JPS6066512A - 厚みすべり圧電振動子の製法 - Google Patents
厚みすべり圧電振動子の製法Info
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- JPS6066512A JPS6066512A JP17502783A JP17502783A JPS6066512A JP S6066512 A JPS6066512 A JP S6066512A JP 17502783 A JP17502783 A JP 17502783A JP 17502783 A JP17502783 A JP 17502783A JP S6066512 A JPS6066512 A JP S6066512A
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- piezoelectric element
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Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 3
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、厚みすペシ圧市振irh子の製法に関するも
のでネる。
のでネる。
従来、厚みすベシ圧電振動子の一例であるATカット水
晶振動子は、水晶片全一つづつ研磨し、エツチング処理
などをしたあとMNi脇の莫着を行っていた。このため
製造が煩剋1でを)シ、コストアップの原因とガってい
た。
晶振動子は、水晶片全一つづつ研磨し、エツチング処理
などをしたあとMNi脇の莫着を行っていた。このため
製造が煩剋1でを)シ、コストアップの原因とガってい
た。
本発明は上記欠A k除去するものであシ、多数の圧電
素子片を連続状態に形成し、エッチング工程、雷椿鴫蒸
着工程などを同時に行ったあと、圧雷素子片全正確に容
易に分割することにより、製造が容易で大量生産に最適
である厚みすべり圧電振動子の製法を提供するものであ
る。
素子片を連続状態に形成し、エッチング工程、雷椿鴫蒸
着工程などを同時に行ったあと、圧雷素子片全正確に容
易に分割することにより、製造が容易で大量生産に最適
である厚みすべり圧電振動子の製法を提供するものであ
る。
以下、本発明の実姉例を詳細に説明する。
卸1図において、1け厚みすべり振動全行う圧電素子で
あシ、−例としてATカットの水晶板である。1 a、
、1a(d、水晶板1の主面であり、1b。
あシ、−例としてATカットの水晶板である。1 a、
、1a(d、水晶板1の主面であり、1b。
1bは端面である。そして主面1a、1aと端面1b、
1bとが交差して四つの稜1C・・・・・・が形成され
ている。水晶板1Fi〔O〕、〔D〕に示されるように
、四つの稜1C・・・・・・の部分に薄肉加工として傾
斜面加工が行わわ、四つの傾斜面2・・・・・・が形成
され、水晶板10両端部は中央部に対し2薄肉とされる
。つぎにCE)、CF)に示されるように、水晶板1の
一方の@1面1bより他方の端面1b近傍の薄肉の傾斜
面2の部分廿で複数の切溝3・・・・・・を形成し、多
数の水晶片4・・・・・・を連続した状態で形成する。
1bとが交差して四つの稜1C・・・・・・が形成され
ている。水晶板1Fi〔O〕、〔D〕に示されるように
、四つの稜1C・・・・・・の部分に薄肉加工として傾
斜面加工が行わわ、四つの傾斜面2・・・・・・が形成
され、水晶板10両端部は中央部に対し2薄肉とされる
。つぎにCE)、CF)に示されるように、水晶板1の
一方の@1面1bより他方の端面1b近傍の薄肉の傾斜
面2の部分廿で複数の切溝3・・・・・・を形成し、多
数の水晶片4・・・・・・を連続した状態で形成する。
切f3・・・・・・はマルチワイヤーソーやマルチブレ
ードソーなどにより研磨材を用いて切込甘ね、水晶板1
の他方の端面1bの極く近く捷で切込″!Fすする。こ
のあと水晶板1は洗浄および加工歪除去のためフッ酸中
に浸漬される。そして最後に電極l111(蒸着工程に
入る。ここでは電極膜の形状のマスクを水晶板1に当て
て真空蒸着装置によりCG)、(H)に示される駆動音
vJL5・・・・・、6・・・・・・を形成する。なお
フッ酸姓:浸漬するエツチング工程において水晶片4・
・・・・・の共振周波数のh1^I整を行ったシ、1だ
