JPH04127705A - Ａｔカット水晶振動子 - Google Patents
Ａｔカット水晶振動子Info
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- JPH04127705A JPH04127705A JP24964990A JP24964990A JPH04127705A JP H04127705 A JPH04127705 A JP H04127705A JP 24964990 A JP24964990 A JP 24964990A JP 24964990 A JP24964990 A JP 24964990A JP H04127705 A JPH04127705 A JP H04127705A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 63
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、ＡＴカット水晶振動子の電極構造に関する。
［従来の技術］
第２図に従来のＡＴカット水晶振動子の形状図を示す。
第２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）は垂直方向断面図
、第２図（ｃ）は、励振用電極部の水平断面図である。
、第２図（ｃ）は、励振用電極部の水平断面図である。
第２図において１１は水晶振動片、２は水晶振動片ｌに
電界を与えて、振動を発生させる励振用電極であり、水
晶振動片ｌの中央部の主平面の表裏に形成されている。
電界を与えて、振動を発生させる励振用電極であり、水
晶振動片ｌの中央部の主平面の表裏に形成されている。
励振用電極は、金属を蒸着あるいはスパッタして水晶振
動片ｌに付着させている。金属としては、最初にクロム
、次に銀あるいは金が用いられる。３１は外部接続用電
極であり、励振用電極２と同様にして、形成される。外
部接続用電極３は、振動には寄与しない、また、振動に
影響の少ない周辺部にある。
動片ｌに付着させている。金属としては、最初にクロム
、次に銀あるいは金が用いられる。３１は外部接続用電
極であり、励振用電極２と同様にして、形成される。外
部接続用電極３は、振動には寄与しない、また、振動に
影響の少ない周辺部にある。
［発明が解決しようとする課題〕
しかし、前述の従来技術では、特に水晶振動片１１を小
型化していった場合、励振用電極２の重り効果による振
動エネルギーの閉し込めが充分てなく、ＣＩ値が高いと
いう課題を有する。
型化していった場合、励振用電極２の重り効果による振
動エネルギーの閉し込めが充分てなく、ＣＩ値が高いと
いう課題を有する。
そこで本発明はこのような課題を解決するもので、その
目的とするところは、小型の水晶振動子であっても、Ｃ
Ｉ値の低い良好なＡＴカット水晶振動子を提供するとこ
ろにある。
目的とするところは、小型の水晶振動子であっても、Ｃ
Ｉ値の低い良好なＡＴカット水晶振動子を提供するとこ
ろにある。
［課題を解決するための手段］
本発明のＡＴカット水晶子は、水晶原石から所定のカッ
トアングル及び厚みの水晶振動片を切り出してなるＡＴ
カット水晶振動子において、少くとも水晶振動片の表裏
主面に第１の金属膜を有し、前記第１の金属膜の一部又
は全部に、第２の金属膜の一部又は全部を重ねて第２の
金属膜を有し、前記第１の金１）：膜と前記第２の金属
膜が重なっている部分と１重ならない部分を有すること
を特徴とする。
トアングル及び厚みの水晶振動片を切り出してなるＡＴ
カット水晶振動子において、少くとも水晶振動片の表裏
主面に第１の金属膜を有し、前記第１の金属膜の一部又
は全部に、第２の金属膜の一部又は全部を重ねて第２の
金属膜を有し、前記第１の金１）：膜と前記第２の金属
膜が重なっている部分と１重ならない部分を有すること
を特徴とする。
［実 施 例］
第１図は本発明のＡＴカット水晶振動子の一実施例を示
す形状図であって、第１図（ａ）は平面図、第１図（ｂ
）は垂直方向断面図、第１図（ｃ）は、励振用電極部水
平方向断面図である。
す形状図であって、第１図（ａ）は平面図、第１図（ｂ
）は垂直方向断面図、第１図（ｃ）は、励振用電極部水
平方向断面図である。
第１図においてｌは所定のカットアングル及び厚みに切
り出された水晶振動片、４は、水晶振動片１のほぼ中央
の主平面表裏に形成された第１の金属膜、５はその一部
を第１の金属膜に積層して、水晶振動片１の主平面表裏
に形成された第２の金属膜、３は、外部接続用電極であ
る。
り出された水晶振動片、４は、水晶振動片１のほぼ中央
の主平面表裏に形成された第１の金属膜、５はその一部
を第１の金属膜に積層して、水晶振動片１の主平面表裏
に形成された第２の金属膜、３は、外部接続用電極であ
る。
第１の金属膜は、クロム次に金を蒸着あるいはスパッタ
して形成し、第２の金属膜及び外部接続用電極は、クロ
ム次に銀を蒸着あるいはスパッタして形成する。
して形成し、第２の金属膜及び外部接続用電極は、クロ
ム次に銀を蒸着あるいはスパッタして形成する。
第１図のＡＴカット水晶振動子では、外部接続用電極３
を通じて電圧をかけると、第１の金属膜４及び第２金属
膜５が励振用電極となり、水晶振動片の表裏間に電界が
かかる。この時、水晶振動片１はその固有振動数で振動
を行うわけであるが第１の金属膜４と第２の金属膜５の
積層されている部分と、第２の金属膜５のみ形成されて
いる部分と、金属膜の形成されていない周辺部分とで、
金属膜の重り効果により固有振動数が異なる。従って、
第１の金属膜４と第２の金ａ：Ｉｔｉ５の積層されてい
る部分で発生した振動は、第２の金属１１１ｉ５のみ形
成されている部分には伝播しにくい。さらに、金属膜の
形成されていない部分にはさらに伝播しにくい、すなわ
ち、この部分で発生した振動エネルギーは効率よく閉じ
込められる。この結果、ＣＩ値の低い水晶振動子となる
。
を通じて電圧をかけると、第１の金属膜４及び第２金属
