JPS6157809A - 磁束応答形マルチギヤップヘッド - Google Patents
磁束応答形マルチギヤップヘッドInfo
- Publication number
- JPS6157809A JPS6157809A JP59181036A JP18103684A JPS6157809A JP S6157809 A JPS6157809 A JP S6157809A JP 59181036 A JP59181036 A JP 59181036A JP 18103684 A JP18103684 A JP 18103684A JP S6157809 A JPS6157809 A JP S6157809A
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- JP
- Japan
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- head
- error
- plate
- becu
- magnetic
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術的範囲）
この発明は磁気スケールの磁化パターンを検出して電気
信号に変換するための磁束応答形マルチギャップヘッド
に関する。
信号に変換するための磁束応答形マルチギャップヘッド
に関する。
（発明の技術的背景）
磁気スケール上の磁化パターンを検出して長さや角度を
電気的に読みとるに際し、高精度、高分解能、安定高出
力を得るため、実用化されている磁束応答形マルチギャ
ップヘッドは磁気スケール目盛ピッチ（λ）に対応して
高透磁率材料（・母−マロイ等）の薄板をコアとし、非
磁性材料（ベリリウム銅等）の薄板をセパレータとし高
透磁率材料の薄板が一定のギャップを持つように交互に
複数枚を重ね合せ１つのコアを形成し、このように形成
したコアＡ部、Ｂ部それぞれを両者の間に補正板を入れ
Ａ部とＢ部の間■ 隔を７λになるよう調整して一体化したものである。
電気的に読みとるに際し、高精度、高分解能、安定高出
力を得るため、実用化されている磁束応答形マルチギャ
ップヘッドは磁気スケール目盛ピッチ（λ）に対応して
高透磁率材料（・母−マロイ等）の薄板をコアとし、非
磁性材料（ベリリウム銅等）の薄板をセパレータとし高
透磁率材料の薄板が一定のギャップを持つように交互に
複数枚を重ね合せ１つのコアを形成し、このように形成
したコアＡ部、Ｂ部それぞれを両者の間に補正板を入れ
Ａ部とＢ部の間■ 隔を７λになるよう調整して一体化したものである。
このような磁束応答形マルチギャップヘッドにおいて、
薄板の重ね合せによるギャップの間隔は微小であシ、こ
のギャップ間隔の変動は磁束応答形マルチギャップヘッ
ドの固有波長に大きな影善を及ばずことになるので、従
来は積層する高透磁率材料（・クーマロイ）と非磁性材
料（ベリリウム銅）の金属板の厚みを一定の範囲内に規
定して、ギャップ間隔を保持するようにしている。例え
ば、ギャップ間隔を１００μｍにする場合には、高透磁
率材料（・や−マロイ）の薄板コアおよび非磁性材（ぺ
ＩＪ ＩＪウム銅）の薄板セパレータの板厚は、５０μ
ｍに正確に規定しなければ上記のギャップ間隔を保持で
きないので、磁束応答形マルチギャップヘッドの製造に
は積層材料の板厚の管理はもとよシ、その積層にも細心
の注意を必要とする々ど手数を要するものとされていた
。そして高透磁率材料（ｚ′１′−マロイ）ならびに非
磁性材料（ベリリウム銅）の板厚を規制する圧延精度は
、５０μｍ±５μｍで、高精度のものでも５０μｍ±２
μｍであるから、これらの高透磁率材料（パーマロイ）
と非磁性材料（ベリリウム銅）を積層すると圧延精度子
５μｍのものでもｎ枚重ね合せれば±５ｎμｍの誤ご
差が生じることになる。
薄板の重ね合せによるギャップの間隔は微小であシ、こ
のギャップ間隔の変動は磁束応答形マルチギャップヘッ
ドの固有波長に大きな影善を及ばずことになるので、従
来は積層する高透磁率材料（・クーマロイ）と非磁性材
料（ベリリウム銅）の金属板の厚みを一定の範囲内に規
定して、ギャップ間隔を保持するようにしている。例え
ば、ギャップ間隔を１００μｍにする場合には、高透磁
率材料（・や−マロイ）の薄板コアおよび非磁性材（ぺ
ＩＪ ＩＪウム銅）の薄板セパレータの板厚は、５０μ
ｍに正確に規定しなければ上記のギャップ間隔を保持で
きないので、磁束応答形マルチギャップヘッドの製造に
は積層材料の板厚の管理はもとよシ、その積層にも細心
の注意を必要とする々ど手数を要するものとされていた
。そして高透磁率材料（ｚ′１′−マロイ）ならびに非
磁性材料（ベリリウム銅）の板厚を規制する圧延精度は
、５０μｍ±５μｍで、高精度のものでも５０μｍ±２
μｍであるから、これらの高透磁率材料（パーマロイ）
