JPH03102602A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、高密度記録再生を行う磁気ヘッドの製造方法
に関するものである。

〔従来の技術〕

近年、磁気記録媒体には、磁気記録の高密度化の要求に
より、メタルテープ等の高保持力媒体が用いられている
。これに伴い、磁気ヘッドには、高飽和磁束密度および
軟磁気特性に優れた例えばセンダスト合金等の金属磁性
材料からなるコア材料が用いられるようになっている。

上記のコア材料を用いて耐摩耗性や量産性を向上させた
磁気ヘッドとしては、第２０図に示す磁気へッドチップ
９が用いられたものが知られている。この磁気ヘッドチ
ップ９は、ギャップ対向面が山形に形成された感光性結
晶化ガラスからなる一対の基板ｌ・１と、これらの各基
板１の一方の側璧１１ａに形成されたセンダスト合金等
の軟磁性薄膜３とを有し、低融点ガラス２で接着された
基板１・ｌ間にギャップが形成されたものである。

従来、上記の磁気ヘッドは、以下に示す方法により製造
されている。先ず第１２図に示すように、感光性結晶化
ガラスからなる基板１の上面に、最終的な磁気ヘッドの
厚さおよび切り代等を考慮したピッチＡで略Ｖ字形状の
溝１１・・・を下面１ａを基準面Ｂとして例えばダイシ
ングにより連続して形成する。そして、第１３図に示す
ように、側壁１１ａに真空蒸着法、或いはスパッタリン
グ法等の薄膜形成方法により所定の膜厚である磁気ヘッ
ドのトラック幅に略相当する膜厚となるようにセンダス
ト合金からなる軟磁性薄膜３・・・を形成する。

次に、第ｌ４図に示すように、低融点ガラス２をモール
ドした後、第１５図に示すように、低融点ガラス２の上
面部を研削して溝１１・・・を見易くする。そして、第
１６図に示すように、ビッチＥで切断した後、第１７図
に示すように、基準面Ｂを基準としてギャップ対向面の
研磨を行いトラック部７・・・を形成して第ｌ８図に示
すコイル巻線溝ｌ３・１４を形成する。次いで、第１９
図に示すように、基板ｌ・１のトラック部７・・・・７
・・・同士を当接して溶着し、ビッチＡで切断して第２
０図に示す磁気ヘッドチップ９とする。この後、図示し
ない巻線等をコイル巻線溝１３・１４に巻回することで
磁気ヘッドを得ることができるようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、上記従来の磁気ヘッドの製造方法では、
第２２図に示すように、基板１・１同士を当接する際に
、対向するトラック部７・・・・７・・・等がずれてし
まい、歩留りが低下するという問題を有している。

これは、基板１に用いられる結晶化ガラスが大きな硬度
を有しており、第ｌ２図に示すように、基板工を例えば
ダイシングにより研削した場合に、結晶化ガラスがブレ
ードに摩耗を生しさせ、第２１図に示すように、研削開
始時と終了時とで溝１１・・・の頂部と基準面Ｂとの距
離である溝深さに差を生じさせるためである。尚、この
溝深さの差は、ダイシング時に基板１を固定する際の基
板１の傾きによっても発生する。

さらに、第１６図に示すように、基板１をピッチＥで分
割した後、第２１図に示すように、溝１１・・・の頂部
を基準面Ｂと平行に実線位置０まで研磨した場合には、
、研磨面○が木来Ｆｌ，Ｆ２、およびＦ３位置であるべ
きものが、Ｇ１、Ｇ２、およびＧ３位置にずれることに
なる。そして、この研磨面○のずれは、第２２図に示す
ように、基板１・ｌ同士を当接した際に、トラック部７
・・・７・・・やビッチＡにずれを発生させることにな
る。

このように、従来の製造方法では、トラック部７・・・
・７・・・やピッチＡにずれを生じることで、基板１に
形成された全ての溝ｌ１・・・を磁気ヘッドとして利用
することができず、結果として歩留りの低下を招来する
ことになっている。従って、本発明においては、トラッ
ク部７・・・・７・・・やビッチＡのずれを大幅に低減
できるようにすることで、歩留りを向上させることがで
きる磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的として
いる。

