JP2681703B2 - 半導体組立装置用供給装置 - Google Patents
半導体組立装置用供給装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は多数の被加工を積層して収納するマガジンよ
り被加工板を１枚づつ押し出す半導体組立装置用供給装
置に関する。
り被加工板を１枚づつ押し出す半導体組立装置用供給装
置に関する。
［従来の技術］ 例えば、ワイヤボンデイング装置又はペレットボンデ
イング装置等に用いられる被加工板の供給は、通常、多
数のリードフレーム等の被加工板を積層して収納するマ
ガジンを用い、このマガジンをエレベーター部の昇降台
に載架して被加工板の積層間隔に合わせて被加工板を順
に所定のフィーダー部にレベリングし、プッシャ装置の
プッシャアームによってマガジン内からフィーダー部へ
押し出すことにより行われている。
イング装置等に用いられる被加工板の供給は、通常、多
数のリードフレーム等の被加工板を積層して収納するマ
ガジンを用い、このマガジンをエレベーター部の昇降台
に載架して被加工板の積層間隔に合わせて被加工板を順
に所定のフィーダー部にレベリングし、プッシャ装置の
プッシャアームによってマガジン内からフィーダー部へ
押し出すことにより行われている。
従来のかかる半導体組立装置用供給装置は、前記した
エレベーター部の固定部にプッシャ装置が直接取り付け
られている。またプッシャ装置のプッシャアームを駆動
する駆動源には、一般にエアシリンダが用いられてお
り、このエアシリンダは水平に配置されている。またプ
ッシャアームで被加工板を押し出す際に、被加工板がマ
ガジン内またはフィーダー部で引掛かった場合について
は何ら配慮されていない。
エレベーター部の固定部にプッシャ装置が直接取り付け
られている。またプッシャ装置のプッシャアームを駆動
する駆動源には、一般にエアシリンダが用いられてお
り、このエアシリンダは水平に配置されている。またプ
ッシャアームで被加工板を押し出す際に、被加工板がマ
ガジン内またはフィーダー部で引掛かった場合について
は何ら配慮されていない。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、エレベーター部の固定部にプッシャ
装置が直接取付けられているので、品種変更によって被
加工板の外形寸法が変ってマガジンの大きさが異なった
場合には、それに伴って被加工板を押し出すためのプッ
シャアームの位置を独立に調整しなければならず、被加
工板の品種の変更に伴う段取り作業に時間がかかり作業
効率が低下するという問題点があった。
装置が直接取付けられているので、品種変更によって被
加工板の外形寸法が変ってマガジンの大きさが異なった
場合には、それに伴って被加工板を押し出すためのプッ
シャアームの位置を独立に調整しなければならず、被加
工板の品種の変更に伴う段取り作業に時間がかかり作業
効率が低下するという問題点があった。
またプッシャ装置の駆動源は水平に配置されているの
で、半導体組立装置用供給装置が大型化すると共に、ス
ペース効率が悪いという問題点があった。
で、半導体組立装置用供給装置が大型化すると共に、ス
ペース効率が悪いという問題点があった。
また被加工板の引掛かり等のトラブルについては配慮
されていないので、被加工板が破損するという問題点が
あった。
されていないので、被加工板が破損するという問題点が
あった。
本発明の第１の目的は、マガジンの大きさが変更にな
ってもプッシャ装置を独立して調整する必要がなく、段
取り作業時間の短縮が図れる半導体組立装置用供給装置
を提供することにある。
ってもプッシャ装置を独立して調整する必要がなく、段
取り作業時間の短縮が図れる半導体組立装置用供給装置
を提供することにある。
本発明の第２の目的は、コンパクトでスペース効率の
良い半導体組立装置用供給装置を提供することにある。
良い半導体組立装置用供給装置を提供することにある。
本発明の第３の目的は、被加工板の破損を防止できる
半導体組立装置用供給装置を提供することにある。
半導体組立装置用供給装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記第１の目的は、エレベーター部を案内するマガジ
ンスタッカーを固定ガイド部材と被加工板の押し出す方
向に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とにより構
成し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付けるこ
とにより達成される。
ンスタッカーを固定ガイド部材と被加工板の押し出す方
向に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とにより構
成し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付けるこ
とにより達成される。
上記第２の目的は、プッシャ装置の駆動源をマガジン
