JPH0385755A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPH0385755A JPH0385755A JP1223865A JP22386589A JPH0385755A JP H0385755 A JPH0385755 A JP H0385755A JP 1223865 A JP1223865 A JP 1223865A JP 22386589 A JP22386589 A JP 22386589A JP H0385755 A JPH0385755 A JP H0385755A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、電源整流用樹脂封止型半導体装置に係わり、
特に、ブリッジ([3ridge)回路を描或する樹脂
封止型半導体装置に好適する。
特に、ブリッジ([3ridge)回路を描或する樹脂
封止型半導体装置に好適する。
(従来の技術)
ブリッジ回路を利用する電源整流樹脂封止型半導体装置
には、いわゆるメサ(Mesa)型ダイオード(Dio
de)またはブレイナー(Planer)型ダイオード
により形成するブリッジ回路を利用しており、その組立
方式は、幾多の変遷を経た上でリードフレーム(Lea
d Frame)を利用する手法も利用されている。こ
の電源整流用樹脂封止型半導体装置を、第1図の斜視図
及びこれをA−A線により切断した第2図の断面図更に
、半導体素子の構造を示す第3図断面図により説明する
。即ち、ブリッジ回路を構成する半導体素子として利用
するプレイナ型またはメサ型のダイオードが適用されて
いるが、順序不同であるが第3図断面図に示したブレイ
ナー型について説明する。
には、いわゆるメサ(Mesa)型ダイオード(Dio
de)またはブレイナー(Planer)型ダイオード
により形成するブリッジ回路を利用しており、その組立
方式は、幾多の変遷を経た上でリードフレーム(Lea
d Frame)を利用する手法も利用されている。こ
の電源整流用樹脂封止型半導体装置を、第1図の斜視図
及びこれをA−A線により切断した第2図の断面図更に
、半導体素子の構造を示す第3図断面図により説明する
。即ち、ブリッジ回路を構成する半導体素子として利用
するプレイナ型またはメサ型のダイオードが適用されて
いるが、順序不同であるが第3図断面図に示したブレイ
ナー型について説明する。
ダイオードに必要な、反対の極性を示すN及びP型の不
純物領域1.2が半導体素子を構成するシリコン半導体
基板(特に図示せず)に形成されており、更にN十領域
3も記載されている。このN十領域3は、半導体基板内
に多数のプレイナー型半導体素子を形成するのに必要な
分離領域として機能するものであると共に、N十領域3
に形成するダイシングライン(Dicing Line
図示せず)に沿ってプレイキング(Braking)処
理して個別の半導体素子を形成する役割も果たす。
純物領域1.2が半導体素子を構成するシリコン半導体
基板(特に図示せず)に形成されており、更にN十領域
3も記載されている。このN十領域3は、半導体基板内
に多数のプレイナー型半導体素子を形成するのに必要な
分離領域として機能するものであると共に、N十領域3
に形成するダイシングライン(Dicing Line
図示せず)に沿ってプレイキング(Braking)処
理して個別の半導体素子を形成する役割も果たす。
図にあるように、P十領域2とN十領域3には、夫々導
電性金属層4.5を被覆して電極層4.5を形成してい
る外に、常法の熱酸化法により熱酸化膜6を被覆後、フ
ォトリソグラフィ(Phot。
電性金属層4.5を被覆して電極層4.5を形成してい
る外に、常法の熱酸化法により熱酸化膜6を被覆後、フ
ォトリソグラフィ(Phot。
Lj thography)法によりパターニング(P
atternjng)された状態が図示されており、半
導体基板表面に露出する接合端部7.8を被覆している
。
atternjng)された状態が図示されており、半
導体基板表面に露出する接合端部7.8を被覆している
。
これに対してメサ型半導体素子では、図示していないが
接合端部をメサ状部分に露出しているのが特徴である。
接合端部をメサ状部分に露出しているのが特徴である。
即ち、半導体基板の厚さ方向に正または負ベベル(Be
vel)もしくは両方を備えた傾斜面を機械的または化
学的さらには両方を組合わせた手段によって形成する。
vel)もしくは両方を備えた傾斜面を機械的または化
学的さらには両方を組合わせた手段によって形成する。
そして、上記のようにこの傾斜面に露出したダイオード
に不可欠な接合端部をシリコンゴムなとのエンキャップ
(cncape)材で被覆・保護するのが通常である。
に不可欠な接合端部をシリコンゴムなとのエンキャップ
(cncape)材で被覆・保護するのが通常である。
ところで、このような構造を持ったダイオードの複数個
によりブリッジ回路を構成する電源整流樹脂封止型半導
体装置が市販されているが、その組立工程には、いわゆ
るリードフレームを利用する方式が採用されており、第
1図の斜視図及びこれをA−A線で切断した断面図によ
り説明する。
によりブリッジ回路を構成する電源整流樹脂封止型半導
体装置が市販されているが、その組立工程には、いわゆ
るリードフレームを利用する方式が採用されており、第
1図の斜視図及びこれをA−A線で切断した断面図によ
り説明する。
コネクター(Connecter) I Oは、インナ
ーリード(Inner Lead) 9に半田層12に
より固着して一体としており、ブリッジ回路に必要な4
個のブレイナーまたはメサ型半導体素子13・・・を半
田層12・・・を介してコネクターlOに固着する。更
に、このように半導体素子13・・・を取付けたコネク
ター10.10には、リードフレーム14に形成したダ
イステージ(DieStage)15に各半導体素子1
3.13の裏面電極5.5を半田層12を介して固着し
て互いに相対向するように取付ける。
ーリード(Inner Lead) 9に半田層12に
より固着して一体としており、ブリッジ回路に必要な4
個のブレイナーまたはメサ型半導体素子13・・・を半
田層12・・・を介してコネクターlOに固着する。更
に、このように半導体素子13・・・を取付けたコネク
ター10.10には、リードフレーム14に形成したダ
イステージ(DieStage)15に各半導体素子1
3.13の裏面電極5.5を半田層12を介して固着し
て互いに相対向するように取付ける。
次に、公知のトランスファーモールド(Transf−
er Mo1d)法により樹脂封止工程を施して封止樹
脂層16を被覆して、電源整流樹脂封止型半導体装を完
成している。
er Mo1d)法により樹脂封止工程を施して封止樹
脂層16を被覆して、電源整流樹脂封止型半導体装を完
成している。
(発明が解決しようとする課題)
このような構造の樹脂封止型半導体装置にあっては、半
田層12による取付工程が問題となる。
田層12による取付工程が問題となる。
と言うのは、P+側電極4をダイステージ15に取付け
る際、半田層12が平坦なダイステージ15部分に広が
って、絶縁が必要なN十領域3、P領域2部分に接触す
る頻度が大きい。このため短絡不良が起こると共に、半
導体素子に必要な耐圧が取れない。
る際、半田層12が平坦なダイステージ15部分に広が
って、絶縁が必要なN十領域3、P領域2部分に接触す
る頻度が大きい。このため短絡不良が起こると共に、半
導体素子に必要な耐圧が取れない。
更に、半田層と半導体素子の接触面積が一定でないため
に応力バランスが崩れるためにしばしば割れる事故が発
生した。
に応力バランスが崩れるためにしばしば割れる事故が発
生した。
本発明は、このような事情により成されたもので、特に
、半田の拡がりによるP+、N+側電極との短絡不良及
び半導体素子を形成する半導体基板と、ダイステージや
コネクター間の接合面積不均一によるクラックを防止す
ることを目的とするものである。
、半田の拡がりによるP+、N+側電極との短絡不良及
び半導体素子を形成する半導体基板と、ダイステージや
コネクター間の接合面積不均一によるクラックを防止す
ることを目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
半導体基板内にPN接合を形成する複数の半導体素子と
、このPN接合を構成する相反する導電型の不純物領域
