JPH03139911A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPH03139911A JPH03139911A JP27803889A JP27803889A JPH03139911A JP H03139911 A JPH03139911 A JP H03139911A JP 27803889 A JP27803889 A JP 27803889A JP 27803889 A JP27803889 A JP 27803889A JP H03139911 A JPH03139911 A JP H03139911A
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- JP
- Japan
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- grooves
- vibration
- thickness
- piezoelectric
- groove
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- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は圧電振動子を利用分野とし、特にｌグみすべり
振動の高周波化を達成する水晶振動子に関する。
振動の高周波化を達成する水晶振動子に関する。
（発明の背景）
水晶振動子は共振特性に優れることから通信機器等に発
振子、フィルタ素子として多用されている。近年では５
通信回線の混雑化及び高品位通信等により高周波化傾向
にある。
振子、フィルタ素子として多用されている。近年では５
通信回線の混雑化及び高品位通信等により高周波化傾向
にある。
（従来技術）
第８Ｕｓ４は従来例を説明する水晶振動子の図である。
水晶振動子は例えばＡＴカットとした円板状の水晶片１
からなる。水晶片１の両生面には励ｔＭｆｔ極２及び引
出し電極３が形成される。通常では引出し１！１１３の
延出した両端外周部を図示しない構造により保持して密
封される。そして、図示しない発振回路により励振され
、両主面間で旺いに反対方向に変位するＪつみすべり振
動を呈する。このような厚みすべり振動は厚みしに反比
例し、厚みが小さいほど振動周波数ｆは高くなる。すな
わち、ｆ＝に／ｌ （但し、には圧電定数で通常１６７
０ＫｌｌＺ・ｌ！１ｍ）で示される１例えばＩＯＭＭ）
！Ｚの振動周波数とする場合は０．１６７ｍｍの厚みを
必要とする。
からなる。水晶片１の両生面には励ｔＭｆｔ極２及び引
出し電極３が形成される。通常では引出し１！１１３の
延出した両端外周部を図示しない構造により保持して密
封される。そして、図示しない発振回路により励振され
、両主面間で旺いに反対方向に変位するＪつみすべり振
動を呈する。このような厚みすべり振動は厚みしに反比
例し、厚みが小さいほど振動周波数ｆは高くなる。すな
わち、ｆ＝に／ｌ （但し、には圧電定数で通常１６７
０ＫｌｌＺ・ｌ！１ｍ）で示される１例えばＩＯＭＭ）
！Ｚの振動周波数とする場合は０．１６７ｍｍの厚みを
必要とする。
なお、！！！動周波周波数本波振動で、以下同様である
。そして、通常では両面側をそれぞれ研磨して同厚みに
加工する。
。そして、通常では両面側をそれぞれ研磨して同厚みに
加工する。
（従来技術の問題点）
しかしながら、このような水晶振動子では、例えば１０
０ＭＩＩＺの振動周波数を得ようとすると。
０ＭＩＩＺの振動周波数を得ようとすると。
水晶片１の厚みは ０． Ｏ１６７ｍｍ （１６−７
７Ａｍ）となる。したがって、この場合には、破損等を
生じて研磨による加工は困難となる。また、仮に加工で
きたとしても、水晶片１の保持等にも問題があり、実際
上は、６０Ｍ）ＩＺが限界であった。
７Ａｍ）となる。したがって、この場合には、破損等を
生じて研磨による加工は困難となる。また、仮に加工で
きたとしても、水晶片１の保持等にも問題があり、実際
上は、６０Ｍ）ＩＺが限界であった。
このようなことから、例えば第９図の断面図に示したよ
うに、イオンミーリングにより水晶片１の中央部４を薄
くシてその外周部５を保持することも提案されている。
うに、イオンミーリングにより水晶片１の中央部４を薄
くシてその外周部５を保持することも提案されている。
なお１図中の符号６はｆｆｉ！である。しかし、このよ
うなものでは中央部の平行度及び平面度が損なわれ、例
えばスプリアス等を発生して電気的・機械的的諸特性を
劣化させる問題があった。
うなものでは中央部の平行度及び平面度が損なわれ、例
えばスプリアス等を発生して電気的・機械的的諸特性を
劣化させる問題があった。
（発明の目的）
本発明は、作業性及び電気的諸特性を良好として高周波
化に適した圧電振動子を提供することを目的とする。
化に適した圧電振動子を提供することを目的とする。
（発明の解決手段）
本発明は、圧電片の少なくても一方の主面に溝を設け、
前記溝と他方の主面側に形成した電極の重畳部を振ａｍ
域とし、該振動領域を励振したことを解決手段とする。
前記溝と他方の主面側に形成した電極の重畳部を振ａｍ
域とし、該振動領域を励振したことを解決手段とする。
