JPH0243221A - 新規可溶性ポリイミドシロキサン及びその製法及び用途 - Google Patents
新規可溶性ポリイミドシロキサン及びその製法及び用途Info
- Publication number
- JPH0243221A JPH0243221A JP1146562A JP14656289A JPH0243221A JP H0243221 A JPH0243221 A JP H0243221A JP 1146562 A JP1146562 A JP 1146562A JP 14656289 A JP14656289 A JP 14656289A JP H0243221 A JPH0243221 A JP H0243221A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- polyimidosiloxane
- siloxane
- formula
- carbon atoms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 51
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 title claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 51
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 claims abstract description 44
- -1 acryl Chemical group 0.000 claims abstract description 41
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 27
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 20
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims abstract description 19
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 claims abstract description 16
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims abstract description 14
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims abstract description 12
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 36
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 27
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 claims description 25
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 25
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 24
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 23
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 22
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 21
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 18
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 11
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 11
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 claims description 9
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 7
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 claims description 5
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 4
- QGMGHALXLXKCBD-UHFFFAOYSA-N 4-amino-n-(2-aminophenyl)benzamide Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C(=O)NC1=CC=CC=C1N QGMGHALXLXKCBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims 2
- IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N o-Hydroxyethylbenzene Natural products CCC1=CC=CC=C1O IXQGCWUGDFDQMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N triglyme Chemical compound COCCOCCOCCOC YFNKIDBQEZZDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 abstract description 12
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 abstract description 5
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 abstract description 5
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 abstract description 5
- 125000006159 dianhydride group Chemical group 0.000 description 18
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 13
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 12
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 11
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 8
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical group CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 6
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 6
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 5-phenylbenzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1C(O)=O JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 5
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 5
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- BCJIMAHNJOIWKQ-UHFFFAOYSA-N 4-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-4-yl)oxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound O=C1OC(=O)C2=C1C=CC=C2OC1=CC=CC2=C1C(=O)OC2=O BCJIMAHNJOIWKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 3
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 3
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 3
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 3
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N Carbamic acid Chemical class NC(O)=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate group Chemical group C(C=C)(=O)[O-] NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N carbon carbon Chemical compound C.C CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 239000012024 dehydrating agents Substances 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006459 hydrosilylation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 238000010128 melt processing Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 2