に夫々形成する電極と、この電極に対応するダイステー
ジの両面に形成するエンボス部と、この両エンボス部と
各電極間に形成する第1固着層と、エンボス部と固着し
ていない各電極とコネクター間に形成する第2固着層と
、このコネクターに接続するリードと、これらを被覆す
る封止樹脂層に本発明に係わる樹脂封止型半導体装置の
特徴がある。
、このPN接合を構成する相反する導電型の不純物領域
に夫々形成する電極と、この電極に対応するダイステー
ジの両面に形成するエンボス部と、この両エンボス部と
各電極間に形成する第1固着層と、エンボス部と固着し
ていない各電極とコネクター間に形成する第2固着層と
、このコネクターに接続するリードと、これらを被覆す
る封止樹脂層に本発明に係わる樹脂封止型半導体装置の
特徴がある。
(作 用)
このように本発明では、半田層の拡がりをエンボス範囲
に抑制できるので、厚さを従来より大きくして、疲労特
性を改善できる。更に、半導体素子に形成する電極との
半田付面積を一定に維持することができるために、面積
差による応力も防止でき、ひいてはクラック発生も改善
できる。
に抑制できるので、厚さを従来より大きくして、疲労特
性を改善できる。更に、半導体素子に形成する電極との
半田付面積を一定に維持することができるために、面積
差による応力も防止でき、ひいてはクラック発生も改善
できる。
(実施例)
以下本発明に係わる一実施例を第4図〜第6図を参照し
て説明するが、第4図にブレイナー型ダイオード20、
第6図にメサ型ダイオード21の使用例が示されており
、メサ型ダイオードについて先ず説明する。図に明らか
にされていないが、第3図に明らかなようにN−型シリ
コン半導体基板表面に常法により被着した熱酸化膜には
、フォトリソグラフィ法によるバターニング工程を施し
て窓を形成後反対導電型の不純物例えばBを拡散または
イオン注入法により導入してP生型領域を設置すると共
に接合を形成するが、メサ型構造の特徴として接合端部
をシリコン半導体基板の厚さ方向に導出する。更に、図
示していないが、シリコン半導体基板の厚さ方向には、
正、負または両者を併用した傾斜ベベル面を形式して接
合端部と交差させて素子の耐圧特性を満足させる。この
傾斜面にはシリコンゴムなどからなる材料をエンキャッ
プ処理して保護するのは勿論である。
て説明するが、第4図にブレイナー型ダイオード20、
第6図にメサ型ダイオード21の使用例が示されており
、メサ型ダイオードについて先ず説明する。図に明らか
にされていないが、第3図に明らかなようにN−型シリ
コン半導体基板表面に常法により被着した熱酸化膜には
、フォトリソグラフィ法によるバターニング工程を施し
て窓を形成後反対導電型の不純物例えばBを拡散または
イオン注入法により導入してP生型領域を設置すると共
に接合を形成するが、メサ型構造の特徴として接合端部
をシリコン半導体基板の厚さ方向に導出する。更に、図
示していないが、シリコン半導体基板の厚さ方向には、
正、負または両者を併用した傾斜ベベル面を形式して接
合端部と交差させて素子の耐圧特性を満足させる。この
傾斜面にはシリコンゴムなどからなる材料をエンキャッ
プ処理して保護するのは勿論である。
傾斜面の角度及び方向は、素子特性即ち求める耐圧と各
領域の不純物濃度により決定されるのでいちがいには決
められない。これに対してブレイナー型ダイオード20
は、第3図に示した構造通りであるので説明は省略する
。
領域の不純物濃度により決定されるのでいちがいには決
められない。これに対してブレイナー型ダイオード20
は、第3図に示した構造通りであるので説明は省略する
。
本発明では、半導体素子であるブレイナー型ダイオード
20またはメサ型ダイオード21を、リードフレームに
形成するダイステージ22と、コネクタ23の一部を構
成するインナーリード24に一体に取付けたフォーミン
グリード25とに半田層即ち第1固着層26を介して設
置するが、いずれも後述するエンボス(Emboss)
部30a 、 30bを形成するのが特徴である。即ち
、第5図に明らかにしたように、銅または銅合金などに
例えばプレス(Press)工程を施してDIP (D
ual In Line Package)用リードフ
レーム28を利用する。リードフレーム28の材質及び
形状は、これに限定されるものでなく、DIPまたはS
IP(Single In Line Package
)との混合形式や、鉄または鉄・ニッケル合金製でも良
いことは勿論である。このようなリードフレーム28に
おけるダイステージ22形成予定位置の外側を塑性加工
して金属材料が移動することによって環状の段差部27
とその内側に突出したエンボス部30a 、 30bが
形成される(第5図参照、以後突出したダイステージ部
分をダイステージと記載する)。
20またはメサ型ダイオード21を、リードフレームに
形成するダイステージ22と、コネクタ23の一部を構
成するインナーリード24に一体に取付けたフォーミン
グリード25とに半田層即ち第1固着層26を介して設
置するが、いずれも後述するエンボス(Emboss)
部30a 、 30bを形成するのが特徴である。即ち
、第5図に明らかにしたように、銅または銅合金などに
例えばプレス(Press)工程を施してDIP (D
ual In Line Package)用リードフ
レーム28を利用する。リードフレーム28の材質及び
形状は、これに限定されるものでなく、DIPまたはS
IP(Single In Line Package
)との混合形式や、鉄または鉄・ニッケル合金製でも良
いことは勿論である。このようなリードフレーム28に
おけるダイステージ22形成予定位置の外側を塑性加工
して金属材料が移動することによって環状の段差部27
とその内側に突出したエンボス部30a 、 30bが
形成される(第5図参照、以後突出したダイステージ部
分をダイステージと記載する)。
ところで、電源整流樹脂封止型半導体装置に必要なブリ
ッジ回路用としてブレイナー型ダイオド20をリードフ
レーム28とコネクター25により組立てるが、最小4
個のブレイナー型ダイオード20でブリッジ回路を形成
する。このために第4図にあるように単一のブレイナー
型ダイオード20を夫々半田層即ち第2の固着層26に
より固着したコネクター25を用意し、これをインナー
リード23.23によって一体とする。
ッジ回路用としてブレイナー型ダイオド20をリードフ
レーム28とコネクター25により組立てるが、最小4
個のブレイナー型ダイオード20でブリッジ回路を形成
する。このために第4図にあるように単一のブレイナー
型ダイオード20を夫々半田層即ち第2の固着層26に
より固着したコネクター25を用意し、これをインナー
リード23.23によって一体とする。
このような組立工程を終えてからトランスファモールド
法により樹脂封止層29を被覆して、電源整流樹脂封止
型半導体装置を完成する。第6図には、メサ型ダイオー
ド21を4個利用して形成した電源整流樹脂封止型半導
体装置の断面図を示したが、第4図とダイオードの種類
を除いては全く同様なので説明は省略する。なお、完成
した状態は、第1図と同様である。
法により樹脂封止層29を被覆して、電源整流樹脂封止
型半導体装置を完成する。第6図には、メサ型ダイオー
ド21を4個利用して形成した電源整流樹脂封止型半導
体装置の断面図を示したが、第4図とダイオードの種類
を除いては全く同様なので説明は省略する。なお、完成
した状態は、第1図と同様である。
以上詳述したように、本発明ではダイステージにダイオ
ードを半田により固着する際、半田の拡がりをエンボス
部の範囲内に抑えられるので、半導体素子であるダイオ
ードのP側電極と一体となる半田層が流れてN中領域に
達する事故が防止できる。このために、半田層の量を多
くして、半導体素子即ち電源整流樹脂封止型半導体装置
に要求される熱疲労特性を改善することができる。
ードを半田により固着する際、半田の拡がりをエンボス
部の範囲内に抑えられるので、半導体素子であるダイオ
ードのP側電極と一体となる半田層が流れてN中領域に
達する事故が防止できる。このために、半田層の量を多
くして、半導体素子即ち電源整流樹脂封止型半導体装置
に要求される熱疲労特性を改善することができる。
しかも、半導体基板を利用する半導体素子の両面に形式
した電極に固着する半田層間に形成される変成層範囲を
ほぼ一定に抑制できるので、その差により発生する応力