膜５が励振用電極となり、水晶振動片の表裏間に電界が
かかる。この時、水晶振動片１はその固有振動数で振動
を行うわけであるが第１の金属膜４と第２の金属膜５の
積層されている部分と、第２の金属膜５のみ形成されて
いる部分と、金属膜の形成されていない周辺部分とで、
金属膜の重り効果により固有振動数が異なる。従って、
第１の金属膜４と第２の金ａ：Ｉｔｉ５の積層されてい
る部分で発生した振動は、第２の金属１１１ｉ５のみ形
成されている部分には伝播しにくい。さらに、金属膜の
形成されていない部分にはさらに伝播しにくい、すなわ
ち、この部分で発生した振動エネルギーは効率よく閉じ
込められる。この結果、ＣＩ値の低い水晶振動子となる
。
第３図は、本発明のＡＴカット水晶振動子の他の実施例
を示す形状図であって、第３図（ａ）は平面図、第３図
（ｂ）は垂直方向断面図、第３図（ｃ）は励振用電極部
水平方向断面図である。第３図において、水晶振動片１
２及び外部接続用電極３２は、第１図と同様である。６
は、第１の金属ＩＪｉ７は、第１の金属１ｉ６の上に積
層して第１の金属膜のほぼ中央部に形成された第２の金
属膜である。第１の金ｆｆ１ｌｌｉ６と第２の金属膜７
で励振用電極としている。
を示す形状図であって、第３図（ａ）は平面図、第３図
（ｂ）は垂直方向断面図、第３図（ｃ）は励振用電極部
水平方向断面図である。第３図において、水晶振動片１
２及び外部接続用電極３２は、第１図と同様である。６
は、第１の金属ＩＪｉ７は、第１の金属１ｉ６の上に積
層して第１の金属膜のほぼ中央部に形成された第２の金
属膜である。第１の金ｆｆ１ｌｌｉ６と第２の金属膜７
で励振用電極としている。
第１の金属膜６及び外部接続用電極３は、クロム及び銀
を蒸着して形成し、次に第２の金Ｅｌｆ＠７をクロム及
び銀を蒸着して形成する。
を蒸着して形成し、次に第２の金Ｅｌｆ＠７をクロム及
び銀を蒸着して形成する。
第１図のＡＴカット水晶振動子と同様に、それぞれの金
属膜が重なっている部分の振動エネルギーは、中央部に
閉し込められ、ＣＩ値の低い水晶振動子となる。
属膜が重なっている部分の振動エネルギーは、中央部に
閉し込められ、ＣＩ値の低い水晶振動子となる。
第４図は、本発明のＡＴカット水晶振動子のさらに他の
実施例を示す形状図であって、第４図（ａ）は平面図、
第３図（ｂ）は垂直方向断面図、第３図（ｃ）は励振用
電極部水平方向断面図である。第４図において、水晶振
動片１３及び外部電極３３は、第１図と同様である。８
は第１の金属膜、９は、第１の金属１ｆ！７の一部にそ
の一部を積層して形成した第２の金属膜である。第１の
金属膜８と第２の金属膜９で励振用電極としている。
実施例を示す形状図であって、第４図（ａ）は平面図、
第３図（ｂ）は垂直方向断面図、第３図（ｃ）は励振用
電極部水平方向断面図である。第４図において、水晶振
動片１３及び外部電極３３は、第１図と同様である。８
は第１の金属膜、９は、第１の金属１ｆ！７の一部にそ
の一部を積層して形成した第２の金属膜である。第１の
金属膜８と第２の金属膜９で励振用電極としている。
第４図のＡＴカット水晶振動子においても、第１図、第
３図のＡＴカット水晶振動子と同様の働きがある。
３図のＡＴカット水晶振動子と同様の働きがある。
本明細書の図面は矩形状に形成されたＡＴカット水晶振
動子を示したが、本発明は、水晶振動片の形状、電極形
状に限定されるものではない。従っで、円板形ＡＴカッ
ト水晶振動子にも応用できる。
動子を示したが、本発明は、水晶振動片の形状、電極形
状に限定されるものではない。従っで、円板形ＡＴカッ
ト水晶振動子にも応用できる。
（発明の効果１
以上述べたように本発明によれば、励振用電極として第
１の金属膜と第２の金属膜を有し、第１の金属膜と第２
の金属膜の積層された部分と、第１の金属膜あるいは、
第２の金属膜のみが形成されている部分とを有している
ので、励振用電極としての重り効果が働き、エネルギー
閉し込めが効率的に行なわれる。この結果、ＣＩ値の低
い良好なＡＴカット水晶振動子が提供できた。
１の金属膜と第２の金属膜を有し、第１の金属膜と第２
の金属膜の積層された部分と、第１の金属膜あるいは、
第２の金属膜のみが形成されている部分とを有している
ので、励振用電極としての重り効果が働き、エネルギー
閉し込めが効率的に行なわれる。この結果、ＣＩ値の低
い良好なＡＴカット水晶振動子が提供できた。
第１図は本発明のＡＴカット水晶振動子の一実施例を示
す形状図で、 第１図（ａ）は平面図。 第１図（ｂ）は垂直方向断面図、 第１図（Ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 第２図は従来のＡＴカット水晶振動子を示す形状図で、 第２図（ａ）は平面図 第２図（ｂ）は垂直方向断面図、 第２図（ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 第３図は本発明のＡＴカット水晶振動子の他の実施例を
示す形状図で、 第３区（ａ）は平面図、 第３図（ｂ）は垂直方向断面図、 第３図（Ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 第４図は本発明のＡＴカット水晶振動子のさらに他の実
施例を示す形状図で、 第４図（ａ）は平面図、 第４図（ｂ）は垂直方向断面図、 第４図（Ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 １ 、１１．１２． ２ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ３、３ ｌ、 ３２． ４、６、８ ・ ・ ・ ５、７、９ ・ ・ ・ １３ ・ ・ ３３ ・ ・ 水晶振動片 励振用電極 外部接続用電極 第１の金属膜 第２の金属膜 第１図（α） 第１ＷＨｂ） 第１図（す 第４１図（″） 第４図（ｂ） 第４図Ｃ′う
