JPS58127425A - 振動子用水晶素板とその製造方法 - Google Patents
振動子用水晶素板とその製造方法Info
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- JPS58127425A JPS58127425A JP969082A JP969082A JPS58127425A JP S58127425 A JPS58127425 A JP S58127425A JP 969082 A JP969082 A JP 969082A JP 969082 A JP969082 A JP 969082A JP S58127425 A JPS58127425 A JP S58127425A
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、小型厚み振動子に使用される振動子用圧電素
板とその製造方法に関する。
板とその製造方法に関する。
この種の圧電素板としては、第１図に示すよりなＡＴカ
ット水晶素板が代表例として知られている。なあ、ＡＴ
カット水晶とは周知のとおり、水晶の結晶座標軸（ｘ、
ｙ、ｚ）をＸ軸のまわりに所定の角度（この角度は周波
数温度り性との関係−１ で選定され、例えば３５１８ のとき３次曲線を現わす
、）回転した後の結晶座標軸（ｘ 、 ｙ’、ｚ’ ）
において、ｘｚ’軸平面に平行に切断された水晶をいい
、第１図（イ）に示す水晶素板１は、ｘｚ’軸平面に平
行な両主面を矩形形状にし、その浮式寸法は、所定の共
振周波数に応じて反比例関係で定めている、このような
矩形形状水晶素板１は、その両主面に電極を配置して厚
み振動子として使用されるが、その矩形形状の寸法を例
えば３ Ｘ １１ ｍｍのように小型にした場合、周辺
部の影響による非所望な振動ｔ−ｔ’（スブリ了ス）が
発生しやすく、所望な振動ｔ−ｔ’のみの安定した振動
が得にくくなる。その対策としては、電極下のエネル千
−閉じ込め効果を高めるために第１図（０）に示すよう
に、両主面コシペックス加工している・ しかし、この］ンペックス加工は、Ｘ軸と２°軸の両方
向にわたって球面状に形成することから、矩形形状の水
らご１を所定の曲率の衾わん型研磨盤に当て、上方の球
面２と下方の球面３が加工されるように研磨する手段が
あるが、この研磨作業は１個ずつの個別作業になり、多
量生産には全く不適である。
ット水晶素板が代表例として知られている。なあ、ＡＴ
カット水晶とは周知のとおり、水晶の結晶座標軸（ｘ、
ｙ、ｚ）をＸ軸のまわりに所定の角度（この角度は周波
数温度り性との関係−１ で選定され、例えば３５１８ のとき３次曲線を現わす
、）回転した後の結晶座標軸（ｘ 、 ｙ’、ｚ’ ）
において、ｘｚ’軸平面に平行に切断された水晶をいい
、第１図（イ）に示す水晶素板１は、ｘｚ’軸平面に平
行な両主面を矩形形状にし、その浮式寸法は、所定の共
振周波数に応じて反比例関係で定めている、このような
矩形形状水晶素板１は、その両主面に電極を配置して厚
み振動子として使用されるが、その矩形形状の寸法を例
えば３ Ｘ １１ ｍｍのように小型にした場合、周辺
部の影響による非所望な振動ｔ−ｔ’（スブリ了ス）が
発生しやすく、所望な振動ｔ−ｔ’のみの安定した振動
が得にくくなる。その対策としては、電極下のエネル千
−閉じ込め効果を高めるために第１図（０）に示すよう
に、両主面コシペックス加工している・ しかし、この］ンペックス加工は、Ｘ軸と２°軸の両方
向にわたって球面状に形成することから、矩形形状の水
らご１を所定の曲率の衾わん型研磨盤に当て、上方の球
面２と下方の球面３が加工されるように研磨する手段が
あるが、この研磨作業は１個ずつの個別作業になり、多
量生産には全く不適である。
本発明は以上の欠点を除去することを主目的とし、振動
子特性を良好に維持して、製造を容易にした振動子用圧
電素板とその製造方法を提供することである一以下、本
発明を実施例の図百１を参１［／ｊして詳細に説明する
。
子特性を良好に維持して、製造を容易にした振動子用圧
電素板とその製造方法を提供することである一以下、本
発明を実施例の図百１を参１［／ｊして詳細に説明する
。
第２図は水晶素板における本発明の実施例を示す′０水
晶素板１００の両主面の平面形状は、ＸＺ’軸平面に平
行であって、Ｘ軸方向を長手方向、ｚ゛軸方向を幅方向
とする矩形形状であり、ＸＹ’軸平面に平行なＡ−Ａ断
面図（第２図（ロ））において、浮式寸法が中心からＸ
