JPH03284809A - 希土類―鉄系磁石の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば小型化・高出力化が追求されているモ
ータに使用されるようなバルク状永久磁石の製造方法に
関する。即ち、ここで対象とするバルク状永久磁石は、
例えばモータ起動時の負荷に応じて電機子反作用による
大きな減磁界にだえる減磁耐力の優れた、高保磁力の磁
石、また出力向上のために高残留磁束密度の磁石であり
、また高度な寸法精度や生産性が同時に求められる磁石
であり、本発明は複数のバルク状永久磁石を希土類−鉄
系合金の超急冷粉から直接・同時に製造する方法に関す
るものである。

従来の技術 例えばメルトスピニング法などの超急冷手段によって、
少なくとも溶融合金の一部を融液状態で凍結した希土類
−鉄系合金の超急冷粉は、その非平衡、或いは準安定な
状態に基づき高保磁力と高残留磁束密度を有することが
知られている（特開昭５９−６４７３９号公報）。しか
し、如何なる合金組成であっても、また如何なる超急冷
手段であっても超急冷によって得られる材料形態は薄片
を含む粉末、箔などであり、モータに使用されるような
バルク状として直接製造することはできない。従って何
等かの方法で超急冷粉を固定化する技術が必要となる。

粉末冶金における基本的な固定化技術は常圧焼結法であ
るが、希土類−鉄系合金のような超急冷粉は、その非平
衡、或いは準安定状態に基づ（磁気特性を維持する必要
があるために常圧焼結の適用はできない。従って超急冷
粉の塑性変形を伴う固定化技術を用いなければならない
。希土類−鉄系合金の超急冷粉の場合には、例えば超急
冷粉をグラファイト製成形型のキャビティに充填し誘導
加熱方式のホットプレス法による固定化プロセスで超急
冷粉を圧着・固定し、更に塑性変形とともに界面での原
子の拡散による接合を行う固定化技術が知られている（
特開昭６０−１００４０２号公報）。この場合、固化の
程度を決めるのは超急冷粉の粘性であるが、十分粘性を
低下させるためには、少なくともその結晶化温度以上に
加熱する必要があり、６００〜９００℃、１〜３ｔｏｎ
／ｃｍ２で完全な固着が可能であるとされている。しか
し、非平衡、或いは準安定状態に基づく磁気特性を維持
するためには時間的要素を加味した手段を講じる必要が
ある。また、グラファイト製成形型キャビティでは、そ
のまま直接高度な寸法精度を確保することも、成形型の
耐久性を確保することもできない。

発明が解決しようとする課題 超急冷粉をグラファイト製成形型のキャビティに充填し
、誘導加熱方式のホットプレス法によりバルク状の希土
類−鉄系磁石を得る従来技術の欠点として、とくに次の
■〜■を挙げることができる。■成形型キャビティ中で
圧縮しても超急冷粉相互の界面でポテンシャルエネルギ
ーの低下が不十分であり、過大の圧力を必要とする。こ
のため型の耐久性に対して重大な影響を及ぼす。■成形
型キャビティに超急冷粉を充填してから、それを所定湿
度で加熱処理するための時間が昇温時間を含めると通常
数時間のオーダーになるため、バルク状磁石の生産性が
工業的に不向きであるばかりか、非平衡、或いは準安定
状態に基づ（磁気特性を維持・確保することも難しい。

■グラファイト製成形型のキャビティでは、そのまま直
接高度な寸法精度を確保することも、或いはまた型の耐
久性を確保することもできない。従ってニア・ネット・
シェイブ成形によって得たバルク状磁石を最終的に研削
加工することで高度な寸法精度を薙保しなければならな
かった。

本発明は主として上記■〜■の欠点を排除し、非平衡、
或いは準安定状態に基づく高度な磁気特性を有する希土
類−鉄系超急冷粉を、そのまま直接、迅速な固定化技術
によって磁気特性を維持しつつ、高度な寸法精度をも確
保した、例えば、モータに、そのまま実装可能なバルク
状永久磁石とする製造方法を提供しようとするものであ
る。

