JPS6057688A - エンコ−ダ用磁気抵抗素子組立構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分封〕 本発明は、移動部材の面に書込まれた磁気パターンを磁
気抵抗素子でΦ°Ｌみ取って前記移動部材の移動状態を
検出するエンコーダ用に好適な磁気抵抗素子組立構造に
関する− 〔発明の背景〕 磁気エンコーダに使用される磁気抵抗素子は、通常、透
明なガラス基板の上に、Ｆｅ　Ｎｉ合金薄膜などでパタ
ーンが形成される。そして現在では、素子サイズを小さ
くしてパッチ量を増やし、駆動回路を基・板上に形成し
て小型化をはかるため、セラミックス基板またはガラス
エポキシ基板上に、磁気抵抗素子パターンを形成したガ
ラス基板を接着剤で固定している。

第１図（ａ）はこのような従来の磁気抵抗素子組立構造
の平面図で、ｌはセラミックスまたはガラスエポキシ基
板、２は透明ガラス基板、３は例えばＦｅ−Ｎ１合金薄
躾で形成された磁気抵抗素子パターン、４は前記両者で
構成される磁気抵抗素子である。また第１図（ｂ）はそ
の正面図で９．５は接着剤、６は回転軸が紙面に直角な
磁気ドラム（＃動部材）で、その他の符号は（ａ）の場
合と同様である。

円筒表面に磁気パターンが書込まれている磁気ドラムロ
に対し、ある程度の隙間Ｇ（数十〜数百μｍ）を保って
但気抵抗素子今を配置することにより、磁気ドラム６が
回転、した場合、その表面の磁気ノくターンを読み取っ
て、回転状態を検出することが出来る。

しかし、このような従来の磁気抵抗素子組立横は 造には、セラミックスｒガラスエポキシ基板及びガラス
基板の寸法）８度が不十分（外形寸法公差上０、１〜±
０．３　ｍｍ　）、ガラス基板接着時に位置精度（ａ、
ｂ）が十分出ない、と云うような問題があった。例えば
、このような磁気抵抗素子では、第１図（ａ）中に示す
θが（ｆｆｉか０．５　ｉずれても出力が半減してしま
うほど位置イ′１盲度がＭＺ袈であるのに、上記の如＜
鞘′紋が十分に出ないので、従来は、磁気ドラム６に対
して磁気抵抗素子４を１個ずつ最大出力になるようにｘ
、ｙ、Ｚ方向に位置調整を行わなければならず、極めて
量産性に乏しい構造となっていた。

〔発１シ」の目的〕 本発す１」の目的は、１個１個調艇する必要がなく、容
易に棺屁良くセツティング出来るようにした磁気抵抗素
子パターンを提供することにある。

〔発明のイ既要〕

上記目的を達成するために本発明においては、透明なガ
ラス基板上に形成された磁気抵抗素子パターンに対する
位置決め用目印が設けてあり、かつ、この目印に対して
周囲の少なくとも２辺が正偽な相対位置、を占めるよう
に形成された位１俣決め用金属薄板に、前記位置決め用
目印を用いて磁気抵抗米子を正確な位置に固着し、次に
、位置決め用金ＪＡ薄板を、セラミックス基板またはガ
ラスエポキシ基板の上に、これら基板周囲の辺よりも、
位置決め用金属薄板の前記２辺が値かに外方に突出する
ように固着することとした。

位置決め用金ハ薄板は、例えはホトリソグラフ法により
、周辺の形状、寸法あるいは磁気抵抗素子パターン位１
−決め用目印を正確に加工することが出来る。磁気抵抗
素子パターンは透明なガラス基板上に形成されているか
ら、この目印を頼りに、位置決め用金属薄板の位置決め
用の２辺に対し、磁気抵抗素子パターンを十分高精度で
正確な相対位置に固着することが出来る６また磁気抵抗
素子を組み立てたもの全体の位置決めには、位置決め用
金属薄板の十分信頼するに足る精度をもつ位置決め用の
２辺を用いることが出来る。

〔発明の実施例〕

第２図（ａ）は本発明一実施例の平面図、（ｂ）はその
正面は１を示す。これらの図中、７は本発明に係る位置
決め用金總薄板で、その他の符号は第１図の場合と同様
である。この金属薄板７（例えばステンレス）は高精度
が要求される目印都（第１図（ａ）、第２図（ａ）中に
示すａ、ｂ寸法を正確に出すための磁気抵抗素子パター
ン３との位置合わせ用ンを持っている。このよりな付■
造を持った金６薄板はホトエツチングで加工され、例え
ば５０μｍの厚さのステンレスを２０咽角程度にエツチ
ング加工すれば外形寸法公差は±１５μｎ１程度に出来
る。即ち、このような位ｆｉｔ’決め用金ハ薄板を使用
することにより、従来よりも遥かに高い精度で位置決め
出来る磁気抵抗素子パターンが得られる。但し、金属薄
板の寸法分光は板厚によシ左右され、高精度を得るため
には、板厚が数μｍ１１−数百μｍに限定され、機械的
に弱いので、位置決め時に基準面となるＡ、８面がセラ
ミックス又はガラスエポキシ基板より突出する部分は数
隅８．度以下に抑える必要がある。

と なお位置決め用金属薄板を使用すると位（ば決Ｋが高Ｋ
Ｎ度で行えるようになるだけでなく下記の如き他の利点
も得られる。金属は熱伝導度が良いため、素子全体の温
度を均一化する作用を持ち、温度分布の変動に起因する
特性の変化、特にオフセラ）％Ｌ圧のドリフト等を減少
させることが出来る。

又、位置決め用金属薄板の材料として、Ｎｉなどを含む
適当な強磁性体金属を用い、これを清磁することによっ
て磁気抵抗素子パターンに用いているパーマロイ膜に対
して、直流磁気バイアスを加えることにより、抵抗変化
率特性を改畳させることが出来る。即ち、パーマロイ膜
の磁化容易軸方向に磁気バイアスを加えることによシ、
磁気抵抗変化率を増大させることが出来る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、従来に比べて谷筋
にｉｔ：Ｉ’Ｊ　＞’＋７度で位置決め出来る量産性に
富んだ砿気抵抗素子ｆａｔ立構造が得られる。

【図面の簡単な説明】

シ５＋ト１（ａ）は従来の磁気抵抗素子組立イ背造の平
面図、（ｂ）はその正面図、館２図（ａ）は本発明一実
施例の平面図、（ｂ）はその正面図である。 ｌ・・・・セラミックス又はガラスエポキシ基板、２・
・・・ガラス基板、３・・・・磁気抵抗素子パターン、
今・・・・蜂気抵抗素子、５・・・・接妨剤、６・・・
・磁気ドラム、７・・・・本発明に係る位ｉ汽決め用金
属簿板。 （ＣＬ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透明なガラス基板上に形成された磁気抵抗素子パターン
   に対する位置決め用目印が設けてあシ、かつ、この目印
   に対して周囲の少なくとも２辺が正確な相対位置を占め
   るように形成された位置決め用金属薄板に、前記位置決
   め用目印を用いて磁気抵抗素子を正確に固着し、次に、
   位置決め用金槁薄板を、七２ミックス基板またはガラス
   エポキシ基板の上に、これら基板周囲の辺よシも、位置
   決め用金桟薄板の前記２辺が価かに外方に突出するよう
   に固’ｊｌｔｆ　したことを特徴とするエンコーダ用磁
   気抵抗素子組立構造。