 회전 출력축(도시하지 않음)이 끼워맞춤 등의 방법으로 연결되어 있다. 따라서, 회전체(2)는 회전 축선 주위로 회전 가능하다.
(자석 및 감자 소자 등의 레이아웃 등)
도 3은, 본 발명을 적용한 로터리 인코더(1)의 센서부 등의 구성을 도시하는 설명도이다. 도 3에 있어서, 데이터 처리부(90)는 미리 저장되어 있는 프로그램에 기초하여 동작하는 CPU 등을 구비한다. 데이터 처리부(90)의 구성에 대해서는 기능 블록도로 나타낸다.
제1 센서부(1a)는 회전체(2) 측에 제1 자석(20)을 갖는다. 제1 자석(20)은 N극과 S극이 둘레 방향에 있어서 1극씩 착자된 착자면(21)을 구비한다. 착자면(21)은 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)을 향하고 있다. 또한, 제1 센서부(1a)는 고정체(10) 측에, 제1 자석(20)의 착자면(21)에 대하여 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)에서 대향하는 제1 자기 저항 소자(40)와, 제1 자석(20)의 착자면(21)에 대하여 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)에서 대향하는 제1 홀 소자(51)와, 제1 자석(20)의 착자면(21)에 대하여 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)에서 대향함과 함께, 제1 홀 소자(51)에 대하여 회전 축선 주위로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자(52)를 갖는다.
제2 센서부(1b)는 회전체(2) 측에 제2 자석(30)을 갖는다. 제2 자석은, 제1 자석(20)에 대하여 직경 방향의 외측에서 이격하는 위치에서 N극과 S극이 둘레 방향에 있어서 교대로 복수 착자된 링 형상의 착자면(31)을 구비한다. 착자면(31)은 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)을 향하고 있다. 본 예에 있어서, 제2 자석(30)의 착자면(31)에는, 둘레 방향에 있어서 N극과 S극이 교대로 다극에 착자된 트랙(310)이 직경 방향에서 복수, 병렬하고 있다. 본 예에서는, 트랙(310)이 2열 형성되어 있다. 본 예에 있어서는, N을 양의 정수로 했을 때, 제2 자석(30)에서는, N극과 S극의 쌍이 합계 N쌍 형성되어 있다. 본 예에 있어서, N은, 예를 들어 128이다. 이러한 2개의 트랙(310) 사이에는 N극 및 S극의 위치가 둘레 방향에서 어긋나 있으며, 본 예에서는, 2개의 트랙(310) 사이에 있어서 N극 및 S극은 둘레 방향으로 1극만큼 어긋나 있다. 또한, 제2 센서부(1b)는 고정체(10) 측에, 제2 자석(30)의 착자면(31)에 대하여 회전 중심 축선 방향(L)의 제1 방향(L1)에서 대향하는 제2 자기 저항 소자(60)를 구비한다.
제1 자석(20) 및 제2 자석(30)은 회전체(2)와 일체로 회전 축선 주위로 회전한다. 제1 자석(20)은 원반 형상의 영구 자석을 포함한다. 제2 자석(30)은 원통 형상이며, 제1 자석(20)에 대하여 직경 방향의 외측에서 이격하는 위치에 배치되어 있다. 제1 자석(20) 및 제2 자석(30)은 본드 자석 등을 포함한다.
제1 자기 저항 소자(40)는 제1 자석(20)의 위상에 대하여 서로 90°의 위상차를 갖는 A상(SIN)의 자기 저항 패턴과 B상(COS)의 자기 저항 패턴을 구비한 제1 자기 저항 소자이다. 이러한 제1 자기 저항 소자(40)에 있어서, A상의 자기 저항 패턴은, 180°의 위상차를 가지고 회전체(2)의 이동 검출을 행하는 +a상(SIN+)의 자기 저항 패턴(43) 및 -a상(SIN-)의 자기 저항 패턴(41)을 구비한다. B상의 자기 저항 패턴은, 180°의 위상차를 가지고 회전체(2)의 이동 검출을 행하는 +b상(COS+)의 자기 저항 패턴(44) 및 -b상(COS-)의 자기 저항 패턴(42)을 구비한다. 여기서, +a상의 자기 저항 패턴(43) 및 -a상의 자기 저항 패턴(41)은 브리지 회로를 구성하고 있으며, +b상의 자기 저항 패턴(44) 및 -b상의 자기 저항 패턴(42)도, +a상의 자기 저항 패턴(43) 및 -a상의 자기 저항 패턴(41)과 마찬가지로, 브리지 회로를 구성하고 있다.
제2 자기 저항 소자(60)는 제2 자석(30)의 위상에 대하여, 서로 90°의 위상차를 갖는 A상(SIN)의 자기 저항 패턴과 B상(COS)의 자기 저항 패턴을 구비한다. 이러한 제2 자기 저항 소자(60)에 있어서, A상의 자기 저항 패턴은, 180°의 위상차를 가지고 회전체(2)의 이동 검출을 행하는 +a상(SIN+)의 자기 저항 패턴(64) 및 -a상(SIN-)의 자기 저항 패턴(62)을 구비한다. B상의 자기 저항 패턴은, 180°의 위상차를 가지고 회전체(2)의 이동 검출을 행하는 +b상(COS+)의 자기 저항 패턴(63) 및 -b상(COS-)의 자기 저항 패턴(61)을 구비한다. 여기서, +a상의 자기 저항 패턴(64) 및 -a상의 자기 저항 패턴(62)은 제1 자기 저항 소자(40)와 마찬가지로, 브리지 회로를 구성하고 있으며, +b상의 자기 저항 패턴(63) 및 -b상의 자기 저항 패턴(61)은 +a상의 자기 저항 패턴(64) 및 -a상의 자기 저항 패턴(62)과 마찬가지로 나타내는 브리지 회로를 구성하고 있다.