- VOZKAJLKRJDJLL-UHFFFAOYSA-N tolylenediamine group Chemical group CC1=C(C=C(C=C1)N)N VOZKAJLKRJDJLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWEKXPWNFQBJAY-UHFFFAOYSA-N (dimethyl-$l^{3}-silanyl)oxy-dimethylsilicon Chemical compound C[Si](C)O[Si](C)C KWEKXPWNFQBJAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRMDXTVKVHKWEK-UHFFFAOYSA-N 1,2-diaminoanthracene-9,10-dione Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=C(N)C(N)=CC=C3C(=O)C2=C1 LRMDXTVKVHKWEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 3,5-diaminobenzoic acid Chemical compound NC1=CC(N)=CC(C(O)=O)=C1 UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXCORHXFPYJEH-UHFFFAOYSA-N 3-[[3-aminopropyl(dimethyl)silyl]oxy-dimethylsilyl]propan-1-amine Chemical compound NCCC[Si](C)(C)O[Si](C)(C)CCCN GPXCORHXFPYJEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HORNXRXVQWOLPJ-UHFFFAOYSA-N 3-chlorophenol Chemical compound OC1=CC=CC(Cl)=C1 HORNXRXVQWOLPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AIVVXPSKEVWKMY-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1OC1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 AIVVXPSKEVWKMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VILWHDNLOJCHNJ-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxyphenyl)sulfanylphthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1SC1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 VILWHDNLOJCHNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVCOFPOLGHKJQB-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxyphenyl)sulfonylphthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 AVCOFPOLGHKJQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JQGUWEUKOQRRJU-UHFFFAOYSA-N 4-(4-aminobutyl-methyl-trimethylsilyloxysilyl)butan-1-amine Chemical compound NCCCC[Si](C)(O[Si](C)(C)C)CCCCN JQGUWEUKOQRRJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000004984 aromatic diamines Chemical class 0.000 description 1
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 229920006037 cross link polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical group 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene Chemical compound FC(F)=C(F)C(F)(F)F HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002440 hydroxy compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000005184 irreversible process Methods 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006160 pyromellitic dianhydride group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000001302 tertiary amino group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002411 thermogravimetry Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ポリイミドとして知られている種類のポリマーは、良好
な熱安定性と高い上方使用温度(ガラス転移温度により