課題を解決するための手段 本発明は少なくとも複数の貫通孔を設けた非導電性セラ
ミックス・ダイと、それに対応する一対の電極でキャビ
ティ群を形成し、該キャビティ群に希土類−鉄系合金の
超急冷粉を充填し、一対の熱補償部材を介して全電極の
圧力軸方向断面積に２００〜５００　ｋｇ　ｆ　／　ｃ
−の−軸の圧力を加え、１０’〜１０゛３Ｔｏｒｒの真
空雰囲気を維持した状態で、当該キャビティ中の超急冷
粉を非平衡プラズマ処理して活性化し、圧着・固化し、
更に通電を行うことにより発生する熱補償部材のジュー
ル熱を全電極を介して当該超急冷粉の伝熱することによ
り超急冷粉を、その結晶化温度以上に加熱し塑性変形せ
しめ、界面での原子の拡散により特定形状を有する複数
のバルク状永久磁石とするものである。

上記、本発明において磁気特性を確保するための具備す
べき要件としては、とくに複数キャビティ中の各超急冷
粉を均一加熱するために電極のρ／ｓｃ（ρは固有抵抗
Ω口、Ｓは比重、Ｃは比熱）値を１０（水準とし、熱補
償部材のρ／ｓｃ値を１０″３水準とすることである。

これによりキャビティ群への通電電流の不均一性に基づ
く昇温速度の変動を熱補償部材からの熱伝導により抑制
することができるからである。また、本発明の生産性を
高めるためにはキャビティ群を形成する電極及びダイを
熱補償部材を介して圧力軸方向に多段積層した構成とす
ることが望ましい。更にまた、本発明が対象とするバル
ク状永久磁石の合金組成としては希土類−鉄系合金がＹ
を含む希土類元素Ｒ１３〜１５原子％、Ｃｏｏ〜２０原
子％、Ｂ４〜１１４〜１１原子Ｆｅ及び不可避不純物で
あることが好ましい。

作用 先ず、本発明の要点となる成形型構成を図面を用いて説
明する。

第１図は本発明に基づく成形型構成例であり、超急冷粉
から非平衡、或いは準安定状態に基づ（磁気特性を維持
しつつ、直接高度な寸法精度を確保した複数のバルク状
永久磁石を製造し得るものの要部外観図である。図にお
いて１は、少なくとも複数の貫通孔１１〜ｎを設けた非
導電性セラミックス・ダイ、２ａｌ−１，２ｂ１〜ｎは
非導電性セラミックス・ダイ１の複数の貫通孔１１〜。

に対応する一対の電極である。ここで一対の電極２ａ＋
〜ｆｌ、２ｂ１〜。

は非導電性セラミックス・ダイ１の複数の貫通孔１１〜
。とともにｎ個の複数キャビティを構成し、それぞれが
電極であるとともにアッパ・ロアポンチを兼ねるもので
ある。なお一対の電極２ａＩ−□。

２ｂ、〜ｎのキャビテイ面は窒化ポロン粉末を有効成分
とする層で被覆しておくことが望ましい。

３ａ、３ｂは一対の電極２　ａｌ−ｎｏ　２　ｂｌ−ｎ
と非導電性セラミックス・ダイ１の複数の貫通孔１１−
ｎとともに、ｎ個の複数のキャビティを構成した全電極
２ａ＋−７，２ｂ！〜。の反キャビティ面に配置した一
対の熱補償部材である。４１〜ｎは特定のバルク状とす
べき超急冷粉である。

次に本発明の作用を上記構成の成形型により説明する。

先ず、１０−１〜１０′ＩＴＯｒｒの真空雰囲気中にて
、一対の熱補償部材３ａ、３ｂの両端面より全電極２ａ
１〜。、２ｂ１〜。を介して超急冷粉４１〜。

に圧力軸方同断面積当たり２００〜５００ｋＸｆ／ｃＩ
Ｉｉの圧縮圧力を加える。これにより超急冷粉４！〜。

のポテンシャルエネルギーが低下する。

次に超急冷粉４１〜ｎに対して非平衡プラズマ処理を行
う。非平衡プラズマは電子温度に比べて気体温度が極め
て低い状態のプラズマである。このプラズマを発生する
には１０−１〜１０’Ｔｏｒｒの減圧下、例えば直流電
圧を一対の電極２ａ＋〜。。

２ｂ＋〜ｎ間に印加することにより得られる。この電離
気体の中には多くの活性原子２分子、イオン。

自由電子、ラジカルなどが含まれており、電子は電界に
よって加速された結果、その電子温度１０４℃にもなる
が比較的質量の大きい原子種や分子種の温度は１００〜
２００℃程度の上昇にしかならない。固体表面の温度を
初期的に決めるのは原子、或いは分子の気体温度である
ことから超急冷粉４１〜。の温度は事実上、塑性変形や
原子の拡散が生じる温度には至らない。しかし、プラズ
マ中の電子、イオン、励起種などが超急冷粉表面に物理
的影響を及ぼすことは推察できる。即ち電子、イオン、
励起種などが、ある程度の運動エネルギーをもって超急
冷粉表面に衝突することによって生じるエツチング効果
である。このエツチングはプラズマ中の活性化学種と超
急冷粉表面に付着している汚染物質や低分子化合物とが
反応して起こるものであり、これにより超急冷粉４１〜
ｎのボンテンシャルエネルギーが更に低下する。

上記のような非平衡プラズマ処理ののち、一定の真空雰
囲気と超急冷粉４１〜ｎへの圧縮圧力を維持したまま一
対の熱補償部材３ａ、３ｂの両端面より全電極２ａｌ〜
ｎ＋２ｂｌ〜。を介して超急冷粉４１〜。

に通電を行う。

１Ｗ＝０．２３８９　（ｃａ　ｌ／５ｅｅ）とすれば通
電時のジュール熱による一対の熱補償部材３ａ、３ｂ、
全電極２　ａ　Ｉ−ｎ　＋　２　ｂ　＋−ｎ及び超急冷
粉４夏〜。の昇温速度ΔＴ／Δｔ（℃／５ｅｅ）は０．
２３８９１ＱＲ ΔＴ／Δｔ＝ πｒ２　Ωｓｃ ０．２３８９１”　　ρ π”ｒ’ｓｃ ただし、Ｉ：通電電流（Ａ＞、Ｒ：電気抵抗（Ω）、Ｃ
：熱容量（ｃ　ａ　ｌ／℃）　、　ｃ　：比熱（ｃａｌ
／℃ｇ）、ｓ　：比重、ρ：比抵抗（Ω（！ＩＩ）。

Ω：圧力軸方向の距離（Ｃ％）、ｒ：圧力軸方向断面の
半径（ａｍ　）である。

即ち、昇温速度ΔＴ／Δｔは（Δｉ）ｇρ／ｓｃとなり
、距離Ωには無関係であり電流密度（Δ１）（Ａ／ｃｄ
）の二乗と比抵抗ρ（Ωｃｓｉ）に比例し、比熱ｃ（ｃ
ａｌ／℃ｇ）と比重に反比例する。

超急冷粉４ト。の初期状態のρ／　ｓ　ｃは２．７×１
０（程度である。そこでキャビティ群を構成する全電極
２　ａ　ｌ−ｎ　、２　ｂ　Ｉ−ｎのρ／　ｓ　ｃを２
．７×１０’程度、或いはそれよりやや低い１０−３水
準とするのである。そして全電極２ａ＋〜ｎ、２ｂｌ〜
ｎの反キャビティ面に接する一対の熱補償部材３ａ。