電棒胛蒸着工程において同様に調整するようにしてもよ
い。このあと、第2図タロのように分割線7に沿って水
晶片4全それぞれ分割する。
ードソーなどにより研磨材を用いて切込甘ね、水晶板1
の他方の端面1bの極く近く捷で切込″!Fすする。こ
のあと水晶板1は洗浄および加工歪除去のためフッ酸中
に浸漬される。そして最後に電極l111(蒸着工程に
入る。ここでは電極膜の形状のマスクを水晶板1に当て
て真空蒸着装置によりCG)、(H)に示される駆動音
vJL5・・・・・、6・・・・・・を形成する。なお
フッ酸姓:浸漬するエツチング工程において水晶片4・
・・・・・の共振周波数のh1^I整を行ったシ、1だ
電棒胛蒸着工程において同様に調整するようにしてもよ
い。このあと、第2図タロのように分割線7に沿って水
晶片4全それぞれ分割する。
このように、多数の水晶片4・・・・・・が連転;した
状態でエッチング工程、正極Bい蒸着工程なとができる
ため、水晶片の製造か容易に、し刀・も多義ノ同時に行
λる。甘た分割線7による水晶片4の分割は、この部分
が薄肉となっているため容易[、しかも正確に行える。
状態でエッチング工程、正極Bい蒸着工程なとができる
ため、水晶片の製造か容易に、し刀・も多義ノ同時に行
λる。甘た分割線7による水晶片4の分割は、この部分
が薄肉となっているため容易[、しかも正確に行える。
水晶片4は第3図示のように封止容払8に封入され、そ
の気密端子8aに片持保持され、駆11i11 電極5
,6の引出し部と接続されるが、端部が薄肉に形成さね
ているため振動エネルギーを中央部に集中でき、保持部
からの振製凄エネルギの漏洩を極めて少なくすることが
できる。また周波U温#′特性に直接関係するカット面
の角度に対しても、大きな水晶板の状態で加工するため
カット面角度の狂いが少なく々シ、周波数温度特性のバ
ラツギが極めて小さくなる。さらに分割線7の部分は水
晶片4の端部であるため、厚みすべJ)振動の特性にほ
とX7ど影響を与ンない。この振動にほとんど影響を与
えel/−Ili5囲は、実験によると水晶片の長手方
向の約10%以内である。L7たがって、切溝4・・・
・・・けこのφ0囲工す外(jljlの端面近く寸で切
込むことが望呻しい。
の気密端子8aに片持保持され、駆11i11 電極5
,6の引出し部と接続されるが、端部が薄肉に形成さね
ているため振動エネルギーを中央部に集中でき、保持部
からの振製凄エネルギの漏洩を極めて少なくすることが
できる。また周波U温#′特性に直接関係するカット面
の角度に対しても、大きな水晶板の状態で加工するため
カット面角度の狂いが少なく々シ、周波数温度特性のバ
ラツギが極めて小さくなる。さらに分割線7の部分は水
晶片4の端部であるため、厚みすべJ)振動の特性にほ
とX7ど影響を与ンない。この振動にほとんど影響を与
えel/−Ili5囲は、実験によると水晶片の長手方
向の約10%以内である。L7たがって、切溝4・・・
・・・けこのφ0囲工す外(jljlの端面近く寸で切
込むことが望呻しい。
なお、切溝4・・・・・は水晶板1の端面に対し直角に
形成したが、斜め方向に切込むこともできる。
形成したが、斜め方向に切込むこともできる。
また水晶片4け、両端保持するようにしてもよく、この
場合、駆動電極の引出し部はそわそわ反対側に引出すよ
うにする。
場合、駆動電極の引出し部はそわそわ反対側に引出すよ
うにする。
さらに水晶片4を分割線7により分割するとき同時に多
数を分割してもよいが、一つづつ分割して気密端子に固
定する2rどして、組立の自動化全図ることも可能であ
る。
数を分割してもよいが、一つづつ分割して気密端子に固
定する2rどして、組立の自動化全図ることも可能であ
る。
第4〜5図は、本発明の他の実抱例によって製造された
水晶振動子を示す。第4図示の水晶片14は、水晶板1
1の二つの主面と二つの端ifi、iとが交差する四つ
の稜11c・・・・・・の部分に薄肉加工として円柱面
加工を行い、円柱1ij12・・・・・・全形成して水
晶板11の両側部を中央部に対し薄肉としている。そし
て一方の端面工り他方の端面近傍の薄肉部首で複敬の切
溝(は1示せず。)を形成し、多倣の水晶片14・・・
・・・全連続状伸に形成し、駆動@4fi15 、 1
6を形成したあと分割したものである。
水晶振動子を示す。第4図示の水晶片14は、水晶板1
1の二つの主面と二つの端ifi、iとが交差する四つ
の稜11c・・・・・・の部分に薄肉加工として円柱面