測定される)とで知られるようになった。そのようなポ
リイミドのうち特に有用な種類のものはポリイミドシロ
キサンとして知られている。
な熱安定性と高い上方使用温度(ガラス転移温度により
測定される)とで知られるようになった。そのようなポ
リイミドのうち特に有用な種類のものはポリイミドシロ
キサンとして知られている。
前述のような両性質のために、ポリイミドシロキサンは
エレクトロニクスの用途、特にコンピュータ業界のマイ
クロエレクトロニクス部品に使用されている。
エレクトロニクスの用途、特にコンピュータ業界のマイ
クロエレクトロニクス部品に使用されている。
すでに公知のポリイミドシロキサンの多くは溶媒に不溶
であるか又は溶解が困難であるため、マイクロエレクト
ロニクス業界で使用される場合、溶解性の改良されたポ
リイミドシロキサン、並びに耐熱性と上方使用温度のバ
ランスの良好なポリイミドシロキサンが非常に必要とさ
れる。
であるか又は溶解が困難であるため、マイクロエレクト
ロニクス業界で使用される場合、溶解性の改良されたポ
リイミドシロキサン、並びに耐熱性と上方使用温度のバ
ランスの良好なポリイミドシロキサンが非常に必要とさ
れる。
ポリイミド調製の化学は約1960年から周知となった
。構造上単純なポリイミドはジアミンと二酸無水物との
反応により調製しうる。
。構造上単純なポリイミドはジアミンと二酸無水物との
反応により調製しうる。
第−工程、すなわち重縮合反応では常温でさえ加水分解
に対して不安定なポリアミド酸を生成する。第二工程、
すなわちイミド化反応では種々の用途に望ましい安定な
ポリイミドを生成する。
に対して不安定なポリアミド酸を生成する。第二工程、
すなわちイミド化反応では種々の用途に望ましい安定な
ポリイミドを生成する。
ポリイミドシロキサンは、シロキサンジアミン又はシロ
キサン二無水物と有機コモノマーを用いる反応により調
製しうる。ポリイミドシロキサンは、有機コモノマーを
用いることなくシロキサンジアミンとシロキサン二無水
物から調製することもできる。
キサン二無水物と有機コモノマーを用いる反応により調
製しうる。ポリイミドシロキサンは、有機コモノマーを
用いることなくシロキサンジアミンとシロキサン二無水
物から調製することもできる。
ポリイミドシロキサンは、ピロメリット酸二無水物(P
MOA) と1.3−ビス−(アミノプロピル)−1,
1,3,3−テトラメチルジシロキサンを反応させるこ
とにより1966年にはじめて調製された(ブイ・エイ
チ・クラカーラ(V、11.にucker tz)によ
るMacromol、Chem、第98巻(1966年
)第101乃至108頁参照)。このポリイミドシロキ
サンは結晶質であり、溶媒から可撓性のフィルムにキャ
スチングすることはできない。ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物(BTDA)及びα、ω−ジアミノ有
機ポリシロキサンの反応から誘導されたポリイミドシロ
キサンは、ジェネラル・エレクトリンク (Gener
al Electric)により1967年に米国特許
筒3,325,450号に開示された。α。
MOA) と1.3−ビス−(アミノプロピル)−1,
1,3,3−テトラメチルジシロキサンを反応させるこ
とにより1966年にはじめて調製された(ブイ・エイ
チ・クラカーラ(V、11.にucker tz)によ
るMacromol、Chem、第98巻(1966年
)第101乃至108頁参照)。このポリイミドシロキ
サンは結晶質であり、溶媒から可撓性のフィルムにキャ
スチングすることはできない。ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物(BTDA)及びα、ω−ジアミノ有
機ポリシロキサンの反応から誘導されたポリイミドシロ
キサンは、ジェネラル・エレクトリンク (Gener
al Electric)により1967年に米国特許
筒3,325,450号に開示された。α。
ω−ジアミノ有機ポリシロキサン及びジエーテル二無水
物(DEDA)を含むポリイミドシロキサンも米国特許
筒3.847,867号に開示された。
物(DEDA)を含むポリイミドシロキサンも米国特許
筒3.847,867号に開示された。
これらのBTDA及びDEDAを含むポリイミドシロキ
サンは全て非晶質である。それらのガラス転移温度は1
00℃を越えないので、これらのポリマーは約200℃
まで優れた熱安定性を示すにもかかわらず上方使用温度
は非常に限られていた。
サンは全て非晶質である。それらのガラス転移温度は1
00℃を越えないので、これらのポリマーは約200℃
まで優れた熱安定性を示すにもかかわらず上方使用温度
は非常に限られていた。
有機モノマー及びシロキサンモノマーを含むポリイミド
シロキサンは、PMOAを含むコポリマーについて(日
本国公開特許公報第83/7473号及び第83/13
631号参照) 、BTDAを含むコポリマーについて
(米国特許筒3.553.282号及び第4.404.
350号参照)及びDEDAを含むコポリマーについて
(米国特許筒3.847.867号参照)報告されてき
た。これらのPMOAを含むポリイミドシロキサンはい
かなる溶媒にも溶解しない。BTDAを含むポリイミド
シロキサンは、通常N−メチルピロリドン(NMP)と
して知られている1−メチル−2−ピロリジノン、フェ
ノール又はクレゾール等のような高沸点又は毒性の溶媒
にのみ可溶性である。更にDBOAを含むポリイミドシ
ロキサンはジクロロベンゼン及びジクロロメタンのよう
な塩素化溶媒に可溶である。
シロキサンは、PMOAを含むコポリマーについて(日
本国公開特許公報第83/7473号及び第83/13
631号参照) 、BTDAを含むコポリマーについて
(米国特許筒3.553.282号及び第4.404.
350号参照)及びDEDAを含むコポリマーについて
(米国特許筒3.847.867号参照)報告されてき
た。これらのPMOAを含むポリイミドシロキサンはい
かなる溶媒にも溶解しない。BTDAを含むポリイミド
シロキサンは、通常N−メチルピロリドン(NMP)と
して知られている1−メチル−2−ピロリジノン、フェ
ノール又はクレゾール等のような高沸点又は毒性の溶媒
にのみ可溶性である。更にDBOAを含むポリイミドシ
ロキサンはジクロロベンゼン及びジクロロメタンのよう
な塩素化溶媒に可溶である。
これらのフェノール及び塩素化化合物は腐蝕性でかつ非
常に毒性であるため、ポリイミドシロキサンの塗料の用
途、特に感熱性エレクトロニクスデバイスの用途には限
界がある。このことは、NMPに可溶性のポリイミドシ
ロキサンの厚さ1μ程度フィルムから全ての残存溶媒を
除去するためには少くとも半時間350℃に加熱しなけ
ればならないという事実にもよる。
常に毒性であるため、ポリイミドシロキサンの塗料の用
途、特に感熱性エレクトロニクスデバイスの用途には限
界がある。このことは、NMPに可溶性のポリイミドシ
ロキサンの厚さ1μ程度フィルムから全ての残存溶媒を
除去するためには少くとも半時間350℃に加熱しなけ
ればならないという事実にもよる。
大部分のポリアミド酸は可溶性であるにもかかわらず、
1−メチル−2−ピロリドン(NMP)のような高沸点
で比較的毒性の溶媒でさえ極わずかな種類のポリイミド
シロキサンしか溶解しない。塗料にポリアミド酸を使用
するには不利な点がたくさんある。第一に、支持体上で
イミド化反応がおこると水を生ずる。従って、非常に薄
いフィルムの塗料で、ボイドのない性質が性能には重要
ではないような塗料にのみ使用しうる。第二に、NMP
のような高沸点極性溶媒の除去には厚さ1μのフィルム
でさえ350℃のような高温を約30分間必要とする。
1−メチル−2−ピロリドン(NMP)のような高沸点
で比較的毒性の溶媒でさえ極わずかな種類のポリイミド
シロキサンしか溶解しない。塗料にポリアミド酸を使用
するには不利な点がたくさんある。第一に、支持体上で
イミド化反応がおこると水を生ずる。従って、非常に薄
いフィルムの塗料で、ボイドのない性質が性能には重要
ではないような塗料にのみ使用しうる。第二に、NMP
のような高沸点極性溶媒の除去には厚さ1μのフィルム
でさえ350℃のような高温を約30分間必要とする。
この乾燥プロセスは強大なエネルギーを必要とするばか
りでな(、ある種の感熱性エレクトロニクス装置又は支
持体には合格しない。
りでな(、ある種の感熱性エレクトロニクス装置又は支
持体には合格しない。
更に、ポリアミド酸は冷蔵庫の温度(〈4℃)に貯蔵し
なければならないし、それでも保存寿命が非常に短い(
約3ケ月)。結局、十分イミド化されたポリイミドシロ
キサンのみが抽出及び射出成形のような溶融加工に対し
て熱的に安定である。
なければならないし、それでも保存寿命が非常に短い(
約3ケ月)。結局、十分イミド化されたポリイミドシロ
キサンのみが抽出及び射出成形のような溶融加工に対し
て熱的に安定である。
可溶性のポリイミドシロキサンは約160乃至170℃
の温度において溶媒中で十分にイミド化されうるが、不
溶性の固体状態ポリイミドシロキサンのイミド化では2
00乃至250℃のようなガラス転移温度より50℃高
い温度を必要とする場合もある。溶融加工法により十分
にはイミド化されていないポリイミドシロキサンを造形
すると製品内にボイドを生じ、しばしば望ましくなくな
る。
の温度において溶媒中で十分にイミド化されうるが、不
溶性の固体状態ポリイミドシロキサンのイミド化では2
00乃至250℃のようなガラス転移温度より50℃高
い温度を必要とする場合もある。溶融加工法により十分
にはイミド化されていないポリイミドシロキサンを造形
すると製品内にボイドを生じ、しばしば望ましくなくな
る。
米国特許第4,290,936号には、フェノール又は
ハロゲン化フェノール化合物の存在下でビフェニルテト
ラカルボン酸と少くとも50%のジアミノジフェニルエ
ーテルを含む芳香族ジアミン成分とを反応させることに
よるポリイミドの調製が記載されている。ビス(3,4
−ジカルボキシフェニル)エーテル、ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)チオエーテル及び(3,4−ジカ
ルボキシフェニル)スルホンを含む二酸も使用しうる。
ハロゲン化フェノール化合物の存在下でビフェニルテト
ラカルボン酸と少くとも50%のジアミノジフェニルエ
ーテルを含む芳香族ジアミン成分とを反応させることに
よるポリイミドの調製が記載されている。ビス(3,4
−ジカルボキシフェニル)エーテル、ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)チオエーテル及び(3,4−ジカ
ルボキシフェニル)スルホンを含む二酸も使用しうる。
ポリイミドシロキサンが製造されないようなシロキサン
は開示されていない。
は開示されていない。
米国特許第4,520,075号には、ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物を基剤としたジグライムに可溶性