본 예에 있어서는, 제1 자기 저항 소자(40), 제1 홀 소자(51), 제2 홀 소자(52), 및 제2 자기 저항 소자(60)는 모두, 센서 기판(15)의 회전 중심 축선 방향(L)의 제2 방향(L2)에 위치하는 제1 면(151)에 설치되어 있다. 센서 기판(15)에 있어서 제1 면(151)과는 반대측의 제2 면(152)에 있어서, 제1 자기 저항 소자(40)와 평면에서 보아 겹치는 위치에는, 센서 기판(15)을 관통하는 스루홀(도시하지 않음)을 거쳐 제1 자기 저항 소자(40)에 전기적으로 접속된 제1 증폭기(91)가 설치되어 있다. 또한, 제2 면(152)에 있어서, 제2 자기 저항 소자(60)와 평면에서 보아 겹치는 위치에는, 센서 기판(15)을 관통하는 스루홀을 거쳐 제2 자기 저항 소자(60)에 전기적으로 접속된 제2 증폭기(92)가 설치되어 있다. 또한, 제1 홀 소자(51) 및 제2 홀 소자(52)는 센서 기판(15)을 관통하는 스루홀을 거쳐 제1 증폭기(91)에 전기적으로 접속되어 있다.
(검출 원리)
도 4는, 본 발명을 적용한 로터리 인코더(1)에 있어서 검출 원리를 도시하는 설명도이다. 도 4의 (a)는, 자기 저항 소자(4)로부터 출력되는 신호 등의 설명도이며, 도 4의 (b)는, 도 4의 (a)에 나타내는 신호와 회전체(2)의 각도 위치(전기각)의 관계를 도시하는 설명도이다. 도 5는, 로터리 인코더에 있어서 각도 위치의 결정 방법의 기본적 구성을 도시하는 설명도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 본 예의 로터리 인코더(1)에 있어서, 제1 자기 저항 소자(40), 제1 홀 소자(51), 제2 홀 소자(52), 및 제2 자기 저항 소자(60)의 출력은, 제1 증폭기(91), 제2 증폭기(92), A-D 컨버터(93a, 93b, 94)를 거쳐, 데이터 처리부(90)에 출력된다. 데이터 처리부(90)는 제1 자기 저항 소자(40), 제1 홀 소자(51), 제2 홀 소자(52), 및 제2 자기 저항 소자(60)로부터의 출력에 기초하여, 고정체(10)에 대한 회전체(2)의 절대 각도 위치를 구한다.
보다 구체적으로는, 로터리 인코더(1)에 있어서, 회전체(2)가 1회전하면, 제1 자석(20)이 1회전하므로, 제1 센서부(1a)의 제1 자기 저항 소자(40)로부터는, 도 4의 (a)에 나타내는 정현파 신호 sin, cos이 2주기만큼, 출력된다. 따라서, 데이터 처리부(90)에 있어서, 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 정현파 신호 sin, cos으로부터 θ=tan- 1(sin/cos)를 구하면, 회전체(2)의 각도 위치 θ를 알 수 있다. 또한, 본 예에서는, 제1 센서부(1a)에는 제1 자석(20)의 중심으로부터 보아 90° 어긋난 위치에 제1 홀 소자(51) 및 제2 홀 소자(52)가 배치되어 있다. 이로 인해, 현재 위치가 정현파 신호 sin, cos 중 어느 구간에 위치하는지를 알 수 있으므로, 회전체(2)의 절대 각도 위치를 알 수 있다.
또한, 본 예의 로터리 인코더(1)에서는, 제2 센서부(1b)에, N극과 S극이 둘레 방향에 있어서 교대로 복수 착자된 링 형상의 착자면(31)을 구비한 제2 자석(30)이 사용되고 있으며, 이러한 제2 자석(30)에 대향하는 제2 자기 저항 소자(60)로부터는, 회전체(2)가 제2 자석(30)의 자극의 1주기만큼을 회전할 때마다, 정현파 신호 sin, cos이 2주기만큼 출력된다. 따라서, 제2 자기 저항 소자(60)로부터 출력된 정현파 신호 sin, cos에 대해서도, 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 정현파 신호 sin, cos으로부터 θ=tan- 1(sin/cos)를 구하면, 제2 자석(30)의 자극의 1주기만큼에 상당하는 각도 내에 있어서 회전체(2)의 각도 위치 θ를 알 수 있다.
따라서, 본 예에서는, 제1 센서부(1a)로부터의 제1 검출 결과인 1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터 abs-1[도 5의 (a) 참조]과, 제2 센서부(1b)로부터의 제2 검출 결과인 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터 INC[도 5의 (b) 참조]에 기초하여, 회전체(2)의 순간 시의 각도 위치를 검출한다. 따라서, 제1 절대 각도 데이터 abs-1의 분해능이 낮은 경우에도, 분해능이 높은 절대 각도 데이터를 얻을 수 있다.
이러한 검출 방식을 채용하는 데 있어서, 본 예의 로터리 인코더(1)에 있어서는, 제1 센서부(1a)와 제2 센서부(1b)의 상대적인 위치 어긋남, 제1 센서부(1a) 및 제2 센서부(1b)를 구성하는 부재의 특성 오차, 제1 센서부(1a)와 제2 센서부(1b)의 샘플링 시간차 등의 영향으로, 제1 센서부(1a)로부터의 제1 절대 각도 데이터 abs-1[도 5의 (a) 참조]과, 제2 센서부(1b)로부터의 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터 INC[도 5의 (b) 참조] 사이에, 위상 어긋남이 발생하는 경우가 있다. 또한, 제1 센서부(1a)의 회전축으로부터의 어긋남, 제2 센서부(1b)의 회전축으로부터의 어긋남, 제1 센서부(1a)의 특성, 제2 센서부(1b)의 특성에 의해, 각 센서부(1a, 1b)로부터의 출력에는, 참값(각도 위치)에 대한 오차가 발생하는 경우가 있다. 여기서, 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 인크리멘탈 각도 데이터 INC 사이에, 위상 어긋남을 포함하는 상대적인 오차가 있으면, 검출 정밀도가 저하되어 버린다.
