JPS6066512A - 厚みすべり圧電振動子の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、厚みすペシ圧市振ｉｒｈ子の製法に関するも
のでネる。

従来、厚みすベシ圧電振動子の一例であるＡＴカット水
晶振動子は、水晶片全一つづつ研磨し、エツチング処理
などをしたあとＭＮｉ脇の莫着を行っていた。このため
製造が煩剋１でを）シ、コストアップの原因とガってい
た。

本発明は上記欠Ａ　ｋ除去するものであシ、多数の圧電
素子片を連続状態に形成し、エッチング工程、雷椿鴫蒸
着工程などを同時に行ったあと、圧雷素子片全正確に容
易に分割することにより、製造が容易で大量生産に最適
である厚みすべり圧電振動子の製法を提供するものであ
る。

以下、本発明の実姉例を詳細に説明する。

卸１図において、１け厚みすべり振動全行う圧電素子で
あシ、−例としてＡＴカットの水晶板である。１　ａ、
、１ａ（ｄ、水晶板１の主面であり、１ｂ。

１ｂは端面である。そして主面１ａ、１ａと端面１ｂ、
１ｂとが交差して四つの稜１Ｃ・・・・・・が形成され
ている。水晶板１Ｆｉ〔Ｏ〕、〔Ｄ〕に示されるように
、四つの稜１Ｃ・・・・・・の部分に薄肉加工として傾
斜面加工が行わわ、四つの傾斜面２・・・・・・が形成
され、水晶板１０両端部は中央部に対し２薄肉とされる
。つぎにＣＥ）、ＣＦ）に示されるように、水晶板１の
一方の＠１面１ｂより他方の端面１ｂ近傍の薄肉の傾斜
面２の部分廿で複数の切溝３・・・・・・を形成し、多
数の水晶片４・・・・・・を連続した状態で形成する。

切ｆ３・・・・・・はマルチワイヤーソーやマルチブレ
ードソーなどにより研磨材を用いて切込甘ね、水晶板１
の他方の端面１ｂの極く近く捷で切込″！Ｆすする。こ
のあと水晶板１は洗浄および加工歪除去のためフッ酸中
に浸漬される。そして最後に電極ｌ１１１（蒸着工程に
入る。ここでは電極膜の形状のマスクを水晶板１に当て
て真空蒸着装置によりＣＧ）、（Ｈ）に示される駆動音
ｖＪＬ５・・・・・、６・・・・・・を形成する。なお
フッ酸姓：浸漬するエツチング工程において水晶片４・
・・・・・の共振周波数のｈ１＾Ｉ整を行ったシ、１だ
電棒胛蒸着工程において同様に調整するようにしてもよ
い。このあと、第２図タロのように分割線７に沿って水
晶片４全それぞれ分割する。

このように、多数の水晶片４・・・・・・が連転；した
状態でエッチング工程、正極Ｂい蒸着工程なとができる
ため、水晶片の製造か容易に、し刀・も多義ノ同時に行
λる。甘た分割線７による水晶片４の分割は、この部分
が薄肉となっているため容易［、しかも正確に行える。

水晶片４は第３図示のように封止容払８に封入され、そ
の気密端子８ａに片持保持され、駆１１ｉ１１　電極５
，６の引出し部と接続されるが、端部が薄肉に形成さね
ているため振動エネルギーを中央部に集中でき、保持部
からの振製凄エネルギの漏洩を極めて少なくすることが
できる。また周波Ｕ温＃′特性に直接関係するカット面
の角度に対しても、大きな水晶板の状態で加工するため
カット面角度の狂いが少なく々シ、周波数温度特性のバ
ラツギが極めて小さくなる。さらに分割線７の部分は水
晶片４の端部であるため、厚みすべＪ）振動の特性にほ
とＸ７ど影響を与ンない。この振動にほとんど影響を与
えｅｌ／−Ｉｌｉ５囲は、実験によると水晶片の長手方
向の約１０％以内である。Ｌ７たがって、切溝４・・・
・・・けこのφ０囲工す外（ｊｌｊｌの端面近く寸で切
込むことが望呻しい。