と非磁性材料（ベリリウム銅）を積層すると圧延精度子
５μｍのものでもｎ枚重ね合せれば±５ｎμｍの誤ご
差が生じることになる。
（発明の目的）
この発明は、上記の実情にもとづいてなされたもので、
その目的とするところは、高透磁率材料（・ぐ−マロイ
）ならびに非磁性材料（ベリリウム銅）の板材の重ね合
せ誤差を少くし精度の高い磁束応答形マルチギャップヘ
ッドを提供することにある。
その目的とするところは、高透磁率材料（・ぐ−マロイ
）ならびに非磁性材料（ベリリウム銅）の板材の重ね合
せ誤差を少くし精度の高い磁束応答形マルチギャップヘ
ッドを提供することにある。
（発明の概要）
この発明は高透磁率材料であるパーマロイ圧延板ならび
に非磁性材料であるぺＩＪ ＩＪウム銅正圧延板一定位
置でしかも一定巾以内からヘッドを構成する板材を選択
数シ出すことによシ、この板材の重ね合せによる誤差を
少くするとともに板材間に補正板を挿入することによっ
て、重ね合せ誤差を補正するものである。
に非磁性材料であるぺＩＪ ＩＪウム銅正圧延板一定位
置でしかも一定巾以内からヘッドを構成する板材を選択
数シ出すことによシ、この板材の重ね合せによる誤差を
少くするとともに板材間に補正板を挿入することによっ
て、重ね合せ誤差を補正するものである。
（発明の実施例）
川下、図面を参照してこの発明の実施例にもとづいて説
明する。説明の都合上、高透磁率材料（パーマロイ）を
ＰＣ１非磁性材料（ベリリウム銅）をＢｅＣｕとする。
明する。説明の都合上、高透磁率材料（パーマロイ）を
ＰＣ１非磁性材料（ベリリウム銅）をＢｅＣｕとする。
ＰＣ，ＢｅＣｕの圧延材料は一枚のロール圧延材料の中
でも中心と端部では２・〜３μｍの差があるが、中心部
の一定位置で１０ｍｍ巾以内であれば１μｍ以内の板厚
精度に入っていることが判明した。
でも中心と端部では２・〜３μｍの差があるが、中心部
の一定位置で１０ｍｍ巾以内であれば１μｍ以内の板厚
精度に入っていることが判明した。
そこで、この発明は第１図に示すように任意の長さ妥（
ロール圧延されたＰＣおよびＢｅＣｕの圧延材料１を磁
束応答形マルチギャップヘッドを形成するに必要なｎ枚
重ね合せ、Ａ１ ＋Ａ２＋Ｂ、、Ｂ、を中心よシ一定位
置の近傍付近のものを４個を取シ出し、第２図に示すよ
うに合せ１体としてヘッド２とすると、ＰＣおよびＢｅ
Ｃｕのそれぞれの板厚寸法の差は１μｍ以内にするとと
が可能であるが、それでも圧延誤差を皆無とすることが
できないので上記のようにＰＣならびにＢｅＣｕの板厚
を５０μｍと規定した場合圧延誤差５０μｍ±Δｔは除
くことはできないことになる。
ロール圧延されたＰＣおよびＢｅＣｕの圧延材料１を磁
束応答形マルチギャップヘッドを形成するに必要なｎ枚
重ね合せ、Ａ１ ＋Ａ２＋Ｂ、、Ｂ、を中心よシ一定位
置の近傍付近のものを４個を取シ出し、第２図に示すよ
うに合せ１体としてヘッド２とすると、ＰＣおよびＢｅ
Ｃｕのそれぞれの板厚寸法の差は１μｍ以内にするとと
が可能であるが、それでも圧延誤差を皆無とすることが
できないので上記のようにＰＣならびにＢｅＣｕの板厚
を５０μｍと規定した場合圧延誤差５０μｍ±Δｔは除
くことはできないことになる。
ここで、説明を簡単にするため、Ｐ Ｃ、ＢｅＣｕ。
Ｐ Ｃ、ＢｅＣｕの４枚１組の圧延誤差による重ね合せ
誤差をΔλとして、第３図に示すように正弦！・ ４枚１組をｎ個組み合せたそれぞれ１組の出力゛Ｐは次
の式で表わされる。
誤差をΔλとして、第３図に示すように正弦！・ ４枚１組をｎ個組み合せたそれぞれ１組の出力゛Ｐは次
の式で表わされる。
Ｐ＝ＫｓＩｎ（θ＋Δλ）＋ＫｓＪｎ（θ・２Δλ）・
” ＫｓＩｎ （θ’ｎΔλ）１９１９．．１式％式％ Δλ−ＰＣ、Ｂｅａｕ、 ＰＣ、ＢｅＣｕ４枚１組の重
ね合せエラー θ・・・ヒＸ λ この１式を分解すると Ｐ＝ｌｓｌｎθ鍋Δλ＋ｃｏｓ２Δλ＋・・・・・・邸
ｎΔλ）＋可θ （ｓｉｎΔλ十癲２Δ λ＋・・・・
・・５ＩｎｎΔλ））となシ、必要な出力は画θの項で
あシ、弼θの項は誤差の原因となる。そこでこの発明は
ＡおよびＢ部をＡ１・Ａ２．Ｂ、・Ｂ２としその間にｎ
λ−Δλ（ｎ＋１）の補正板を挿入することとした。
” ＫｓＩｎ （θ’ｎΔλ）１９１９．．１式％式％ Δλ−ＰＣ、Ｂｅａｕ、 ＰＣ、ＢｅＣｕ４枚１組の重
ね合せエラー θ・・・ヒＸ λ この１式を分解すると Ｐ＝ｌｓｌｎθ鍋Δλ＋ｃｏｓ２Δλ＋・・・・・・邸
ｎΔλ）＋可θ （ｓｉｎΔλ十癲２Δ λ＋・・・・
・・５ＩｎｎΔλ））となシ、必要な出力は画θの項で
あシ、弼θの項は誤差の原因となる。そこでこの発明は
ＡおよびＢ部をＡ１・Ａ２．Ｂ、・Ｂ２としその間にｎ
λ−Δλ（ｎ＋１）の補正板を挿入することとした。
これによると各１組の出力Ｐは
Ｐ＝に７（θ＋Δλ）＋Ｋｓｌｎ（θ＋２Δλ）・曲・
＋Ｋｉｎ（θ＋ｎ／２・Δλ）＋Ｋｓｌｎ（θ−ｎ／２