따라서, 본 예에서는, 절대 각도 위치를 검출하기 위해서, 먼저 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상차 Δp를 취득하고, 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 인크리멘탈 각도 데이터 INC 사이에서 발생하고 있는 위상차 상대적인 오차와 위상차 Δp를 억제, 또는 없앤 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를 취득하는 전보정(前補正) 공정을 행한다.
그 후, 제1 센서부(1a)로부터 출력되는 순간 시의 제1 절대 각도 데이터 abs-1인 제1 검출 결과, 제2 센서부(1b)로부터 출력되는 순간 시의 인크리멘탈 각도 데이터 INC인 제2 검출 결과, 전보정 공정에서 취득한 위상차 Δp, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c, 및 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 기초하여 절대 각도 위치를 취득하는 절대 각도 취득 공정을 행한다.
(제어계)
도 6은, 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상차 및 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p의 설명도이다. 도 7은, 변환 절대 각도 데이터의 설명도이다. 도 8은, 보정값의 설명도이다. 도 9는, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c의 설명도이다. 도 10은, 로터리 인코더에 있어서 각도 위치의 결정 방법의 구체적 구성을 도시하는 설명도이다. 도 10에는, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 각 주기가 참인 각도 위치에 대하여, 어떠한 위치의 주기인지를 나타내는 부호 1, 2‥n-1, n, n+1‥N을 부여하고, 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 각 주기가 참인 각도 위치에 대하여, 어떠한 위치의 주기인지를 나타내는 부호 1, 2‥m-1, m, m+1‥N을 부여하고 있다. 도 11은, 로터리 인코더에 있어서 제2 절대 각도 데이터의 위상이 진행되고 있는 경우의 보정의 설명도이다. 도 12는, 로터리 인코더에 있어서 제2 절대 각도 데이터의 위상이 지연되고 있는 경우의 보정의 설명도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 데이터 처리부(90)는 전보정 공정을 행하는 전보정 처리부(100)와, 절대 각도 취득 공정을 행하는 절대 각도 취득부(101)를 구비한다.
(전보정 처리부)
전보정 처리부(100)는, 메모리(기억부)(102), 위상차 취득부(103), 변환 절대 각도 데이터 산출부(104), 제1 위상 보정부(105), 보정값 취득부(106), 및 상대 오차 보정부(107)를 구비한다.
위상차 취득부(103)는 제1 센서부(1a)로부터의 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 제2 센서부(1b)로부터의 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상차 Δp를 취득한다. 즉, 위상차 취득부(103)는, 도 6의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 제1 센서부(1a)로부터의 1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 제2 센서부(1b)로부터의 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터 INC 사이에 위상 어긋남이 발생하고 있는 것을 전제로 하여, 제1 센서부(1a)로부터의 제1 절대 각도 데이터 abs-1의 각도 위치 0°인 포인트와, 당해 포인트에 가장 가까운 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 각도 위치 0°인 포인트의 각도차를 위상차 Δp로서 취득한다. 또한, 이상적인 제1 절대 각도 데이터 abs-1은, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이 직선적인 데이터이다. 그러나 제1 센서부(1a)로부터의 제1 절대 각도 데이터 abs-1은, 예를 들어 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이, 내포하는 오차분만큼 이상적인 데이터로부터 어긋나 있다. 또한, 이상적인 인크리멘탈 각도 데이터 INC는 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이 직선적인 데이터이다. 그러나 제2 센서부(1b)로부터의 인크리멘탈 각도 데이터 INC는, 예를 들어 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이, 내포하는 오차분만큼, 이상적인 데이터로부터 어긋나 있다.
변환 절대 각도 데이터 산출부(104)는, 도 7에 도시한 바와 같이, 제2 센서부(1b)로부터의 N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 INC[도 6의 (b) 및 도 7의 (a) 참조]를 1회전 1주기의 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs[도 7의 (b) 참조]로 변환한다. 즉, 변환 절대 각도 데이터 산출부(104)는 제1 절대 각도 데이터 abs-1에 있어서 각도 위치 0°인 포인트에 가장 가까운 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 각도 위치 0°인 포인트로부터 순차적으로 인크리멘탈 각도 데이터 INC를 적산하여, 최종적으로 N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 INC를 적산함으로써, 제1 절대 각도 데이터에 대응하는 1회전 1주기의 절대 각도 데이터(인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs)를 산출한다.
제1 위상 보정부(105)는 위상차 취득부(103)가 취득한 위상차 Δp에 기초해서 제1 절대 각도 데이터를 보정하고, 제1 절대 각도 데이터의 위상을 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs의 위상에 일치시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 생성한다. 즉, 제1 위상 보정부(105)는, 도 6의 (c)에 도시한 바와 같이, 제1 절대 각도 데이터를 위상차 Δp분만큼 오프셋시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 생성한다. 이에 의해, 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p의 각도 위치 0°는, 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs의 각도 위치 0°와 일치한다.
보정값 취득부(106)는 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs와 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p의 차에 기초하여 보정값 Δq를 취득한다. 본 예에서는, 보정값 취득부(106)는, 도 8의 (a)에 나타내는 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs로부터 도 8의 (b)에 나타내는 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 감산해서 보정값 Δq1을 취득한다. 도 8의 (c)에 나타내는 보정값 Δq1은, 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs와 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p의 상대적인 오차 성분이다.
