JPH03237036A - アルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラス - Google Patents
アルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラスInfo
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- JPH03237036A JPH03237036A JP2218083A JP21808390A JPH03237036A JP H03237036 A JPH03237036 A JP H03237036A JP 2218083 A JP2218083 A JP 2218083A JP 21808390 A JP21808390 A JP 21808390A JP H03237036 A JPH03237036 A JP H03237036A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
- C03C21/001—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
- C03C21/002—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to perform ion-exchange between alkali ions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S501/90—Optical glass, e.g. silent on refractive index and/or ABBE number
- Y10S501/905—Ultraviolet transmitting or absorbing
-
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T428/23—Sheet including cover or casing
- Y10T428/239—Complete cover or casing
-
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31—Surface property or characteristic of web, sheet or block
- Y10T428/315—Surface modified glass [e.g., tempered, strengthened, etc.]
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、半導体素子や電気光学素子を封入するアルミ
ナパッケージに用いる薄板状ガラスに関シ、特にＥＦＲ
ＯＭを封入するアルミナパッケージのキャップとして適
したアルミナパッケージ用薄板状ガラスに関するもので
ある。
ナパッケージに用いる薄板状ガラスに関シ、特にＥＦＲ
ＯＭを封入するアルミナパッケージのキャップとして適
したアルミナパッケージ用薄板状ガラスに関するもので
ある。
［従来の技術］
紫外線でメモリを消去するＥＦＲＯＭのような半導体素
子やイメージセンサのような電気光学素子は、アルミナ
パッケージに収納される。このアルミナパッケージは光
を透過させるための窓を有し、板状硼けい酸ガラスで封
止されている。このアルミナパッケージの厚さは通常数
■であり、板状ガラスはＩ ｍｍ以上の厚みを有してい
る。
子やイメージセンサのような電気光学素子は、アルミナ
パッケージに収納される。このアルミナパッケージは光
を透過させるための窓を有し、板状硼けい酸ガラスで封
止されている。このアルミナパッケージの厚さは通常数
■であり、板状ガラスはＩ ｍｍ以上の厚みを有してい
る。
近年アルミナパッケージを配線板に実装する技術が高度
化するとともに、アルミナパッケージの小型化、薄型化
が図られている。それに伴ってこれに使用される板状ガ
ラスの厚みも薄くしなければならず、より具体的には０
゜７■以下にすることが要求されている。
化するとともに、アルミナパッケージの小型化、薄型化
が図られている。それに伴ってこれに使用される板状ガ
ラスの厚みも薄くしなければならず、より具体的には０
゜７■以下にすることが要求されている。
ところで、アルミナパッケージに要求される高い信頼性
を満すためには、これに使用される板状ガラスは十分な
強度を有しなければならない。薄型化の要求に応えるた
めに板状ガラスの厚みを薄くすると強度が低下してしま
いアルミナパッヶジの信頼性を保証することができなく
なる。たとえばアルミナパッケージの信頼性試験として
、ヘリウムガスによって５ｋｇ”ｆ／ｃＪの圧力をアル
ミナパッケージに加えて気密性を確認する試験がある。
を満すためには、これに使用される板状ガラスは十分な
強度を有しなければならない。薄型化の要求に応えるた
めに板状ガラスの厚みを薄くすると強度が低下してしま
いアルミナパッヶジの信頼性を保証することができなく
なる。たとえばアルミナパッケージの信頼性試験として
、ヘリウムガスによって５ｋｇ”ｆ／ｃＪの圧力をアル
ミナパッケージに加えて気密性を確認する試験がある。
板状ガラスの厚みが０．７ｍｍ以下になるとヘリウム加
圧によりガラスの破損が生じゃすくなる。
圧によりガラスの破損が生じゃすくなる。
そのためアルミナパッケージのキャップとして厚みが０
．７ｍｍ以下の板状ガラスを用いることは不適当である
。例えば特公平１−１４１８５号にはＥＦＲＯＭパッケ
ージ用の紫外線透過アルミナ封着用ガラスが、また特開
昭６２−６５９５４号には固体撮像素子パッケージ用の
アルミナ封着ガラスが示されているが、これらのガラス
を厚さ０．７ｍｍ以下にしてアルミナパッケージのキャ
ップとして用いると、アルミナとの封着性は良好である
がヘリウム加圧試験で破損が生じパッケージの信頼性が
確保できない。
．７ｍｍ以下の板状ガラスを用いることは不適当である
。例えば特公平１−１４１８５号にはＥＦＲＯＭパッケ
ージ用の紫外線透過アルミナ封着用ガラスが、また特開
昭６２−６５９５４号には固体撮像素子パッケージ用の
アルミナ封着ガラスが示されているが、これらのガラス
を厚さ０．７ｍｍ以下にしてアルミナパッケージのキャ
ップとして用いると、アルミナとの封着性は良好である
がヘリウム加圧試験で破損が生じパッケージの信頼性が
確保できない。
ところでガラスの強度を増加させる方法の一つとして化
学強化法が知られている。この方法はイオン交換処理と
呼ばれ、ガラス中にあるＮａ＋イオンをそれらよりイオ
ン半径の大きいアルカリイオン、たとえばに＋イオンに
起き換えることによりガラスの表面に圧縮応力層を設は
強度を増加させるものである。例えばＮａ＋イオンを含
有するガラスを溶融ＫＮＯ３中に浸漬すると、ガラス中
のＮａ”イオンと溶融ＫＮ○、中のに＋イオンの交換反
応が起こり、ガラス表面にイオン半径の大きいＫ“イオ
ンか侵入するためガラス表面に圧縮応力層か形成される
。
学強化法が知られている。この方法はイオン交換処理と
呼ばれ、ガラス中にあるＮａ＋イオンをそれらよりイオ
ン半径の大きいアルカリイオン、たとえばに＋イオンに
起き換えることによりガラスの表面に圧縮応力層を設は
強度を増加させるものである。例えばＮａ＋イオンを含
有するガラスを溶融ＫＮＯ３中に浸漬すると、ガラス中
のＮａ”イオンと溶融ＫＮ○、中のに＋イオンの交換反
応が起こり、ガラス表面にイオン半径の大きいＫ“イオ
ンか侵入するためガラス表面に圧縮応力層か形成される
。
ガラスは引っ張り応力で破損するが１表面に形成された
圧縮応力層の応力値が高い程、引っ張り応力を緩和して
ガラスの強度を増加させる。
圧縮応力層の応力値が高い程、引っ張り応力を緩和して
ガラスの強度を増加させる。
［発明の解決すべき課題］
従ってこのような化学強化を施した板状ガラスをアルミ
ナパッケージのキャップとして用いることか考えられる
。従来、化学強化用として用いられているガラスは、熱
膨張係数がアルミナのそれ（約７０ Ｘ １０−’／’
Ｃ）と整合しておらず１アルミナとの封着に適さない。
ナパッケージのキャップとして用いることか考えられる
。従来、化学強化用として用いられているガラスは、熱
膨張係数がアルミナのそれ（約７０ Ｘ １０−’／’
Ｃ）と整合しておらず１アルミナとの封着に適さない。
例えば特開昭６１−２５１５４１号及び特開平１−２３
９０３６号には板状ガラスの強化に化学強化を用いるこ
とが記載されている。しかしながら、これらに示されて
いるガラスは熱膨張係数が高すぎるためアルミナとの封
着には適さない。すなわちガラスの熱膨張係数がアルミ
ナのそれより大きすぎると封着後にガラスに引っ張り応
力が発生して破損の原因となるからである。
９０３６号には板状ガラスの強化に化学強化を用いるこ
とが記載されている。しかしながら、これらに示されて
いるガラスは熱膨張係数が高すぎるためアルミナとの封
着には適さない。すなわちガラスの熱膨張係数がアルミ
ナのそれより大きすぎると封着後にガラスに引っ張り応
力が発生して破損の原因となるからである。
したがって１本発明の目的はアルミナとの良好な封着が
可能で、且つアルミナパッケージの高信頼性を維持する
ことが可能なアルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラ
スを提供することである。
可能で、且つアルミナパッケージの高信頼性を維持する
ことが可能なアルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラ
スを提供することである。
また本発明の他の目的は、化学強化を容易に行うことが
出来るアルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラスを提
供することである。
出来るアルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラスを提
供することである。
［課題解決のための手段］
本発明は、成分としてアルカリ金属酸化物を含むアルミ
ナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラスにおいて、３０〜
３８０°Ｃの温度範囲における熱膨張係数が５０〜７５
Ｘ１０−７／℃であり、しかも該ガラスの表面において
、前記アルカリ金属酸化物の少なくとも一つの金属イオ
ンがそれよりイオン半径の大きな他のアルカリ金属イオ
ンによってイオン交換されており、これにより、２００
ｋｇ・ｆ ／ ｃ ｍ ２以上の表面圧縮応力を有して
いることを特徴とするアルミナパッケージ用薄板状硼け
い酸ガラスである。
ナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラスにおいて、３０〜
３８０°Ｃの温度範囲における熱膨張係数が５０〜７５
Ｘ１０−７／℃であり、しかも該ガラスの表面において
、前記アルカリ金属酸化物の少なくとも一つの金属イオ
ンがそれよりイオン半径の大きな他のアルカリ金属イオ
ンによってイオン交換されており、これにより、２００
ｋｇ・ｆ ／ ｃ ｍ ２以上の表面圧縮応力を有して
いることを特徴とするアルミナパッケージ用薄板状硼け
い酸ガラスである。
また本発明のアルミナパッケージ用薄板状ガラスは、好
ましくは厚みが０．７ｍｍ以下であることを特徴とし、
さらに波長２５３．７ｎｍの紫外線を厚さ１關で４０％
以上透過することを特徴とする。
ましくは厚みが０．７ｍｍ以下であることを特徴とし、
さらに波長２５３．７ｎｍの紫外線を厚さ１關で４０％
以上透過することを特徴とする。
本発明のガラスの熱膨張係数を５０〜７５Ｘ １０−７
／℃に限定したのは、５０Ｘ１０−７／℃よりも小さい
とアルミナ側に大きな引っ張り応力が発生し。
／℃に限定したのは、５０Ｘ１０−７／℃よりも小さい
とアルミナ側に大きな引っ張り応力が発生し。
アルミナの破損につながり、逆にガラスの熱膨張係数カ
フ ５ ｘ １０−７／℃よりも大きいとガラス側に引
っ張り応力か発生し、ガラスが破損するからである。
フ ５ ｘ １０−７／℃よりも大きいとガラス側に引
っ張り応力か発生し、ガラスが破損するからである。
しかし熱膨張係数が整合しているだけでは、ガラスの厚
みを０．７關以下にすると強度低下のためにヘリウム加
圧試験で破損が生じる。そこで５０〜７５ｘｌＯ−７／
℃の熱膨張係数を有するガラスにイオン交換処理を施し
１表面に２００ ｋｇ−ｆ ／ ｃＪ以上の圧縮応力層
を形成することで厚みが０．７＋ｗ以下でも十分な強度
を有するガラスが得られ、これをアルミナパッケージの
キャップに用いた場合高信頼性を維持することができる
。
みを０．７關以下にすると強度低下のためにヘリウム加
圧試験で破損が生じる。そこで５０〜７５ｘｌＯ−７／
℃の熱膨張係数を有するガラスにイオン交換処理を施し
１表面に２００ ｋｇ−ｆ ／ ｃＪ以上の圧縮応力層
を形成することで厚みが０．７＋ｗ以下でも十分な強度
を有するガラスが得られ、これをアルミナパッケージの
キャップに用いた場合高信頼性を維持することができる
。
さらに波長２５３．７ｎｍにおける紫外線透過率が厚さ
１ ＋ｗで４０％以上にすることによってＥＰＲＯＭを
封入するアルミナパッケージのキャップとして良好に使
用することが可能である。
１ ＋ｗで４０％以上にすることによってＥＰＲＯＭを
封入するアルミナパッケージのキャップとして良好に使
用することが可能である。
また本発明者等は、化学強化の容易なガラスを検討した
。一般にガラス中のＡ１１２０３が多くなると、イオン
交換が容易になって応力値の高い表面圧縮応力層を得や
すい。しかしながらＡｌ２Ｏ３はガラスの溶融を著しく
困難にするため多量に含有することは好ましくない。
そこで融剤として１Σ＼ Ｂ２Ｏ３を加えたガラスとした。
。一般にガラス中のＡ１１２０３が多くなると、イオン
交換が容易になって応力値の高い表面圧縮応力層を得や
すい。しかしながらＡｌ２Ｏ３はガラスの溶融を著しく
困難にするため多量に含有することは好ましくない。
そこで融剤として１Σ＼ Ｂ２Ｏ３を加えたガラスとした。
アルカリ金属酸化物は熱膨張係数を調整するためにその
含有量を一定範囲におさえることが必要である。また、
アルカリ金属イオンのイオン交換処理を行いやすくする
ために、ガラス中に被交換イオンの量が多くなるように
、アルカリ金属酸化物である例えばＮａ、Ｏとに２０あ
るいは（Ｌｉ２０＋Ｎａ２０）とに２０の割合を制約す
ることでイオン交換処理を有効に実施できるようにした
。
含有量を一定範囲におさえることが必要である。また、
アルカリ金属イオンのイオン交換処理を行いやすくする
ために、ガラス中に被交換イオンの量が多くなるように
、アルカリ金属酸化物である例えばＮａ、Ｏとに２０あ
るいは（Ｌｉ２０＋Ｎａ２０）とに２０の割合を制約す
ることでイオン交換処理を有効に実施できるようにした
。
すなわち本発明のアルミナパッケージ用薄板状ガラスの
組成は１重量百分率で５ｉＯ２５５〜６４％、ＡＮｚ０
，７〜２０％、Ｂ２０，１１〜１９％、Ｌｉ２００〜８
％、Ｎａ２０７〜２０％。
組成は１重量百分率で５ｉＯ２５５〜６４％、ＡＮｚ０
，７〜２０％、Ｂ２０，１１〜１９％、Ｌｉ２００〜８
％、Ｎａ２０７〜２０％。
Ｋ２Ｏ０〜４％、 ＲＯＯ，５〜７％（ただしＲはＭ
ｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａをあられす）からなり、実質的に
ＺｎＯを含有しないことを特徴とし、より好ましくは（
Ｌ ｉ２０ ＋ Ｎ ａ ２０ ） ／ （Ｌ １２０
＋Ｎａ２Ｏ＋に２０）が０．７以上であることを特徴と
する。
ｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａをあられす）からなり、実質的に
ＺｎＯを含有しないことを特徴とし、より好ましくは（
Ｌ ｉ２０ ＋ Ｎ ａ ２０ ） ／ （Ｌ １２０
＋Ｎａ２Ｏ＋に２０）が０．７以上であることを特徴と
する。
各成分の含有量を上記のように限定した理由は以下のと
おりである。
おりである。
ＳｉＯ２はガラスの骨格を構成する成分であり。
その含有量は５５〜６４％である。５５％より少ないと
熱膨張係数が大きくなりすぎるとともに耐候性が悪化し
、ヤケによるガラス表面の変質が起こりやすくなる。６
４％より多くなると熱膨張係数が小さくなりすぎるとと
もにガラスの溶融が困難になる。
熱膨張係数が大きくなりすぎるとともに耐候性が悪化し
、ヤケによるガラス表面の変質が起こりやすくなる。６
４％より多くなると熱膨張係数が小さくなりすぎるとと
もにガラスの溶融が困難になる。
八β２０３はイオン交換を促進するのに著しい効果があ
り、その含有量は７〜２０％である。７％より少ないと
その効果がなく、２０％より多くなるとガラスの溶融が
著しく困難になる。
り、その含有量は７〜２０％である。７％より少ないと
その効果がなく、２０％より多くなるとガラスの溶融が
著しく困難になる。
８２０３は熱膨張係数を大きくすることなくガラスの溶
融を促進する融剤であり、その含有量は１１〜１９％で
ある。１１％より少ないと融剤としての効果がなく、ガ
ラスの溶融が困難になる。
融を促進する融剤であり、その含有量は１１〜１９％で
ある。１１％より少ないと融剤としての効果がなく、ガ
ラスの溶融が困難になる。
１９％より多くなるとガラス溶融時にガラス表面からの
蒸発が多くなり、変質層を形成して均質なガラスが得難
くなるとともに耐候性が悪化する。
蒸発が多くなり、変質層を形成して均質なガラスが得難
くなるとともに耐候性が悪化する。
Ｌｉ２Ｑは熱膨張係数を調整するとともにガラスの溶融
を著しく促進する。Ｌｉ２ＯのＬｉ＋をＮａ＋イオンお
よびに＋イオンとイオン交換処理することで、ガラス表
面に圧縮応力層ができてガラスの強化を行うことができ
、その含有量は０〜８％である。８％より多いと、ガラ
ス溶融時にガラス表面からの蒸発が多くなり、均質なガ
ラスが得難く成型後のガラスの耐候性も悪化する。
を著しく促進する。Ｌｉ２ＯのＬｉ＋をＮａ＋イオンお
よびに＋イオンとイオン交換処理することで、ガラス表
面に圧縮応力層ができてガラスの強化を行うことができ
、その含有量は０〜８％である。８％より多いと、ガラ
ス溶融時にガラス表面からの蒸発が多くなり、均質なガ
ラスが得難く成型後のガラスの耐候性も悪化する。
Ｎａ２０は熱膨張係数を調整するとともにガラスの溶融
を促進する。さらにＮａ２０のＮａ＋イオンをイオン交
換処理によりに＋イオンと交換することでガラス表面に
圧縮応力層ができてガラスの強化を行うことができ、そ
の含有量は７〜２０％である。７％より少ないと熱膨張
係数が小さくなりすぎるとともイオン交換処理による強
化が著しく困難になる。２０％より多いと熱膨張係数が
大きくなりすぎる。
を促進する。さらにＮａ２０のＮａ＋イオンをイオン交
換処理によりに＋イオンと交換することでガラス表面に
圧縮応力層ができてガラスの強化を行うことができ、そ
の含有量は７〜２０％である。７％より少ないと熱膨張
係数が小さくなりすぎるとともイオン交換処理による強
化が著しく困難になる。２０％より多いと熱膨張係数が
大きくなりすぎる。
Ｋ２ＯはＮａ２Ｏと同様に熱膨張係数を調整するととも
にガラスの溶融を促進する。しかしながらに２０はガラ
ス中のＮａ＋イオンと溶融塩中のに＋イオンとの交換を
阻害するので４％以下にする。さらにイオン交換反応が
効率良く行われるためには、Ｌｉ２０．Ｎａ２０および
に２０の割合に２０／ （Ｌ ｉ２０＋Ｎａ２０＋に２
０）が０．３未満すなわち（Ｌ ｉ ２０＋Ｎａ２０）
／ （Ｌ ｉ ２０＋Ｎａ２Ｏ＋に２０）が０．７以
上であることが好ましい。
にガラスの溶融を促進する。しかしながらに２０はガラ
ス中のＮａ＋イオンと溶融塩中のに＋イオンとの交換を
阻害するので４％以下にする。さらにイオン交換反応が
効率良く行われるためには、Ｌｉ２０．Ｎａ２０および
に２０の割合に２０／ （Ｌ ｉ２０＋Ｎａ２０＋に２
０）が０．３未満すなわち（Ｌ ｉ ２０＋Ｎａ２０）
／ （Ｌ ｉ ２０＋Ｎａ２Ｏ＋に２０）が０．７以
上であることが好ましい。
アルカリ土類金属酸化物ＲＯ（ＭｇＯ，ＣａＯ８ｒＯお
よびＢａｄ）は、ガラスの耐候性を向上させる成分であ
り、その含有量は０．５〜７％である。０．５％より少
ないと上記の効果がなく、７％より多いとイオン交換を
阻害する。
よびＢａｄ）は、ガラスの耐候性を向上させる成分であ
り、その含有量は０．５〜７％である。０．５％より少
ないと上記の効果がなく、７％より多いとイオン交換を
阻害する。
またＺｎＯはイオン交換による表面応力値を低下させる
ため含有しない方が良い。
ため含有しない方が良い。
［実施例］
次に本発明を実施例に基づいて説明する。
次表は１本発明の実施例（試料ＮＣＬ１〜８）及び比較
例（試料Ｎｏ、９〜１２）の組成と特性を示すものであ
る。
例（試料Ｎｏ、９〜１２）の組成と特性を示すものであ
る。
以下余白
表に示したＮｏ、 １〜１２の各試料は１次のようにし
て調製した。
て調製した。
まず表に示す組成になるようにガラス原料を調製し、白
金坩堝を用いて１５００℃で４時間溶融した。溶融後、
融液をカーボン板上に流し出し。
金坩堝を用いて１５００℃で４時間溶融した。溶融後、
融液をカーボン板上に流し出し。
アニールして熱膨張係数の測定を行った。
また上記ガラス融液を２０ Ｘ １０ Ｘｏ、３５ｍ１
１の薄板状に成形加工した後、ＫＮＯ３中に浸漬して表
の化学処理条件でイオン交換することによってその表面
に圧縮応力層を形成した。その後１表面応力計（東芝硝
子株式会社製ＦＳＸ−６０）を用いて表面応力を測定し
た。その値を表に示す。
１の薄板状に成形加工した後、ＫＮＯ３中に浸漬して表
の化学処理条件でイオン交換することによってその表面
に圧縮応力層を形成した。その後１表面応力計（東芝硝
子株式会社製ＦＳＸ−６０）を用いて表面応力を測定し
た。その値を表に示す。
次にこれらの薄板状ガラス周縁にフリットガラスを塗布
し１図面に示すようにアルミナ基板に封着した。図中で
、１は薄板状ガラス、２はフリットガラス、３はアルミ
ナ基板を各々示す。これらの試料についてヘリウム加圧
試験及び熱シヨツク試験を行った。その結果を表に示す
。
し１図面に示すようにアルミナ基板に封着した。図中で
、１は薄板状ガラス、２はフリットガラス、３はアルミ
ナ基板を各々示す。これらの試料についてヘリウム加圧
試験及び熱シヨツク試験を行った。その結果を表に示す
。
さらに上記融液を形成加工して２０Ｘ１０Ｘ１間の板状
ガラスを作製し、これらの波長２５３．７ｎｍにおける
紫外線透過率を測定した。その値も表に示す。
ガラスを作製し、これらの波長２５３．７ｎｍにおける
紫外線透過率を測定した。その値も表に示す。
表から明らかなように１本発明の実施例であるＮｏ、
１〜８の各試料は、熱膨張係数が６６．２〜７４．３Ｘ
１０−’／℃であるためアルミナとの封着性に優れてい
る。
１〜８の各試料は、熱膨張係数が６６．２〜７４．３Ｘ
１０−’／℃であるためアルミナとの封着性に優れてい
る。
またイオン交換により４５５０ｋｇ”ｆ／ｃ−以上の表
面圧縮応力層が形成された。このことからイオン交換処
理に適していることがわかる。
面圧縮応力層が形成された。このことからイオン交換処
理に適していることがわかる。
またヘリウム加圧試験、熱シヨツク試験ともに破損が起
こらず高い強度を示した。
こらず高い強度を示した。
さらにいずれも波長２５３．７ｎｍで８２％以上の高い
紫外線透過率を有していた。
紫外線透過率を有していた。
一方イオン交換しなかった比較例であるＮ０９９の試料
及び５０ｋｇ−ｆ／ｃ−の表面圧縮応力層が形成された
Ｎｏ、 １０の試料は、いずれもヘリウム加圧試験で破
損が生じた。またＮｏ、 １１の試料は熱膨張係数が大
きすぎてアルミナのそれと整合しないため。
及び５０ｋｇ−ｆ／ｃ−の表面圧縮応力層が形成された
Ｎｏ、 １０の試料は、いずれもヘリウム加圧試験で破
損が生じた。またＮｏ、 １１の試料は熱膨張係数が大
きすぎてアルミナのそれと整合しないため。
熱シヨツク試験で破損が生じた。さらにＮｏ、 １２の
試料はＺｎＯを含有するために充分な表面圧縮重 ４ ５ 力値が得られず、ヘリウム加圧試験で破損が生じた。
試料はＺｎＯを含有するために充分な表面圧縮重 ４ ５ 力値が得られず、ヘリウム加圧試験で破損が生じた。
尚２表中の熱膨張係数は示差熱膨張計で３０〜３８０℃
の温度範囲の平均熱膨張係数を測定したものである。
の温度範囲の平均熱膨張係数を測定したものである。
［発明の効果］
以上のように、本発明のアルミナパッケージ用薄板状ガ
ラスは、アルミナとの封着性に優れている上に、厚さ０
．７ｍｍ以下でも充分な強度を有しているので、半導体
素子や電気光学素子を封入する高密度実装用薄型アルミ
ナパッケージのキャップ用ガラスに適しており１特にＥ
ＰＲＯＭ用薄型アルミナパッケージのキャップ用ガラス
として好適である。
ラスは、アルミナとの封着性に優れている上に、厚さ０
．７ｍｍ以下でも充分な強度を有しているので、半導体
素子や電気光学素子を封入する高密度実装用薄型アルミ
ナパッケージのキャップ用ガラスに適しており１特にＥ
ＰＲＯＭ用薄型アルミナパッケージのキャップ用ガラス
として好適である。
図面は、薄板状ガラスをフリットガラスによって封着し
たアルミナ基板の断面図である。 １・・・薄板状ガラス、２・・・フリットガラス ３・
・手続補正書（自船 平成２年７０月３ 日
たアルミナ基板の断面図である。 １・・・薄板状ガラス、２・・・フリットガラス ３・
・手続補正書（自船 平成２年７０月３ 日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、成分としてアルカリ金属酸化物を含むアルミナパッ
ケージ用薄板状硼けい酸ガラスにおいて、３０〜３８０
℃の温度範囲における熱膨張係数が５０〜７５×１０＾
−＾７／℃であり、しかも該ガラスの表面において、前