軸の両方向の周辺に向かって離れるに従って８面状に減
少すると共に、Ｙ°軸に垂直な上方の主面１０１がいず
れの断面においても同一面上に位置し、Ｙ’ Ｚ’軸平
面に平行なり−Ｂ断面図（第２図（ハ））においても、
厚み寸法が中心から２°軸の両方向の周辺に向かって離
れるに従って８面状に減少すると共に、Ｙ゛軸に垂直な
下方の主面１０２がいす、れの断面においても同一面上
に位置している。
晶素板１００の両主面の平面形状は、ＸＺ’軸平面に平
行であって、Ｘ軸方向を長手方向、ｚ゛軸方向を幅方向
とする矩形形状であり、ＸＹ’軸平面に平行なＡ−Ａ断
面図（第２図（ロ））において、浮式寸法が中心からＸ
軸の両方向の周辺に向かって離れるに従って８面状に減
少すると共に、Ｙ°軸に垂直な上方の主面１０１がいず
れの断面においても同一面上に位置し、Ｙ’ Ｚ’軸平
面に平行なり−Ｂ断面図（第２図（ハ））においても、
厚み寸法が中心から２°軸の両方向の周辺に向かって離
れるに従って８面状に減少すると共に、Ｙ゛軸に垂直な
下方の主面１０２がいす、れの断面においても同一面上
に位置している。
そして、水晶厚み振動子２００としては、第３図に示す
ように上下方向の両生面上の中心付近に互に列内するよ
うに励振電極２０１ 、２０２．と、Ｘ軸の両方向に引
出した接続電極２０３ 、２０４を金、銀などの金屑を
蒸着して配置する。接続型＆ ２０：３ 、．２０４の
端部は、支持具（図示せず）との接続を容易にし、かつ
強固にするために、水晶素板１００のＸ軸方向の両端部
において互に他方の主面上までまわし込むと共に、引出
個所よりも幅を広げている。
ように上下方向の両生面上の中心付近に互に列内するよ
うに励振電極２０１ 、２０２．と、Ｘ軸の両方向に引
出した接続電極２０３ 、２０４を金、銀などの金屑を
蒸着して配置する。接続型＆ ２０：３ 、．２０４の
端部は、支持具（図示せず）との接続を容易にし、かつ
強固にするために、水晶素板１００のＸ軸方向の両端部
において互に他方の主面上までまわし込むと共に、引出
個所よりも幅を広げている。
第４図は水晶素板における本発明の他の実施例を示す。
本例の水晶素板３００は第４図（イ）に示す上うに、上
方の主面については、その中心付近に平担面３０１と、
Ｘ軸の両方向の周辺に向かって厚み１法を均一に減少さ
せた傾斜平担面３０２ 、３０３とを形成し、下方の主
面についてば、２“軸の両方向の周辺にはさまれた中心
付近に平担面３０４と、その２°軸方向の両周辺に向か
って厚み寸法を均一に減少させた傾斜平担面３０５ 、
３０６とを形成している。そして、本例の水晶厚み振動
子としては、第４ｍ−／ｌ（［］）に示すように上方の
平担面３０１と下方の平担面３０４にそれぞれ互に対向
する励振電極４０１、４０２ （下方で見えない）と接
続電極４０３ 、４０４とを配置して構成される。本例
の励振型Ｉ４４０１゜４０２は２゛軸方向の両周辺より
内側、すなわち下方の平担面３０４における２゛軸方向
の幅寸法以内に配置されている。
方の主面については、その中心付近に平担面３０１と、
Ｘ軸の両方向の周辺に向かって厚み１法を均一に減少さ
せた傾斜平担面３０２ 、３０３とを形成し、下方の主
面についてば、２“軸の両方向の周辺にはさまれた中心
付近に平担面３０４と、その２°軸方向の両周辺に向か
って厚み寸法を均一に減少させた傾斜平担面３０５ 、
３０６とを形成している。そして、本例の水晶厚み振動
子としては、第４ｍ−／ｌ（［］）に示すように上方の
平担面３０１と下方の平担面３０４にそれぞれ互に対向
する励振電極４０１、４０２ （下方で見えない）と接
続電極４０３ 、４０４とを配置して構成される。本例
の励振型Ｉ４４０１゜４０２は２゛軸方向の両周辺より
内側、すなわち下方の平担面３０４における２゛軸方向
の幅寸法以内に配置されている。
第５図は、第２図に示した水晶素板の製造方法の実施例
を示す。先ず、所定数分の水晶素板を１枚の矩形形状に
加工した水晶板５００を用意する。
を示す。先ず、所定数分の水晶素板を１枚の矩形形状に
加工した水晶板５００を用意する。
その際結晶軸との関係については、第５図（イ）に示す
ように水晶板５００は、上下方向の両主面がＸ２°軸平
面に平行で、Ｘ軸と２′軸にそれぞれ平行な対向２辺で
矩形形状となっている７ 次に、研磨盤６００には、第５図（０）に示すように水
晶板５００の２°軸方向に相当する方向を軸とする、円
筒側面の一部である８面６０１が形成されている。水晶
板５００ば、この８面６０１の軸と水晶板５００の２゛