여기서, 보정값 취득부(106)는 보정값 Δq1로서, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 제1 보정값 Δq1을 취득한다. 그리고 보정값 취득부(106)는 각도 위치와 제1 보정값 Δq1을 관련지은 테이블의 형태로 메모리(102)에 기억 보유한다. 본 예에 있어서 보정값 Δq1을 취득하는 복수의 각도 위치는, 1회전을 제2 자석(30)의 자극쌍의 수 N으로 등간격으로 분할한 경우의 각 각도 위치이다. 또한, 보정값 Δq1을 취득하는 복수의 각도 위치는, 예를 들어 1회전을 제2 자석(30)의 자극쌍의 수의 2배의 수로 등간격으로 분할한 경우의 각 각도 위치로 할 수 있다.
상대 오차 보정부(107)는 메모리(102)를 참조하여, 인접하는 2개의 각도 위치의 각각에서 취득된 보정값 Δq1에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값 Δq2를 산출한다. 본 예에서는, 중간 각도 위치는 인접하는 2개의 각도 위치의 중앙 각도 위치이며, 보정값 취득부(106)는 중간 각도 위치에 있어서 중간 보정값 Δq2를, 인접하는 2개의 각도 위치의 보정값 Δq1을 직선 보완해서 산출한다.
또한, 상대 오차 보정부(107)는, 도 9에 도시한 바와 같이, 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를, 메모리(102)에 기록 보유된 보정값 Δq1 및 중간 보정값 Δq2로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를 생성한다. 본 예에서는, 상대 오차 보정부(107)는, 도 9의 (a)에 나타내는 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p에, 도 9의 (b)에 나타내는 보정값 Δq1 및 중간 보정값 Δq2를 가산한다. 이에 의해, 상대 오차 보정부(107)는, 도 9의 (c)에 나타내는 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를 취득한다.
여기서, 보정값 Δq1은, 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p에 대한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs(N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 INC)의 오차 성분이므로, 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 보정값 Δq1 및 중간 보정값 Δq2로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c는, 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs[도 7의 (b) 참조]와 거의 동일한 오차 성분을 구비하는 것이 된다. 바꾸어 말하면, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c는, N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 INC[도 7의 (a) 참조]와 거의 동일한 오차 성분을 구비하는 것이 된다. 따라서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c와 인크리멘탈 각도 데이터 INC 사이에서는, 상대적인 오차는 없어지거나, 또는 억제되고 있다. 따라서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c와 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 기초하여 절대 각도 위치를 취득하면, 제1 센서부(1a)와 제2 센서부(1b) 사이의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 저하를 억제할 수 있다.
또한, 보정값 취득부(106)는 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p로부터 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs를 감산해서 보정값을 취득해도 된다. 이 경우에는, 상대 오차 보정부(107)는 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p로부터 보정값을 감산해서 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를 취득한다.
(절대 각도 취득부)
이어서, 절대 각도 취득부(101)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제2 절대 각도 데이터 생성부(110), 제1 메모리(111), 제2 메모리(112), 각도 위치 결정부(113)를 구비한다. 또한, 절대 각도 취득부(101)는 위상 비교부(114) 및 제2 위상 보정부(115)를 구비한다.
제2 절대 각도 데이터 생성부(110)는, 도 10의 (a)에 도시한 바와 같이, 전처리 공정에 의해 얻어진 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를, 제2 자석(30)의 자극쌍의 수(N : 2 이상의 양의 정수)로 내삽 분할한 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 작성한다. 그리고 제2 절대 각도 데이터 생성부(110)는, 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 제1 메모리(111)에 기억 보유한다. 여기서, 제2 메모리(112)에는 인크리멘탈 각도 데이터 INC가 기억 보유된다.
각도 위치 결정부(113)는 위상차 Δp, 제1 센서부(1a)로부터 출력되는 순간 시의 제1 절대 각도 데이터인 제1 검출 결과, 제2 센서부(1b)로부터의 순간 시의 인크리멘탈 각도 데이터인 제2 검출 결과, 제1 메모리(111)에 기억된 제2 절대 각도 데이터 abs-2, 및 제2 메모리(112)에 기억된 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 기초하여, 순간 시의 회전체(2)의 절대 각도 위치를 결정한다.
보다 구체적으로는, 각도 위치 결정부(113)는 제1 센서부(1a)로부터의 제1 검출 결과(순간 시의 제1 절대 각도 데이터 abs-1)를 취득하면, 제1 검출 결과를 위상차 Δp로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과(순간 시의 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p)를 산출한다. 그리고 각도 위치 결정부(113)는, 이 위상 보정 제1 검출 결과가, 제1 메모리(111)에 기억 보유된 제2 절대 각도 데이터 abs-2 중 어떠한 주기에 있는지를 디지털 데이터의 상위 데이터로 하고, 제2 센서부(1b)로부터의 제2 검출 결과(순간 시의 인크리멘탈 각도 데이터 INC)가 제2 메모리(112)에 기억 보유된 인크리멘탈 각도 데이터 INC 중 어떠한 위치에 상당하는지를 디지털 데이터의 하위 데이터로 하여, 순간 시의 회전체(2)의 절대 각도 위치를 결정한다.
여기서, 위상 비교부(114)는 소정의 타이밍에서 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상을 비교한다. 또한, 제2 위상 보정부(115)는 위상 비교부(114)에 의해 제2 절대 각도 데이터 abs-2와 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상이 어긋나 있다고 판단되었을 때에, 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 보정해서 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상을 일치시킴과 함께, 보정한 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 제1 메모리(111)에 기억 보유(덮어쓰기)한다. 또한, 소정의 타이밍이란, 예를 들어 로터리 인코더(1)에 전원이 투입된 시점이다.