３ｂのρ／　ｓ　ｃを１０″３水準とする。これにより
接触抵抗などの影響によって複数のキャビティ群に対し
て必ずしも均一に分流しない通電電流に起因する各キャ
ビティ中の超急冷粉４１〜７のジュール熱に基づく昇温
速度を一対の熱補償部材３ａ、３ｂのジュール熱による
伝熱で補正することができる。

その結果、各キャビティ中の超急冷粉４１〜。の均一な
昇温速度を確保することができる。具体的な電極材質と
しては超硬合金（ＪＩＳ　　Ｈ２ＳＯ４で規格化された
Ｇ５）を挙げることができ、一方の熱補償部材としては
グラファイト、或いはＳｉＣにＴｉＣ＋　ＴｉＮ、Ｚｎ
Ｃ，ＷＣ，ＺｒＢ２　。

ＨｆＢ２　、ＮｂＢ２　、ＴａＢ２などを各々体積分率
で３０〜５０％程度添加して焼結した各種複合セラミッ
クスを挙げることができる。

上記のような通電によるジュール熱、とくに熱補償部材
３ａ、３ｂのジュール熱による伝熱で、その昇温速度を
律則された各キャビティ中の超急冷粉４１〜ｎは、その
結晶化温度以上に加熱されることにより、それに応じて
１０−１〜１０’ｍ／ｓｅｃ、或いはそれ以上の歪み速
度で塑性変形する。歪み速度は粘性の低下とキャビティ
中の超急冷粉４Ｉ−０の相対密度の上昇との相反する要
因によってピークを示し、次第に小さな値に移行する。

超急冷粉４１〜ｎの相対密度９０％以上での歪み速度は
既にピークを越えているが、なお通電を続ける。そして
歪み速度１０″３〜Ｏｗｍ／　ｓ　ｅ　ｃ以下になった
時点で通電電流を遮断すれば超急冷粉４Ｉ〜。

は、その非平衡、或いは準安定状態、及び高密度化に基
づ（高度な磁気特性を維持したｎ個のバルク状永久磁石
となる。

上記、通電電流遮断後の圧縮圧力と真空雰囲気の維持は
、少なくとも非導電性セラミックスダイの外表面湿度が
冷却に転じるまで行う。ここでセラミックスダイが非導
電性であることは熱伝導率が小さいことにもなり、電流
や熱の漏れを抑制し熱効率を高めることに効果的である
。なお、セラミックスダイの性質としては非導電性であ
ることのほか、耐熱衝撃性、超急冷粉４Ｉ−１に対して
不活性、耐磨耗性、低熱膨張性、高温強度、低熱容量性
などの性質が求められる。具体的なダイ材質としては窒
化珪素、或いは窒化珪素とアルミナとを複合したサイア
ロンなどを挙げることができる。

なお、バルク化した超急冷粉４１〜ｎをキャビティ中で
冷却するこよによりセラミックスダイとは熱膨張差に基
づき離型する。また圧力軸方向の面は全電極２ａｌ〜ｎ
、２ｂＩ−１のキャビテイ面に、例えば窒化ボロン粉末
を有効成分とする離型膜を設けておくことにより窒化ボ
ロン粉末がバルク化した超急冷粉４１〜。に転写するの
で容易に離型するのである。

なお、希土類−鉄系合金の合金組成としてはＹを含む希
土類元素Ｒ：１３〜１５原子％、Ｃｏ：０〜２０原子％
、Ｂ：４〜１１原子％、残部Ｆｅ及び不可避不純物から
なるものが好ましい。ここでＲはＮｄまたは／及びＰｒ
が高保磁力を得るのでとくに望ましい。またＲを１３原
子％以上とした理由はＲがそれより少ないと高保磁力の
超急冷粉が得られず、塑性変形抵抗が高（なり、バルク
状で高い残留磁束密度が得られないからである。