に起因するクラック(Crack)も防止できる。この
ような利点は、ブレイナー型とメサ型の違いによらず達
成されることを付記しておく。
した電極に固着する半田層間に形成される変成層範囲を
ほぼ一定に抑制できるので、その差により発生する応力
に起因するクラック(Crack)も防止できる。この
ような利点は、ブレイナー型とメサ型の違いによらず達
成されることを付記しておく。
第1図は、従来の車輌用電源整流樹脂封止型半導体装置
の斜視図、第2図は、第1図をA−A線で切断した断面
図、第3図は、ブレイナー型ダイオードの断面図、第4
図乃至第6図は、本発明0 に係わる車輌用電源整流樹脂封止型半導体装置の要部を
示す断面図である。 1〜3・・・不純物領域、 4.5・・・電極、 6・・・熱酸化膜、 7.8・・・接合端部、 9.14.23.28・・・インナーリード、10、2
5・・・コネクタ 12.26・・・第1、第2半田層、 13.20.21・・・半導体素子、 15.22・・・ダイステージ、 27・・・段差部、 30a 、 30b・・・エンボス。
の斜視図、第2図は、第1図をA−A線で切断した断面
図、第3図は、ブレイナー型ダイオードの断面図、第4
図乃至第6図は、本発明0 に係わる車輌用電源整流樹脂封止型半導体装置の要部を
示す断面図である。 1〜3・・・不純物領域、 4.5・・・電極、 6・・・熱酸化膜、 7.8・・・接合端部、 9.14.23.28・・・インナーリード、10、2
5・・・コネクタ 12.26・・・第1、第2半田層、 13.20.21・・・半導体素子、 15.22・・・ダイステージ、 27・・・段差部、 30a 、 30b・・・エンボス。
Claims (1)
- 半導体基板内にPN接合を形成する複数の半導体素子と
、このPN接合を構成する相反する導電形の不純物領域
に夫々形成する電極と、この電極に対応するダイステー
ジの両面に形成するエンボス部と、この両エンボス部と
各電極間に形成する第1固着層と、エンボス部と固着し
ていない各電極とコネクター間に形成する第2固着層と
、このコネクターに接続するリードと、これらを被覆す
る封止樹脂層を具備することを特徴とする樹脂封止型半
導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1223865A JPH0671062B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 樹脂封止型半導体装置 |
US07/571,972 US5218231A (en) | 1989-08-30 | 1990-08-24 | Mold-type semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1223865A JPH0671062B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0385755A true JPH0385755A (ja) | 1991-04-10 |
JPH0671062B2 JPH0671062B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=16804920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1223865A Expired - Lifetime JPH0671062B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5218231A (ja) |
JP (1) | JPH0671062B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002035613A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-05-02 | Josuke Nakata | Light-emitting or light-detecting semiconductor module and method of manufacture thereof |
DE10303463A1 (de) * | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterbauelement mit wenigstens zwei in einem Gehäuse integrierten und durch einen gemeinsamen Kontaktbügel kontakierten Chips |
JP2016036047A (ja) * | 2015-11-04 | 2016-03-17 | トヨタ自動車株式会社 | パワーモジュール |
Families Citing this family (139)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2829188B2 (ja) * | 1992-04-27 | 1998-11-25 | 株式会社東芝 | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH07230733A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体アレスタ |
US5512784A (en) * | 1994-04-19 | 1996-04-30 | Jerrold Communications, General Instrument Corporation | Surge protector semiconductor subassembly for 3-lead transistor aotline package |
US5821611A (en) * | 1994-11-07 | 1998-10-13 | Rohm Co. Ltd. | Semiconductor device and process and leadframe for making the same |
US5521124A (en) * | 1995-04-04 | 1996-05-28 | Tai; Chao-Chi | Method of fabricating plastic transfer molded semiconductor silicone bridge rectifiers with radial terminals |
FR2742000B1 (fr) * | 1995-11-30 | 1998-04-24 | Sgs Thomson Microelectronics | Composant semiconducteur a montage par brasure |
KR100192180B1 (ko) * | 1996-03-06 | 1999-06-15 | 김영환 | 멀티-레이어 버텀 리드 패키지 |
US6147410A (en) * | 1998-03-02 | 2000-11-14 | Motorola, Inc. | Electronic component and method of manufacture |
US7005326B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-02-28 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
US7030474B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-04-18 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package |
US7112474B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-09-26 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
US6893900B1 (en) | 1998-06-24 | 2005-05-17 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
