JPH03181140A - 半導体組立装置用供給装置 - Google Patents
半導体組立装置用供給装置Info
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- JPH03181140A JPH03181140A JP1318804A JP31880489A JPH03181140A JP H03181140 A JPH03181140 A JP H03181140A JP 1318804 A JP1318804 A JP 1318804A JP 31880489 A JP31880489 A JP 31880489A JP H03181140 A JPH03181140 A JP H03181140A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は多数の被加工板を積層して収納するマガジンよ
り被加工板を１枚づつ押し出す半導体組立装置用供給装
置に関する。
り被加工板を１枚づつ押し出す半導体組立装置用供給装
置に関する。
［従来の技術］
例えば、ワイヤポンディング装置又はペレットポンディ
ング装置等に用いられる被加工板の供給は、通常、多数
のリードフレーム等の被加工板を積層して収納するマガ
ジンを用い、このマガジンをエレベーター部の昇降台に
載架して被加工板の積層間隔に合わせて被加工板を順に
所定のフィーダ一部にレベリングし、プッシャ装置のプ
ッシャアームによってマガジン内からフィーダ一部へ押
し出すことにより行われている。
ング装置等に用いられる被加工板の供給は、通常、多数
のリードフレーム等の被加工板を積層して収納するマガ
ジンを用い、このマガジンをエレベーター部の昇降台に
載架して被加工板の積層間隔に合わせて被加工板を順に
所定のフィーダ一部にレベリングし、プッシャ装置のプ
ッシャアームによってマガジン内からフィーダ一部へ押
し出すことにより行われている。
従来のかかる半導体組立装置用供給装置は、前記したエ
レベーター部の固定部にプッシャ装置が直接取付けられ
ている。またプッシャ装置のプッシャアームを駆動する
駆動源には、一般にエアシリンダが用いられており、こ
のエアシリンダは水平に配置されている。またプッシャ
アームで被加工板を押し出す際に、被加工板がマガジン
内またはフィーダ一部で引掛かった場合については何ら
配慮されていない。
レベーター部の固定部にプッシャ装置が直接取付けられ
ている。またプッシャ装置のプッシャアームを駆動する
駆動源には、一般にエアシリンダが用いられており、こ
のエアシリンダは水平に配置されている。またプッシャ
アームで被加工板を押し出す際に、被加工板がマガジン
内またはフィーダ一部で引掛かった場合については何ら
配慮されていない。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来技術は、エレベーター部の固定部にプッシャ装
置が直接取付けられているので、品種変更によって被加
工板の外形寸法が変ってマガジンの大きさが異なった場
合には、それに伴って被加工板を押し出すためのプッシ
ャアームの位置を独立に調整しなければならず、被加工
板の品種の変更に伴う段取り作業に時間がかかり作業効
率が低下するという問題点があった。
置が直接取付けられているので、品種変更によって被加
工板の外形寸法が変ってマガジンの大きさが異なった場
合には、それに伴って被加工板を押し出すためのプッシ
ャアームの位置を独立に調整しなければならず、被加工
板の品種の変更に伴う段取り作業に時間がかかり作業効
率が低下するという問題点があった。
またプッシャ装置の駆動源は水平に配置されているので
、半導体組立装置用供給装置が大型化すると共に、スペ
ース効率が悪いという問題点があった。
、半導体組立装置用供給装置が大型化すると共に、スペ
ース効率が悪いという問題点があった。
また被加工板の引掛かり等のトラブルについては配慮さ
れていないので、被加工板が破損するという問題点があ
った。
れていないので、被加工板が破損するという問題点があ
った。
本発明の第１の目的は、マガジンの大きさが変更になっ
てもプッシャ装置を独立して調整する必要がなく、段取
り作業時間の短縮が図れる半導体組立装置用供給装置を
提供することにある。
てもプッシャ装置を独立して調整する必要がなく、段取
り作業時間の短縮が図れる半導体組立装置用供給装置を
提供することにある。
本発明の第２の目的は、コンパクトでスペース効率の良
い半導体組立装置用供給装置を提供することにある。
い半導体組立装置用供給装置を提供することにある。
本発明の第３の目的は、被加工板の破損を防止できる半
導体組立装置用供給装置を提供することにある。