・Δλ）−−＝ ＋ Ｋ ｓｉｎ （θ−２Δλ）＋Ｋ
ｓ石（θ−Δλ）６一 ＝Ｋ （地θ（羞Δλｉ２Δλ＋・・・・・従（ｎ／２
・Δλ）十房（−ｎ々・Δλ）＋・・・・・面（−２Δ
λ）子房（−Δλ） ）＋ｗＪ （ｓｉｎΔλ出而２Δ
λ面・・・・・倫（ｎ／２・Δλ）＋ｓ＋ｎ （ｎ／２
・Δλ）＋・・・・・価（−２Δλ）１１石（−Δλ）
）１ となシ、邸θの項はゼロと力るすなわち誤差は補正され
ることになる。
＋Ｋｉｎ（θ＋ｎ／２・Δλ）＋Ｋｓｌｎ（θ−ｎ／２
・Δλ）−−＝ ＋ Ｋ ｓｉｎ （θ−２Δλ）＋Ｋ
ｓ石（θ−Δλ）６一 ＝Ｋ （地θ（羞Δλｉ２Δλ＋・・・・・従（ｎ／２
・Δλ）十房（−ｎ々・Δλ）＋・・・・・面（−２Δ
λ）子房（−Δλ） ）＋ｗＪ （ｓｉｎΔλ出而２Δ
λ面・・・・・倫（ｎ／２・Δλ）＋ｓ＋ｎ （ｎ／２
・Δλ）＋・・・・・価（−２Δλ）１１石（−Δλ）
）１ となシ、邸θの項はゼロと力るすなわち誤差は補正され
ることになる。
（発明の効果）
以上説明したようにこの発明はＡＩ １ 人２ Ｔ ”
１ ＋３２間にｎλ−Δλ（ｎ＋１）の補正板を挿入す
ることによシ、磁束応答形マルチギャップヘッドにおけ
る全体の出力Ｐが小さくなるが正弦波の出力を正確に得
ることができ、重ね合せによって生ずる誤差をなくすこ
とができると云う優れた効果がある。そして第２図のＣ
で示したＡ部とＢ−Δλ１の補正板をＡ１ ！１！ ＋
”１ ＋８１間に挿入することで重ね合せによる誤差と
ともに一挙に解決することができる。
１ ＋３２間にｎλ−Δλ（ｎ＋１）の補正板を挿入す
ることによシ、磁束応答形マルチギャップヘッドにおけ
る全体の出力Ｐが小さくなるが正弦波の出力を正確に得
ることができ、重ね合せによって生ずる誤差をなくすこ
とができると云う優れた効果がある。そして第２図のＣ
で示したＡ部とＢ−Δλ１の補正板をＡ１ ！１！ ＋
”１ ＋８１間に挿入することで重ね合せによる誤差と
ともに一挙に解決することができる。
第１図はこの発明によってヘッドを構成する板材をロー
ル圧延材料よシ選択取り出す際の位置を示す概念図、第
２図はヘッド構成板材を合せて一体とした概念図、第３
図は正弦波記録された磁気スケール上にヘッド部を移動
させる時の対応を示す概念図である。 ｌ・・・ロール圧延材料、２・・・ヘッド、３・・・磁
気スケール。
ル圧延材料よシ選択取り出す際の位置を示す概念図、第
２図はヘッド構成板材を合せて一体とした概念図、第３
図は正弦波記録された磁気スケール上にヘッド部を移動
させる時の対応を示す概念図である。 ｌ・・・ロール圧延材料、２・・・ヘッド、３・・・磁
気スケール。
Claims (1)
- 磁気スケール目盛ピッチに対応して、高透磁率材料薄板
と非磁性材料の薄板とを高透磁率材料薄板が一定の間隔
を持つように交互に複数枚重ね合わせて１つのコアを形
成し、補正板を挟んで同様に形成したコアと組合せた磁
束応答形マルチギャップヘッドにおいてその一組のコア
の間にｎλ−Δλ（ｎ＋１）の補正板を設けて、高透磁
率材料薄板と非磁性材料薄板の板厚誤差によるヘッドの
出力ひずみをなくしたことを特徴とした磁束応答形マル
チギャップヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181036A JPS6157809A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 磁束応答形マルチギヤップヘッド |
| US06/761,604 US4672317A (en) | 1984-08-30 | 1985-08-01 | Multi-gap head apparatus for use with a magnetic scale |
| GB08519653A GB2163853B (en) | 1984-08-30 | 1985-08-05 | Multi-gap reading head for use with a magnetic scale |
| DE19853528552 DE3528552A1 (de) | 1984-08-30 | 1985-08-08 | Vielspaltmagnetkopf fuer eine magnetskala |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181036A JPS6157809A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 磁束応答形マルチギヤップヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6157809A true JPS6157809A (ja) | 1986-03-24 |