の被加工板積層方向に沿って配置することにより達成さ
れる。
の被加工板積層方向に沿って配置することにより達成さ
れる。
上記第３の目的は、駆動源の動作をプッシャアームに
伝達する動作連結手段に弾性部材と連結部材を設け、前
記弾性部材の変形によって生じる前記連結部材の変位を
検出する検出手段を備えた構成により達成される。
伝達する動作連結手段に弾性部材と連結部材を設け、前
記弾性部材の変形によって生じる前記連結部材の変位を
検出する検出手段を備えた構成により達成される。
［作用］ 可動ガイド部材にプッシャ装置が取付けられているの
で、被加工板の種類が変ってその大きさが変更され、そ
れに従ってマガジンも大きさが変った場合には、該マガ
ジンを案内支持する可動ガイド部材を移動させて調整す
ると、プッシャ装置も可動ガイド部材と共に移動するの
で、自動的にプッシャ装置はセツトされ、独立に調整を
行う必要がない。
で、被加工板の種類が変ってその大きさが変更され、そ
れに従ってマガジンも大きさが変った場合には、該マガ
ジンを案内支持する可動ガイド部材を移動させて調整す
ると、プッシャ装置も可動ガイド部材と共に移動するの
で、自動的にプッシャ装置はセツトされ、独立に調整を
行う必要がない。
また多数の被加工板に収納されたマガジンは縦長であ
るので、駆動源を垂直に設けることにより、装置がコン
パクトでスペース効率が良くなる。
るので、駆動源を垂直に設けることにより、装置がコン
パクトでスペース効率が良くなる。
またプッシャアームで被加工板を押し出す際に被加工
板の引掛かり等が生じると、プッシャアームには過負荷
がかかり、この過負荷によって弾性部材が変形して連結
部材が変位する。この連結部材の変位は検出手段によっ
て検出され、この検出信号によって駆動源の動作をスト
ップまたは逆方向に動作させてプッシャアームの前進動
作をストップさせるか、または後退動作させると、被加
工板の破損は防止される。
板の引掛かり等が生じると、プッシャアームには過負荷
がかかり、この過負荷によって弾性部材が変形して連結
部材が変位する。この連結部材の変位は検出手段によっ
て検出され、この検出信号によって駆動源の動作をスト
ップまたは逆方向に動作させてプッシャアームの前進動
作をストップさせるか、または後退動作させると、被加
工板の破損は防止される。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１図
及び第２図に示すように、ベース板１上には、図示しな
い加工装置へ被加工板を供給するフィーダー部２が固定
され、このフィーダー部２の一端に隣接してマガジンス
タッカー３が配設されており、マガジンスタッカー３
は、多数の被加工板を積層して収納するマガジン６を案
内支持するもので、固定ガイド部材４とこの固定ガイド
部材４に対向して配設された可動ガイド部材５とからな
っている。マガジンスタッカー３の側方には、自動的に
昇降可能な昇降台（図示せず）を有する周知構造よりな
るエレベーター部７が前記ベース１上に固定して設けら
れており、前記固定ガイド部材４はエレベーター部７の
固定部に固定され、前記可動ガイド部材は被加工板の種
類によって変るマガジン６の大きさに対応して調整可能
なように長穴5aが形成され、ねじ８によってエレベータ
ー部７の固定部に固定されている。可動ガイド部材５に
は、プッシャ装置10が取付けられており、このプッシャ
装置10は、マガジン６に収納された被加工板をフィーダ
ー部２上に押し出すプッシャアーム11を有している。
及び第２図に示すように、ベース板１上には、図示しな
い加工装置へ被加工板を供給するフィーダー部２が固定
され、このフィーダー部２の一端に隣接してマガジンス
タッカー３が配設されており、マガジンスタッカー３
は、多数の被加工板を積層して収納するマガジン６を案
内支持するもので、固定ガイド部材４とこの固定ガイド
部材４に対向して配設された可動ガイド部材５とからな
っている。マガジンスタッカー３の側方には、自動的に
昇降可能な昇降台（図示せず）を有する周知構造よりな
るエレベーター部７が前記ベース１上に固定して設けら
れており、前記固定ガイド部材４はエレベーター部７の
固定部に固定され、前記可動ガイド部材は被加工板の種
類によって変るマガジン６の大きさに対応して調整可能
なように長穴5aが形成され、ねじ８によってエレベータ
ー部７の固定部に固定されている。可動ガイド部材５に
は、プッシャ装置10が取付けられており、このプッシャ
装置10は、マガジン６に収納された被加工板をフィーダ
ー部２上に押し出すプッシャアーム11を有している。
このように、可動ガイド部材５にプッシャ装置10が取
付けられているので、被加工板の種類が変ってその大き
さが変更され、それに従ってマガジン６も大きさが変っ
た場合には、該マガジン６を案内支持する可動ガイド部
材５を長穴5aに沿って移動させて調整すると、プッシャ
装置10も可動ガイド部材５と共に移動するので、自動的
にプッシャ装置10はセツトされ、独立に調整を行う必要
がない。
付けられているので、被加工板の種類が変ってその大き
さが変更され、それに従ってマガジン６も大きさが変っ
た場合には、該マガジン６を案内支持する可動ガイド部
材５を長穴5aに沿って移動させて調整すると、プッシャ
装置10も可動ガイド部材５と共に移動するので、自動的
にプッシャ装置10はセツトされ、独立に調整を行う必要
がない。
前記プッシャ装置10の構造は、第３図乃至第６図に示
すような構造よりなっている。可動ガイド部材５にはブ
ラケット12が固定されており、このブラケット12に垂直
に、即ちマガジン６の被加工板の積層方向に沿ってエア
シリンダ13が設けられ、このエアシリンダ13のピストン
13aの先端部に駒14が固定されている。またブラケット1
2にはエアシリンダ13と平行な方向に配設されたガイド
棒15の両端が固定されており、前記駒14はガイド棒15に
案内されて上下動可能に設けられている。駒14には２条
の溝を持つ第１のローラ16が回転可能に支持され、ブラ
ケット12の上側には１条の溝を持つ第２のローラ17が回
転可能に支持され、ブラケット12の下側には、２条の溝
を持ち、前記第１のローラ16、第２のローラ17と直角に
配設された第３のローラ18が回転可能に支持されてい
る。
すような構造よりなっている。可動ガイド部材５にはブ
ラケット12が固定されており、このブラケット12に垂直
に、即ちマガジン６の被加工板の積層方向に沿ってエア
シリンダ13が設けられ、このエアシリンダ13のピストン
13aの先端部に駒14が固定されている。またブラケット1
2にはエアシリンダ13と平行な方向に配設されたガイド
棒15の両端が固定されており、前記駒14はガイド棒15に
案内されて上下動可能に設けられている。駒14には２条
の溝を持つ第１のローラ16が回転可能に支持され、ブラ
ケット12の上側には１条の溝を持つ第２のローラ17が回
転可能に支持され、ブラケット12の下側には、２条の溝
を持ち、前記第１のローラ16、第２のローラ17と直角に
配設された第３のローラ18が回転可能に支持されてい
る。
ブラケット12の下方の水平に伸張する腕部には、リニ
アガイド25が水平に固定され、リニアガイド25には軸受
26が摺動自在に設けられている。軸受26には滑り子27が
固定され、この滑り子27には前記プッシャアーム11が固
定支持されている。前記ブラケット12の下方の腕部の先
端には第４のローラ28が回転可能に設けられている。ま
た第１のローラ16と第３のローラ18間におけるブラケッ
ト12の部分には、揺動子29が支持軸30によって揺動可能
に支持されており、揺動子29の一端とブラケット12に支
持されたばね掛け31とにコイルばね32が掛け合わされて
いる。また揺動子29には検出片33が固定されており、検
出片33に対応して近接スイッチ34がブラケット12に固定
されている。
アガイド25が水平に固定され、リニアガイド25には軸受
26が摺動自在に設けられている。軸受26には滑り子27が
固定され、この滑り子27には前記プッシャアーム11が固
定支持されている。前記ブラケット12の下方の腕部の先
端には第４のローラ28が回転可能に設けられている。ま
た第１のローラ16と第３のローラ18間におけるブラケッ
ト12の部分には、揺動子29が支持軸30によって揺動可能
に支持されており、揺動子29の一端とブラケット12に支
持されたばね掛け31とにコイルばね32が掛け合わされて
いる。また揺動子29には検出片33が固定されており、検
出片33に対応して近接スイッチ34がブラケット12に固定
されている。
そして、ブラケット12上の上方に固定されたピン40に
第１のワイヤ41の一端が固定され、この第１のワイヤ41
の他端は第１のローラ16、第２のローラ17、第３のロー
ラ18、第４のローラ28を順に周回して滑り子27に固定さ
れたねじ42に固定されている。また揺動子29にはコイル
ばね32と反対側に第２のワイヤ43の一端が固定され、こ
の第２のワイヤ43の他端は第１のローラ16、第３のロー
ラ18を順に周回して滑り子27に固定された小ねじ44に固
定されている。
第１のワイヤ41の一端が固定され、この第１のワイヤ41
の他端は第１のローラ16、第２のローラ17、第３のロー
ラ18、第４のローラ28を順に周回して滑り子27に固定さ
れたねじ42に固定されている。また揺動子29にはコイル
ばね32と反対側に第２のワイヤ43の一端が固定され、こ
の第２のワイヤ43の他端は第１のローラ16、第３のロー
ラ18を順に周回して滑り子27に固定された小ねじ44に固
定されている。
次にかかる構成よりなるプッシャ装置10の作用につい
て説明する。第３図及び第４図に示す状態はプッシャア
ーム11が前進した状態を示す。この状態より、図示しな
い空圧制御回路の作用によってエアシリンダ13が動作し
てピストン13aが下降すると、駒14の下降に伴って第１
のローラ16が下降する。この第１のローラ16の下降によ
って第１のワイヤ41が引っ張られてプッシャアーム11が
後退する方向に滑り子27が移動する。この時、第２のワ
イヤ43は逆に第１のローラ16の下降によって繰り出され