US7332375B1 (en) | 1998-06-24 | 2008-02-19 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
US7071541B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-07-04 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package |
US6143981A (en) | 1998-06-24 | 2000-11-07 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package |
US6040626A (en) * | 1998-09-25 | 2000-03-21 | International Rectifier Corp. | Semiconductor package |
US6396127B1 (en) * | 1998-09-25 | 2002-05-28 | International Rectifier Corporation | Semiconductor package |
JP2000164788A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-16 | Anam Semiconductor Inc | 半導体パッケ―ジ用リ―ドフレ―ムとこれを用いた半導体パッケ―ジ及びその製造方法 |
KR20010037247A (ko) | 1999-10-15 | 2001-05-07 | 마이클 디. 오브라이언 | 반도체패키지 |
KR100526844B1 (ko) * | 1999-10-15 | 2005-11-08 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 및 그 제조방법 |
KR100379089B1 (ko) | 1999-10-15 | 2003-04-08 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 리드프레임 및 이를 이용한 반도체패키지 |
KR100403142B1 (ko) * | 1999-10-15 | 2003-10-30 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 |
US6329714B1 (en) * | 1999-11-01 | 2001-12-11 | General Semiconductor, Inc. | Hybrid S.C. devices and method of manufacture thereof |
US6580159B1 (en) | 1999-11-05 | 2003-06-17 | Amkor Technology, Inc. | Integrated circuit device packages and substrates for making the packages |
US20070176287A1 (en) * | 1999-11-05 | 2007-08-02 | Crowley Sean T | Thin integrated circuit device packages for improved radio frequency performance |
US6847103B1 (en) | 1999-11-09 | 2005-01-25 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with exposed die pad and body-locking leadframe |
US6459147B1 (en) * | 2000-03-27 | 2002-10-01 | Amkor Technology, Inc. | Attaching semiconductor dies to substrates with conductive straps |
US6521982B1 (en) | 2000-06-02 | 2003-02-18 | Amkor Technology, Inc. | Packaging high power integrated circuit devices |
US6319755B1 (en) | 1999-12-01 | 2001-11-20 | Amkor Technology, Inc. | Conductive strap attachment process that allows electrical connector between an integrated circuit die and leadframe |
KR100421774B1 (ko) | 1999-12-16 | 2004-03-10 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 및 그 제조 방법 |
US6639308B1 (en) * | 1999-12-16 | 2003-10-28 | Amkor Technology, Inc. | Near chip size semiconductor package |
KR100583494B1 (ko) * | 2000-03-25 | 2006-05-24 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 |
US7042068B2 (en) * | 2000-04-27 | 2006-05-09 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe and semiconductor package made using the leadframe |
US6566164B1 (en) | 2000-12-07 | 2003-05-20 | Amkor Technology, Inc. | Exposed copper strap in a semiconductor package |
KR20020058209A (ko) * | 2000-12-29 | 2002-07-12 | 마이클 디. 오브라이언 | 반도체패키지 |
KR100731007B1 (ko) * | 2001-01-15 | 2007-06-22 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 적층형 반도체 패키지 |
US6545345B1 (en) | 2001-03-20 | 2003-04-08 | Amkor Technology, Inc. | Mounting for a package containing a chip |
US6967395B1 (en) | 2001-03-20 | 2005-11-22 | Amkor Technology, Inc. | Mounting for a package containing a chip |
KR100393448B1 (ko) | 2001-03-27 | 2003-08-02 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
KR100369393B1 (ko) | 2001-03-27 | 2003-02-05 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 리드프레임 및 이를 이용한 반도체패키지와 그 제조 방법 |
US6597059B1 (en) | 2001-04-04 | 2003-07-22 | Amkor Technology, Inc. | Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package |
US7045883B1 (en) | 2001-04-04 | 2006-05-16 | Amkor Technology, Inc. | Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package and method of making same |