［課題を解決するための手段］ 本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、上記課題を解決
するために、基板の上面に略■字形状の複数の溝を連続
して形成し、上記溝の頂部に対して平行となるように基
板の下面を形成し、次いで各溝の側壁に軟磁性薄膜を形
成した後低融点ガラスを溶着し、上記基板の下面を基準
面として低融点ガラスを研磨してトラ・ンク部を形成し
、次いで所定ピンチで切断した後、上記トラック部同士
を対向させて一対の基板を接着することを特徴としてい
る。

（作　用〕 上記の構成によれば、基板の下面は、複数の｝Ｉ４の頂
部に対して平行となるように形成される。従って、基板
に形成された溝の溝深さは、基板の下面に対して同等な
ものとなる。また、この下面を基準面として低融点ガラ
スを研磨した場合には、略同等の幅を有したトラック部
が形成されることになる。これにより、上記のトラック
部を有した一対の基板は、略全での１・ラック部同士が
対向することになり、トラソク部のずれが大幅に減少す
ることで磁気ヘッドの歩留りを向上させることが可能に
なる。

（実施例〕 本発明の一実施例を第１図ないし第１１図に基づいて説
明すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記
第ｌ２図ないし第２２図に示した従来例と同一の構或部
材には同一の符号を付記する。

本実施例に係る磁気ヘッドの製造方法により製造される
磁気ヘッドは、例えば第１１図に示すように、磁気へッ
ドチップ９を有しており、この磁気ヘンドチップ９は、
ギャップ対向面が山形に形成された一対の感光性結晶化
ガラスからなる基板１・１と、冬山形部の一方の側壁に
形成された例えばセンダスト合金等の軟磁性薄膜３・３
から成っている。

上記の基板１・１は、鉛系の低融点ガラス２で接着され
ており、基板ｌ・１間には、トラック部７・７幅でギャ
ップが形成されている。また、各基板１の両側面には、
コイル巻線溝１３・１４が形成されており、このコイル
巻線溝１３・１４に図示しない巻線が巻回されるように
なっている。

上記の構威において、磁気ヘッドを製造する手順を以下
に示す。

先ず、第ｌ図に示すように、感光性結晶化ガラスからな
る基板１の上面に、最終的な磁気ヘッドの厚さおよび切
り代等を考慮したビ・ンチＡで略Ｖ字形状の満１１・・
・を下面１ａを基準面Ｂとして例えばダイシングにより
両端部に亘り連続して形戊する。この際、各溝１１の少
なくとも一方の側壁１１ａ（前記山形部の側壁でもある
。）と、基板１の法線Ｈとのなす角度θは、最終的な磁
気ヘッド形態でのアジマス角に等しいことが望ましい。

次に、第２図に示すように、溝１ｌ・・・の頂部を基準
面Ｃとし、この基準面Ｃを基にして下面１ａを研磨し、
第３図にも示すように、基準面Ｃと平行な下面１ａであ
る基準面Ｂ′を形成する。そして、第４図に示すように
、側壁１１ａ・・・に真空蒸着法やスパッタリング法等
の薄膜形成方法を用いて所定の膜厚、つまり磁気ヘッド
のトラック幅に略相当する膜厚となるようにセンダスト
合金からなる軟磁性薄膜３・・・を形成する。

この後、第５図に示すように、低融点ガラス板を基板１
の溝ｌ１・・・上に載置した後、加熱をして溶融し、基
板１の溝１１・・・や軟磁性薄膜３に低融点ガラス２に
よる被膜を行う。この際、低融点ガラス２には、薄い盛
り上がりが上部に生しており、この盛り上がりは、基板
１の溝１１・・・を見難くしている。従って、低融点ガ
ラス２の被膜を行った後、第６図に示すように、低融点
ガラス２の盛り上がった部分に対し研削を行って平坦化
し溝ｌｌ・・・を見易くする。