軸を一致させて、この８面６０１上に置き、研磨材を投
入してＸ軸方向に移動させることにより研磨される。そ
の研磨後の水晶板５０１は第５図（ハ）で示され、上方
の主面が第２図に示した上方の主面１０１を２゛軸方向
に連続体にしたものになっており、一点鎖線で示すよう
に１個分の水晶素板５０２ 、５０３ 、５０４ 、・
・・を所定の間隔（水晶素板の幅寸法となる）をおいて
Ｘ Ｙ’、軸平面に平行に切断して個々の水晶素板を切
り落す。
ように水晶板５００は、上下方向の両主面がＸ２°軸平
面に平行で、Ｘ軸と２′軸にそれぞれ平行な対向２辺で
矩形形状となっている７ 次に、研磨盤６００には、第５図（０）に示すように水
晶板５００の２°軸方向に相当する方向を軸とする、円
筒側面の一部である８面６０１が形成されている。水晶
板５００ば、この８面６０１の軸と水晶板５００の２゛
軸を一致させて、この８面６０１上に置き、研磨材を投
入してＸ軸方向に移動させることにより研磨される。そ
の研磨後の水晶板５０１は第５図（ハ）で示され、上方
の主面が第２図に示した上方の主面１０１を２゛軸方向
に連続体にしたものになっており、一点鎖線で示すよう
に１個分の水晶素板５０２ 、５０３ 、５０４ 、・
・・を所定の間隔（水晶素板の幅寸法となる）をおいて
Ｘ Ｙ’、軸平面に平行に切断して個々の水晶素板を切
り落す。
次に、研磨盤７００には第５図に示すような所定の８面
７０１が形成されてあり、この８面７０１の軸に水晶素
板５０２のＸ軸を一致させて、その水晶素板５０２を置
き、研磨材を投入して２゛軸方向に移動させながら研磨
する。この研磨により、水晶素板５０２は第２図に示し
た下方の主面１０２を形成したことになる、 第４図（イ）に示した水晶素板の製造方法については、
研磨盤６００ 、７００の８面６０１ 、７０２をそれ
ぞれ所定の傾斜平担面にし、水晶部５００及び水晶素板
５０２の移動方向をそれぞれ２゛軸方向及びＸ軸方向に
すればよい。
７０１が形成されてあり、この８面７０１の軸に水晶素
板５０２のＸ軸を一致させて、その水晶素板５０２を置
き、研磨材を投入して２゛軸方向に移動させながら研磨
する。この研磨により、水晶素板５０２は第２図に示し
た下方の主面１０２を形成したことになる、 第４図（イ）に示した水晶素板の製造方法については、
研磨盤６００ 、７００の８面６０１ 、７０２をそれ
ぞれ所定の傾斜平担面にし、水晶部５００及び水晶素板
５０２の移動方向をそれぞれ２゛軸方向及びＸ軸方向に
すればよい。
本発明による水晶素板とその製造方法は以上のような構
成をしてｂ）ることから、上方と下方のそれぞれの主面
に姐）で１次元方向で中ｒｆ）から周辺に向かって浮式
寸法を減少させていることから、その加工方法は前述し
た実施例で明らかなとおり容易であって、量産に適して
いる、 また、振動子特性に衾いては、水晶素板の周辺のうち上
方と下方のｂ″−ずれかで周辺に向かって厚み寸法を減
少させているので、エネルギー１８ｉじ込め効果を得て
、所望な振動ｖ−ｔ’で励振し安定な発振が得られる。
成をしてｂ）ることから、上方と下方のそれぞれの主面
に姐）で１次元方向で中ｒｆ）から周辺に向かって浮式
寸法を減少させていることから、その加工方法は前述し
た実施例で明らかなとおり容易であって、量産に適して
いる、 また、振動子特性に衾いては、水晶素板の周辺のうち上
方と下方のｂ″−ずれかで周辺に向かって厚み寸法を減
少させているので、エネルギー１８ｉじ込め効果を得て
、所望な振動ｖ−ｔ’で励振し安定な発振が得られる。
以上の実施例ズは、上下方向の両主面を８面状か又は平
担面と傾斜平担面かに統一していたが、両主面で異なる
組合せにしてもよい。また、圧電素（圧電板）の材料と
して水晶を挙げたが、この他にタンダル酸リチウム、ニ
オフ酸リチウム、圧電ｔ５ミックなどの圧電体でもよく
、それぞれの圧電体において結晶軸又は分極軸を考慮し
て方向を定めればよい、更にまた、本発明の圧電素板の
形状につｂｌても矩形形状に限らず、正方形はもとより
、５角形以上の多角形状であってもよい。なお、製造方
法は矩形形状が最適である。
担面と傾斜平担面かに統一していたが、両主面で異なる
組合せにしてもよい。また、圧電素（圧電板）の材料と
して水晶を挙げたが、この他にタンダル酸リチウム、ニ
オフ酸リチウム、圧電ｔ５ミックなどの圧電体でもよく
、それぞれの圧電体において結晶軸又は分極軸を考慮し
て方向を定めればよい、更にまた、本発明の圧電素板の