一方Ｒを１５原子％以下とした理由はＲがそれより多い
と飽和磁化の低下や希土類元素の滲みによるパリの発生
が甚だしくなるのでバルク状永久磁石の製造作業に支障
をきたすからである。Ｃｏを２０原子％以下とした理由
はＦｅの一部をＣｏ置換することによりキュリー温度が
高まるものの、高保磁力を確保しに（くなるからである
。Ｂを４〜１１原子％とした理由はＲ２ＴＭ１４　Ｂ　
（ＴＭはＦｅおよび／またはＣｏ）相に基づく磁気特性
を確保するためであり、塑性変形抵抗を極小にするため
に、とくに６原子％程度とすることが望ましい。

上記の如き合金組成を有する希土類−鉄系合金の超急冷
粉を製造する手段としてはメルトスピニング法によって
代表される既知の超急冷法による。

また、超急冷粉の粒度はとくに拘る要素ではないが５３
μｍ以下の微粉は保磁力が低下する傾向があるので、そ
の含有量はできるだけ抑制することが好ましい。

以上により、希土類−鉄系合金の超急冷粉から、その非
平衡、或いは準安定状態、及び高密度化に基づく高度な
磁気特性を維持・確保した複数個のバルク状永久磁石を
直接実用に供することが可能な寸法精度で同時製造する
ことができる。

以下、本発明を実施例により更に詳しく説明する。

実施例１ 合金組成Ｎ　ｄ　１３Ｆ　ｅｓｓ　Ｃｏｐｓ　Ｂｓの母
合金をＡｒガス雰囲気中で高周波加熱することにより溶
融状態とし、周速度的５０ｍ／ｓｅｅのＣｕ製単ロール
に噴射するメルトスピニング法により厚さ２０〜３ｏμ
ｍの薄片状の超急冷粉を得た。この超急冷粉は合金が融
液状態のまま凍結したものであることをＸ線回折により
確認した。この非平衡状態の超急冷粉を適宜粉砕し５３
〜３５０μｍの粒度範囲とした。粒度調整した非平衡状
態超急冷粉を５０ｋＯｅパルス着磁し、ＶＳＭで固有保
磁力を測定したところ５．８ｋＯｅであった。

一方、上記粒度調整した非平衡状態超急冷粉の一部を、
Ａｒガス雰囲気中６５０〜７００℃で熱処理した。熱処
理した超急冷粉はＲ２Ｆｅ、４Ｂ相がＸ線回折により確
認され、その５０ｋＯｅパルス着磁後の固有保磁力は１
６．５ｋＯｅであった。

これを非平衡状態超急冷粉に対して準安定状態超急冷粉
とする。

上記、非平衡状態超急冷粉および準安定状態超急冷粉を
、それぞれ適宜秤量し、第１図で示した構成のキャビテ
ィ群に充填した。図において１は、径１４ｍの貫通孔Ｉ
Ｉ〜。を設けた非導電性セラミックス・ダイ、２ａ＋〜
。、２ｂ１〜。は非導電性セラミックス・ダイ１の複数
の貫通孔１１〜ｎに対応する一対の電極である。３ａ、
３ｂは一対の電極２ａＩ〜。。

２ｂ＋〜。と非導電性セラミックス・ダイ１の複数の貫
通孔１１〜ｎとでｎ個の複数のキャビティを構成した全
電極２ａ＋〜。、２ｂ＋〜。の反キャビティ面に配置し
た一対の熱補償部材である。４１〜。は特定のバルク状
とすべき超急冷粉である。但し、ここではｎを１０とし
た。また、一対の電極２ａ＋〜。。

２ｂ＋−１は非導電性セラミックス・ダイ１の複数の貫
通孔１１〜ｎとともにｎ個、即ち１０個の複数キャビテ
ィを構成し、それぞれが一対の電極であるとともにアッ
パ・ロアポンチを兼ねるものである。