記アルカリ金属酸化物の少なくとも一つの金属イオンが
それよりイオン半径の大きな他のアルカリ金属イオンに
よってイオン交換されており、これにより、２００ｋｇ
・ｆ／ｃｍ＾２以上の表面圧縮応力を有していることを
特徴とするアルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラス
。 ２、０．７ｍｍ以下の厚みを有することを特徴とする請
求項第１項のアルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラ
ス。 ３、波長２５３．７ｎｍの紫外線に対する厚み１ｍｍに
おける紫外線透過率が４０％以上であることを特徴とす
る請求項第１項のアルミナパッケージ用薄板状硼けい酸
ガラス。 ４、重量比で、ＳｉＯ＿２５５〜６４％、Ａｌ＿２Ｏ＿
３７〜２０％、Ｂ＿２Ｏ＿３１１〜１９％、Ｌｉ＿２Ｏ
０〜８％、Ｎａ＿２Ｏ７〜２０％、Ｋ＿２Ｏ０〜４％、
およびＲＯ０．５〜７％（ここで、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、およびＢａを表す）からなり、実質的にＺｎＯを含
有しないことを特徴とする請求項第１項のアルミナパッ
ケージ用薄板状硼けい酸ガラス。 ５、上記Ｌｉ＿２Ｏ、Ｎａ＿２ＯおよびＫ＿２Ｏの重量
比は、（Ｌｉ＿２Ｏ＋Ｎａ＿２Ｏ）／（ＬＩ＿２Ｏ＋Ｎ
ａ＿２Ｏ＋Ｋ＿２Ｏ）が０．７以上となるように調整さ
れていることを特徴とする請求項第４項のアルミナパッ
ケージ用薄板状硼けい酸ガラス。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2218083A JPH03237036A (ja) | 1989-08-24 | 1990-08-21 | アルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラス |
| US07/938,936 US5277946A (en) | 1989-08-24 | 1992-09-01 | Alumina package for hermetically containing an electronic device therein |
Applications Claiming Priority (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21788489 | 1989-08-24 | ||
| JP1-217884 | 1989-08-24 | ||
| JP1-343741 | 1989-12-27 | ||
| JP34374189 | 1989-12-27 | ||
| JP2218083A JPH03237036A (ja) | 1989-08-24 | 1990-08-21 | アルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラス |
| US57337890A | 1990-08-24 | 1990-08-24 | |
| US07/938,936 US5277946A (en) | 1989-08-24 | 1992-09-01 | Alumina package for hermetically containing an electronic device therein |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03237036A true JPH03237036A (ja) | 1991-10-22 |
Family
ID=27529647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2218083A Pending JPH03237036A (ja) | 1989-08-24 | 1990-08-21 | アルミナパッケージ用薄板状硼けい酸ガラス |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| US (1) | US5277946A (ja) |
| JP (1) | JPH03237036A (ja) |
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