導体組立装置用供給装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
上記第１の目的は、エレベーター部を案内するマガジン
スタッカーを固定ガイド部材と被加工板の押し出す方向
に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とにより構威
し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付けること
により遠戚される。
スタッカーを固定ガイド部材と被加工板の押し出す方向
に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とにより構威
し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付けること
により遠戚される。
上記第２の目的は、プッシャ装置の駆動源をマガジンの
被加工板積層方向に沿って配置することにより遠戚され
る。
被加工板積層方向に沿って配置することにより遠戚され
る。
上記第３の目的は、駆動源の動作をプッシャアームに伝
達する動作連結手段に弾性部材と連結部材を設け、前記
弾性部材の変形によって生じる前記連結部材の変位を検
出する検出手段を備えた構成により遠戚される。
達する動作連結手段に弾性部材と連結部材を設け、前記
弾性部材の変形によって生じる前記連結部材の変位を検
出する検出手段を備えた構成により遠戚される。
［作用］
可動ガイド部材にプッシャ装置が取付けられているので
、被加工板の種類が変ってその大きさが変更され、それ
に従ってマガジンも大きさが変った場合には、該マガジ
ンを案内支持する可動ガイド部材を移動させて調整する
と、プッシャ装置も可動ガイド部材と共に移動するので
、自動的にプッシャ装置はセットされ、独立に調整を行
う必要がない。
、被加工板の種類が変ってその大きさが変更され、それ
に従ってマガジンも大きさが変った場合には、該マガジ
ンを案内支持する可動ガイド部材を移動させて調整する
と、プッシャ装置も可動ガイド部材と共に移動するので
、自動的にプッシャ装置はセットされ、独立に調整を行
う必要がない。
また多数の被加工板に収納されたマガジンは縦長である
ので、駆動源を垂直に設けることにより、装置がコンパ
クトでスペース効率が良くなる。
ので、駆動源を垂直に設けることにより、装置がコンパ
クトでスペース効率が良くなる。
またプッシャアームで被加工板を押し出す際に被加工板
の引掛かり等が生じると、プッシャアームには過負荷が
かかり、この過負荷によって弾性部材が変形して連結部
材が変位する。この連結部材の変位は検出手段によって
検出され、この検出信号によって駆動源の動作をストッ
プまたは逆方向に動作させてプッシャアームの前進動作
をストップさせるか、または後退動作させると、被加工
板の破損は防止される。
の引掛かり等が生じると、プッシャアームには過負荷が
かかり、この過負荷によって弾性部材が変形して連結部
材が変位する。この連結部材の変位は検出手段によって
検出され、この検出信号によって駆動源の動作をストッ
プまたは逆方向に動作させてプッシャアームの前進動作
をストップさせるか、または後退動作させると、被加工
板の破損は防止される。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図及び第２図に示すように、ベース板ｌ上には、図
示しない加工装置へ被加工板を供給するフィーダ一部２
が固定され、このフィーダ一部２の一端に隣接してマガ
ジンスタッカー３が配設されており、マガジンスタッカ
ー３は、多数の被加工板を積層して収納するマガジン６
を案内支持するもので、固定ガイド部材４とこの固定ガ
イド部材４に対向して配設された可動ガイド部材５とか
らなっている。マガジンスタッカー３の側方には、自動
的に昇降可能な昇降台（図示せず）を有する周知構造よ
りなるエレベーター部７が前記ベース１上に固定して設
けられており、前記固定ガイド部材４はエレベーター部
７の固定部に固定され、前記可動ガイド部材５は被加工
板の種類によって変るマガジン６の大きさに対応して調
整可能なように長穴５ａが形成され、ねじ８によってエ
レベーター部７の固定部に固定されている。可動ガイド
部材５には、プッシャ装置１０が取付けられており、こ
のプッシャ装置１０は、マガジン６に収納された被加工
板をフィーダ一部２上に押し出すプッシャアーム１１を
有している。
示しない加工装置へ被加工板を供給するフィーダ一部２
が固定され、このフィーダ一部２の一端に隣接してマガ
ジンスタッカー３が配設されており、マガジンスタッカ
ー３は、多数の被加工板を積層して収納するマガジン６
を案内支持するもので、固定ガイド部材４とこの固定ガ
イド部材４に対向して配設された可動ガイド部材５とか
らなっている。マガジンスタッカー３の側方には、自動
的に昇降可能な昇降台（図示せず）を有する周知構造よ
りなるエレベーター部７が前記ベース１上に固定して設
けられており、前記固定ガイド部材４はエレベーター部
７の固定部に固定され、前記可動ガイド部材５は被加工
板の種類によって変るマガジン６の大きさに対応して調
整可能なように長穴５ａが形成され、ねじ８によってエ
レベーター部７の固定部に固定されている。可動ガイド
部材５には、プッシャ装置１０が取付けられており、こ
のプッシャ装置１０は、マガジン６に収納された被加工
板をフィーダ一部２上に押し出すプッシャアーム１１を
有している。
このように、可動ガイド部材５にプッシャ装置１０が取
付けられているので、被加工板の種類が変ってその大き
さが変更され、それに従ってマガジン６も大きさが変っ
た場合には、該マガジン６を案内支持する可動ガイド部
材５を長穴５ａに沿って移動させて調整すると、プッシ
ャ装置１０も可動ガイド部材５と共に移動するので、自
動的にプッシャ装置１０はセットされ、独立に調整を行
う必要がない。
付けられているので、被加工板の種類が変ってその大き
さが変更され、それに従ってマガジン６も大きさが変っ
た場合には、該マガジン６を案内支持する可動ガイド部
材５を長穴５ａに沿って移動させて調整すると、プッシ
ャ装置１０も可動ガイド部材５と共に移動するので、自
動的にプッシャ装置１０はセットされ、独立に調整を行
う必要がない。
前記プッシャ装置１０の構造は、第３図乃至第６図に示
すような構造よりなっている。可動ガイド部材５にはブ
ラケット１２が固定されており、このブラケット１２に
垂直に、即ちマガジン６の被加工板の積層方向に沿って
エアシリンダ１３が設けられ、このエアシリンダ１３の
ピストン１３ａの先端部に駒１４が固定されている。ま
たブラダ−２ト１２にはエアシリンダ１３と平行な方向
に配設されたガイド棒１５の両端が固定されており、前
記駒１４はガイド棒１５に案内されて上下動可能に設け
られている。駒１４には２条の溝を持つ第１のローラ１
６が回転可能に支持され、ブラケット１２の上側には１
条の溝を持つ第２のロラ１７が回転可能に支持され、ブ
ラケッ）１２の下側には２条の溝を持ち、前記第１のロ
ーラ１６、第２のローラ１７と直角に配設された第３の
ローラ１８が回転可能に支持されている。
すような構造よりなっている。可動ガイド部材５にはブ
ラケット１２が固定されており、このブラケット１２に
垂直に、即ちマガジン６の被加工板の積層方向に沿って
エアシリンダ１３が設けられ、このエアシリンダ１３の
ピストン１３ａの先端部に駒１４が固定されている。ま
たブラダ−２ト１２にはエアシリンダ１３と平行な方向
に配設されたガイド棒１５の両端が固定されており、前
記駒１４はガイド棒１５に案内されて上下動可能に設け
られている。駒１４には２条の溝を持つ第１のローラ１
６が回転可能に支持され、ブラケット１２の上側には１
条の溝を持つ第２のロラ１７が回転可能に支持され、ブ
ラケッ）１２の下側には２条の溝を持ち、前記第１のロ
ーラ１６、第２のローラ１７と直角に配設された第３の
ローラ１８が回転可能に支持されている。
ブラケット１２の下方の水平に伸張する腕部には、リニ
アガイド２５が水平に固定され、リニアガイド２５には
軸受２６が摺動自在に設けられている。軸受２６には滑
り子２７が固定され、この滑り子２７には前記プッシャ
アーム１１が固定支持されている。前記ブラケット１２
の下方の腕部の先端には第４のローラ２８が回転可能に
設けられている。また第１のローラ１６と第３のローラ
１８間におけるブラケット１２の部分には、揺動子２９
が支持軸３０によって揺動可能に支持されており、揺動
子２９の一端とブラケット１２に支持されたばね掛け３
１とにコイルばね３２が掛は合わされている。また揺動
子２９には検出片３３が固定されており、検出片３３に
対応して近接スイッチ３４がブラケット１２に固定され
ている。
アガイド２５が水平に固定され、リニアガイド２５には
軸受２６が摺動自在に設けられている。軸受２６には滑
り子２７が固定され、この滑り子２７には前記プッシャ
アーム１１が固定支持されている。前記ブラケット１２
の下方の腕部の先端には第４のローラ２８が回転可能に
設けられている。また第１のローラ１６と第３のローラ
１８間におけるブラケット１２の部分には、揺動子２９
が支持軸３０によって揺動可能に支持されており、揺動
子２９の一端とブラケット１２に支持されたばね掛け３
１とにコイルばね３２が掛は合わされている。また揺動
子２９には検出片３３が固定されており、検出片３３に
対応して近接スイッチ３４がブラケット１２に固定され
ている。
そして、ブラケット１２上の上方に固定されたビン４０
に第１のワイヤ４１の一端が固定され、この第１のワイ
ヤ４１の他端は第１のローラ１６、第２のローラ１７．
第３のローラ１８、第４のローラ２８を順に周回して滑
り子２７に固定されたねじ４２に固定されている。また
揺動子２９にはコイルばね３２と反対側に第２のワイヤ
４３の一端が固定され、この第２のワイヤ４３の他端は
第１のローラ１６．第３のローラ１８を順に周回して滑
り子２７に固定された小ねじ４４に固定されている。
に第１のワイヤ４１の一端が固定され、この第１のワイ
ヤ４１の他端は第１のローラ１６、第２のローラ１７．
第３のローラ１８、第４のローラ２８を順に周回して滑
り子２７に固定されたねじ４２に固定されている。また
揺動子２９にはコイルばね３２と反対側に第２のワイヤ
４３の一端が固定され、この第２のワイヤ４３の他端は
第１のローラ１６．第３のローラ１８を順に周回して滑
り子２７に固定された小ねじ４４に固定されている。
次にかかる構威よりなるプッシャ装置１０の作用につい
て説明する。第３図及び第４図に示す状態はプッシャア
ーム１１が前進した状態を示す。
て説明する。第３図及び第４図に示す状態はプッシャア
ーム１１が前進した状態を示す。
この状態より、図示しない空圧制御回路の作用によって
エアシリンダ１３が動作してピストン１３ａが下降する
と、駒１４の下降に伴って第１のロラ１６が下降する。
エアシリンダ１３が動作してピストン１３ａが下降する
と、駒１４の下降に伴って第１のロラ１６が下降する。
この第１のローラ１６の下降によって第１のワイヤ４１
が引っ張られてプッシャアーム１１が後退する方向に滑
り子２７が移動する。この時、第２のワイヤ４３は逆に
第１のローラ１６の下降によって繰り出される形で滑り
子２７の移動に追従する０通常は、前記のようにプッシ
ャアーム１１が後退した状態より作動させる。
が引っ張られてプッシャアーム１１が後退する方向に滑
り子２７が移動する。この時、第２のワイヤ４３は逆に
第１のローラ１６の下降によって繰り出される形で滑り
子２７の移動に追従する０通常は、前記のようにプッシ
ャアーム１１が後退した状態より作動させる。
前記と逆に、ピストン１３ａが上昇すると、即ち前記の
ようにプッシャアーム１１が後退した状態より作動させ
ると、駒１４に伴って第１のローラ１６が上昇する。こ
の第１のローラ１６の上昇によって第２のワイヤ４３が
引っ張られてプッシャアーム１１が前進する方向に滑り
子２７が移動する。この時、第１のワイヤ４１は第１の
ローラ１６の上昇によって繰り出される形で滑り子２７
の移動に追従する。
ようにプッシャアーム１１が後退した状態より作動させ
ると、駒１４に伴って第１のローラ１６が上昇する。こ
の第１のローラ１６の上昇によって第２のワイヤ４３が
引っ張られてプッシャアーム１１が前進する方向に滑り
子２７が移動する。この時、第１のワイヤ４１は第１の
ローラ１６の上昇によって繰り出される形で滑り子２７
の移動に追従する。
こうして、前進及び後退するプッシャアーム１１は、固
定ガイド部材４と可動ガイド部材５に案内支持されて一
定間隔で昇降するマガジン６に収納された被加工板を順
にフィーダ一部２に押し出すことができる。
定ガイド部材４と可動ガイド部材５に案内支持されて一
定間隔で昇降するマガジン６に収納された被加工板を順
にフィーダ一部２に押し出すことができる。
そして、万一、プッシャアーム１１が前進して押し出そ
うとする被加工板がマガジン６内またはフィーダ一部２
で引掛かってプッシャアーム１１に過負荷がかかると、
第１のローラ１６の上昇に対して揺動子２９がコイルば
ね３２の付勢力に勝って揺動する。この揺動子２９の揺
動によって検出片３３が近接スイッチ３４を動作させて
過負荷を検出する。この検出信号によって駆動源の動作
をストップまたは逆方向に動作させてプッシャアーム１
１の前進動作をストップさせるか、または後退動作させ
ると、被加工板の破損は防止される。
うとする被加工板がマガジン６内またはフィーダ一部２
で引掛かってプッシャアーム１１に過負荷がかかると、
第１のローラ１６の上昇に対して揺動子２９がコイルば
ね３２の付勢力に勝って揺動する。この揺動子２９の揺
動によって検出片３３が近接スイッチ３４を動作させて
過負荷を検出する。この検出信号によって駆動源の動作
をストップまたは逆方向に動作させてプッシャアーム１
１の前進動作をストップさせるか、または後退動作させ
ると、被加工板の破損は防止される。
このように、可動ガイド部材５の駆動源であるエアシリ
ンダ１３をマガジン６の被加工板積層方向に沿って配置
してなるので、装置がコンパクトでスペース効率が良い
、この構威においては、プッシャ装置１０は従来と同様
にエレベーター部７の固定部に固定した場合に適用して
も効果がある。
ンダ１３をマガジン６の被加工板積層方向に沿って配置
してなるので、装置がコンパクトでスペース効率が良い
、この構威においては、プッシャ装置１０は従来と同様
にエレベーター部７の固定部に固定した場合に適用して
も効果がある。
また駆動源であるエアシリンダ１３の動作をプッシャア
ーム１１に伝達する動作連結手段である第１のワイヤ４
１及び第２のワイヤ４３にコイルばね３２と揺動子２９
を設け、前記コイルばね３２の変形によって生じる前記
揺動子２９の変位を近接スイッチ３４によって検出する
ので、被加工板の引掛かり等の過負荷による被加工板の
破損を防出できる。この構威においては、プッシャ装置
１０は従来と同様にエレベーター部７の固定部に固定し
た場合にも、またエアシリンダ１３を水平に配置した場
合にも適用しても効果がある。
ーム１１に伝達する動作連結手段である第１のワイヤ４
１及び第２のワイヤ４３にコイルばね３２と揺動子２９
を設け、前記コイルばね３２の変形によって生じる前記
揺動子２９の変位を近接スイッチ３４によって検出する
ので、被加工板の引掛かり等の過負荷による被加工板の
破損を防出できる。この構威においては、プッシャ装置
１０は従来と同様にエレベーター部７の固定部に固定し
た場合にも、またエアシリンダ１３を水平に配置した場
合にも適用しても効果がある。
なお、上記実施例においては、駆動源としてエアシリン
ダ１３を用いた場合について説明したが、モータ等の回
転によってワイヤ４１．４３を駆動させてもよい。
ダ１３を用いた場合について説明したが、モータ等の回
転によってワイヤ４１．４３を駆動させてもよい。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように１本発明によれば、次の
ような効果が得られる。
ような効果が得られる。
マガジンスタッカーを固定ガイド部材と被加工板の押し
出し方向に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とに
より構威し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付
けたので、被加工板の大きさの変更に伴うプッシャ装置
の独立した調整が不要である。
出し方向に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とに
より構威し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付
けたので、被加工板の大きさの変更に伴うプッシャ装置
の独立した調整が不要である。
またプッシャ装置の駆動源をマガジンの被加工板積層方
向に沿って配置してなるので、装置がコンパクトでスペ
ース効率が良い。
向に沿って配置してなるので、装置がコンパクトでスペ
ース効率が良い。
また駆動源の動作を前記プッシャアームに伝達する動作
連結手段に弾性部材と連結部材を設け。
連結手段に弾性部材と連結部材を設け。
前記弾性部材の変形によって生じる前記連結部材の変位
を検出する検出手段を設けたので、被加工板の引掛かり
等の過負荷を検出手段により検出することにより、被加
工板の破損を防止できる。
を検出する検出手段を設けたので、被加工板の引掛かり
等の過負荷を検出手段により検出することにより、被加
工板の破損を防止できる。
第１図及び第２図は本発明になる半導体組立装置用供給
装置の一実施例を示し、第１図は正面図、第２図は平面
図、第３図乃至第６図はプッシャ装置の一実施例を示し
、第３図は正面図、第４図は左側面図、第５図は平面図
、第６図は第３図の矢印Ａ−Ａ線で示す部分の矢視図で
ある。 ３：マガジンスタッカー、４：固定ガイド部材、５：可
動ガイド部材、 ５ａ：長大、 ６：マガジン、 ７：エレベーター部、１０：
プッシャ装置、 ｌｌ：プッシャアーム、１２ニブラ
ケツト、 １３：エアシリンダ、１４：駒、
１６：第１のローラ、１７：第２のローラ、
１８：第３のローラ、２５：リニアガイド、 ２６
二軸受、２７：滑り子、 ２８：第４のローラ、
２９：揺動子、 ３２：コイルばね、３３：検
出片、 ３４：近接スイッチ、１ ：第１のワイヤ、 ４３：第２のワイヤ。 ５ｏ：長欠 第 電 図 第 図 値 ４ 第 ５：奸會方力°イド°舒禾↑ ２： フ゛°ラケ・ン１ １３：工７シリンｙ゛。
装置の一実施例を示し、第１図は正面図、第２図は平面
図、第３図乃至第６図はプッシャ装置の一実施例を示し
、第３図は正面図、第４図は左側面図、第５図は平面図
、第６図は第３図の矢印Ａ−Ａ線で示す部分の矢視図で
ある。 ３：マガジンスタッカー、４：固定ガイド部材、５：可
動ガイド部材、 ５ａ：長大、 ６：マガジン、 ７：エレベーター部、１０：
プッシャ装置、 ｌｌ：プッシャアーム、１２ニブラ
ケツト、 １３：エアシリンダ、１４：駒、
１６：第１のローラ、１７：第２のローラ、
１８：第３のローラ、２５：リニアガイド、 ２６
二軸受、２７：滑り子、 ２８：第４のローラ、
２９：揺動子、 ３２：コイルばね、３３：検
出片、 ３４：近接スイッチ、１ ：第１のワイヤ、 ４３：第２のワイヤ。 ５ｏ：長欠 第 電 図 第 図 値 ４ 第 ５：奸會方力°イド°舒禾↑ ２： フ゛°ラケ・ン１ １３：工７シリンｙ゛。
Claims (4)
- （１）多数の被加工板を積層して収納するマガジンを載
架して昇降する昇降台を有するエレベーター部と、前記
マガジンを案内するマガジンスタッカーと、前記マガジ
ンに収納された被加工板を１枚づつ外部に押し出すプッ
シャアーム及びこのプッシャアームを駆動する駆動源を
有するプッシャ装置とを備えた半導体組立装置用供給装
置において、前記マガジンスタッカーは、固定ガイド部
材と、被加工板の押し出す方向に調整可能に取付けられ
た可動ガイド部材とよりなり、前記可動ガイド部材に前
記プッシャ装置を取付けたことを特徴とする半導体組立
装置用供給装置。 - （２）多数の被加工板を積層して収納するマガジンを載
架して昇降する昇降台を有するエレベーター部と、前記
マガジンに収納された被加工板を１枚づつ外部に押し出
すプッシャアーム及びこのプッシャアームを駆動する駆
動源を有するプッシャ装置とを備えた半導体組立装置用
供給装置において、前記プッシャ装置の駆動源を前記マ
ガジンの被加工板積層方向に沿って配置したことを特徴
とする半導体組立装置用供給装置。 - （３）多数の被加工板を積層して収納するマガジンを載
架して昇降する昇降台を有するエレベーター部と、前記
マガジンに収納された被加工板を１枚づつ外部に押し出
すプッシャアーム及びこのプッシャアームを駆動する駆
動源を有するプッシャ装置とを備えた半導体組立装置用
供給装置において、前記駆動源の動作を前記プッシャア
ームに伝達する動作連結手段に弾性部材と連結部材を設
け、前記弾性部材の変形によって生じる前記連結部材の
変位を検出する検出手段を備えたことを特徴とする半導
体組立装置用供給装置。 - （４）請求項２または３において、駆動源は、エアシリ
ンダよりなることを特徴とする半導体組立装置用供給装
置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1318804A JP2681703B2 (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 半導体組立装置用供給装置 |
| KR1019900019924A KR940005717B1 (ko) | 1989-12-11 | 1990-12-05 | 반도체 조립장치용 공급장치 |
| US07/625,839 US5097983A (en) | 1989-12-11 | 1990-12-11 | Supply device used in a semiconductor assembly apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1318804A JP2681703B2 (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 半導体組立装置用供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03181140A true JPH03181140A (ja) | 1991-08-07 |
| JP2681703B2 JP2681703B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=18103128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1318804A Expired - Lifetime JP2681703B2 (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 半導体組立装置用供給装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5097983A (ja) |
| JP (1) | JP2681703B2 (ja) |
| KR (1) | KR940005717B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100432672B1 (ko) * | 2001-02-05 | 2004-05-31 | 동명테크 주식회사 | 반도체 패키지 테이핑 머신의 레일 간격 조절장치 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5897290A (en) * | 1997-07-30 | 1999-04-27 | Industrial Technology Research Institute | Lead frame magazine handling device |
| US6755323B2 (en) * | 2000-11-22 | 2004-06-29 | Accu-Sort Systems, Inc. | Apparatus for dispensing articles |
| KR100910967B1 (ko) * | 2008-05-09 | 2009-08-05 | 하남전기주식회사 | 자동 임펠러 조립기의 블레이드 부품 벤딩장치 |
| CN115241092A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-10-25 | 江苏创源电子有限公司 | 扩晶生产线 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3100583A (en) * | 1962-08-02 | 1963-08-13 | Big Drum Inc | Lid-dispenser |
| US4693659A (en) * | 1983-08-26 | 1987-09-15 | Mountain Computer, Inc. | Diskette transport |
| US4717304A (en) * | 1986-11-04 | 1988-01-05 | Amp Incorporated | Electrical connector feeding apparatus |
| IT1201604B (it) * | 1986-12-16 | 1989-02-02 | Wramatic Spa | Apparecchiatura e metodo per la selezione automatica di grandi risme sfuse a partire da un pacco di fogli impilati provvisto di segnalini definenti le risme |
| IT1201603B (it) * | 1986-12-16 | 1989-02-02 | Wrapmatic Spa | Apparecchiatura per la selezione automatica di grandi risme sfuso a partire da un pacco di fogli impilati e per la loro alimentazione a macchine confezionatrici e metodo relativo |
-
1989
- 1989-12-11 JP JP1318804A patent/JP2681703B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-12-05 KR KR1019900019924A patent/KR940005717B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1990-12-11 US US07/625,839 patent/US5097983A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100432672B1 (ko) * | 2001-02-05 | 2004-05-31 | 동명테크 주식회사 | 반도체 패키지 테이핑 머신의 레일 간격 조절장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR910013501A (ko) | 1991-08-08 |
| US5097983A (en) | 1992-03-24 |
| KR940005717B1 (ko) | 1994-06-23 |
| JP2681703B2 (ja) | 1997-11-26 |
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