JPH02267136A - イーピーロム（ｅｐｒｏｍ）窓用の紫外線透過性硝子 - Google Patents
イーピーロム（ｅｐｒｏｍ）窓用の紫外線透過性硝子Info
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Classifications
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＥＰＲＯＭ用の紫外線透過性硝子に関する。
（従来の技術）
一般に、消去可能な、プログラム化できる、読み取り専
用記憶装置（ＥＲＲＯＭ）パッケージは、ａ）チップ取
り付は部を持ち、その上に導電性相互連絡パターンを持
ち、これらのパターンのそれぞれの一端がチップ取り付
は部に隣接している絶縁基板、 ｂ）チップがその表面上に複数の電極を持つ、チップ取
り付は部上に取り付けたイーピーロムチップ Ｃ〉 該電極をパターンのそれぞれの一端に接続するた
めの手段、および ｄ）紫外線透過性硝子から成る窓を含む絶縁基板のカバ
ー から成る。
用記憶装置（ＥＲＲＯＭ）パッケージは、ａ）チップ取
り付は部を持ち、その上に導電性相互連絡パターンを持
ち、これらのパターンのそれぞれの一端がチップ取り付
は部に隣接している絶縁基板、 ｂ）チップがその表面上に複数の電極を持つ、チップ取
り付は部上に取り付けたイーピーロムチップ Ｃ〉 該電極をパターンのそれぞれの一端に接続するた
めの手段、および ｄ）紫外線透過性硝子から成る窓を含む絶縁基板のカバ
ー から成る。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、特にイーピーロムチップにおける窓用に設計
した、−群の紫外線透過性硝子組成物の製造を目的とし
ている。そのの用途のために設計する硝子には、次の４
つの基準が極めて望ましいとされている。
した、−群の紫外線透過性硝子組成物の製造を目的とし
ている。そのの用途のために設計する硝子には、次の４
つの基準が極めて望ましいとされている。
第一に、硝子は、イーピーロムパッケージで絶縁材とし
て一般に使用されるＡ１□０３によるサウンドシーリン
グを確保するために、熱膨張係数（０°−３００℃）が
４６−５２ ＸＩＯ”７／℃の間になければならない。
て一般に使用されるＡ１□０３によるサウンドシーリン
グを確保するために、熱膨張係数（０°−３００℃）が
４６−５２ ＸＩＯ”７／℃の間になければならない。
第二に、硝子は、２５４ｎｍの波長で、Ｉ ＪｎＩｎの
厚さで少なくとも８０％の透過率を示さなければならな
い。
厚さで少なくとも８０％の透過率を示さなければならな
い。
第三に、硝子は、ＡＪ２□０３に対して迅速に封入でき
るためには、７００℃未満の軟化点を有していなければ
ならない。
るためには、７００℃未満の軟化点を有していなければ
ならない。
第四に、溶融中にフッ素が蒸発するために硝子形成が困
難になり、環境汚染の危険があるので、硝子の組成物が
フッ素を含んでいてはならない。
難になり、環境汚染の危険があるので、硝子の組成物が
フッ素を含んでいてはならない。
イーピーロム製造者が使用するアルミナの種類は多様で
ある。そのため、各種のアルミナは異なった微細構造を
持ち、その結果、固有強度および熱膨張が異なっている
。例えば、市販のアルミナの熱膨張係数（０°−３００
℃）は、約８５−８０ Ｘ １０−７ ／℃の範囲で変
化する。そのような著しい変化は、硝子−アルミナシー
ルの一体性、および任意の個々の硝子組成窓であるシー
ルの冷却中にアルミナの中で発生する応力の程度の両方
に明らかに影響する。
ある。そのため、各種のアルミナは異なった微細構造を
持ち、その結果、固有強度および熱膨張が異なっている
。例えば、市販のアルミナの熱膨張係数（０°−３００
℃）は、約８５−８０ Ｘ １０−７ ／℃の範囲で変
化する。そのような著しい変化は、硝子−アルミナシー
ルの一体性、および任意の個々の硝子組成窓であるシー
ルの冷却中にアルミナの中で発生する応力の程度の両方
に明らかに影響する。
一般的な封入方法では、−緒に封入する成分間の膨張の
不釣り合いが５００ｐｐｍ未満であれば、それは一般に
は良好な封入であると見なされるのに対し、その差が１
１０００ｐｐ未満であれば、サウンドシールに変えた場
合、より異常な状況が生じ得る。
不釣り合いが５００ｐｐｍ未満であれば、それは一般に
は良好な封入であると見なされるのに対し、その差が１
１０００ｐｐ未満であれば、サウンドシールに変えた場
合、より異常な状況が生じ得る。
イーピーロムパッケージの製造においては、経験的に、
硝子とアルミナとの間の膨張の差が約５００ｐｐｍより
も大きいと、シールの両成分に過剰な応力がかかること
が分かつている。そのようなシールにおいては、アルミ
ナ中で発生する過剰の応力は、イーピーロムパッケージ
のアルミナ成分を壊す原因になると考えられている。
硝子とアルミナとの間の膨張の差が約５００ｐｐｍより