す形状図で、 第１図（ａ）は平面図。 第１図（ｂ）は垂直方向断面図、 第１図（Ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 第２図は従来のＡＴカット水晶振動子を示す形状図で、 第２図（ａ）は平面図 第２図（ｂ）は垂直方向断面図、 第２図（ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 第３図は本発明のＡＴカット水晶振動子の他の実施例を
示す形状図で、 第３区（ａ）は平面図、 第３図（ｂ）は垂直方向断面図、 第３図（Ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 第４図は本発明のＡＴカット水晶振動子のさらに他の実
施例を示す形状図で、 第４図（ａ）は平面図、 第４図（ｂ）は垂直方向断面図、 第４図（Ｃ）は励振用電極部水平方向断面図。 １ 、１１．１２． ２ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ３、３ ｌ、 ３２． ４、６、８ ・ ・ ・ ５、７、９ ・ ・ ・ １３ ・ ・ ３３ ・ ・ 水晶振動片 励振用電極 外部接続用電極 第１の金属膜 第２の金属膜 第１図（α） 第１ＷＨｂ） 第１図（す 第４１図（″） 第４図（ｂ） 第４図Ｃ′う
Claims (1)
- （１）ａ）水晶原石から所定のカットアングル及び厚み
の水晶振動片を切り出してなるＡＴカット水晶振動子に
おいて、 ｂ）少くとも水晶振動片の表裏主面に第１の金属膜を有
し、 ｃ）前記、第１の金属膜の一部又は全部に、第２の金属
膜の一部又は全部を積層して第２の金属膜を有し、 ｄ）前記、第１の金属膜と前記第２の金属膜が重なって
いる部分と、重ならない部分を有することを特徴とする
ＡＴカット水晶振動子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24964990A JPH04127705A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Ａｔカット水晶振動子 |
| DE69129957T DE69129957T2 (de) | 1990-04-27 | 1991-04-29 | In AT-Richtung geschnittenes Kristalloszillatorelement und sein Herstellungsverfahren |
| EP91303877A EP0459631B1 (en) | 1990-04-27 | 1991-04-29 | AT-cut crystal oscillating element and method of making the same |
| US07/860,667 US5376861A (en) | 1990-04-27 | 1992-03-30 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US07/901,287 US5304459A (en) | 1990-04-27 | 1992-06-19 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
| US07/901,293 US5314577A (en) | 1990-04-26 | 1992-06-19 | At-cut crystal oscillating reed and method of etching the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24964990A JPH04127705A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Ａｔカット水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04127705A true JPH04127705A (ja) | 1992-04-28 |
Family
ID=17196164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24964990A Pending JPH04127705A (ja) | 1990-04-26 | 1990-09-19 | Ａｔカット水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04127705A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969463A (en) * | 1996-07-10 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
| JP2008005333A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP24964990A patent/JPH04127705A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969463A (en) * | 1996-07-10 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
| JP2008005333A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
| JP4665849B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2011-04-06 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの製造方法 |
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