なお、切溝４・・・・・は水晶板１の端面に対し直角に
形成したが、斜め方向に切込むこともできる。

また水晶片４け、両端保持するようにしてもよく、この
場合、駆動電極の引出し部はそわそわ反対側に引出すよ
うにする。

さらに水晶片４を分割線７により分割するとき同時に多
数を分割してもよいが、一つづつ分割して気密端子に固
定する２ｒどして、組立の自動化全図ることも可能であ
る。

第４〜５図は、本発明の他の実抱例によって製造された
水晶振動子を示す。第４図示の水晶片１４は、水晶板１
１の二つの主面と二つの端ｉｆｉ、ｉとが交差する四つ
の稜１１ｃ・・・・・・の部分に薄肉加工として円柱面
加工を行い、円柱１ｉｊ１２・・・・・・全形成して水
晶板１１の両側部を中央部に対し薄肉としている。そし
て一方の端面工り他方の端面近傍の薄肉部首で複敬の切
溝（は１示せず。）を形成し、多倣の水晶片１４・・・
・・・全連続状伸に形成し、駆動＠４ｆｉ１５　、　１
６を形成したあと分割したものである。

第５図示の水晶片２４は、水晶板２１の二つの主面と二
つの端面とが交差する四つの稜２１ｃ・・・・・・の部
分に薄肉加工として段差面加工全行い、段差面２２・・
・・・・全形成して水晶板２１の両端部を中央部に対し
薄肉としている。そして一方の端面より他方の端面近傍
の薄肉部首で複数グ１切満（図示せず。）ｌ−形成し、
多数の水晶片２４・・・・・を連続状態に形成し、駆勅
重極２５．２６全形成したあと分割したものである。

第６図示の水晶片３４Ａ、３４１３，３４Ｃは、水晶板
３１の二つの主面と二つの端面がり差する四つの稜σ）
うちの二つの稜３１０．３ＩＣの部分に薄肉加工として
そねぞわ傾斜面加工１円柱面加工７段差面加工を行い、
傾斜面５２Ａ１円柱面５２Ｂ１段差面５１Ｃを形成し２
、一方の主面は平′ＭＪ１面の着まとし、水晶１反３１
の両端部を中央部に対し薄肉どしたものである。そして
一方の揮１１面工りイ１！１方の端面近傍の薄肉部プで
検数の切溝（図示せず。）を・形成し、多数の水晶片３
４Ａ・・・・・・。

３４Ｂ・・・・・・、３４Ｃ・・・・・・を連続状態に
形成［２、駆動電（ヴ３５・・・・・・、５６・・・・
・・を形成したあと分割したものである。上Ｆの第４〜
６図示の実施例における水晶片１４，２４．３４Ａ、３
４Ｂ、５４Ｃも前記第１の実施例と同様の効果を有する
。

在お上記した実施例けＡＴカット水晶振動子について述
べ大が、イｌ］の厚みすべり圧雪振動子げも適用できる
ことは当然である。

以上述べたように本発明によれば、容易にしかも大量に
製造でき、コストダウンが達成できる。

１ブと水晶片の分割が薄肉部で行わわるため、正確

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の工程全ｙ、ｉ”　１．、〔
Ａ〕。 （’り、　［Ｅ）、　ＣＧ）は水晶板の一部切欠正面図
、ＣＢ）、　（Ｔ）ｌ　（Ｉ”）、　（Ｈ）　はその右
側面ド１、筆２図は水晶板の要部拡大正面図、第３図り
刊止容簿を図示した状態の水晶片の拡大右側面図、第４
〜６　ｒＡコ〜１０１図はそれぞれ本発明の他の実姉例
に、Ｃシ製造された水晶片の拡大右側面図である。 １、１１．２１．３１・・・水晶板 １ｃ、１１ｃ、２１ｃ、３１ｃ・・・稜２、５２Ａ・・
・傾斜面　１２．３２Ｂ・・・円柱面２２．５２’：：
・・・段差面　３・・・切溝４、１４．２４．５４Ａ、
　３４Ｂ、　３４１１！・・・水晶片以上 出願人　株式会社　精　工　舎 代理人　弁理士　最上　務 ら　ｂ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）厚みすベシ振動を行う圧電素子板の二つの主面と
   二つの端ｍ１とが交差する四つの稜のうち少なくとも両
   端部の二つの稜の部分に薄肉加工を行い、手配圧電素子
   板の両端部を中央部に対し薄肉の薄肉部とし２、 上Ｂｅ一方の端面より仙方の端面近傍の薄肉部首で複萎
   文の切溝を形成し、多数の圧電素子片を連続状態に形成
   し、 上ｎピ多数の圧電素子片に駆動電ｉ全形成したあと分割
   することを特徴とする厚みすべり圧電振動子の製法。
2. （２）　％Ｗｒ請求の範囲第１項において、薄肉加工は
   傾斜面加工であることを特徴とする厚みすベシ圧電振動
   子の製法。
3. （３）特許請求の範囲第１項において、薄肉加工は円柱
   面加工であることを特徴とする厚みすべり圧電振動子の
   製法。
4. （４）特許請求の範囲第１項において、薄肉加工は段差
   面加工であることを特徴とする厚みずベシ圧電振動子の
   製法。