も大きいと、シールの両成分に過剰な応力がかかること
が分かつている。そのようなシールにおいては、アルミ
ナ中で発生する過剰の応力は、イーピーロムパッケージ
のアルミナ成分を壊す原因になると考えられている。
イービーロムパッケージ用材料の設計で考慮しなければ
ならない、もう１つの極めて重要な点は、そのようなパ
ッケージには非常に強い耐熱衝撃性が要求されることで
ある。そのため、通常の硝子に比べて、アルミナの熱伝
導性が高いので、加熱中に硝子よりもアルミナがより急
速に膨張し、硝子によるシールの密閉性が失われる危険
性がある。
ならない、もう１つの極めて重要な点は、そのようなパ
ッケージには非常に強い耐熱衝撃性が要求されることで
ある。そのため、通常の硝子に比べて、アルミナの熱伝
導性が高いので、加熱中に硝子よりもアルミナがより急
速に膨張し、硝子によるシールの密閉性が失われる危険
性がある。
それゆえ、硝子とアルミナとの間の熱膨張の差は、約２
００ｐｐｍ以上であることが必須であると考えられてい
る。
００ｐｐｍ以上であることが必須であると考えられてい
る。
従って、本発明の主目的は、上記の４つの基準を満たし
、さらに、アルミナ中に封入した時に約２００−５０（
ｌｐｐｍの間の熱膨張差を示す、イーピーロムチップ用
の窓としての加工に適した硝子を開発することである。
、さらに、アルミナ中に封入した時に約２００−５０（
ｌｐｐｍの間の熱膨張差を示す、イーピーロムチップ用
の窓としての加工に適した硝子を開発することである。
（課題を解決するための手段およびその作用効果）この
目的は、本質的にフッ化物を含まず、酸化物に対するモ
ルパーセントで表わして、本質的にＳｔ ０２ ８０
−７０ Ｎａ ２０ ２．５−５Ｂ２０３ １Ｂ
−２０Ｋｚ０ ０−３Ａｆ！□ ０３ １−８
Ｌｉ ２ ０ １−６から成り、モル比 Ｒ２０（Ｌｉ２０＋Ｎａ２Ｏ＋に２０）： Ｒｚ ０３
（Ｂ２０３ ＋ＡＪｌ！２０３ ）が０．３より大
きく、０，５よりも小さい硝子組成で達成できることが
分かった。この比を守ることは、必要な紫外線透過性を
持ち、一方、望ましい低軟化点および熱膨張係数を維持
する硝子を確保する上で非常に重要である。アルカリ金
属酸化物の量が少なすぎると、硝子は硬くなり、アルカ
リ金属酸化物の量が多すぎると、紫外線透過性が損なわ
れる。モルパーセントを重量パーセントに正確に換算す
ることは不可能であるが、上記のモルパーセント範囲は
、重量パーセントに換算した下記の組成範囲に非常に近
似している。
目的は、本質的にフッ化物を含まず、酸化物に対するモ
ルパーセントで表わして、本質的にＳｔ ０２ ８０
−７０ Ｎａ ２０ ２．５−５Ｂ２０３ １Ｂ
−２０Ｋｚ０ ０−３Ａｆ！□ ０３ １−８
Ｌｉ ２ ０ １−６から成り、モル比 Ｒ２０（Ｌｉ２０＋Ｎａ２Ｏ＋に２０）： Ｒｚ ０３
（Ｂ２０３ ＋ＡＪｌ！２０３ ）が０．３より大
きく、０，５よりも小さい硝子組成で達成できることが
分かった。この比を守ることは、必要な紫外線透過性を
持ち、一方、望ましい低軟化点および熱膨張係数を維持
する硝子を確保する上で非常に重要である。アルカリ金
属酸化物の量が少なすぎると、硝子は硬くなり、アルカ
リ金属酸化物の量が多すぎると、紫外線透過性が損なわ
れる。モルパーセントを重量パーセントに正確に換算す
ることは不可能であるが、上記のモルパーセント範囲は
、重量パーセントに換算した下記の組成範囲に非常に近
似している。
Ｓｔ Ｏｚ ６１−６９ Ｌｉ ｚ Ｏ０，５
−３Ｂ２０３ １Ｂ−２０Ｎａ ２０ ３５．２
５Ａｊ！ｚ０３１−８ ＫｚＯＯ−３約１．２５
モルパーセント（１重量パーセント）までの塩素を、ホ
ウケイ酸硝子の清澄剤としての通常の役割で、含むこと
ができる。また、硝子の溶融および／または成形特性を
変えるために、または何かの望ましい物理的特性を与え
るために、少量（最も好ましくは合計で３モルパーセン
ト未満）の相容性のある金属酸化物を含んでも良い。そ
れでも、そのような添加物によって、上記の４つの基準
に重大な悪影響を与えてはならない。例えば、ＣａＯを
約０．３重量パーセントの量で添加すると、硝子の溶融
特性が向上するようである。
−３Ｂ２０３ １Ｂ−２０Ｎａ ２０ ３５．２
５Ａｊ！ｚ０３１−８ ＫｚＯＯ−３約１．２５
モルパーセント（１重量パーセント）までの塩素を、ホ
ウケイ酸硝子の清澄剤としての通常の役割で、含むこと
ができる。また、硝子の溶融および／または成形特性を
変えるために、または何かの望ましい物理的特性を与え
るために、少量（最も好ましくは合計で３モルパーセン
ト未満）の相容性のある金属酸化物を含んでも良い。そ
れでも、そのような添加物によって、上記の４つの基準
に重大な悪影響を与えてはならない。例えば、ＣａＯを
約０．３重量パーセントの量で添加すると、硝子の溶融
特性が向上するようである。
（先行技術）
本出願人が所有する米国特許第４，７９２，５３５号も