US7064009B1 (en) | 2001-04-04 | 2006-06-20 | Amkor Technology, Inc. | Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package and method of making same |
JP4112816B2 (ja) * | 2001-04-18 | 2008-07-02 | 株式会社東芝 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US6528880B1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-03-04 | Lovoltech Inc. | Semiconductor package for power JFET having copper plate for source and ribbon contact for gate |
US6900527B1 (en) | 2001-09-19 | 2005-05-31 | Amkor Technology, Inc. | Lead-frame method and assembly for interconnecting circuits within a circuit module |
US7485952B1 (en) | 2001-09-19 | 2009-02-03 | Amkor Technology, Inc. | Drop resistant bumpers for fully molded memory cards |
KR100449241B1 (ko) * | 2001-09-20 | 2004-09-18 | (주)코브 테크놀로지 | 브리지 다이오드 및 그 제조 방법 |
US6630726B1 (en) | 2001-11-07 | 2003-10-07 | Amkor Technology, Inc. | Power semiconductor package with strap |
JP3780230B2 (ja) * | 2002-07-03 | 2006-05-31 | 株式会社日立製作所 | 半導体モジュール及び電力変換装置 |
US6818973B1 (en) | 2002-09-09 | 2004-11-16 | Amkor Technology, Inc. | Exposed lead QFP package fabricated through the use of a partial saw process |
US6919620B1 (en) | 2002-09-17 | 2005-07-19 | Amkor Technology, Inc. | Compact flash memory card with clamshell leadframe |
US7190062B1 (en) | 2004-06-15 | 2007-03-13 | Amkor Technology, Inc. | Embedded leadframe semiconductor package |
US6905914B1 (en) | 2002-11-08 | 2005-06-14 | Amkor Technology, Inc. | Wafer level package and fabrication method |
US7361533B1 (en) | 2002-11-08 | 2008-04-22 | Amkor Technology, Inc. | Stacked embedded leadframe |
US7723210B2 (en) | 2002-11-08 | 2010-05-25 | Amkor Technology, Inc. | Direct-write wafer level chip scale package |
US6798047B1 (en) | 2002-12-26 | 2004-09-28 | Amkor Technology, Inc. | Pre-molded leadframe |
US6847099B1 (en) | 2003-02-05 | 2005-01-25 | Amkor Technology Inc. | Offset etched corner leads for semiconductor package |
US6943455B1 (en) * | 2003-02-27 | 2005-09-13 | Power-One Limited | Packaging system for power supplies |
US6750545B1 (en) | 2003-02-28 | 2004-06-15 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package capable of die stacking |
US6927483B1 (en) | 2003-03-07 | 2005-08-09 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package exhibiting efficient lead placement |
US7001799B1 (en) | 2003-03-13 | 2006-02-21 | Amkor Technology, Inc. | Method of making a leadframe for semiconductor devices |
US6794740B1 (en) | 2003-03-13 | 2004-09-21 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe package for semiconductor devices |
US7095103B1 (en) | 2003-05-01 | 2006-08-22 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe based memory card |
US7008825B1 (en) | 2003-05-27 | 2006-03-07 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe strip having enhanced testability |
US6897550B1 (en) | 2003-06-11 | 2005-05-24 | Amkor Technology, Inc. | Fully-molded leadframe stand-off feature |
US7245007B1 (en) | 2003-09-18 | 2007-07-17 | Amkor Technology, Inc. | Exposed lead interposer leadframe package |
US6921967B2 (en) * | 2003-09-24 | 2005-07-26 | Amkor Technology, Inc. | Reinforced die pad support structure |
US7138707B1 (en) | 2003-10-21 | 2006-11-21 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package including leads and conductive posts for providing increased functionality |
US7144517B1 (en) | 2003-11-07 | 2006-12-05 | Amkor Technology, Inc. | Manufacturing method for leadframe and for semiconductor package using the leadframe |
US7211879B1 (en) | 2003-11-12 | 2007-05-01 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with chamfered corners and method of manufacturing the same |
US7057268B1 (en) | 2004-01-27 | 2006-06-06 | Amkor Technology, Inc. | Cavity case with clip/plug for use on multi-media card |