形状につｂｌても矩形形状に限らず、正方形はもとより
、５角形以上の多角形状であってもよい。なお、製造方
法は矩形形状が最適である。
第１図（イ）及び（［Ｉ）は従来の水晶素板を示す斜視
図である。第２図は本発明による水晶素板の一実施例を
示し、同図（イ）が斜視図、同図（０）がＡ−断面図及
び同図（ハ）がＢ−Ｂ断面図である。第３図は第２図に
示した水晶素板を使用した水晶振動子を示す斜視図であ
る。第４図は本発明による水晶素板の他の一実施例を示
し、同図（イ）が水晶素板の斜視図及び同図（ロ）が水
晶振動子を示す斜視図である。第５図は本発明による水
晶素板の製造方法の一実施例を示し、同図（イ）は水晶
板の斜視図、同［）１（０）は水晶板の一方の主面を研
磨している状態を示す斜視図、同図（ハ）は水晶板から
水晶素板に切断する状態を示す斜視図及び同図（ニ）は
水晶素板の他方の主面を研磨している状態を示す斜視図
である。 １００ 、３００ 、５０２ 、５０３ 、５０４ 、
す・水晶素板、１０１ 、 （３０１、３０２、３０３
）・・噌水晶素板の一方の主面、１０２ 、 （３０４
，３０５、３０６）・・含水晶素板の他方の主面、５０
０・・・水晶板、５０１・・・水晶板の一方の主面 げ） （０）第 ＩＩ （す
図である。第２図は本発明による水晶素板の一実施例を
示し、同図（イ）が斜視図、同図（０）がＡ−断面図及
び同図（ハ）がＢ−Ｂ断面図である。第３図は第２図に
示した水晶素板を使用した水晶振動子を示す斜視図であ
る。第４図は本発明による水晶素板の他の一実施例を示
し、同図（イ）が水晶素板の斜視図及び同図（ロ）が水
晶振動子を示す斜視図である。第５図は本発明による水
晶素板の製造方法の一実施例を示し、同図（イ）は水晶
板の斜視図、同［）１（０）は水晶板の一方の主面を研
磨している状態を示す斜視図、同図（ハ）は水晶板から
水晶素板に切断する状態を示す斜視図及び同図（ニ）は
水晶素板の他方の主面を研磨している状態を示す斜視図
である。 １００ 、３００ 、５０２ 、５０３ 、５０４ 、
す・水晶素板、１０１ 、 （３０１、３０２、３０３
）・・噌水晶素板の一方の主面、１０２ 、 （３０４
，３０５、３０６）・・含水晶素板の他方の主面、５０
０・・・水晶板、５０１・・・水晶板の一方の主面 げ） （０）第 ＩＩ （す
Claims (3)
- （１） 圧電素板の厚み寸法が中心から周辺に離れる
に従って減少し、一方の主面が、一方向に沿ったいずれ
の断面においても同一面上に位置し、がっ、他方の主面
が、該一方向に直交する方向に沿ったいずれの断面にき
いても同一面上に位置していることを特徴とする振動ψ
子片圧電素板。 - （２） 特許請求の範囲第１項において、該圧電素板
の両生面が矩形形状であり、該一方の主面が、長手方向
に沿ったいずれの断面においても同一面上に位置し、か
つ、他方の主面が、該長手方向に直交する方向に沿った
いずれの断面においても同一面上に位置していることを
特徴とする振動子用圧電素板。 - （３） 所定数の圧電素板を１枚の矩形形状にした圧
電板を用意し、該圧電板の一力の主面において対向する
２組の２辺のうち一方の組の２辺の周辺に向かって中心
から離れるに従って厚み寸法がＮζ少する斜面を該一方
の主面に形成し、該対向する２組の２辺のうち他方の組
の２辺に冶って互に平行に所定の間隔をおいて切断する
ことにより該所定数の圧電素板を切り落し、該圧電板の
他力の主面に相当する該圧電素板の主面において該圧電
板の該斜面を形成した方向に対して直交する方向に中心
から該圧電素板の周辺に離れるに従って厚み寸法が減少
する斜面を形成していることを特徴とする振動子用圧電
素板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP969082A JPS58127425A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 振動子用水晶素板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP969082A JPS58127425A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 振動子用水晶素板とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58127425A true JPS58127425A (ja) | 1983-07-29 |