る形で滑り子27の移動に追従する。通常は、前記のよう
にプッシャアーム11が後退した状態より作動させる。
て説明する。第３図及び第４図に示す状態はプッシャア
ーム11が前進した状態を示す。この状態より、図示しな
い空圧制御回路の作用によってエアシリンダ13が動作し
てピストン13aが下降すると、駒14の下降に伴って第１
のローラ16が下降する。この第１のローラ16の下降によ
って第１のワイヤ41が引っ張られてプッシャアーム11が
後退する方向に滑り子27が移動する。この時、第２のワ
イヤ43は逆に第１のローラ16の下降によって繰り出され
る形で滑り子27の移動に追従する。通常は、前記のよう
にプッシャアーム11が後退した状態より作動させる。
前記と逆に、ピストン13aが上昇すると、即ち前記の
ようにプッシャアーム11が後退した状態より作動させる
と、駒14に伴って第１のローラ16が上昇する。この第１
のローラ16の上昇によって第２のワイヤ43が引っ張られ
てプッシャアーム11が前進する方向に滑り子27が移動す
る。この時、第１のワイヤ41は第１のローラ16の上昇に
よって繰り出される形で滑り子27の移動に追従する。
ようにプッシャアーム11が後退した状態より作動させる
と、駒14に伴って第１のローラ16が上昇する。この第１
のローラ16の上昇によって第２のワイヤ43が引っ張られ
てプッシャアーム11が前進する方向に滑り子27が移動す
る。この時、第１のワイヤ41は第１のローラ16の上昇に
よって繰り出される形で滑り子27の移動に追従する。
こうして、前進及び後退するプッシャアーム11は、固
定ガイド部材４と可動ガイド部材５に案内支持されて一
定間隔で昇降するマガジン６に収納された被加工板を順
にフィーダー部２に押し出すことができる。
定ガイド部材４と可動ガイド部材５に案内支持されて一
定間隔で昇降するマガジン６に収納された被加工板を順
にフィーダー部２に押し出すことができる。
そして、万一、プッシャアーム11が前進して押し出そ
うとする被加工板がマガジン６内またはフィーダー部２
で引掛かってプッシャアーム11に過負荷がかかると、第
１のローラ16の上昇に対して揺動子29がコイルばね32の
付勢力に勝って揺動する。この揺動子29の揺動によって
検出片33が近接スイッチ34を動作させて過負荷を検出す
る。この検出信号によって駆動源の動作をストップまた
は逆方向に動作させてプッシャアーム11の前進動作をス
トップさせるか、または後退動作させると、被加工板の
破損は防止される。
うとする被加工板がマガジン６内またはフィーダー部２
で引掛かってプッシャアーム11に過負荷がかかると、第
１のローラ16の上昇に対して揺動子29がコイルばね32の
付勢力に勝って揺動する。この揺動子29の揺動によって
検出片33が近接スイッチ34を動作させて過負荷を検出す
る。この検出信号によって駆動源の動作をストップまた
は逆方向に動作させてプッシャアーム11の前進動作をス
トップさせるか、または後退動作させると、被加工板の
破損は防止される。
このように、可動ガイド部材５の駆動源であるエアシ
リンダ13をマガジン６の被加工板堆積層方向に沿って配
置してなるので、装置がコンパクトでスペース効率が良
い。この構成においては、プッシャ装置10は従来と同様
にエレベーター部７の固定部に固定した場合に適用して
も効果がある。
リンダ13をマガジン６の被加工板堆積層方向に沿って配
置してなるので、装置がコンパクトでスペース効率が良
い。この構成においては、プッシャ装置10は従来と同様
にエレベーター部７の固定部に固定した場合に適用して
も効果がある。
また駆動源であるエアシリンダ13の動作をプッシャア
ーム11に伝達する動作連結手段である第１のワイヤ41及
び第２のワイヤ43にコイルばね32と揺動子29を設け、前
記コイルばね32の変形によって生じる前記揺動子29の変
位を近接スイッチ34によって検出するので、被加工板の
引掛かり等の過負荷による被加工板の破損を防止でき
る。この構成においては、プッシャ装置10は従来と同様
にエレベーター部７の固定部に固定した場合にも、また
エアシリンダ13を水平に配置した場合にも適用しても効
果がある。
ーム11に伝達する動作連結手段である第１のワイヤ41及
び第２のワイヤ43にコイルばね32と揺動子29を設け、前
記コイルばね32の変形によって生じる前記揺動子29の変
位を近接スイッチ34によって検出するので、被加工板の
引掛かり等の過負荷による被加工板の破損を防止でき
る。この構成においては、プッシャ装置10は従来と同様
にエレベーター部７の固定部に固定した場合にも、また
エアシリンダ13を水平に配置した場合にも適用しても効
果がある。
なお、上記実施例においては、駆動源としてエアシリ
ンダ13を用いた場合について説明したが、モータ等の回
転によってワイヤ41、43を駆動させてもよい。
ンダ13を用いた場合について説明したが、モータ等の回
転によってワイヤ41、43を駆動させてもよい。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。
のような効果が得られる。
マガジンスタッカーを固定ガイド板と被加工板の押し
出し方向に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とに
より構成し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付
けたので、被加工板の大きさの変更に伴うプッシャ装置
の独立した調整が不要である。
出し方向に調整可能に取付けられた可動ガイド部材とに
より構成し、前記可動ガイド部材にプッシャ装置を取付
けたので、被加工板の大きさの変更に伴うプッシャ装置
の独立した調整が不要である。
またプッシャ装置の駆動源をマガジンの被加工板積層
方向に沿って配置してなるので、装置がコンパクトでス
ペース効率が良い。
方向に沿って配置してなるので、装置がコンパクトでス
ペース効率が良い。
また駆動源の動作を前記プッシャアームに伝達する動
作連結手段に弾性部材と連結部材を設け、前記弾性部材
の変形によって生じる前記連結部材の変位を検出する検
出手段を設けたので、被加工板の引掛かり等の過負荷を
検出手段により検出することにより、被加工板の破損を
防止できる。
作連結手段に弾性部材と連結部材を設け、前記弾性部材
の変形によって生じる前記連結部材の変位を検出する検
出手段を設けたので、被加工板の引掛かり等の過負荷を
検出手段により検出することにより、被加工板の破損を
防止できる。
第１図及び第２図は本発明になる半導体組立装置用供給
装置の一実施例を示し、第１図は正面図、第２図は平面
図、第３図乃至第６図はプッシャ装置の一実施例を示
し、第３図は正面図、第４図は左側面図、第５図は平面
図、第６図は第３図の矢印Ａ−Ａ線で示す部分の矢視図
である。 3:マガジンスタッカー、4:固定ガイド部材、 5:可動ガイド部材、5a:長穴、 6:マガジン、7:エレベーター部、 10:プッシャ装置、11:プッシャアーム、 12:ブラケット、13:エアシリンダ、 14:駒、16:第１のローラ、 17:第２のローラ、18:第３のローラ、 25:リニアガイド、26:軸受、 27:滑り子、28:第４のローラ、 29:揺動子、32:コイルばね、 33:検出片、34:近接スイッチ、 41:第１のワイヤ、43:第２のワイヤ。
装置の一実施例を示し、第１図は正面図、第２図は平面
図、第３図乃至第６図はプッシャ装置の一実施例を示
し、第３図は正面図、第４図は左側面図、第５図は平面
図、第６図は第３図の矢印Ａ−Ａ線で示す部分の矢視図
である。 3:マガジンスタッカー、4:固定ガイド部材、 5:可動ガイド部材、5a:長穴、 6:マガジン、7:エレベーター部、 10:プッシャ装置、11:プッシャアーム、 12:ブラケット、13:エアシリンダ、 14:駒、16:第１のローラ、 17:第２のローラ、18:第３のローラ、 25:リニアガイド、26:軸受、 27:滑り子、28:第４のローラ、 29:揺動子、32:コイルばね、 33:検出片、34:近接スイッチ、 41:第１のワイヤ、43:第２のワイヤ。
Claims (4)
- 【請求項１】多数の被加工板を積層して収納するマガジ
ンを載架して昇降する昇降台を有するエレベーター部
と、前記マガジンを案内するマガジンスタッカーと、前
記マガジンに収納された被加工板を１枚づつ外部に押し
出すプッシャアーム及びこのプッシャアームを駆動する
駆動源を有するプッシャ装置とを備えた半導体組立装置
用供給装置において、前記マガジンスタッカーは、固定
ガイド部材と、被加工板の押し出す方向に調整可能に取
付けられた可動ガイド部材とよりなり、前記可動ガイド
部材に前記プッシャ装置を取付けたことを特徴とする半
導体組立装置用供給装置。 - 【請求項２】多数の被加工板を積層して収納するマガジ
ンを載架して昇降する昇降台を有するエレベーター部
と、前記マガジンに収納された被加工板を１枚づつ外部
に押し出すプッシャアーム及びこのプッシャアームを駆
動する駆動源を有するプッシャ装置とを備えた半導体組
立装置用供給装置において、前記プッシャ装置の駆動源
を前記マガジンの被加工板積層方向に沿って配置したこ
とを特徴とする半導体組立装置用供給装置。 - 【請求項３】多数の被加工板を積層して収納するマガジ
ンを載架して昇降する昇降台を有するエレベーター部
と、前記マガジンに収納された被加工板を１枚づつ外部
に押し出すプッシャアーム及びこのプッシャアームを駆
動する駆動源を有するプッシャ装置とを備えた半導体組
立装置用供給装置において、前記駆動源の動作を前記プ
ッシャアームに伝達する動作連結手段に弾性部材と連結
部材を設け、前記弾性部材の変形によって生じる前記連
結部材の変位を検出する検出手段を備えたことを特徴と
する半導体組立装置用供給装置。 - 【請求項４】請求項２または３において、駆動源は、エ
アシリンダよりなることを特徴とする半導体組立装置用
供給装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1318804A JP2681703B2 (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 半導体組立装置用供給装置 |
| KR1019900019924A KR940005717B1 (ko) | 1989-12-11 | 1990-12-05 | 반도체 조립장치용 공급장치 |
| US07/625,839 US5097983A (en) | 1989-12-11 | 1990-12-11 | Supply device used in a semiconductor assembly apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1318804A JP2681703B2 (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 半導体組立装置用供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03181140A JPH03181140A (ja) | 1991-08-07 |
| JP2681703B2 true JP2681703B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=18103128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1318804A Expired - Lifetime JP2681703B2 (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 半導体組立装置用供給装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5097983A (ja) |
| JP (1) | JP2681703B2 (ja) |
| KR (1) | KR940005717B1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US6755323B2 (en) * | 2000-11-22 | 2004-06-29 | Accu-Sort Systems, Inc. | Apparatus for dispensing articles |
| KR100432672B1 (ko) * | 2001-02-05 | 2004-05-31 | 동명테크 주식회사 | 반도체 패키지 테이핑 머신의 레일 간격 조절장치 |
| KR100910967B1 (ko) * | 2008-05-09 | 2009-08-05 | 하남전기주식회사 | 자동 임펠러 조립기의 블레이드 부품 벤딩장치 |
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| IT1201603B (it) * | 1986-12-16 | 1989-02-02 | Wrapmatic Spa | Apparecchiatura per la selezione automatica di grandi risme sfuso a partire da un pacco di fogli impilati e per la loro alimentazione a macchine confezionatrici e metodo relativo |
| IT1201604B (it) * | 1986-12-16 | 1989-02-02 | Wramatic Spa | Apparecchiatura e metodo per la selezione automatica di grandi risme sfuse a partire da un pacco di fogli impilati provvisto di segnalini definenti le risme |
-
1989
- 1989-12-11 JP JP1318804A patent/JP2681703B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-12-05 KR KR1019900019924A patent/KR940005717B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1990-12-11 US US07/625,839 patent/US5097983A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5097983A (en) | 1992-03-24 |
| KR910013501A (ko) | 1991-08-08 |
| JPH03181140A (ja) | 1991-08-07 |
| KR940005717B1 (ko) | 1994-06-23 |
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