| JPH042884B2 JPH042884B2 (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=16093640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59181036A Granted JPS6157809A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 磁束応答形マルチギヤップヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4672317A (ja) |
| JP (1) | JPS6157809A (ja) |
| DE (1) | DE3528552A1 (ja) |
| GB (1) | GB2163853B (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0242492B1 (en) * | 1985-12-28 | 1992-08-05 | Yamaha Corporation | An improved non-contact type pattern sensor |
| DE3720524A1 (de) * | 1987-06-20 | 1988-12-29 | Pav Praezisions Apparatebau Ag | Messkluppe |
| JPS6474411A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Yamaha Corp | Position detector |
| JP3029657B2 (ja) * | 1990-09-28 | 2000-04-04 | カヤバ工業株式会社 | 位置検出装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2807676A (en) * | 1954-07-16 | 1957-09-24 | Rca Corp | Magnetic head assemblies |
| JPS54118259A (en) * | 1978-03-06 | 1979-09-13 | Nec Corp | Angle detector |
| DE2912309A1 (de) * | 1978-03-28 | 1979-10-11 | Olympus Optical Co | Verfahren zum herstellen eines mehrfach-magnetkopfes |
| JPS58154615A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-14 | Copal Co Ltd | 磁気検出装置 |
| US4616281A (en) * | 1982-03-10 | 1986-10-07 | Copal Company Limited | Displacement detecting apparatus comprising magnetoresistive elements |
| DE3325353A1 (de) * | 1983-07-14 | 1985-01-24 | Honeywell Gmbh | Positionssensor |
-
1984
- 1984-08-30 JP JP59181036A patent/JPS6157809A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-01 US US06/761,604 patent/US4672317A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-08-05 GB GB08519653A patent/GB2163853B/en not_active Expired
- 1985-08-08 DE DE19853528552 patent/DE3528552A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2163853A (en) | 1986-03-05 |
| DE3528552C2 (ja) | 1987-06-19 |
| GB8519653D0 (en) | 1985-09-11 |
| GB2163853B (en) | 1988-03-09 |
| US4672317A (en) | 1987-06-09 |
| DE3528552A1 (de) | 1986-03-06 |
| JPH042884B2 (ja) | 1992-01-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |