JPH0345563B2 - - Google Patents
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- JPH0345563B2 JPH0345563B2 JP56189573A JP18957381A JPH0345563B2 JP H0345563 B2 JPH0345563 B2 JP H0345563B2 JP 56189573 A JP56189573 A JP 56189573A JP 18957381 A JP18957381 A JP 18957381A JP H0345563 B2 JPH0345563 B2 JP H0345563B2
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- electrode
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- dielectric substrate
- circuit
- fet
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/60—Amplifiers in which coupling networks have distributed constants, e.g. with waveguide resonators
- H03F3/601—Amplifiers in which coupling networks have distributed constants, e.g. with waveguide resonators using FET's, e.g. GaAs FET's
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microwave Amplifiers (AREA)
- Waveguide Connection Structure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はマイクロ波回路装置、詳しくは能動素
子の自己バイアス回路に適したマイクロ波回路装
置に関する。
子の自己バイアス回路に適したマイクロ波回路装
置に関する。
バイアス回路には一般に知られているように、
自己バイアス回路と固定バイアス回路の2通りが
あり、使用目的に応じて適宜用いられている。
自己バイアス回路と固定バイアス回路の2通りが
あり、使用目的に応じて適宜用いられている。
例えばマイクロ波増幅器の如きマイクロ波回路
装置を従来の自己バイアス回路で構成すると、後
述するように高周波的に接地されるべき能動素子
の電極の接地が不十分になりやすく、マイクロ波
装置として充分な電気性能が得られない。一方、
固定バイアス回路で構成すると、性能の向上は認
められるが、マイクロ波回路装置に供給する電源
として正と負の2種類の電源が必要となり、その
結果マイクロ波回路装置が複雑となり、ひいては
コストを上げる要因となる。このため構成の簡単
な自己バイアス回路に使用して充分な電気性能が
得られるマイクロ波回路装置が望まれていた。
装置を従来の自己バイアス回路で構成すると、後
述するように高周波的に接地されるべき能動素子
の電極の接地が不十分になりやすく、マイクロ波
装置として充分な電気性能が得られない。一方、
固定バイアス回路で構成すると、性能の向上は認
められるが、マイクロ波回路装置に供給する電源
として正と負の2種類の電源が必要となり、その
結果マイクロ波回路装置が複雑となり、ひいては
コストを上げる要因となる。このため構成の簡単
な自己バイアス回路に使用して充分な電気性能が
得られるマイクロ波回路装置が望まれていた。
本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、マイクロ波帯で使用して
充分な電気性能の得られる自己バイアス回路に適
したマイクロ波回路装置を提供することにある。
の目的とするところは、マイクロ波帯で使用して
充分な電気性能の得られる自己バイアス回路に適
したマイクロ波回路装置を提供することにある。
一般にマイクロ波増幅器の如きマイクロ波回路
装置を構成する場合、能動素子に高周波特性のす
ぐれたGaAs電界効果型トランジスタ(以下FET
と称する)を使用して、セラミツク等の誘電基板
に他の回路素子とともに配設して構成している。
装置を構成する場合、能動素子に高周波特性のす
ぐれたGaAs電界効果型トランジスタ(以下FET
と称する)を使用して、セラミツク等の誘電基板
に他の回路素子とともに配設して構成している。
従来この種のマイクロ波回路装置の例としては
第1図乃至第4図で説明するようなものがあげら
れる。第1図はFETに自己バイアスをかけたマ
イクロ波回路装置の回路を示し、1,2,3およ
び4はインピーダンス整合用あるいは伝送路用の
マイクロストリツプライン、5は能動素子の
FET、6及び7はインピーダンス整合用あるい
は直流素子用のコンデンサ、8はFET5のソー
ス電極Sを高周波的にマイクロストリツプライン
の接地側電極12に接続するバイパス用コンデン
サ、9はFET5の動作に必要なバイアス電圧を
作るバイアス抵抗、10は前記バイアス電圧を
FET5のゲート電極Gに加えるゲート抵抗、1
1は電源B1をFET5のドレイン電極Dに供給す
るドレイン抵抗、12は高周波的に接地となると
同時に電源B1に対しても接地となるマイクロス
トリツプラインの接地側電極でこれ等はいずれも
第2図に示すように誘電体基板27に適宜印刷等
の手段によつて形成されている。IN,OUTはそ
れぞれマイクロ波回路装置の入力と出力の端子で
ある。
第1図乃至第4図で説明するようなものがあげら
れる。第1図はFETに自己バイアスをかけたマ
イクロ波回路装置の回路を示し、1,2,3およ
び4はインピーダンス整合用あるいは伝送路用の
マイクロストリツプライン、5は能動素子の
FET、6及び7はインピーダンス整合用あるい
は直流素子用のコンデンサ、8はFET5のソー
ス電極Sを高周波的にマイクロストリツプライン
の接地側電極12に接続するバイパス用コンデン
サ、9はFET5の動作に必要なバイアス電圧を
作るバイアス抵抗、10は前記バイアス電圧を
FET5のゲート電極Gに加えるゲート抵抗、1
1は電源B1をFET5のドレイン電極Dに供給す
るドレイン抵抗、12は高周波的に接地となると
同時に電源B1に対しても接地となるマイクロス
トリツプラインの接地側電極でこれ等はいずれも
第2図に示すように誘電体基板27に適宜印刷等
の手段によつて形成されている。IN,OUTはそ
れぞれマイクロ波回路装置の入力と出力の端子で
ある。
第2図は第1図のマイクロ波回路装置のうち、
FET5、バイパスコンデンサ8、バイアス抵抗
9の部分の構造であつて、図Aは平面図、図Bは
図AのA−A′断面図である。
FET5、バイパスコンデンサ8、バイアス抵抗
9の部分の構造であつて、図Aは平面図、図Bは
図AのA−A′断面図である。
図中、8B、8Dは誘電体基板27の一方の面
に印刷等の手段によつて形成された電極、8Cは
電極8Dの上に積層された誘電体、8Aは誘電体
8Cの上に積層され一端が電極8Bに接続された
上部電極であつて、電極8D、誘電体8C、上部
電極8Aによつてコンデンサ8が形成されてい
る。電極8Dは誘電体基板27を貫通したスルー
ホール26によつて裏面の接地側電極12に導通
している。なお8Eはコンデンサ8の被覆体であ
る。
に印刷等の手段によつて形成された電極、8Cは
電極8Dの上に積層された誘電体、8Aは誘電体
8Cの上に積層され一端が電極8Bに接続された
上部電極であつて、電極8D、誘電体8C、上部
電極8Aによつてコンデンサ8が形成されてい
る。電極8Dは誘電体基板27を貫通したスルー
ホール26によつて裏面の接地側電極12に導通
している。なお8Eはコンデンサ8の被覆体であ
る。
第2図図示の構造において、FET5のソース
電極Sは、電極8B、上部電極8A、誘電体8
C、電極8D、スルーホール26を順次に経由し
て接地側電極12に接続されている。このためソ
ース電極Sから接地側電極12までの径路が長
く、電極8B、上部電極8A、電極8Dによる高
周波的な損失が大きく、さらにコンデンサ8は
FET5及びその他の回路素子と共に誘電体基板
27の表面に配設されるため大きな面積を占有す
ることはできないので誘電体8Cの誘電体損失も
増加する。つまり、FET5のソース電極Sの接
地は等価的に第3図に示す如く、インダクタンス
8′と抵抗8″を介している。その結果ソース電極
Sを介してFET5の出力の1部が入力に帰還さ
れ、上記マイクロ波回路装置がマイクロ波増幅器
である場合充分な利得が得られず、又増幅器とし
ての動作の安定度が低下して高周波寄生発振が生
じやすいという欠点があつた。
電極Sは、電極8B、上部電極8A、誘電体8
C、電極8D、スルーホール26を順次に経由し
て接地側電極12に接続されている。このためソ
ース電極Sから接地側電極12までの径路が長
く、電極8B、上部電極8A、電極8Dによる高
周波的な損失が大きく、さらにコンデンサ8は
FET5及びその他の回路素子と共に誘電体基板
27の表面に配設されるため大きな面積を占有す
ることはできないので誘電体8Cの誘電体損失も
増加する。つまり、FET5のソース電極Sの接
地は等価的に第3図に示す如く、インダクタンス
8′と抵抗8″を介している。その結果ソース電極
Sを介してFET5の出力の1部が入力に帰還さ
れ、上記マイクロ波回路装置がマイクロ波増幅器
である場合充分な利得が得られず、又増幅器とし
ての動作の安定度が低下して高周波寄生発振が生
じやすいという欠点があつた。
また第4図は前記欠点を解消するため現在マイ
クロ波回路装置に広く利用されている固定バイア
ス回路であり、第1図と同一部品に対しては同じ
番号で対応している。第4図で点線で囲まれた回
路部14はFET5のゲート電極Gに必要な負の
バイアス電源B2を正電源B1から得る負電源回路
であり、無安定マルチバイブレータ16と整流及
び平滑回路17からなつている。また別の点線で
囲まれた回路部13はFET5のバイアスを安定
化する安定化回路であり、安定化回路13を通し
てFET5のゲート電極Gとドレイン電極Dに必
要な負電圧を供給している。さらにFET5のソ
ース電極Sは接地側電極12に直接接続されてマ
イクロ波回路装置が構成されている。第4図の構
成も、誘電体基板に配設されることは第1図の場
合と同様である。
クロ波回路装置に広く利用されている固定バイア
ス回路であり、第1図と同一部品に対しては同じ
番号で対応している。第4図で点線で囲まれた回
路部14はFET5のゲート電極Gに必要な負の
バイアス電源B2を正電源B1から得る負電源回路
であり、無安定マルチバイブレータ16と整流及
び平滑回路17からなつている。また別の点線で
囲まれた回路部13はFET5のバイアスを安定
化する安定化回路であり、安定化回路13を通し
てFET5のゲート電極Gとドレイン電極Dに必
要な負電圧を供給している。さらにFET5のソ
ース電極Sは接地側電極12に直接接続されてマ
イクロ波回路装置が構成されている。第4図の構
成も、誘電体基板に配設されることは第1図の場
合と同様である。
ところで衛星通信用に使用されるマイクロ波回
路装置は屋外ユニツトとして屋外に於いて使用さ
れるために、電源供給を簡単にすべく屋外ユニツ
トに対して単一の正電源のみを送り、ユニツト内
で負電源を作る第4図の方式が一般に用いられて
いる。
路装置は屋外ユニツトとして屋外に於いて使用さ
れるために、電源供給を簡単にすべく屋外ユニツ
トに対して単一の正電源のみを送り、ユニツト内
で負電源を作る第4図の方式が一般に用いられて
いる。
第4図の実施例ではソース電極Sの高周波的接
地効果はすぐれているが安定化回路13と負電源
回路14により装置全体が複雑になる。このため
マイクロ波回路装置の小形化が望めず、部品点数
が増えて信頼性の低下や、組立作業性の低下、ま
た部分費の増加、装置の消費電力の増加による維
持費も多くかかるなどの多くの欠点を有してい
る。
地効果はすぐれているが安定化回路13と負電源
回路14により装置全体が複雑になる。このため
マイクロ波回路装置の小形化が望めず、部品点数
が増えて信頼性の低下や、組立作業性の低下、ま
た部分費の増加、装置の消費電力の増加による維
持費も多くかかるなどの多くの欠点を有してい
る。
本発明はかかる従来の多くの欠点を解消するた
めになされたもので直流的には自己バイアス回路
を構成しながら、能動素子の高周波的接地電極の
接地効果がすぐれたマイクロ波回路装置を提供す
るものであり、以下マイクロ波増幅器に適用した
実施例を図面によつて説明する。
めになされたもので直流的には自己バイアス回路
を構成しながら、能動素子の高周波的接地電極の
接地効果がすぐれたマイクロ波回路装置を提供す
るものであり、以下マイクロ波増幅器に適用した
実施例を図面によつて説明する。
第5図は本発明を用いて誘電体基板上にマイク
ロ波増幅器を構成した場合の回路を示し、第1図
と同一部品に対しては同一番号で対応している。
第5図で18,19及び20は高周波的に接地さ
れたマイクロストリツプラインの接地側電極で、
増幅器が所定の特性で働くようにその形状等が決
められたうえ適宜印刷等により誘電体基板上に配
設されている。接地側電極18及び20は直流的
にも接地されており、また接地側電極19は
FET5のソース電極Sに直接接続されるととも
に、直流阻止用コンデンサ21と22によつてそ
れぞれ接地側電極18と20に接続されている。
また23は電極B1のバイパスコンデンサを示す。
ロ波増幅器を構成した場合の回路を示し、第1図
と同一部品に対しては同一番号で対応している。
第5図で18,19及び20は高周波的に接地さ
れたマイクロストリツプラインの接地側電極で、
増幅器が所定の特性で働くようにその形状等が決
められたうえ適宜印刷等により誘電体基板上に配
設されている。接地側電極18及び20は直流的
にも接地されており、また接地側電極19は
FET5のソース電極Sに直接接続されるととも
に、直流阻止用コンデンサ21と22によつてそ
れぞれ接地側電極18と20に接続されている。
また23は電極B1のバイパスコンデンサを示す。
第6図は第5図の回路をセラミツク等の誘電体
基板上に構成したときの基板表面のパターン図、
第7図は第6図のB−B′線断面図、第8図は第
6図に対応する裏面のパターン図である。第6図
乃至第8図で27はマイクロ波回路装置を構成す
る誘電体基板、25A及び25BはFET5のソ
ース電極Sを接続するための電極である。電極2
5A、25Bは誘電体基板27の表裏面を導通す
る複数個のスルーホール26によつて誘電体基板
27の裏面に設けられた接地側電極19に接続さ
れている。誘電体基板27の裏面にはスルーホー
ル26に接続された接地側電極19の他にコンデ
ンサ21と22及びそれ等によつて接地側電極1
9とそれぞれ接続された他の接地側電極18およ
び20がある。また接続線24は、第6図、第8
図に示す両端部18′と20′において誘電体基板
27の端面を利用して接地側電極18と20にそ
れぞれ接続されている。
基板上に構成したときの基板表面のパターン図、
第7図は第6図のB−B′線断面図、第8図は第
6図に対応する裏面のパターン図である。第6図
乃至第8図で27はマイクロ波回路装置を構成す
る誘電体基板、25A及び25BはFET5のソ
ース電極Sを接続するための電極である。電極2
5A、25Bは誘電体基板27の表裏面を導通す
る複数個のスルーホール26によつて誘電体基板
27の裏面に設けられた接地側電極19に接続さ
れている。誘電体基板27の裏面にはスルーホー
ル26に接続された接地側電極19の他にコンデ
ンサ21と22及びそれ等によつて接地側電極1
9とそれぞれ接続された他の接地側電極18およ
び20がある。また接続線24は、第6図、第8
図に示す両端部18′と20′において誘電体基板
27の端面を利用して接地側電極18と20にそ
れぞれ接続されている。
なお接地側電極19は電源に対しては接地され
ていないが、コンデンサ21および22によつて
接地側電極18および20に接続されており、高
周波的には十分に接地状態にされている。
ていないが、コンデンサ21および22によつて
接地側電極18および20に接続されており、高
周波的には十分に接地状態にされている。
コンデンサ6,7,23は誘電体基板27の表
面に設けられ、コンデンサ21,22は誘電体基
板27の裏面に設けられており、いずれのコンデ
ンサも第2図図示のコンデンサ8と同じく、誘電
体基板上の電極に誘電体および上部電極を積層し
た構造のものである。
面に設けられ、コンデンサ21,22は誘電体基
板27の裏面に設けられており、いずれのコンデ
ンサも第2図図示のコンデンサ8と同じく、誘電
体基板上の電極に誘電体および上部電極を積層し
た構造のものである。
本発明の以上の実施例においてはFET5のソ
ース電極Sは直流的にバイパス抵抗9によつて接
地されており、さらにゲート電極Gもゲート抵抗
10によつて接地されているため、ゲート電極G
はバイアス抵抗9による電圧降下分だけソース電
極Sに対して負の電圧に保たれ、Nチヤンネル
GaAsFETの動作に必要な負のバイアス電圧を与
える自己バイアス回路が構成されている。そして
高周波的観点からすると、FET5のソース電極
Sはスルーホール26のみで接地側電極19に直
結されているのでソース電極Sと接地側電極19
間の距離はきわめて短かく、高周波的損失はきわ
めて小さい。またコンデンサ21と22は誘電体
基板27の裏面に設けられているのでその面積が
大きく、それによつて誘電体損失も小さいもので
ある。その結果第3図に示されたような抵抗8″、
インダクタンス8′も無視できる値であつて、帰
還等による利得の低下や安定度の低下がない。さ
らに本発明のマイクロ波回路装置は自己バイアス
回路で構成されているから、第4図の如き安定化
回路13および負電源回路14を設ける必要がな
い。
ース電極Sは直流的にバイパス抵抗9によつて接
地されており、さらにゲート電極Gもゲート抵抗
10によつて接地されているため、ゲート電極G
はバイアス抵抗9による電圧降下分だけソース電
極Sに対して負の電圧に保たれ、Nチヤンネル
GaAsFETの動作に必要な負のバイアス電圧を与
える自己バイアス回路が構成されている。そして
高周波的観点からすると、FET5のソース電極