次いで、第７図に示すように、低融点ガラス２の研磨を
行いトラソク部７・・・を形成した後、第８図に示すよ
うに、磁気ヘッドの高さに相当するピンチＥで切断を行
う。そして、切り出された基板ｌに対し、第９図に示す
ように、一ｉのフエライトヘッドと同様にコイル巻線溝
１３・１４を形成する。この後、第１０図に示すように
、トラック部７・・・・７・・・が互いに対向するよう
に基板ｌ・１同士の位置合わせを行い、これらを加圧固
定する。そして、低融点ガラス２が接着力を有するよう
な温度まで加熱し、ガラス溶着を行って接着し、磁気ヘ
ッドブロック８を形成する。

この後、磁気ヘッドブロック８を所定ピッチＡで切り出
すことにより、第１１図に示す磁気へッドチップ９とし
、この磁気へッドチップ９を図示しないヘンドベース上
に接着すると共に、コイル巻線溝１３・１４に巻線等を
巻回することで磁気ヘッドが完威されるようになってい
る。

このように、本実施例に係る磁気ヘッドの製造方法は、
第２図および第３図に示すように、基板１の下面１ａを
溝１１・・・の頂部にあたる基準面Ｃに対して平行にし
、この下面１ａを基準面Ｂ“として以降の工程を実施す
るようになっている。

これにより、基板１に形成された溝１１・・・は、溝深
さが基準面Ｂ′に対して同等なものとなり、第７図に示
すように、低融点ガラス２を研磨した場合には、トラッ
ク部７・・・を均一な幅に形成することが可能になる。

そして、第ｌＯ図に示すように、基板１・１同士を接着
して磁気ヘッドブロック８とした場合には、全てのトラ
ック部７・・・・７・・・同士を一致した状態で当接さ
せることが可能になる。

従って、本実施例による方法で磁気ヘッドを製造した場
合には、トラック部７・・・やピッチＡのずれを大幅に
減少させることができるため、歩留りを向上させること
が可能になる。

〔発明の効果］ 本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以上のように、
基板の上面に略■字形状の複数の沼を連続して形成し、
上記溝の頂部に対して平行となるように基板の下面を形
成し、次いで各溝の側壁に軟磁性薄膜を形成した後低融
点ガラスを溶着し、上記基板の下面を基準面として低融
点ガラスを研磨してトラック部を形成し、次いで所定ピ
ッチで切断した後、上記トラック部同士を対向させて一
対の基板を接着する構戒である。

これにより、溝の頂部に対して平行に形成された基板の
下面を基準面として低融点ガラスを研磨しトラック部を
形成するため、一対の基板を接着した際に、トランク部
やピッチのずれを大幅に低減することが可能になり、ひ
いては歩留りを向上させることが可能になるという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第１１図は、本発明の一実施例を示すもの
である。 第１図ないし第７図は、それぞれ磁気ヘッドの各製造過
程を示す正面図である。 第８図ないし第１０図は、それぞれ磁気ヘッドの各製造
過程を示す斜視図である。 第１１図は、磁気へッドチップの斜視図である。 第１２図ないし第２２図は、従来例を示すものである。 第１２図ないし第１５図は、それぞれ磁気ヘンドの各製
造過程を示す正面図である。 第１６図は、磁気ヘッドの製造過程を示す斜視図である
。 第１７図は、磁気ヘッドの製造過程を示す正面図である
。 第１８図および第１９図は、磁気ヘノドの製造過程を示
す斜視図である。 第２０図は、磁気へッドチップの斜視図である。 第２１図は、基板を研磨した状態を示す説明図である。 第２２図は、磁気ヘンドブロノクのトラック部およびピ
ッチの状態を示す斜視図である。 １は基板、１ａは下面、２は低融点ガラス、３は軟磁性
薄膜、７はトラック部、８は磁気へ・７ドブロック、９
は磁気へッドチップ、１３・１４はコイル巻線溝である
。 箒　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板の上面に略Ｖ字形状の複数の溝を連続して形成
   し、上記溝の頂部に対して平行となるように基板の下面
   を形成し、次いで各溝の側壁に軟磁性薄膜を形成した後
   低融点ガラスを溶着し、上記基板の下面を基準面として
   低融点ガラスを研磨してトラック部を形成し、次いで所
   定ピッチで切断した後、上記トラック部同士を対向させ
   て一対の基板を接着することを特徴とする磁気ヘッドの
   製造方法。