、１ｍｍ厚で２５４ｎｍの波長で、少なくとも８０％の
紫外線透過性を示すアルカリ金属ホウアルミノケイ酸塩
硝子の製造を目的としている。この硝子は、５６−６２
ｘ １０−” ／℃の間の熱膨張係数（０°−３００
℃）、即ち本発明に係わる硝子の熱膨張係数よりも高い
熱膨張係数を示し、本質的に、重量パーセントに換算し
て、 Ｓｔ ０２ ５ｇ Ｂ２ Ｌｉ ２０ １−
２．５Ｂ２０３ １５１８ Ｎａ ２０ ５．
５−６．５ＡＩ！。０３１Ｌ、５−１４．５ Ｋｚ
ＯＯ−２から成る。これらの組成は、本発明の硝子
で要求されるＮａｎｏの範囲の外にあり、５ｉＯ７およ
びＢ２Ｏ３の範囲が一般により低い、Ａ１□０３の範囲
が一般的により高いたけでなく、最も不可欠な、Ｒ２０
およびＲ２Ｏ３の含有量を必須の比０．３ ＜Ｒ２０：
Ｒ２ｏ３＜０．５の中に保つ必要性すら示していない
。
、１ｍｍ厚で２５４ｎｍの波長で、少なくとも８０％の
紫外線透過性を示すアルカリ金属ホウアルミノケイ酸塩
硝子の製造を目的としている。この硝子は、５６−６２
ｘ １０−” ／℃の間の熱膨張係数（０°−３００
℃）、即ち本発明に係わる硝子の熱膨張係数よりも高い
熱膨張係数を示し、本質的に、重量パーセントに換算し
て、 Ｓｔ ０２ ５ｇ Ｂ２ Ｌｉ ２０ １−
２．５Ｂ２０３ １５１８ Ｎａ ２０ ５．
５−６．５ＡＩ！。０３１Ｌ、５−１４．５ Ｋｚ
ＯＯ−２から成る。これらの組成は、本発明の硝子
で要求されるＮａｎｏの範囲の外にあり、５ｉＯ７およ
びＢ２Ｏ３の範囲が一般により低い、Ａ１□０３の範囲
が一般的により高いたけでなく、最も不可欠な、Ｒ２０
およびＲ２Ｏ３の含有量を必須の比０．３ ＜Ｒ２０：
Ｒ２ｏ３＜０．５の中に保つ必要性すら示していない
。
特許第４，７９２，５３５号は多くの先行技術の参考文
献を示しており、他の特許も特許出願の際に記載してい
る。しかし、この特許は、本発明に対する最も適切な開
示を構成していると考える。
献を示しており、他の特許も特許出願の際に記載してい
る。しかし、この特許は、本発明に対する最も適切な開
示を構成していると考える。
（実 施 例）
第１表に、バッチから計算した、酸化物に対するモルパ
ーセントで表わした一群の硝子組成、および本発明のパ
ラメータを示す。第１Ａ表は、酸化物に対する重量パー
セントに換算した、同じ群の硝子を示す。個々の原料の
合計か１００になっている、または１００に近くなって
いるので、あらゆる実際的な目的に対して、幾つかの成
分に関して第１Ａ表に挙げた数値は、重量部を表わすと
考えることかできる。塩化物清澄剤の残りがとの陽イオ
ンと結合しているかは分からないので、通常の硝子分析
法に従い、単に塩化物として表わす。実際のバッチ原料
は、酸化物でも他の化合物でも、どのような物質を含ん
でいても良く、それらは溶融すれば、適切な比率の望ま
しい酸化物に転換される。例えば、ＬＩ 、、Ｏおよび
Ｎａｎｏの供給源としてそれぞれＬｉ２ＣＯ３およびＮ
ａ、、ＣＯ３を使用できる。とはいっても、酸化鉄やチ
タニアなどの不純物が存在すると、硝子の紫外線透過性
が悪影響を受けるので、高純度のバッチ原料が非常に好
ましい。
ーセントで表わした一群の硝子組成、および本発明のパ
ラメータを示す。第１Ａ表は、酸化物に対する重量パー
セントに換算した、同じ群の硝子を示す。個々の原料の
合計か１００になっている、または１００に近くなって
いるので、あらゆる実際的な目的に対して、幾つかの成
分に関して第１Ａ表に挙げた数値は、重量部を表わすと
考えることかできる。塩化物清澄剤の残りがとの陽イオ
ンと結合しているかは分からないので、通常の硝子分析
法に従い、単に塩化物として表わす。実際のバッチ原料
は、酸化物でも他の化合物でも、どのような物質を含ん
でいても良く、それらは溶融すれば、適切な比率の望ま
しい酸化物に転換される。例えば、ＬＩ 、、Ｏおよび
Ｎａｎｏの供給源としてそれぞれＬｉ２ＣＯ３およびＮ
ａ、、ＣＯ３を使用できる。とはいっても、酸化鉄やチ
タニアなどの不純物が存在すると、硝子の紫外線透過性
が悪影響を受けるので、高純度のバッチ原料が非常に好
ましい。
鉄か第二鉄（Ｆｅ＋３）の状態で存在すると、紫外線透
過性に極めて悪い影響を与える。そのため、高純度のバ
ッチ原料を使用しても、約０．３−２重量％のコーンス
ターチを各硝子バッチに入れて、第二鉄イオンを第一鉄
の状態（Ｆｅ＋２）に完全に転換した。幾つかの硝子の
バッチを混合し、均質な溶融物にするために原料を注意
深く混合し、シリカるつぼに充填した。これらのるつほ
を約１５５０℃の炉の中にいれ、るつぼの上に窒素ガス
を流して還元性雰囲気を保ちながら、４−６時間溶融し
た。
過性に極めて悪い影響を与える。そのため、高純度のバ
ッチ原料を使用しても、約０．３−２重量％のコーンス
ターチを各硝子バッチに入れて、第二鉄イオンを第一鉄
の状態（Ｆｅ＋２）に完全に転換した。幾つかの硝子の
バッチを混合し、均質な溶融物にするために原料を注意
深く混合し、シリカるつぼに充填した。これらのるつほ
を約１５５０℃の炉の中にいれ、るつぼの上に窒素ガス
を流して還元性雰囲気を保ちながら、４−６時間溶融し
た。
その後、るつぼを構成の金型に注ぎ込み、約１２７ｍｍ
Ｘ１２７ ｍｍ×Ｌ２．７ｍｍ （５’ Ｘ ５’ ｘ
Ｏ，５’ ）の寸法を持つ硝子の厚板を作り、これらの
厚板を直ちに約５００℃の徐冷装置に移した。この徐冷
した厚板から試料を切り取り、紫外線透過性および一般
的な物理特性を試験した。
Ｘ１２７ ｍｍ×Ｌ２．７ｍｍ （５’ Ｘ ５’ ｘ
Ｏ，５’ ）の寸法を持つ硝子の厚板を作り、これらの
厚板を直ちに約５００℃の徐冷装置に移した。この徐冷
した厚板から試料を切り取り、紫外線透過性および一般
的な物理特性を試験した。
上記の工程は実験室における溶融および成形作業だけを
説明したものだが、本発明に係わる硝子はζ大型の連続
式溶融タンクを含む、通常の硝子溶融設備で溶融するこ
とができ、硝子製造業における通常の技術を使用して、
必須な構造に成形することができる。
説明したものだが、本発明に係わる硝子はζ大型の連続
式溶融タンクを含む、通常の硝子溶融設備で溶融するこ
とができ、硝子製造業における通常の技術を使用して、
必須な構造に成形することができる。
第１表には、モル比Ｒ２０： Ｒ２０３、軟化点、徐冷
温度、′Ｃで表わした歪み点、０°−３００℃の範囲に
渡るＸ ］、 Ｏ−７／ ’Ｃに換算した熱膨張係数、
液相線（℃）、および研磨した１ ｍｍ厚における２５
４ｎｍでの透過率％を示す。
温度、′Ｃで表わした歪み点、０°−３００℃の範囲に
渡るＸ ］、 Ｏ−７／ ’Ｃに換算した熱膨張係数、
液相線（℃）、および研磨した１ ｍｍ厚における２５
４ｎｍでの透過率％を示す。
Ｌｉ０２
ＡＩ！ｚ ０３
Ｌ１□ Ｏ
Ｎａ２０
に２０
ＣＩ！
Ｒ２０：Ｒ２Ｏ３
軟化点
徐冷
ひずみ
膨張係数
液相線
透過率
ｊ０２
ＡＪ！２０３
Ｌｉ２ Ｏ
Ｎａｎｏ
Ｃｌ
軟化点
徐冷
ひずみ
膨張係数
液相線
透過率
第 １ 表（モル％）
６ｇ、１ ７１．０ ６６．１ ６５．０ Ｂ５．１
６９．０ ６４．２１ｇ、９ １８，９ １８．９
１７．ＯＬ８．９ １８．９ １９．１４．３ Ｌ
、３ ４．２ ７．２ ７Ｊ ４．３ ４．
３１．３ Ｌ、５ ３．４ ５．５ １！
１．５ ５．４４．８ ４．８ ４．８
３．８ ４．８ ４．８ ４．８１．５ １．
５ １．５ ０．５ １．５ ０．５ １．
５１．１ １．１ １．１ １．１ １．１
１．１ ０．８０．３２９０．３７７０．４１５０
Ｊ６７０．２９３０．２８８０．５６９２ ［ｉ９
９ Ｇ７４ ６８３ ７５１ ７０ｆ３
Ｇ５３４６３ ４９［ｉ ４７０ ４５
９ ４５８ ４６２ ４７１４９ ４７
５１ ５２ ５３ ４７ ５７Ｊ７９１
− − ７８４ １．０３３ ７９２
８４２Ｂ４．ｉ ［ｉ［ｉ、Ｉ Ｂ５．ＯＧ６
．２ Ｂ２．２ ６７．８１９．０ １５．７ １ｇ
、９ １９．１ １９．１． １９．４４．３ ７．
３ ７．３ ４，３ １０．３ ４．１１、．３
４．５ ↑、３ Ｌ、４ １．４
−４．８ ５．２ ５．７ ４．８ ４．８
６．５５．５ − ０．６ ３．５ １．
５ １．２１．１ １．１ １．１ ０．［ｉ
０．［＋ １．１６２ ５２ ５３
５５．６ ５２．６ ５２．５第１Ａ表（重量部） Ｌｉ０２ Ａ、、［ｊ２ ｏ３ Ｌｉ ２ Ｏ Ｎａ２０ に２０ Ｃｆ！ ６１．８ １８．８ １１．７ ２．６ ３．７ ０．７ ０．６ ６０．２ ２０．４ １１．４ ０．６ ４．６ ２．２ ０．６ ｊ０２ Ｌｉ ２ ０ Ｎａｎ。
６９．０ ６４．２１ｇ、９ １８，９ １８．９
１７．ＯＬ８．９ １８．９ １９．１４．３ Ｌ
、３ ４．２ ７．２ ７Ｊ ４．３ ４．
３１．３ Ｌ、５ ３．４ ５．５ １！
１．５ ５．４４．８ ４．８ ４．８
３．８ ４．８ ４．８ ４．８１．５ １．
５ １．５ ０．５ １．５ ０．５ １．
５１．１ １．１ １．１ １．１ １．１
１．１ ０．８０．３２９０．３７７０．４１５０
Ｊ６７０．２９３０．２８８０．５６９２ ［ｉ９
９ Ｇ７４ ６８３ ７５１ ７０ｆ３
Ｇ５３４６３ ４９［ｉ ４７０ ４５
９ ４５８ ４６２ ４７１４９ ４７
５１ ５２ ５３ ４７ ５７Ｊ７９１
− − ７８４ １．０３３ ７９２
８４２Ｂ４．ｉ ［ｉ［ｉ、Ｉ Ｂ５．ＯＧ６
．２ Ｂ２．２ ６７．８１９．０ １５．７ １ｇ
、９ １９．１ １９．１． １９．４４．３ ７．
３ ７．３ ４，３ １０．３ ４．１１、．３
４．５ ↑、３ Ｌ、４ １．４
−４．８ ５．２ ５．７ ４．８ ４．８
６．５５．５ − ０．６ ３．５ １．
５ １．２１．１ １．１ １．１ ０．［ｉ
０．［＋ １．１６２ ５２ ５３
５５．６ ５２．６ ５２．５第１Ａ表（重量部） Ｌｉ０２ Ａ、、［ｊ２ ｏ３ Ｌｉ ２ Ｏ Ｎａ２０ に２０ Ｃｆ！ ６１．８ １８．８ １１．７ ２．６ ３．７ ０．７ ０．６ ６０．２ ２０．４ １１．４ ０．６ ４．６ ２．２ ０．６ ｊ０２ Ｌｉ ２ ０ Ｎａｎ。
５９．１ ６２．７ ６０．４ ［ｉｌ、８ ５６．
３ Ｇ３．４２０．４ １７．４ ２０．５ ２０．
６２０，０ ２１．０Ｂ、７ １２．０ １１．５
［ｉ、９ １５．８ Ｂ、５０．６ ２．１
０．６ ０．６ ０．６４．８ ５．１ ５．
５ ４．６ ４．５ Ｂ、３７．９ −
０．９ ５１ ２．１ １．８０．６ ０．
６ ０．８ ０．６ ０．８ １．１第１表を
検討すると、必要な光学的、および物理学的な特性を示
す硝子を製造するには、成分管理が極めて重要であるこ
とが分かる。そこから、実施例１−４だけか必要な特性
を示していることが分かる。実施例５−７から、モル比
Ｒ２０：Ｒ２Ｏ３を０，３よりは大きく、ただし０．５
未満に保つ必要があることか分かる。故に、これらの実
施例の個々の成分は、それらの成分の決められた範囲内
にはあるが、Ｒ２０Ｒ２Ｏ３の比が高過ぎるか、または
低過ぎるのである。実施例８−１３は、本発明で要求さ
れる範囲に近い組成を持つ硝子であるが、個々の成分の
１つ以上が外れている。実施例１が最も好ましい組成で
あると考えられる。
３ Ｇ３．４２０．４ １７．４ ２０．５ ２０．
６２０，０ ２１．０Ｂ、７ １２．０ １１．５
［ｉ、９ １５．８ Ｂ、５０．６ ２．１
０．６ ０．６ ０．６４．８ ５．１ ５．
５ ４．６ ４．５ Ｂ、３７．９ −
０．９ ５１ ２．１ １．８０．６ ０．
６ ０．８ ０．６ ０．８ １．１第１表を
検討すると、必要な光学的、および物理学的な特性を示
す硝子を製造するには、成分管理が極めて重要であるこ
とが分かる。そこから、実施例１−４だけか必要な特性
を示していることが分かる。実施例５−７から、モル比
Ｒ２０：Ｒ２Ｏ３を０，３よりは大きく、ただし０．５
未満に保つ必要があることか分かる。故に、これらの実
施例の個々の成分は、それらの成分の決められた範囲内
にはあるが、Ｒ２０Ｒ２Ｏ３の比が高過ぎるか、または
低過ぎるのである。実施例８−１３は、本発明で要求さ
れる範囲に近い組成を持つ硝子であるが、個々の成分の
１つ以上が外れている。実施例１が最も好ましい組成で
あると考えられる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）熱膨張係数が４６−５２×１０＾−＾７／℃の間に
あり、７００℃未満の軟化点を有し、２５４ｎｍの波長
で、１部の厚さで少なくとも８０％の透過率を示し、本
質的にフッ化物を含まず、酸化物に対するモルパーセン
トで表わして、本質的に、 ＳｉＯ＿２６０−７０ Ｎａ＿２Ｏ２．５−５ Ｂ＿２Ｏ＿３１６−２０ Ｋ＿２Ｏ０−３ Ａｌ＿２Ｏ＿３１−８ Ｌｉ＿２Ｏ１−６ から成り、モル比Ｒ＿２Ｏ：Ｒ＿２Ｏ＿３が０．３より
も大きく、０．５よりも小さい紫外線透過性硝子。 ２）紫外線透過性硝子を製造するためのバッチ原料が、
１．１％までのＣｌをも含んでいることを特徴とする請
求項１記載の紫外線透過性硝子。 ３）大体の組成が、 ＳｉＯ＿２６８．１ Ｎａ＿２Ｏ４．８ Ｂ＿２Ｏ＿３１８．９ Ｋ＿２Ｏ１．５ Ａｌ＿２Ｏ＿３４．３ Ｃｌ１．１ Ｌｉ＿２Ｏ１．３ であることを特徴とする請求項２記載の紫外線透過性硝
子。 ４）ａ）チップ取り付け部を持ち、その上に導電性相互
連絡パターンを持ち、これらのパターンのそれぞれの一
端がチップ取り付け部に隣接している絶縁基板、 ｂ）チップがその表面上に複数の電極を持つ、該チップ
取り付け部上に取り付けたイーピーロムチップ、 ｃ）該電極をパターンのそれぞれの一端に接続するため
の手段、および ｄ）紫外線透過性硝子から成る窓を含む絶縁基板のカバ
ー から成るイーピーロムパッケージにおいて、該紫外線透
過性硝子が、フッ化物を含まず、酸化物に対するモルパ
ーセントで表わして、本質的にＳｉＯ＿２６０−７０
Ｎａ＿２Ｏ２．５−５Ｂ＿２Ｏ＿３１６−２０ Ｋ＿２
Ｏ０−３ Ａｌ＿２Ｏ＿３１−８ Ｌｉ＿２Ｏ１−６ から成る組成を持ち、モル比Ｒ＿２Ｏ：Ｒ＿２Ｏ＿３が
０．３よりも大きく、０．５よりも小さいことを特徴と
するイーピーロムパッケージ。 ５）前記紫外線透過性硝子組成用のバッチ原料が１．２
５％までのＣｌをも含むことを特徴とする請求項４記載
のイーピーロムパッケージ。 ６）前記紫外線透過性硝子が、バッチから計算して、大
体の組成 ＳｉＯ＿２６８．１ Ｎａ＿２Ｏ４．８ Ｂ＿２Ｏ＿３１８．９ Ｋ＿２Ｏ１．５ Ａｌ＿２Ｏ＿３４．３ Ｃｌ１．１ Ｌｉ＿２Ｏ１．３ を持つことを特徴とする請求項５記載のイーピーロムパ
ッケージ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US316184 | 1989-02-27 | ||
| US07/316,184 US4925814A (en) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | Ultraviolet transmitting glasses for EPROM windows |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02267136A true JPH02267136A (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=23227894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2044301A Pending JPH02267136A (ja) | 1989-02-27 | 1990-02-23 | イーピーロム（ｅｐｒｏｍ）窓用の紫外線透過性硝子 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4925814A (ja) |
| EP (1) | EP0388581A1 (ja) |
| JP (1) | JPH02267136A (ja) |
| KR (1) | KR900013602A (ja) |
| CA (1) | CA2006787A1 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07187706A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-07-25 | Jenaer Glaswerk Gmbh | 改良された紫外線透過性及び加水分解安定性を有する還元溶融ホウケイ酸ガラス及びその利用法 |
| WO1996031927A1 (fr) * | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Laser a ultraviolet et son procede de fabrication |
| JP2011032162A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Schott Ag | 低減されたホウ素含有量を有する高紫外線透過性ホウケイ酸ガラス |
| JP2013527115A (ja) * | 2010-05-27 | 2013-06-27 | コーニング インコーポレイテッド | 低い軟化温度および高い靭性を有するガラス |
| JP2013230952A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Isuzu Seiko Glass Kk | 紫外可視域透過ガラス |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| JP2016074575A (ja) * | 2014-10-08 | 2016-05-12 | 株式会社オハラ | ガラス |
| WO2018100991A1 (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-07 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過フィルタ |
| JP2021098652A (ja) * | 2015-05-29 | 2021-07-01 | Ａｇｃ株式会社 | 紫外線透過ガラス |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5268335A (en) * | 1992-11-27 | 1993-12-07 | Corning Incorporated | Fast strengthening glass lenses |
| US5536283A (en) * | 1993-07-30 | 1996-07-16 | Norton Company | Alumina abrasive wheel with improved corner holding |
| US5401284A (en) * | 1993-07-30 | 1995-03-28 | Sheldon; David A. | Sol-gel alumina abrasive wheel with improved corner holding |
| DE4338128C1 (de) * | 1993-11-08 | 1995-05-18 | Jenaer Glaswerk Gmbh | Borosilikatglas mit hoher Transmission im UV-Bereich, niedriger Wärmeausdehnung und hoher chemischer Beständigkeit, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung |
| US5711774A (en) * | 1996-10-09 | 1998-01-27 | Norton Company | Silicon carbide abrasive wheel |
| US6118216A (en) * | 1997-06-02 | 2000-09-12 | Osram Sylvania Inc. | Lead and arsenic free borosilicate glass and lamp containing same |
| US5863308A (en) * | 1997-10-31 | 1999-01-26 | Norton Company | Low temperature bond for abrasive tools |
| US6589896B1 (en) | 2002-06-06 | 2003-07-08 | Osram Sylvania Inc. | Lead- and arsenic-free borosilicate glass having improved melting characteristic |
| DE102009021115B4 (de) | 2009-05-13 | 2017-08-24 | Schott Ag | Silicatgläser mit hoher Transmission im UV-Bereich, ein Verfahren zu deren Herstellung sowie deren Verwendung |
| US9562171B2 (en) | 2011-09-22 | 2017-02-07 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Ultraviolet device encapsulant |
| US10490713B2 (en) | 2011-09-22 | 2019-11-26 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Ultraviolet device encapsulant |
| US9139469B2 (en) | 2012-07-17 | 2015-09-22 | Corning Incorporated | Ion exchangeable Li-containing glass compositions for 3-D forming |
| DE102014101140B4 (de) * | 2014-01-30 | 2019-05-23 | Schott Ag | Mit einer glasflussbasierten Beschichtung versehenes Substrat, Glasflussmaterial sowie Verfahren zur Beschichtung eines Glas- oder Glaskeramiksubstrats |
| CN104591539A (zh) * | 2015-01-29 | 2015-05-06 | 中国建筑材料科学研究总院 | 一种远紫外波段高透过率的硼硅酸盐玻璃及其制备方法 |
| DE102018112069A1 (de) | 2018-05-18 | 2019-11-21 | Schott Ag | Verwendung eines Flachglases in elektronischen Bauteilen |
| DE102018112070A1 (de) | 2018-05-18 | 2019-11-21 | Schott Ag | Flachglas, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung |
| CN112047625B (zh) * | 2020-09-17 | 2022-04-15 | 成都光明光电股份有限公司 | 透紫外光学玻璃 |
| DE202022104982U1 (de) | 2022-09-05 | 2023-02-01 | Schott Ag | Nicht flaches Formglas |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6021830A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-04 | Nippon Electric Glass Co Ltd | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3801356A (en) * | 1971-09-16 | 1974-04-02 | H Mulfinger | Method of producing vitreous layers on substrate materials |
| US4792535A (en) * | 1987-09-02 | 1988-12-20 | Corning Glass Works | UV-transmitting glasses |