以下、本発明の一実施例を説明する。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を説明する水晶振動子の図で
ある。なお、第１図に］）は水晶片の斜視図、同図（ｂ
）は同側面図である。
ある。なお、第１図に］）は水晶片の斜視図、同図（ｂ
）は同側面図である。
水晶振動子は眞述同様にＡＴカットとした円板状の水晶
片７（厚みをｔとする）からなる。水晶片７の両主面に
は互いに交差して横断する溝８．９が設けられる。この
例では溝８．９を直交させ。
片７（厚みをｔとする）からなる。水晶片７の両主面に
は互いに交差して横断する溝８．９が設けられる。この
例では溝８．９を直交させ。
切削加工等の機械加工により形成する。なお、溝８．９
の深さをｔｌ、 し２としこれを等しくする。
の深さをｔｌ、 し２としこれを等しくする。
そして、各溝８．９に図示しない電極としての金属膜を
形成し、溝８．９の交差部（重畳部）を振動領域とする
。
形成し、溝８．９の交差部（重畳部）を振動領域とする
。
このようなものでは、振動領域は溝８．９により設定さ
れるので、その厚みｔ［Ｉ（＝ｔ−２ｔ＋）を充分小さ
くできる。また、溝８．９は機械加工により形成される
ので、その振動領域の平坦度及びボ行度を充分に実現し
得る。そして、水晶片７の溝８．９を除く部分の厚みｔ
は充分に大きく設定できるので１例えば１￥２図に示し
たように電極１０の延出した端部を容易に保持し得ると
共にその強度を高める。
れるので、その厚みｔ［Ｉ（＝ｔ−２ｔ＋）を充分小さ
くできる。また、溝８．９は機械加工により形成される
ので、その振動領域の平坦度及びボ行度を充分に実現し
得る。そして、水晶片７の溝８．９を除く部分の厚みｔ
は充分に大きく設定できるので１例えば１￥２図に示し
たように電極１０の延出した端部を容易に保持し得ると
共にその強度を高める。
ちなみに、水晶片７のｇみｔを８０μｍ、溝８．９の深
さし１、 し２をそれぞれ３０μｍとし、振動９ｆｉ域
の１グみ七〇を２０μｍ （即ち８０ＭＨ２）に形成し
たところ、満足する結果を得た。
さし１、 し２をそれぞれ３０μｍとし、振動９ｆｉ域
の１グみ七〇を２０μｍ （即ち８０ＭＨ２）に形成し
たところ、満足する結果を得た。
（他の実施例）
上記実施例では１両面側の溝８．９の深さをそれぞれい
、ｔａとして等しくしたが、両者は異なってもよく極端
には一方の面側にのみ溝８を形成してもよい。そして、
溝８と他方の主面に形成した図示しない′ＲＬ極の重畳
部を励振領域とする（第３図）。
、ｔａとして等しくしたが、両者は異なってもよく極端
には一方の面側にのみ溝８を形成してもよい。そして、
溝８と他方の主面に形成した図示しない′ＲＬ極の重畳
部を励振領域とする（第３図）。
また、溝８，９は水晶片７の中央で必ずしも直交する必
要はなく、端部であっても交差すればよい。なお、端部
で交差させた場合はオーバトーン振動をＪｇｌ持でき、
より以上の高域化が望める（′ＯＹ４図の４Ｌ面図）。
要はなく、端部であっても交差すればよい。なお、端部
で交差させた場合はオーバトーン振動をＪｇｌ持でき、
より以上の高域化が望める（′ＯＹ４図の４Ｌ面図）。
また、電極は溝８，９内に形成したが、例えば水晶片７
の両組面側に＠極１１の形成された補強板１２を設け、
所謂エアギャップ方式としてもよい。この場合、保持強
度を高めるとともに電極の質量分を軽減して振動特性の
向−１−を望める。 （第５図の断面図） また、溝８，９は水晶片７の主面を横断させたが、例え
ば外周の一端部（あるいはＩＪ−ｒ端部）を残してもよ
い。この場合、保ト！？強度を高めて更に保持を容易に
する（第６図の十面図）。
の両組面側に＠極１１の形成された補強板１２を設け、
所謂エアギャップ方式としてもよい。この場合、保持強
度を高めるとともに電極の質量分を軽減して振動特性の
向−１−を望める。 （第５図の断面図） また、溝８，９は水晶片７の主面を横断させたが、例え
ば外周の一端部（あるいはＩＪ−ｒ端部）を残してもよ
い。この場合、保ト！？強度を高めて更に保持を容易に
する（第６図の十面図）。
また、横断する溝８．９の端部を例えば金属等を埋めて
同様に保持強度を高めてもよい７さらに、溝８．９は必
ずしも交差する必要がなく同方向に形成してその一部が
１￥Ｃ畳するようにしてもよい（第７図の平面図）。
同様に保持強度を高めてもよい７さらに、溝８．９は必
ずしも交差する必要がなく同方向に形成してその一部が
１￥Ｃ畳するようにしてもよい（第７図の平面図）。
（他の事項）
なお、各実施例では水晶片は円板状としたが。
他の形状とした圧電材であっても適用できる。 そして
、保持構造は一実施例に拘らず、必要応じて採用できる
ことはいうまでもない。本発明は以上のように種々の変
更が可能で、要はｍ、械的加工により溝８．９を形成し
て振動領域の平行度及び平面度を維持するとともに所定
の厚みを確保し、保持強度を維持するようにしたものは
本発明の技術的範囲に属する。
、保持構造は一実施例に拘らず、必要応じて採用できる
ことはいうまでもない。本発明は以上のように種々の変
更が可能で、要はｍ、械的加工により溝８．９を形成し