US7091594B1 (en) | 2004-01-28 | 2006-08-15 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe type semiconductor package having reduced inductance and its manufacturing method |
US20080003722A1 (en) * | 2004-04-15 | 2008-01-03 | Chun David D | Transfer mold solution for molded multi-media card |
US7202554B1 (en) | 2004-08-19 | 2007-04-10 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and its manufacturing method |
US7217991B1 (en) | 2004-10-22 | 2007-05-15 | Amkor Technology, Inc. | Fan-in leadframe semiconductor package |
US7507603B1 (en) | 2005-12-02 | 2009-03-24 | Amkor Technology, Inc. | Etch singulated semiconductor package |
US7572681B1 (en) | 2005-12-08 | 2009-08-11 | Amkor Technology, Inc. | Embedded electronic component package |
US7902660B1 (en) | 2006-05-24 | 2011-03-08 | Amkor Technology, Inc. | Substrate for semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7968998B1 (en) | 2006-06-21 | 2011-06-28 | Amkor Technology, Inc. | Side leaded, bottom exposed pad and bottom exposed lead fusion quad flat semiconductor package |
US7741703B2 (en) * | 2006-10-06 | 2010-06-22 | Vishay General Semiconductor Llc | Electronic device and lead frame |
US7687893B2 (en) | 2006-12-27 | 2010-03-30 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package having leadframe with exposed anchor pads |
US7829990B1 (en) | 2007-01-18 | 2010-11-09 | Amkor Technology, Inc. | Stackable semiconductor package including laminate interposer |
US7982297B1 (en) | 2007-03-06 | 2011-07-19 | Amkor Technology, Inc. | Stackable semiconductor package having partially exposed semiconductor die and method of fabricating the same |
US7977774B2 (en) | 2007-07-10 | 2011-07-12 | Amkor Technology, Inc. | Fusion quad flat semiconductor package |
US7687899B1 (en) | 2007-08-07 | 2010-03-30 | Amkor Technology, Inc. | Dual laminate package structure with embedded elements |
US7777351B1 (en) | 2007-10-01 | 2010-08-17 | Amkor Technology, Inc. | Thin stacked interposer package |
US8089159B1 (en) | 2007-10-03 | 2012-01-03 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with increased I/O density and method of making the same |
US7847386B1 (en) | 2007-11-05 | 2010-12-07 | Amkor Technology, Inc. | Reduced size stacked semiconductor package and method of making the same |
US7956453B1 (en) | 2008-01-16 | 2011-06-07 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with patterning layer and method of making same |
US7723852B1 (en) | 2008-01-21 | 2010-05-25 | Amkor Technology, Inc. | Stacked semiconductor package and method of making same |
US9147649B2 (en) * | 2008-01-24 | 2015-09-29 | Infineon Technologies Ag | Multi-chip module |
US8067821B1 (en) | 2008-04-10 | 2011-11-29 | Amkor Technology, Inc. | Flat semiconductor package with half package molding |
US7768135B1 (en) | 2008-04-17 | 2010-08-03 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with fast power-up cycle and method of making same |
US7808084B1 (en) | 2008-05-06 | 2010-10-05 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with half-etched locking features |
US8125064B1 (en) | 2008-07-28 | 2012-02-28 | Amkor Technology, Inc. | Increased I/O semiconductor package and method of making same |
US8184453B1 (en) | 2008-07-31 | 2012-05-22 | Amkor Technology, Inc. | Increased capacity semiconductor package |
US7847392B1 (en) | 2008-09-30 | 2010-12-07 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe with increased I/O |
US7989933B1 (en) | 2008-10-06 | 2011-08-02 | Amkor Technology, Inc. | Increased I/O leadframe and semiconductor device including same |
US8008758B1 (en) | 2008-10-27 | 2011-08-30 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with increased I/O leadframe |