보다 상세하게는, 위상 비교부(114)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제3 절대 각도 데이터 생성부(116)와, 제1 판정부(117)와, 제2 판정부(118)와, 제3 메모리(119)를 구비한다.
제3 절대 각도 데이터 생성부(116)는, 도 11의 (b) 및 도 12의 (b)에 도시한 바와 같이, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c가 (2×N)개로 내삽 분할된 데이터에 상당하는 제3 절대 각도 데이터 abs-3을 생성하여, 제3 메모리(119)에 기억 보유한다.
제1 판정부(117)는 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 기초하여 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 대한 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상 진행의 유무를 판정한다. 구체적으로는, 도 11의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 제1 판정부(117)는 위상 보정 제1 검출 결과가 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 있어서 홀수 번째(예를 들어, i번째)의 주기이며, 제2 센서부(1b)에 의한 제2 검출 결과가 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 있어서 제1 임계치 TH1 이상인 경우, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상이 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상보다 진행되고 있다고 판정한다. 즉, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상이 일치하고 있는 경우에는, 위상 보정 제1 검출 결과가 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 있어서 홀수 번째의 주기일 때에는, 제2 센서부(1b)에 의한 제2 검출 결과는, 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 있어서 제1 임계치 TH1 미만이므로, 상기 처리에 의하면, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상이 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상보다 진행되고 있는 것을 검출할 수 있다. 본 형태에 있어서, 제1 임계치 TH1은, 전기각으로 270deg이다.
제2 판정부(118)는 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 기초하여 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 대한 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상 지연의 유무를 판정한다. 구체적으로는, 도 12의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 제2 판정부(118)는 제1 센서부(1a)에 의한 제1 검출 결과를 위상차 Δp로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과(순간 시의 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p)가 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 있어서 짝수 번째[예를 들어, (i+1)번째]의 주기이며, 제2 센서부(1b)에 의한 제2 검출 결과가 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 있어서 제2 임계치 TH2 이하인 경우, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상이 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상보다 지연되고 있다고 판정한다. 즉, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상이 일치하고 있는 경우, 위상 보정 제1 검출 결과가 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 있어서 짝수 번째의 주기일 때에는, 제2 센서부(1b)에 의한 제2 검출 결과는, 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 있어서 제2 임계치 TH2를 초과하므로, 상기 처리에 의하면, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상이 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상보다 지연되고 있는 것을 검출할 수 있다. 본 형태에 있어서, 제2 임계치 TH2는 전기각으로 90deg이다.
제2 위상 보정부(115)는, 위상 보정 제1 검출 결과가 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 있어서 i번째(홀수 번째)의 주기이며, 제2 센서부(1b)에 의한 제2 검출 결과가 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 있어서 제1 임계치 TH1 이상인 기간에 대해서는, 도 11의 (c)에 도시한 바와 같이, 제2 절대 각도 데이터 abs-2에 있어서 (((i+1)/2)-1)번째의 주기(n-1번째의 주기)가 되도록, 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 보정한다. 따라서, 인크리멘탈 각도 데이터 INC와, 보정 후의 제2 절대 각도 데이터 abs-2에서는 위상이 일치한다. 그리고 제2 위상 보정부(115)는 이러한 보정 후의 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 제1 메모리(111)에 기억 보유(덮어쓰기)한다.
또한, 제2 위상 보정부(115)는 위상 보정 제1 검출 결과가 제3 절대 각도 데이터 abs-3에 있어서 (i+1)번째(짝수 번째)의 주기이며, 제2 센서부(1b)에 의한 제2 검출 결과가 인크리멘탈 각도 데이터 INC에 있어서 제2 임계치 TH2 이하인 기간에 대해서는, 도 12의 (c)에 도시한 바와 같이, 제2 절대 각도 데이터 abs-2에 있어서 (((i+1)/2)+1)번째의 주기(n+1번째의 주기)가 되도록, 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 보정한다. 따라서, 인크리멘탈 각도 데이터 INC와, 보정 후의 제2 절대 각도 데이터 abs-2에서는 위상이 일치한다. 그리고 제2 위상 보정부(115)는 이러한 보정 후의 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 제1 메모리(111)에 기억 보유(덮어쓰기)한다.
또한, 각도 위치 결정부(113)는 절대 각도 위치를 결정할 때에, 제1 메모리(111)에 기억 보유된 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 참조한다. 따라서, 제2 위상 보정부(115)에 의해 제2 절대 각도 데이터 abs-2가 보정되고, 보정 후의 제2 절대 각도 데이터 abs-2가 제1 메모리(111)에 기억 보유되면, 그 이후, 각도 위치 결정부(113)는 보정된 제2 절대 각도 데이터 abs-2에 기초해서 절대 각도 위치를 결정한다.
(절대 각도 위치 취득 동작)
이어서, 도 13을 참조하여, 절대 각도 위치 취득 동작을 설명한다. 절대 각도 위치 취득 동작은 전보정 공정(스텝 ST1)과, 절대 각도 위치 취득 공정(스텝 ST2)을 구비한다.
전보정 공정(스텝 ST1)에서는, 회전체(2)를 회전시켜서, 제1 센서부(1a)로부터의 출력에 기초하여 1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터 abs-1을 취득함과 함께, 제2 센서부(1b)로부터의 출력에 기초하여, 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터 INC를 취득한다(스텝 ST11).