のポリイミドシロキサンであって、部分的にイミド化さ
れたポリイミドシロキサンが記載されている。対応する
ポリアミド酸及び十分にイミド化された生成物は不溶性
である。塗料に用いる場合、ポリイミドシロキサン前駆
物質をイミド化しなければならず、350℃乃至400
℃のような高温で30分間溶媒を除去しなければならな
い。
ラカルボン酸二無水物を基剤としたジグライムに可溶性
のポリイミドシロキサンであって、部分的にイミド化さ
れたポリイミドシロキサンが記載されている。対応する
ポリアミド酸及び十分にイミド化された生成物は不溶性
である。塗料に用いる場合、ポリイミドシロキサン前駆
物質をイミド化しなければならず、350℃乃至400
℃のような高温で30分間溶媒を除去しなければならな
い。
感熱性半導体デバイス並びにハイブリッド回路において
は高温の使用により用途に限界を生じてしまう。更に、
これらの前駆物質は室温において加水分解に対して不安
定であり、4℃の冷蔵庫の温度においてさえ保存寿命は
約3ケ月である。更に、これらの前駆物質はフィルムの
厚さが数μmを越えた場合(≧20μm)イミド化中に
塗料内に水又はバブルを生じてしまう。ポリイミドシロ
キサン前駆物質は薄いフィルムの用途には有用ではない
。ジアミノシロキサンは全ジアミノ化合物の1乃至4モ
ル%使用される。通常は全ジアミノ成分の少くとも約1
5モル%、60モル%程度までシロキサン成分を用いる
。
は高温の使用により用途に限界を生じてしまう。更に、
これらの前駆物質は室温において加水分解に対して不安
定であり、4℃の冷蔵庫の温度においてさえ保存寿命は
約3ケ月である。更に、これらの前駆物質はフィルムの
厚さが数μmを越えた場合(≧20μm)イミド化中に
塗料内に水又はバブルを生じてしまう。ポリイミドシロ
キサン前駆物質は薄いフィルムの用途には有用ではない
。ジアミノシロキサンは全ジアミノ化合物の1乃至4モ
ル%使用される。通常は全ジアミノ成分の少くとも約1
5モル%、60モル%程度までシロキサン成分を用いる
。
米国特許第4,634.760号は、ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物及び第二の酸無水物(硫化ジフタル
酸無水物でもよい)を基剤とするポリイミドに関する。
カルボン酸二無水物及び第二の酸無水物(硫化ジフタル
酸無水物でもよい)を基剤とするポリイミドに関する。
オキシジフタル酸無水物、又は種々のその他の二無水物
がこの特許の第−欄第60行から第三欄第5行に開示さ
れている。この特許には1,3−ビス(3−アミノプロ
ピル)テトラメチルジシロキサンを含む種々のジアミン
の使用が開示されているけれども、ジグライムに可溶性
のポリイミドシロキサンの製造は開示されていない。
がこの特許の第−欄第60行から第三欄第5行に開示さ
れている。この特許には1,3−ビス(3−アミノプロ
ピル)テトラメチルジシロキサンを含む種々のジアミン
の使用が開示されているけれども、ジグライムに可溶性
のポリイミドシロキサンの製造は開示されていない。
米国特許第4,586.997号及び第4.670.4
97号に開示されているようなある種のジエーテル二無
水物を含むポリイミドシロキサンはジグライム(Tb−
162℃)に可溶性であり、テトラヒドロフラン(Tb
=60℃)にもわずかに溶解する。
97号に開示されているようなある種のジエーテル二無
水物を含むポリイミドシロキサンはジグライム(Tb−
162℃)に可溶性であり、テトラヒドロフラン(Tb
=60℃)にもわずかに溶解する。
しかし、これらのポリイミドシロキサンはいずれも、塗
料業界で使用される多くの溶媒の−であるメチルエチル
ケトン(Tb=80℃)のような溶媒には可溶性ではな
い。しかしなから、これらのポリイミドシロキサンは全
て比較的低いガラス転移温度(約125乃至150℃以
下)を有し、かつ熱安定性にも限界がある(フィルムの
可撓性及び保全性の保持は350℃で0.5時間)。ジ
グライム又はメチルエチルケトンのような無毒性低沸点
溶媒に可溶性である熱的に安定なポリイミドシロキサン
はこれらのジエーテル二無水物からは容易には得られな
い。
料業界で使用される多くの溶媒の−であるメチルエチル
ケトン(Tb=80℃)のような溶媒には可溶性ではな
い。しかしなから、これらのポリイミドシロキサンは全
て比較的低いガラス転移温度(約125乃至150℃以
下)を有し、かつ熱安定性にも限界がある(フィルムの
可撓性及び保全性の保持は350℃で0.5時間)。ジ
グライム又はメチルエチルケトンのような無毒性低沸点
溶媒に可溶性である熱的に安定なポリイミドシロキサン
はこれらのジエーテル二無水物からは容易には得られな
い。
ベルガー(Berger)による米国特許第4.395
.527号及び第4.480.009号にはポリイミド
シロキサンの製造に有用な多くの種々の成分が開示され
ている。これらの特許には硫化ジフタル酸無水物の使用
が開示されているけれども、この化合物が特に有用な性
質を提供することは認められていない。
.527号及び第4.480.009号にはポリイミド
シロキサンの製造に有用な多くの種々の成分が開示され
ている。これらの特許には硫化ジフタル酸無水物の使用
が開示されているけれども、この化合物が特に有用な性
質を提供することは認められていない。
更に、本発明において使用されているトリレンジアミン
はこれらの特許には開示されてもいない。
はこれらの特許には開示されてもいない。
米国特許第4.586.997号及び第4.670.4
97号には、ジエーテル二無水物、ジアミン及びα、ω