-
1989
- 1989-02-27 US US07/316,184 patent/US4925814A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-28 CA CA002006787A patent/CA2006787A1/en not_active Abandoned
-
1990
- 1990-01-11 EP EP90100514A patent/EP0388581A1/en not_active Withdrawn
- 1990-01-29 KR KR1019900000935A patent/KR900013602A/ko not_active Application Discontinuation
- 1990-02-23 JP JP2044301A patent/JPH02267136A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6021830A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-04 | Nippon Electric Glass Co Ltd | アルミナ封着用紫外線透過ガラス |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07187706A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-07-25 | Jenaer Glaswerk Gmbh | 改良された紫外線透過性及び加水分解安定性を有する還元溶融ホウケイ酸ガラス及びその利用法 |
| WO1996031927A1 (fr) * | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Laser a ultraviolet et son procede de fabrication |
| US5694411A (en) * | 1995-04-07 | 1997-12-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultraviolet range laser and method for manufacturing the same |
| JP2011032162A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Schott Ag | 低減されたホウ素含有量を有する高紫外線透過性ホウケイ酸ガラス |
| JP2013527115A (ja) * | 2010-05-27 | 2013-06-27 | コーニング インコーポレイテッド | 低い軟化温度および高い靭性を有するガラス |
| JP2016155759A (ja) * | 2010-05-27 | 2016-09-01 | コーニング インコーポレイテッド | 低い軟化温度および高い靭性を有するガラス |
| JP2013230952A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Isuzu Seiko Glass Kk | 紫外可視域透過ガラス |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| JP2018197190A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-12-13 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| JP2016074575A (ja) * | 2014-10-08 | 2016-05-12 | 株式会社オハラ | ガラス |
| JP2021098652A (ja) * | 2015-05-29 | 2021-07-01 | Ａｇｃ株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| WO2018100991A1 (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-07 | 旭硝子株式会社 | 紫外線透過フィルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR900013602A (ko) | 1990-09-06 |
| EP0388581A1 (en) | 1990-09-26 |
| US4925814A (en) | 1990-05-15 |
| CA2006787A1 (en) | 1990-08-27 |
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