加工を行い、円柱1ij12・・・・・・全形成して水
晶板11の両側部を中央部に対し薄肉としている。そし
て一方の端面工り他方の端面近傍の薄肉部首で複敬の切
溝(は1示せず。)を形成し、多倣の水晶片14・・・
・・・全連続状伸に形成し、駆動@4fi15 、 1
6を形成したあと分割したものである。
第5図示の水晶片24は、水晶板21の二つの主面と二
つの端面とが交差する四つの稜21c・・・・・・の部
分に薄肉加工として段差面加工全行い、段差面22・・
・・・・全形成して水晶板21の両端部を中央部に対し
薄肉としている。そして一方の端面より他方の端面近傍
の薄肉部首で複数グ1切満(図示せず。)l−形成し、
多数の水晶片24・・・・・を連続状態に形成し、駆勅
重極25.26全形成したあと分割したものである。
つの端面とが交差する四つの稜21c・・・・・・の部
分に薄肉加工として段差面加工全行い、段差面22・・
・・・・全形成して水晶板21の両端部を中央部に対し
薄肉としている。そして一方の端面より他方の端面近傍
の薄肉部首で複数グ1切満(図示せず。)l−形成し、
多数の水晶片24・・・・・を連続状態に形成し、駆勅
重極25.26全形成したあと分割したものである。
第6図示の水晶片34A、3413,34Cは、水晶板
31の二つの主面と二つの端面がり差する四つの稜σ)
うちの二つの稜310.3ICの部分に薄肉加工として
そねぞわ傾斜面加工1円柱面加工7段差面加工を行い、
傾斜面52A1円柱面52B1段差面51Cを形成し2
、一方の主面は平′MJ1面の着まとし、水晶1反31
の両端部を中央部に対し薄肉どしたものである。そして
一方の揮11面工りイ1!1方の端面近傍の薄肉部プで
検数の切溝(図示せず。)を・形成し、多数の水晶片3
4A・・・・・・。
31の二つの主面と二つの端面がり差する四つの稜σ)
うちの二つの稜310.3ICの部分に薄肉加工として
そねぞわ傾斜面加工1円柱面加工7段差面加工を行い、
傾斜面52A1円柱面52B1段差面51Cを形成し2
、一方の主面は平′MJ1面の着まとし、水晶1反31
の両端部を中央部に対し薄肉どしたものである。そして
一方の揮11面工りイ1!1方の端面近傍の薄肉部プで
検数の切溝(図示せず。)を・形成し、多数の水晶片3
4A・・・・・・。
34B・・・・・・、34C・・・・・・を連続状態に
形成[2、駆動電(ヴ35・・・・・・、56・・・・
・・を形成したあと分割したものである。上Fの第4〜
6図示の実施例における水晶片14,24.34A、3
4B、54Cも前記第1の実施例と同様の効果を有する
。
形成[2、駆動電(ヴ35・・・・・・、56・・・・
・・を形成したあと分割したものである。上Fの第4〜
6図示の実施例における水晶片14,24.34A、3
4B、54Cも前記第1の実施例と同様の効果を有する
。
在お上記した実施例けATカット水晶振動子について述
べ大が、イl]の厚みすべり圧雪振動子げも適用できる
ことは当然である。
べ大が、イl]の厚みすべり圧雪振動子げも適用できる
ことは当然である。
以上述べたように本発明によれば、容易にしかも大量に
製造でき、コストダウンが達成できる。
製造でき、コストダウンが達成できる。
1ブと水晶片の分割が薄肉部で行わわるため、正確
第1図は本発明の一実施例の工程全y、i” 1.、〔
A〕。 (’り、 [E)、 CG)は水晶板の一部切欠正面図
、CB)、 (T)l (I”)、 (H) はその右
側面ド1、筆2図は水晶板の要部拡大正面図、第3図り
刊止容簿を図示した状態の水晶片の拡大右側面図、第4
〜6 rAコ〜101図はそれぞれ本発明の他の実姉例
に、Cシ製造された水晶片の拡大右側面図である。 1、11.21.31・・・水晶板 1c、11c、21c、31c・・・稜2、52A・・
・傾斜面 12.32B・・・円柱面22.52’::
・・・段差面 3・・・切溝4、14.24.54A、
34B、 3411!・・・水晶片以上 出願人 株式会社 精 工 舎 代理人 弁理士 最上 務 ら b
A〕。 (’り、 [E)、 CG)は水晶板の一部切欠正面図
、CB)、 (T)l (I”)、 (H) はその右
側面ド1、筆2図は水晶板の要部拡大正面図、第3図り
刊止容簿を図示した状態の水晶片の拡大右側面図、第4
〜6 rAコ〜101図はそれぞれ本発明の他の実姉例
に、Cシ製造された水晶片の拡大右側面図である。 1、11.21.31・・・水晶板 1c、11c、21c、31c・・・稜2、52A・・
・傾斜面 12.32B・・・円柱面22.52’::
・・・段差面 3・・・切溝4、14.24.54A、
34B、 3411!・・・水晶片以上 出願人 株式会社 精 工 舎 代理人 弁理士 最上 務 ら b
Claims (4)
- (1)厚みすベシ振動を行う圧電素子板の二つの主面と
二つの端m1とが交差する四つの稜のうち少なくとも両
端部の二つの稜の部分に薄肉加工を行い、手配圧電素子
板の両端部を中央部に対し薄肉の薄肉部とし2、 上Be一方の端面より仙方の端面近傍の薄肉部首で複萎
文の切溝を形成し、多数の圧電素子片を連続状態に形成
し、 上nピ多数の圧電素子片に駆動電i全形成したあと分割
することを特徴とする厚みすべり圧電振動子の製法。 - (2) %Wr請求の範囲第1項において、薄肉加工は
傾斜面加工であることを特徴とする厚みすベシ圧電振動
子の製法。 - (3)特許請求の範囲第1項において、薄肉加工は円柱
面加工であることを特徴とする厚みすべり圧電振動子の
製法。 - (4)特許請求の範囲第1項において、薄肉加工は段差
面加工であることを特徴とする厚みずベシ圧電振動子の
製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17502783A JPS6066512A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 厚みすべり圧電振動子の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17502783A JPS6066512A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 厚みすべり圧電振動子の製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6066512A true JPS6066512A (ja) | 1985-04-16 |
Family
ID=15988932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17502783A Pending JPS6066512A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 厚みすべり圧電振動子の製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6066512A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5431292A (en) * | 1977-08-12 | 1979-03-08 | Kinsekisha Lab Ltd | Method of producing short vibrator |
JPS55163911A (en) * | 1979-06-07 | 1980-12-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Manufacture of vibrator |
JPS58127425A (ja) * | 1982-01-25 | 1983-07-29 | Kinseki Kk | 振動子用水晶素板とその製造方法 |
-
1983
- 1983-09-21 JP JP17502783A patent/JPS6066512A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5431292A (en) * | 1977-08-12 | 1979-03-08 | Kinsekisha Lab Ltd | Method of producing short vibrator |
JPS55163911A (en) * | 1979-06-07 | 1980-12-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Manufacture of vibrator |
JPS58127425A (ja) * | 1982-01-25 | 1983-07-29 | Kinseki Kk | 振動子用水晶素板とその製造方法 |
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