−ジアミノシロキサンを基剤とするポリイミドシロキサ
ンの製造の有用性が教示されている。架橋ポリマーも開
示されている。ポリマーに必須の有機二無水物として硫
化ジフタル酸無水物を使用すると特別な性質を有するポ
リマーが得られるということは認められていない。
97号には、ジエーテル二無水物、ジアミン及びα、ω
−ジアミノシロキサンを基剤とするポリイミドシロキサ
ンの製造の有用性が教示されている。架橋ポリマーも開
示されている。ポリマーに必須の有機二無水物として硫
化ジフタル酸無水物を使用すると特別な性質を有するポ
リマーが得られるということは認められていない。
米国特許第4,558.110号には、硫化ジフタル酸
無水物を含有しうる特定の結晶質ポリマーが開示されて
いる。
無水物を含有しうる特定の結晶質ポリマーが開示されて
いる。
以下の3つの米国特許には、ポリイミドの調製に2.2
−ビス(3’、4’−ジカルボキシフェニル)へキサフ
ルオロプロパンニ’R水’Jh (6FD^)を使用す
ることが開示されている。
−ビス(3’、4’−ジカルボキシフェニル)へキサフ
ルオロプロパンニ’R水’Jh (6FD^)を使用す
ることが開示されている。
米国特許第3,424.718号の実施例5には、化合
物6FDAとピロメリット酸二無水物と2種類のジアミ
ンを反応させることによるポリイミドの調製が開示され
ている。この特許には6FDA単独又はその他の6 F
DAの混合物の使用は開示されていないので、この特許
の開示内容は特殊な教示であると思われる。硫化ジフタ
ル酸無水物は第1欄の第40行乃至第2欄の第1行に開
示されている。しかしシロキサンは開示されていないの
でポリイミドシロキサンは開示されていない。
物6FDAとピロメリット酸二無水物と2種類のジアミ
ンを反応させることによるポリイミドの調製が開示され
ている。この特許には6FDA単独又はその他の6 F
DAの混合物の使用は開示されていないので、この特許
の開示内容は特殊な教示であると思われる。硫化ジフタ
ル酸無水物は第1欄の第40行乃至第2欄の第1行に開
示されている。しかしシロキサンは開示されていないの
でポリイミドシロキサンは開示されていない。
米国特許第4,588,804号においては、好ましく
2種類の二無水物と有機アミンとを反応させることによ
りポリイミドが調製されている。50乃至100モル%
存在しうる第一の二無水物は、無水物を含む環の間に共
役とならないような二価の部分であり、かつ脂肪族炭素
−炭素又は炭素−水素結合を含まないブリッジ部分を有
する。そのような要件は硫化ジフタル酸無水物により満
たされる。
2種類の二無水物と有機アミンとを反応させることによ
りポリイミドが調製されている。50乃至100モル%
存在しうる第一の二無水物は、無水物を含む環の間に共
役とならないような二価の部分であり、かつ脂肪族炭素
−炭素又は炭素−水素結合を含まないブリッジ部分を有
する。そのような要件は硫化ジフタル酸無水物により満
たされる。
存在しうるその他の二無水物は、脂肪族炭素−炭素又は
炭素−水素結合を含まない二価の部分でありうるブリッ
ジ部分を有する。そのような要件はペンゾフェノンニカ
ルボン酸二無水物(BTDA)により満たされる。組成
物は特定の要件を有するジアミンを必要とする。シロキ
サン化合物は開示されていないので特許はポリイミドシ
ロキサンの調製を教示しない。
炭素−水素結合を含まない二価の部分でありうるブリッ
ジ部分を有する。そのような要件はペンゾフェノンニカ
ルボン酸二無水物(BTDA)により満たされる。組成
物は特定の要件を有するジアミンを必要とする。シロキ
サン化合物は開示されていないので特許はポリイミドシ
ロキサンの調製を教示しない。
米国特許第4,612.361号には、構造式(八)、
(B) I−。
(B) I−。
(但し、式中のAは一〇ZO−ブリッジを有する芳香族
ビス(エーテル無水物)である)を有するポリイミドの
調製が開示されている。多数のそのような化合物はこの
特許の第6欄第29行乃至44行目に開示されている。
ビス(エーテル無水物)である)を有するポリイミドの
調製が開示されている。多数のそのような化合物はこの
特許の第6欄第29行乃至44行目に開示されている。
成分Bは6F二無水物(6FDA)である。組成物は第
7欄第5行乃至第8欄第14行に開示されているような
酸無水物と有機ジアミンとの反応により製造される。化
合物ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサ
ンは第8欄第12行に付随的に開示されている。
7欄第5行乃至第8欄第14行に開示されているような
酸無水物と有機ジアミンとの反応により製造される。化
合物ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサ
ンは第8欄第12行に付随的に開示されている。
米国特許第4.595,732号には硫化ジフタル酸無
水物の使用が開示されているが、シロキサンノルボルネ
ン化合物を基剤とするポリマーに使用されている。
水物の使用が開示されているが、シロキサンノルボルネ
ン化合物を基剤とするポリマーに使用されている。
近年の特許である米国特許第4,625,037号は、
チオエーテル(ビスフタルイミド)と対応する酸無水物
の調製法、及びポリイミドを製造するこれらの酸無水物
の反応を提供している。
チオエーテル(ビスフタルイミド)と対応する酸無水物
の調製法、及びポリイミドを製造するこれらの酸無水物
の反応を提供している。
1987年3月31日に出願された本出願人による未決