US8089145B1 (en) | 2008-11-17 | 2012-01-03 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including increased capacity leadframe |
US8072050B1 (en) | 2008-11-18 | 2011-12-06 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with increased I/O leadframe including passive device |
US7875963B1 (en) | 2008-11-21 | 2011-01-25 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe having power bars and increased I/O |
US7982298B1 (en) | 2008-12-03 | 2011-07-19 | Amkor Technology, Inc. | Package in package semiconductor device |
US8487420B1 (en) | 2008-12-08 | 2013-07-16 | Amkor Technology, Inc. | Package in package semiconductor device with film over wire |
US20170117214A1 (en) | 2009-01-05 | 2017-04-27 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with through-mold via |
US8680656B1 (en) | 2009-01-05 | 2014-03-25 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe structure for concentrated photovoltaic receiver package |
US8058715B1 (en) | 2009-01-09 | 2011-11-15 | Amkor Technology, Inc. | Package in package device for RF transceiver module |
US8026589B1 (en) | 2009-02-23 | 2011-09-27 | Amkor Technology, Inc. | Reduced profile stackable semiconductor package |
US7960818B1 (en) | 2009-03-04 | 2011-06-14 | Amkor Technology, Inc. | Conformal shield on punch QFN semiconductor package |
US8575742B1 (en) | 2009-04-06 | 2013-11-05 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with increased I/O leadframe including power bars |
US8796561B1 (en) | 2009-10-05 | 2014-08-05 | Amkor Technology, Inc. | Fan out build up substrate stackable package and method |
US8937381B1 (en) | 2009-12-03 | 2015-01-20 | Amkor Technology, Inc. | Thin stackable package and method |
US9691734B1 (en) | 2009-12-07 | 2017-06-27 | Amkor Technology, Inc. | Method of forming a plurality of electronic component packages |
US8324511B1 (en) | 2010-04-06 | 2012-12-04 | Amkor Technology, Inc. | Through via nub reveal method and structure |
US8294276B1 (en) | 2010-05-27 | 2012-10-23 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device and fabricating method thereof |
US8440554B1 (en) | 2010-08-02 | 2013-05-14 | Amkor Technology, Inc. | Through via connected backside embedded circuit features structure and method |
US8487445B1 (en) | 2010-10-05 | 2013-07-16 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device having through electrodes protruding from dielectric layer |
US8791501B1 (en) | 2010-12-03 | 2014-07-29 | Amkor Technology, Inc. | Integrated passive device structure and method |
US8674485B1 (en) | 2010-12-08 | 2014-03-18 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe with downsets |
CN102157471B (zh) * | 2010-12-29 | 2012-08-15 | 常州星海电子有限公司 | 双层叠片式贴片型整流全桥 |
US8390130B1 (en) | 2011-01-06 | 2013-03-05 | Amkor Technology, Inc. | Through via recessed reveal structure and method |
CN102593108B (zh) * | 2011-01-18 | 2014-08-20 | 台达电子工业股份有限公司 | 功率半导体封装结构及其制造方法 |
TWI557183B (zh) | 2015-12-16 | 2016-11-11 | 財團法人工業技術研究院 | 矽氧烷組成物、以及包含其之光電裝置 |
US8648450B1 (en) | 2011-01-27 | 2014-02-11 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe with a combination of leads and lands |
US8552548B1 (en) | 2011-11-29 | 2013-10-08 | Amkor Technology, Inc. | Conductive pad on protruding through electrode semiconductor device |
US9704725B1 (en) | 2012-03-06 | 2017-07-11 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with leadframe configured to facilitate reduced burr formation |
US9048298B1 (en) | 2012-03-29 | 2015-06-02 | Amkor Technology, Inc. | Backside warpage control structure and fabrication method |
US9129943B1 (en) | 2012-03-29 | 2015-09-08 | Amkor Technology, Inc. | Embedded component package and fabrication method |