이어서, 위상차 취득부(103)가 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상차 Δp를 취득한다(스텝 ST12 : 위상차 취득 공정). 위상차 Δp가 취득되면, 변환 절대 각도 데이터 산출부(104)가 N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 INC를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs를 산출함과 함께, 제1 위상 보정부(105)가 위상차 Δp에 기초해서 제1 절대 각도 데이터 abs-1을 보정해서 제1 절대 각도 데이터 abs-1과 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs의 위상을 맞춘 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 생성한다(스텝 ST13 : 변환 절대 각도 데이터 산출 공정, 제1 위상 보정 공정).
그 후, 보정값 취득부(106)가 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs와 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p의 차에 기초하여 보정값 Δq1을 취득한다. 또한, 보정값 취득부(106)는, 이러한 보정값 Δq1을 각도 위치와 대응시킨 테이블의 형태로 메모리(102)에 기억 보유한다(스텝 ST14 : 보정값 취득 공정).
보정값 Δq1이 취득되면, 상대 오차 보정부(107)가 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 보정값 Δq1 및 중간 보정값 Δq2로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를 생성한다(스텝 ST15 : 상대 오차 보정 공정).
여기서, 보정값 Δq1은, 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p에 대한 N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 오차 성분이므로, 위상 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1p를 보정값 Δq1 및 중간 보정값 Δq2로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c는, 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터 INC-abs(N주기만큼의 인크리멘탈 각도 데이터 INC)와 거의 동일한 오차 성분을 구비하는 것이 된다. 이에 의해, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c와 인크리멘탈 각도 데이터 INC 사이의 상대적인 오차는 없어지거나, 또는 억제된다. 따라서, 다음의 절대 각도 취득 공정에 있어서, 오차 보정 제1 절대 각도 데이터와 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도 위치를 결정하면, 제1 센서부와 제2 센서부의 상대적인 위치 어긋남 등에 기인하는 검출 저하를 억제할 수 있다. 또한, 전보정 공정은, 참인 절대 각도에 대하여 2개의 센서부(1a, 1b)로부터의 출력을 보정하는 것은 아니며, 2개의 센서부(1a, 1b)로부터의 출력을 일치시키기 위한 보정이라고 할 수 있다.
(절대 각도 취득 공정)
절대 각도 취득 공정(스텝 ST2)에서는, 제2 절대 각도 데이터 생성부(110)가 오차 보정 제1 절대 각도 데이터 abs-1c를, 제2 자석(30)의 자극쌍의 수(N : 2 이상의 양의 정수)로 내삽 분할한 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 작성하고,이 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 제1 메모리(111)에 기억 보유한다(스텝 ST21 : 제2 절대 각도 데이터 생성 공정). 그 후, 회전체(2)를 회전시켜서, 제1 센서부(1a)로부터의 제1 검출 결과[제1 센서부(1a)로부터 출력되는 순간 시의 제1 절대 각도 데이터] 및 제2 센서부(1b)로부터의 제2 검출 결과[제2 센서부(1b)로부터 출력되는 순간 시의 인크리멘탈 각도 데이터]를 얻는다. 또한, 각도 위치 결정부(113)는 제1 검출 결과[제1 센서부(1a)로부터 출력되는 순간 시의 제1 절대 각도 데이터]를 위상차 Δp로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과(순간 시의 위상 보정 제1 절대 각도 데이터)를 산출한다.
여기서, 제1 판정부(117) 및 제2 판정부(118)에 의해, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상이 어긋나 있다고 판정되어 있지 않은 경우(제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상과 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상이 일치하고 있는 경우)에는 (스텝 22 : 위상 비교 공정, "예"), 각도 위치 결정부(113)는 위상 보정 제1 검출 결과가, 제1 메모리(111)에 기억 보유된 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 어떠한 주기에 있는지를 디지털 데이터의 상위 데이터로 하고, 제2 검출 결과가 제1 메모리(111)에 기억 보유된 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 어떠한 위치에 상당하는지를 디지털 데이터의 하위 데이터로 하여, 순간 시의 회전체(2)의 절대 각도 위치를 결정한다(스텝 ST23 : 각도 위치 결정 공정).
한편, 제1 판정부(117)가 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상이 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상보다 진행되고 있다고 판정한 경우, 또는 제2 판정부(118)가 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상이 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상보다 지연되고 있다고 판정한 경우에는(스텝 22 : 위상 비교 공정, "아니오"), 제2 위상 보정부(115)가 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 보정하여, 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 위상을 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 위상에 일치시킨다. 그리고 보정 후의 제2 절대 각도 데이터 abs-2를 새로운 제2 절대 각도 데이터 abs-2로서, 제1 메모리(111)에 기억 보유한다(스텝 ST24 : 제2 위상 보정 공정).
그 후, 각도 위치 결정부(113)는 위상 보정 제1 검출 결과가, 제1 메모리(111)에 기억 보유된 제2 절대 각도 데이터 abs-2의 어떠한 주기에 있는지를 디지털 데이터의 상위 데이터로 하고, 제2 검출 결과가 제1 메모리(111)에 기억 보유된 인크리멘탈 각도 데이터 INC의 어떠한 위치에 상당하는지를 디지털 데이터의 하위 데이터로 하여, 순간 시의 회전체(2)의 절대 각도 위치를 결정한다(스텝 ST23 : 각도 위치 결정 공정).