Sはスルーホール26のみで接地側電極19に直
結されているのでソース電極Sと接地側電極19
間の距離はきわめて短かく、高周波的損失はきわ
めて小さい。またコンデンサ21と22は誘電体
基板27の裏面に設けられているのでその面積が
大きく、それによつて誘電体損失も小さいもので
ある。その結果第3図に示されたような抵抗8″、
インダクタンス8′も無視できる値であつて、帰
還等による利得の低下や安定度の低下がない。さ
らに本発明のマイクロ波回路装置は自己バイアス
回路で構成されているから、第4図の如き安定化
回路13および負電源回路14を設ける必要がな
い。
第9図は本発明を適用した他の実施例で、約
4GHz帯のマイクロ波回路装置をバイポーラトラ
ンジスタ5′を用いて構成したものの回路図であ
る。第9図におけるバイアスはトランジスタ5′
のエミツタ電極Eに接続されたバイアス抵抗9
と、電源B1と接地との間に挿入された抵抗29
と30およびベース電極Bに接続された抵抗28
によつて与えられこれ等はいずれも第6図〜第8
図と同様に誘電体基板27の表面に設け、接地側
電極18,19及び20はコンデンサ21,22
とともに誘電体基板27の裏面に設けられるもの
である。31はバイパス用のコンデンサであり、
その他の回路素子は第6図と同じである。この実
施例においても第5図の実施例と同じ効果が得ら
れることは勿論である。
4GHz帯のマイクロ波回路装置をバイポーラトラ
ンジスタ5′を用いて構成したものの回路図であ
る。第9図におけるバイアスはトランジスタ5′
のエミツタ電極Eに接続されたバイアス抵抗9
と、電源B1と接地との間に挿入された抵抗29
と30およびベース電極Bに接続された抵抗28
によつて与えられこれ等はいずれも第6図〜第8
図と同様に誘電体基板27の表面に設け、接地側
電極18,19及び20はコンデンサ21,22
とともに誘電体基板27の裏面に設けられるもの
である。31はバイパス用のコンデンサであり、
その他の回路素子は第6図と同じである。この実
施例においても第5図の実施例と同じ効果が得ら
れることは勿論である。
以上のように、本発明はFET5の高周波的に
接地するソース電極Sを直接接続する第1の接地
電極19と、これにコンデンサ2及び22で接続
されて且つ直流的にも接地された第2の接地電極
18及び20を設けて、接地電極18及び20を
電極B1に対して直流的に接地するとともに信号
に対しても接地したので高周波特性がすぐれ、特
に自己バイアス回路に好適なマイクロ波回路装置
を構成することができ、小形化、高信頼性化が実
現でき、製造面では部品費及び組立作業費が増す
ことなく、運用面では消費電力が増加せず維持費
が少ないなど、その実用上の効果が極めて大きい
マイクロ波回路装置を得ることができる。
接地するソース電極Sを直接接続する第1の接地
電極19と、これにコンデンサ2及び22で接続
されて且つ直流的にも接地された第2の接地電極
18及び20を設けて、接地電極18及び20を
電極B1に対して直流的に接地するとともに信号
に対しても接地したので高周波特性がすぐれ、特
に自己バイアス回路に好適なマイクロ波回路装置
を構成することができ、小形化、高信頼性化が実
現でき、製造面では部品費及び組立作業費が増す
ことなく、運用面では消費電力が増加せず維持費
が少ないなど、その実用上の効果が極めて大きい
マイクロ波回路装置を得ることができる。
さらにまた、前記構成においてFET5を誘電
体基板27の表面に配し、接地電極18,19及
び20と、コンデンサ21,22を裏面に配設す
ることによりFET5のソース電極Sと接地側電
極19の間の距離を短かくできて高周波的損失を
小さく押えられ、さらにコンデンサの面積を大き
くできて誘電体の損失も小さく押えられるので、
一層高周波特性のすぐれたマイクロ波回路装置を
構成できる。
体基板27の表面に配し、接地電極18,19及
び20と、コンデンサ21,22を裏面に配設す
ることによりFET5のソース電極Sと接地側電
極19の間の距離を短かくできて高周波的損失を
小さく押えられ、さらにコンデンサの面積を大き
くできて誘電体の損失も小さく押えられるので、
一層高周波特性のすぐれたマイクロ波回路装置を
構成できる。
第1図は従来のマイクロ波回路装置の回路図、
第2図Aは第1図の回路を誘電体基板上に構成し
たときの表板表面の要部パターン図、第2図Bは
同図AのA−A′線断面図、第3図は第1図のソ
ース電極Sと12間の高周波的等価回路図、第4
図は従来の他のマイクロ波回路装置の回路図、第
5図は本発明の1実施例の回路図、第6図は第5
図の回路を誘電体基板に構成した場合の表面パタ
ーン図、第7図は第6図のB−B′線断面図、第
8図は第6図に対応する裏面パターン図、第9図
は本発明の他の実施例の回路図である。 1,2,3,4……マイクロストリツプライ
ン、5……FET、5′……トランジスタ、9……
バイアス抵抗、18,20……第2の接地電極、
19……第1の接地電極、21,22……コンデ
ンサ、26……スルーホール、27……誘電体基
板。
第2図Aは第1図の回路を誘電体基板上に構成し
たときの表板表面の要部パターン図、第2図Bは
同図AのA−A′線断面図、第3図は第1図のソ
ース電極Sと12間の高周波的等価回路図、第4
図は従来の他のマイクロ波回路装置の回路図、第
5図は本発明の1実施例の回路図、第6図は第5
図の回路を誘電体基板に構成した場合の表面パタ
ーン図、第7図は第6図のB−B′線断面図、第
8図は第6図に対応する裏面パターン図、第9図
は本発明の他の実施例の回路図である。 1,2,3,4……マイクロストリツプライ
ン、5……FET、5′……トランジスタ、9……
バイアス抵抗、18,20……第2の接地電極、
19……第1の接地電極、21,22……コンデ
ンサ、26……スルーホール、27……誘電体基
板。
Claims (1)
- 1 一方の面にマイクロストリツプラインが設け
られ他方の面に接地電極が設けられた誘電体基板
と、前記一方の面に設けられた能動素子とを備え
たマイクロ波回路装置において、前記能動素子の
接地端子に接続され前記誘電体基板を貫通したス
ルーホールと、前記スルーホールに接続された第
1の前記接地電極と、前記第1の接地電極に隣接
して設けられた第2の前記接地電極と、前記接地
端子と前記第2の接地電極とを接続するバイアス
抵抗と、前記第1および第2の接地電極のいずれ
か一方の接地電極の上に誘電体を介して積層され
かつ他方の接地電極に接続された上部電極とから
成るコンデンサとを備え、前記能動素子を駆動す
べき電源の基準電位端が前記第2の接地電極に接
続されることを特徴とするマイクロ波回路装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56189573A JPS5890810A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | マイクロ波回路装置 |
US06/431,126 US4504796A (en) | 1981-11-26 | 1982-09-30 | Microwave circuit apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56189573A JPS5890810A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | マイクロ波回路装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5890810A JPS5890810A (ja) | 1983-05-30 |
JPH0345563B2 true JPH0345563B2 (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=16243586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP56189573A Granted JPS5890810A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | マイクロ波回路装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
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JP (1) | JPS5890810A (ja) |
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-
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- 1981-11-26 JP JP56189573A patent/JPS5890810A/ja active Granted
-
1982
- 1982-09-30 US US06/431,126 patent/US4504796A/en not_active Expired - Lifetime
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