なお、第１図の成形型構成部材の中アッパおよびロアポ
ンチを兼ねる一対の電極２ａｌ〜ｎ、２ｂ、〜ｎは超硬
合金（ＪＩＳ　　Ｈ２ＳＯ４で規格化されたＧ５）また
はＴｉＣ含有量を興にするＳｉＣ／ＴｉＣの複合セラミ
ックスであり、そのキャビテイ面には予め窒化ボロン粉
末層を設けである。また非導電性セラミックス・ダイ１
はサイアロンである。一対の熱補償部材３ａ、３ｂはグ
ラファイトまたはＴｉＣ含有量を異にするＳｉＣ／Ｔｉ
Ｃの複合セラミックスである。

次に、上記成形型を１０’　〜１Ｏ−３Ｔｏｒｒの真空
雰囲気とし、全電極２ａ＋〜。、２ｂ＋〜。の圧力軸方
向投影断面積場たり２００〜５００ｂｆ／−の圧力で圧
縮した。そして真空雰囲気と圧縮圧力とを一定に維持し
たまま一対の熱補償部材３ａ、３ｂと全電極２ａｔ−７
，２ｂ＋−０を介してキャビティ中の超急冷粉４＋−ｎ
にパルス幅２０ｍ５　ｅ　ｃ　、　１０Ｖの直流電圧を
０〜９０ｓｅｃ印加することにより非平衡プラズマ処理
をした。続いて全電極２ａＩ−０゜２ｂ＋−９の圧力軸
方向投影断面接当たり３００〜３５０Ａ／−の直流電流
を４０〜５００ＳｅＣ通電するとともに、圧力軸方向に
加熱圧縮されるキャビティ中の超急冷粉４Ｉ−１の変位
量を検出し、それを微分した歪み速度を連続的に測定し
た。通電による加熱と一定の圧縮圧力のもとて超急冷粉
４１〜ｎは急速に粘性低下し、歪み速度が増加する。

しかし、超急冷粉４＋−ｎの相対密度が９０％を越えた
時点では歪み速度はピークを越え、相対密度の上昇に伴
って次第に小さな値になる。歪み速度１０″３〜Ｏｘ／
ｓｅｅの範囲で通電電流を遮断し、非導電性セラミック
ス・ダイ１の外表面温度が冷却に転じたのち真空雰囲気
と圧縮圧力を解除した。

この操作によって超急冷粉４Ｉ−１から直接、直径１４
ｍ、高さ２−のバルク状永久磁石１０個を得た。

第１表は電極のρ／ｓｃ（ρは固有抵抗Ω備。

Ｓは比重、Ｃは比熱）値が１０−４水準であり、熱補償
部材のρ／　ｓ　ｃ値が１０′３水準である構成例にお
ける非平衡プラズマ処理時間と固有保磁力の関係を示す
。表から明らかなように非平衡プラズマ処理によって非
平衡状態超急冷粉および準安定状態超急冷粉の双方とも
にバルク状永久磁石の固有保磁力を１５ｋＯｅ以上とす
ることができる。

以下余白 第２表は電極のρ／　ｓ　ｃ値が１０−３〜１０（水準
であり、熱補償部材のρ／　ｓ　ｃ値が１０−３〜１０
（水準である構成例における通電電流所要時間と固有保
磁力、残留磁束密度との関係を示す。

表から明らかなように本発明例である電極のρ／ｓｃ（
ρは固有抵抗Ωｃ＋ａ＋ｓは比重、Ｃは比熱）ち 値が１０″４水準であり、熱補償部材のρ／　ｓ　ｃ値
が１０−３水準である構成の場合が通電所要時間が比較
的短く、しかも磁気特性の安定したバルク状永久磁石と
なる。