(변형예)
또한, 절대 각도 취득 공정 후에, 절대 각도 취득 공정을 거쳐서 검출된 절대 각도 위치를 또한 보정하는 후보정 공정을 구비할 수도 있다. 이 경우에는, 미리 절대 각도 취득 공정을 거쳐서 검출된 절대 각도 위치와, 기준 인코더에 의해 취득한 기준 절대 각도 위치의 오차를 취득해서 위치 오차 데이터로서 메모리에 기억 보유해 두고, 절대 각도 취득 공정을 거쳐 검출된 절대 각도 위치를, 위치 오차 데이터를 사용해서 보정하고, 기준 인코더에 의해 취득한 기준 절대 각도 위치에 일치시킨다. 이러한 후보정 공정을 행하는 후보정부는, 메모리(기억부)와, 절대 각도 취득 공정을 거쳐 검출된 절대 각도 위치와 기준 인코더에 의해 취득한 기준 절대 각도 위치의 오차를 취득해서 위치 오차 데이터로서 메모리(기억부)에 기억 보유하는 위치 오차 데이터 기억부와, 절대 각도 취득 공정을 거쳐 검출된 절대 각도 위치를, 위치 오차 데이터를 사용해서 보정하여, 기준 인코더에 의해 취득한 기준 절대 각도 위치에 일치시키는 절대 각도 위치 보정부를 구비하는 것으로 할 수 있다.
(그 밖의 실시 형태)
상기 실시 형태의 자기식 로터리 인코더에서는, 제1 센서부(1a) 및 제2 센서부(1b)의 제2 검출 결과에 자석과 자기 저항 소자를 사용했지만, 제1 센서부(1a) 및 제2 센서부(1b)의 제2 검출 결과 중 한쪽 또는 양쪽을 리졸버에 의해 구성한 경우에 본 발명을 적용해도 된다.
상기 실시 형태의 로터리 인코더는, 자기식이었지만, 광학식 로터리 인코더에 본 발명을 적용해도 된다.
1 : 로터리 인코더
1a : 제1 센서부
1b : 제2 센서부
20 : 제1 자석
30 : 제2 자석
40 : 제1 자기 저항 소자
51 : 제1 홀 소자
52 : 제2 홀 소자
60 : 제2 자기 저항 소자
101 : 절대 각도 취득부
102 : 메모리(기억부)
103 : 위상차 취득부
104 : 변환 절대 각도 데이터 산출부
105 : 제1 위상 보정부
106 : 보정값 취득부
107 : 상대 오차 보정부
110 : 제2 절대 각도 데이터 생성부
113 : 각도 위치 결정부
114 : 위상 비교부
115 : 위상 보정부
abs-1 : 제1 절대 각도 데이터
INC : 인크리멘탈 각도 데이터
INC-abs : 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터
L : 회전 중심축 방향
Δp : 위상차
Δq1 : 보정값
Δq2 : 중간 보정값

Claims (22)

  1. 제1 센서부와, 제2 센서부를 구비하고, 상기 제1 센서부에 있어서 1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터를 취득함과 함께, 상기 제2 센서부에 있어서, N을 2 이상의 양의 정수로 했을 때에 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터를 취득하고, 상기 제1 센서부에서의 제1 검출 결과 및 상기 제2 센서부에서의 제2 검출 결과에 기초하여 절대 각도 위치를 검출하는 로터리 인코더에 있어서,
    상기 제1 절대 각도 데이터와 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상차를 취득하는 위상차 취득부와,
    N주기만큼의 상기 인크리멘탈 각도 데이터를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 산출하는 변환 절대 각도 데이터 산출부와,
    상기 위상차에 기초하여 상기 제1 절대 각도 데이터를 보정해서 상기 제1 절대 각도 데이터의 위상을 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터의 위상에 일치시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 제1 위상 보정부와,
    상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터와 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터의 차에 기초하여 보정값을 취득하는 보정값 취득부와,
    상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 상기 보정값으로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 상대 오차 보정부와,
    상기 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 위상차, 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도를 취득하는 절대 각도 취득부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보정값 취득부는, 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터로부터 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고,
    상기 상대 오차 보정부는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터에 상기 보정값을 가산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보정값 취득부는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고,
    상기 상대 오차 보정부는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 보정값을 감산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  4. 제2항에 있어서, 기억부를 더 구비하고,
    상기 보정값 취득부는, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 상기 기억부에 기억 보유하고,
    상기 상대 오차 보정부는, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  5. 제4항에 있어서, 상기 절대 각도 취득부는,
    상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성부와,
    상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교부와,
    상기 위상 비교부에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 위상 보정부와,
    상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  6. 제1항에 있어서, 기억부를 더 구비하고,
    상기 보정값 취득부는, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 상기 기억부에 기억 보유하고,
    상기 상대 오차 보정부는, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  7. 제1항에 있어서, 상기 절대 각도 취득부는,
    상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성부와,
    상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교부와,
    상기 위상 비교부에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 위상 보정부와,
    상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 센서부는, 회전 중심축 둘레에 N극과 S극이 하나씩 배치된 제1 자석과, 상기 제1 자석의 회전 중심 축선 방향에서 대향하는 제1 자기 저항 소자와, 상기 제1 자석에 대향하는 제1 홀 소자와, 상기 제1 자석에 대향함과 함께 상기 제1 홀 소자에 대하여 상기 회전 중심 축선 둘레로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자를 구비하고,
    상기 제2 센서부는, 상기 회전 중심축 둘레에 복수 극쌍이 배치된 제2 자석과, 상기 제2 자석에 대향하는 제2 자기 저항 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  9. 제3항에 있어서, 기억부를 더 구비하고,
    상기 보정값 취득부는, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 상기 기억부에 기억 보유하고,
    상기 상대 오차 보정부는, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  10. 제9항에 있어서, 상기 절대 각도 취득부는,
    상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성부와,
    상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교부와,
    상기 위상 비교부에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 위상 보정부와,
    상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 제1 센서부는, 회전 중심축 둘레에 N극과 S극이 하나씩 배치된 제1 자석과, 상기 제1 자석의 회전 중심 축선 방향에서 대향하는 제1 자기 저항 소자와, 상기 제1 자석에 대향하는 제1 홀 소자와, 상기 제1 자석에 대향함과 함께 상기 제1 홀 소자에 대하여 상기 회전 중심 축선 둘레로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자를 구비하고,
    상기 제2 센서부는, 상기 회전 중심축 둘레에 복수 극쌍이 배치된 제2 자석과, 상기 제2 자석에 대향하는 제2 자기 저항 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더.