KR101486790B1 (ko) | 2013-05-02 | 2015-01-28 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 강성보강부를 갖는 마이크로 리드프레임 |
KR101563911B1 (ko) | 2013-10-24 | 2015-10-28 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 패키지 |
DE102014104819A1 (de) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Träger und/oder Clip für Halbleiterelemente, Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung |
US9673122B2 (en) | 2014-05-02 | 2017-06-06 | Amkor Technology, Inc. | Micro lead frame structure having reinforcing portions and method |
CN106206528B (zh) * | 2016-09-07 | 2018-08-28 | 四川上特科技有限公司 | 基于双向tvs高压脉冲抑制的整流桥及其制作工艺 |
WO2018211680A1 (ja) * | 2017-05-19 | 2018-11-22 | 新電元工業株式会社 | 電子モジュール |
JP6511584B2 (ja) * | 2017-05-19 | 2019-05-15 | 新電元工業株式会社 | チップモジュールの製造方法 |
JP6463558B1 (ja) | 2017-05-19 | 2019-02-06 | 新電元工業株式会社 | 電子モジュール、リードフレーム及び電子モジュールの製造方法 |
JP6522243B1 (ja) | 2017-07-14 | 2019-05-29 | 新電元工業株式会社 | 電子モジュール |
US11658109B2 (en) | 2017-07-14 | 2023-05-23 | Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. | Electronic module |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3995310A (en) * | 1974-12-23 | 1976-11-30 | General Electric Company | Semiconductor assembly including mounting plate with recessed periphery |
JPS5871633A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-04-28 | Toshiba Corp | 圧接型半導体装置 |
US4607277A (en) * | 1982-03-16 | 1986-08-19 | International Business Machines Corporation | Semiconductor assembly employing noneutectic alloy for heat dissipation |
JPS60101958A (ja) * | 1983-11-08 | 1985-06-06 | Rohm Co Ltd | ダイオ−ド装置の製造方法 |
CH668667A5 (de) * | 1985-11-15 | 1989-01-13 | Bbc Brown Boveri & Cie | Leistungshalbleitermodul. |
US4724474A (en) * | 1986-12-05 | 1988-02-09 | Zenith Electronics Corporation | Power bridge rectifier assembly |
JPS63150954A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-23 | Toshiba Corp | ブリツジ型半導体装置 |
US4935803A (en) * | 1988-09-09 | 1990-06-19 | Motorola, Inc. | Self-centering electrode for power devices |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP1223865A patent/JPH0671062B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-08-24 US US07/571,972 patent/US5218231A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002035613A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-05-02 | Josuke Nakata | Light-emitting or light-detecting semiconductor module and method of manufacture thereof |
AU773471B2 (en) * | 2000-10-20 | 2004-05-27 | Sphelar Power Corporation | Light-emitting or light-detecting semiconductor module and method of manufacture thereof |
US7205626B1 (en) * | 2000-10-20 | 2007-04-17 | Josuke Nakata | Light-emitting or light-receiving with plurality of particle-shaped semiconductor devices having light-emitting or light-receiving properties |
DE10303463A1 (de) * | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterbauelement mit wenigstens zwei in einem Gehäuse integrierten und durch einen gemeinsamen Kontaktbügel kontakierten Chips |
US7053474B2 (en) | 2003-01-29 | 2006-05-30 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor component having at least two chips which are integrated in a housing and with which contact is made by a common contact chip |
DE10303463B4 (de) * | 2003-01-29 | 2006-06-14 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterbauelement mit wenigstens zwei in einem Gehäuse integrierten und durch einen gemeinsamen Kontaktbügel kontaktierten Chips |
JP2016036047A (ja) * | 2015-11-04 | 2016-03-17 | トヨタ自動車株式会社 | パワーモジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0671062B2 (ja) | 1994-09-07 |
US5218231A (en) | 1993-06-08 |
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