て振動領域の平行度及び平面度を維持するとともに所定
の厚みを確保し、保持強度を維持するようにしたものは
本発明の技術的範囲に属する。
（発明の効果）
本発明は、圧電片の少なく一方の主面に溝を設け、前記
溝と他方の主面側に形成した電極の重畳部を振動領域と
したので、作業性及び電気的諸特性を良好として高周波
化に適した圧フＥ振動子を提供できる。
溝と他方の主面側に形成した電極の重畳部を振動領域と
したので、作業性及び電気的諸特性を良好として高周波
化に適した圧フＥ振動子を提供できる。
第１図は本発明の一実施例を説明する水晶振動子の図で
、同図（ａ）は水晶片の斜視図、同図（ｂ）は同側面図
である。第２図は同実施例の保持構造を示す正面図であ
る。 第３１１！ｉｆ乃至第７図は本発明の他の実施例を説明
する図で、第３図は水晶片の斜視図、第４図、第６図及
び第７図は回正面図、第５図は同断面図である。 第８図及び第９図は従来例を説明する水晶振動子の図で
、第８図は水晶片の斜視図、第９図は同所面図である。 第１閏 １Ｊ５５図 篇６図 第２図 第３図 第７図 第８図 ｂ乙
、同図（ａ）は水晶片の斜視図、同図（ｂ）は同側面図
である。第２図は同実施例の保持構造を示す正面図であ
る。 第３１１！ｉｆ乃至第７図は本発明の他の実施例を説明
する図で、第３図は水晶片の斜視図、第４図、第６図及
び第７図は回正面図、第５図は同断面図である。 第８図及び第９図は従来例を説明する水晶振動子の図で
、第８図は水晶片の斜視図、第９図は同所面図である。 第１閏 １Ｊ５５図 篇６図 第２図 第３図 第７図 第８図 ｂ乙
Claims (2)
- （１）圧電片の少なくても一方の主面に溝を設け、前記
溝と他方の主面側に形成した電極の重畳部を振動領域と
し、該振動領域を励振したことを特徴とする圧電振動子
。 - （２）圧電片の両主面間に両者の一部で重畳する溝を設
け、前記溝の重畳部を振動領域とし、該振動領域を励振
したことを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27803889A JPH03139911A (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27803889A JPH03139911A (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03139911A true JPH03139911A (ja) | 1991-06-14 |
Family
ID=17591782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27803889A Pending JPH03139911A (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03139911A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9136793B2 (en) | 2012-06-06 | 2015-09-15 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and method of manufacturing resonator element |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4827689A (ja) * | 1971-08-12 | 1973-04-12 | ||
| JPS4883790A (ja) * | 1972-02-07 | 1973-11-08 | ||
| JPS5229908A (en) * | 1975-09-02 | 1977-03-07 | Milwaukee Electric Tool Corp | Brush cartridge for motor |
-
1989
- 1989-10-25 JP JP27803889A patent/JPH03139911A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4827689A (ja) * | 1971-08-12 | 1973-04-12 | ||
| JPS4883790A (ja) * | 1972-02-07 | 1973-11-08 | ||
| JPS5229908A (en) * | 1975-09-02 | 1977-03-07 | Milwaukee Electric Tool Corp | Brush cartridge for motor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9136793B2 (en) | 2012-06-06 | 2015-09-15 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and method of manufacturing resonator element |
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