  12. 제1 센서부와, 제2 센서부를 구비하고, 상기 제1 센서부에 있어서 1회전 1주기의 제1 절대 각도 데이터를 취득함과 함께, 상기 제2 센서부에 있어서, N을 2 이상의 양의 정수로 했을 때에 1회전 N주기의 인크리멘탈 각도 데이터를 취득해 두고, 상기 제1 센서부에서의 제1 검출 결과 및 상기 제2 센서부에서의 제2 검출 결과에 기초하여 절대 각도 위치를 검출하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법에 있어서,
    상기 제1 절대 각도 데이터와 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상차를 취득하는 위상차 취득 공정과,
    N주기만큼의 상기 인크리멘탈 각도 데이터를 1회전의 절대 각도 데이터로 변환한 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 산출하는 변환 절대 각도 데이터 산출 공정과,
    상기 위상차에 기초하여 상기 제1 절대 각도 데이터를 보정해서 상기 제1 절대 각도 데이터의 위상을 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터의 위상에 일치시킨 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 제1 위상 보정 공정과,
    상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터와 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터의 차에 기초하여 보정값을 취득하는 보정값 취득 공정과,
    상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 상기 보정값으로 보정한 오차 보정 제1 절대 각도 데이터를 생성하는 상대 오차 보정 공정과,
    상기 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 위상차, 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여 절대 각도를 취득하는 절대 각도 취득 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 보정값 취득 공정에서는, 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터로부터 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고,
    상기 상대 오차 보정 공정에서는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터에 상기 보정값을 가산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 보정값 취득 공정에서는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 인크리멘탈 신호 변환 절대 각도 데이터를 감산해서 상기 보정값을 취득하고,
    상기 상대 오차 보정 공정에서는, 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터로부터 상기 보정값을 감산해서 상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터로 하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 보정값 취득 공정은, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 기억부에 기억 보유하고,
    상기 상대 오차 보정 공정은, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 절대 각도 취득 공정은,
    상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성 공정과,
    상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교 공정과,
    상기 위상 비교 공정에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 제2 위상 보정 공정과,
    상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  17. 제12항에 있어서, 상기 보정값 취득 공정은, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 기억부에 기억 보유하고,
    상기 상대 오차 보정 공정은, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  18. 제12항에 있어서, 상기 절대 각도 취득 공정은,
    상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성 공정과,
    상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교 공정과,
    상기 위상 비교 공정에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 제2 위상 보정 공정과,
    상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  19. 제12항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 센서부는, 회전 중심축 둘레에 N극과 S극이 하나씩 배치된 제1 자석과, 상기 제1 자석의 회전 중심 축선 방향에서 대향하는 제1 자기 저항 소자와, 상기 제1 자석에 대향하는 제1 홀 소자와, 상기 제1 자석에 대향함과 함께 상기 제1 홀 소자에 대하여 상기 회전 중심 축선 둘레로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자를 구비하고,
    상기 제2 센서부는, 상기 회전 중심축 둘레에 복수 극쌍이 배치된 제2 자석과, 상기 제2 자석에 대향하는 제2 자기 저항 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  20. 제14항에 있어서, 상기 보정값 취득 공정은, 1회전 1주기 중의 복수의 각도 위치에 있어서 상기 보정값을 취득하고, 각 각도 위치와 당해 각도 위치에 있어서 취득한 보정값을 관련지어서 기억부에 기억 보유하고,
    상기 상대 오차 보정 공정은, 인접하는 2개의 상기 각도 위치의 각각에서 취득되고 있는 상기 보정값에 기초하여 당해 2개의 각도 위치 사이의 중간 각도 위치의 중간 보정값을 산출함과 함께, 상기 보정값으로서 상기 기억부에 기억 보유되고 있는 상기 보정값과 상기 중간 보정값을 사용해서 상기 위상 보정 제1 절대 각도 데이터를 보정하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 절대 각도 취득 공정은,
    상기 오차 보정 제1 절대 각도 데이터가 N개로 내삽 분할된 제2 절대 각도 데이터를 생성하는 제2 절대 각도 데이터 생성 공정과,
    상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상을 비교하는 위상 비교 공정과,
    상기 위상 비교 공정에서의 비교 결과에 있어서 상기 제2 절대 각도 데이터의 위상과 상기 인크리멘탈 각도 데이터의 위상이 어긋나 있을 때에 상기 제2 절대 각도 데이터를 보정하는 제2 위상 보정 공정과,
    상기 제1 검출 결과를 상기 위상차로 보정한 위상 보정 제1 검출 결과, 상기 제2 검출 결과, 상기 제2 절대 각도 데이터, 및 상기 인크리멘탈 각도 데이터에 기초하여, 회전체의 절대 각도 위치를 결정하는 각도 위치 결정 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 로터리 인코더의 절대 각도 위치 검출 방법.
  22. 제20항 또는 제21항에 있어서, 상기 제1 센서부는, 회전 중심축 둘레에 N극과 S극이 하나씩 배치된 제1 자석과, 상기 제1 자석의 회전 중심 축선 방향에서 대향하는 제1 자기 저항 소자와, 상기 제1 자석에 대향하는 제1 홀 소자와, 상기 제1 자석에 대향함과 함께 상기 제1 홀 소자에 대하여 상기 회전 중심 축선 둘레로 기계각으로 90° 어긋난 위치에 배치된 제2 홀 소자를 구비하고,
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