| JPH0342525B2 JPH0342525B2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=11727208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP969082A Granted JPS58127425A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 振動子用水晶素板とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58127425A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6066512A (ja) * | 1983-09-21 | 1985-04-16 | Seikosha Co Ltd | 厚みすべり圧電振動子の製法 |
| JPS60191511A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
| JPH02124610A (ja) * | 1988-03-30 | 1990-05-11 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 矩形状ａｔ振動片の製造方法 |
| JPH02124611A (ja) * | 1988-03-30 | 1990-05-11 | Matsushima Kogyo Co Ltd | オーバートーン用矩形状ａｔ振動片の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55145418A (en) * | 1979-04-28 | 1980-11-13 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | Crystal oscillator |
| JPS5768923A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thickness slip quartz oscillator |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP969082A patent/JPS58127425A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55145418A (en) * | 1979-04-28 | 1980-11-13 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | Crystal oscillator |
| JPS5768923A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thickness slip quartz oscillator |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6066512A (ja) * | 1983-09-21 | 1985-04-16 | Seikosha Co Ltd | 厚みすべり圧電振動子の製法 |
| JPS60191511A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
| JPH0329206B2 (ja) * | 1984-03-12 | 1991-04-23 | Murata Manufacturing Co | |
| JPH02124610A (ja) * | 1988-03-30 | 1990-05-11 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 矩形状ａｔ振動片の製造方法 |
| JPH02124611A (ja) * | 1988-03-30 | 1990-05-11 | Matsushima Kogyo Co Ltd | オーバートーン用矩形状ａｔ振動片の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0342525B2 (ja) | 1991-06-27 |
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