以下余白 第２表中、電極のρ／　ｓ　ｃ値が１０（水準であり、
熱補償部材のρ／　ｓ　ｃ値が１０−３水準である本発
明例にかかるバルク状永久磁石の外径寸法精度は１４．
０００±０．０１＋ｗａ以内であり、高さ寸法は２．０
０±０．０５■、密度は７．６８〜７．７０ｇ／−であ
った。

実施例２ 次に、実施例１の場合と同一製造条件でキャビティ群を
形成する電極及びダイを熱補償部材を介して圧力軸方向
に２段積層した。得られたバルク状永久磁石は１回の成
形で２０個であるが、通電電流の所要時間、バルク状永
久磁石の磁気特性。

寸法精度、密度などの諸性質は実施例１で示した場合と
同じものであった。

発明の効果 本発明は特定の合金組成を有する希土類−鉄系合金の超
急冷粉から、直接複数個のバルク状永久磁石を得る製造
方法に関するものである。このバルク状永久磁石は特定
の合金組成の原料を溶融し、インゴットにしたのち、こ
れを粉砕して所定の粒度の合金粉末としたのち、磁場中
で所定形状に成形し、得られた成形体を常圧焼結し、熱
処理を施すという所謂常圧焼結法に比較すると磁気特性
では残留磁束密度が低いが磁気的に等方性であり、例え
ばラジアル方向着磁に適しているし、研削加工が不要で
あるから製造工程が単純である。

また、同時に理論密度に近い複数個の最終的なバルク状
永久磁石が得られるので樹脂磁石と同等な生産性を確保
することができる。しかも樹脂磁石に比較すれば遥かに
優れた磁気特性が得られるのである。以上のように本発
明は特定の合金組成を有する希土類−鉄系合金の超急冷
粉から、直接複数個のバルク状永久磁石を得る製造方法
を初めて提供するものであり、その工業的価値は大きい
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる型の構成例を示す図である。 １・・・・・・非導電性セラミックス・ダイ、２ａｌ〜
ｎ。 ２ｂ＋〜。・・・・・・電極、３ａ、３ｂ・・・・・・
熱補償部材、４Ｉ−１・・・・・・超急冷粉。 第 ｒ″ｊ １−−−−〜→ｔ５傳電イ・１三。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも一つの貫通孔を設けた非導電性セラミ
   ックス・ダイと、それに対応する一対の電極でキャビテ
   ィ群を形成し、該キャビティ群に希土類−鉄系合金の超
   急冷粉を充填し、一対の熱補償部材を介して全電極の圧
   力軸方向断面積に２００〜５００ｋｇｆ／ｃｍ＾２の一
   軸の圧力を加え、１０＾−＾１〜１０＾−＾３Ｔｏｒｒ
   の真空雰囲気を維持した状態で、当該キャビティ中の超
   急冷粉を非平衡プラズマ処理して活性化し、圧着・固化
   し、更に通電により発生する熱補償部材のジュール熱を
   全電極を介して超急冷粉へ伝熱することにより超急冷粉
   を、その結晶化温度以上に加熱し、塑性変形せしめ、界
   面での原子の拡散により特定形状の複数バルクとする希
   土類−鉄系磁石の製造方法。
2. （２）電極のρ／ｓｃ（ρは固有抵抗Ωｃｍ、ｓは比重
   、ｃは比熱）値が１０＾−＾４水準であり、熱補償部材
   のρ／ｓｃ値が１０＾−＾３水準である請求項１記載の
   希土類−鉄系磁石の製造方法。
3. （３）キャビティ群を形成する電極及びダイを熱補償部
   材を介して圧力軸方向に多段積層した構成とする請求項
   １記載の希土類−鉄系磁石の製造方法。
4. （４）希土類−鉄系合金がＹを含む希土類元素Ｒが１３
   〜１５原子％、Ｃｏが０〜２０原子％、Ｂが４〜１１原
   子％、残部Ｆｅ及び不可避不純物からなる薄片である請
   求項１記載の希土類−鉄系磁石の製造方法。