の特許側第32,722号には、オキシジフタル酸無水
物から製造された十分イミド化されたポリイミドシロキ
サンがジグライム、テトラヒドロフラン及びメチルエチ
ルケトンのような溶媒に可溶性であることが開示されて
いる。
の特許側第32,722号には、オキシジフタル酸無水
物から製造された十分イミド化されたポリイミドシロキ
サンがジグライム、テトラヒドロフラン及びメチルエチ
ルケトンのような溶媒に可溶性であることが開示されて
いる。
1988年2月9日に出願された本出願人による未決の
特許側第154,168号には、ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物及びベンゾフェノンテトラカルボン酸二
無水物の混合物から製造された実質的に十分イミド化さ
れたポリイミドシロキサンがジグライム、テトラヒドロ
フラン及びメチルエチルケトンのような溶媒に可溶性で
あることが開示されている。
特許側第154,168号には、ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物及びベンゾフェノンテトラカルボン酸二
無水物の混合物から製造された実質的に十分イミド化さ
れたポリイミドシロキサンがジグライム、テトラヒドロ
フラン及びメチルエチルケトンのような溶媒に可溶性で
あることが開示されている。
1988年2月9日に出願された本出願人による未決の
特許側第153,898号には、ビス(ジカルボキシフ
ェニル)へキサフルオロプロペン二無水物及びその他の
二無水物との混合物から製造された実質的に十分イミド
化されたポリイミドシロキサンがジグライム、テトラヒ
ドロフラン及びメチルエチルケトンのような溶媒に可溶
性であることが開示されている。
特許側第153,898号には、ビス(ジカルボキシフ
ェニル)へキサフルオロプロペン二無水物及びその他の
二無水物との混合物から製造された実質的に十分イミド
化されたポリイミドシロキサンがジグライム、テトラヒ
ドロフラン及びメチルエチルケトンのような溶媒に可溶
性であることが開示されている。
本発明の目的の−は、ジグライムのような低沸点非極性
無毒性溶媒に可溶性の十分イミド化されたポリイミドシ
ロキサンを開発することである。
無毒性溶媒に可溶性の十分イミド化されたポリイミドシ
ロキサンを開発することである。
本発明の目的は、安価で容易に入手しうる有機モノマー
を基剤とする望ましいポリイミドシロキサンを開発する
ことである。本発明の別の目的は、容易に工業的な大規
模の製造に拡大しうる安価なポリイミドシロキサンを開
発することである。本発明の別の目的は、価格に敏感な
用途すなわち性能/価格の好適な状態におけるケーブル
外被、並びに三次元金型成形電線板の用途及び多量で低
価格が必須の用途に使用しうる安価なポリイミドシロキ
サンを開発することである。
を基剤とする望ましいポリイミドシロキサンを開発する
ことである。本発明の別の目的は、容易に工業的な大規
模の製造に拡大しうる安価なポリイミドシロキサンを開
発することである。本発明の別の目的は、価格に敏感な
用途すなわち性能/価格の好適な状態におけるケーブル
外被、並びに三次元金型成形電線板の用途及び多量で低
価格が必須の用途に使用しうる安価なポリイミドシロキ
サンを開発することである。
本発明の別の目的は、NMPのような高沸点溶媒ばかり
でなく、ジグライム又はテトラヒドロフラン(THF)
のような低沸点の無毒性で極性のあまりない溶媒にも可
溶性である十分イミド化されたポリイミドシロキサンを
提供することである。
でなく、ジグライム又はテトラヒドロフラン(THF)
のような低沸点の無毒性で極性のあまりない溶媒にも可
溶性である十分イミド化されたポリイミドシロキサンを
提供することである。
本発明の更に別の目的は、耐熱性と高い上方使用温度(
ガラス転移温度により測定される)のバランスが良好な
ポリイミドシロキサンを提供することである。
ガラス転移温度により測定される)のバランスが良好な
ポリイミドシロキサンを提供することである。
本発明の別の目的は、硬化性でかつ架橋したポリイミド
シロキサンを製造することである。
シロキサンを製造することである。
硫化ジフタル酸無水物を基剤とする実質的に十分イミド
化されたポリイミドシロキサンはジグライムに可溶性で
あり、そのためエレクトロニクス業界で特に有用となっ
た。ポリマーは二無水物、二官能性シロキサンモノマー
及び好ましくはポリイミドシロキサンポリマー鎖に非対
称構造を提供する有機ジアミンから調製される。
化されたポリイミドシロキサンはジグライムに可溶性で
あり、そのためエレクトロニクス業界で特に有用となっ
た。ポリマーは二無水物、二官能性シロキサンモノマー
及び好ましくはポリイミドシロキサンポリマー鎖に非対
称構造を提供する有機ジアミンから調製される。
硫黄を含む二無水物は、オキシジフタル酸無水物、ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、及びビス(ジカルボ
キシフェニル)へキサフルオロプロペン二無水物のよう
なその他の二無水物と混合して使用しうる。二無水物成
分がジグライムに可溶性のポリイミドシロキサンを提供
しうるにちがいない。
ェニルテトラカルボン酸二無水物、及びビス(ジカルボ
キシフェニル)へキサフルオロプロペン二無水物のよう
なその他の二無水物と混合して使用しうる。二無水物成
分がジグライムに可溶性のポリイミドシロキサンを提供
しうるにちがいない。
本発明のポリイミドシロキサンは、直接硬化しうる官能
基を有するように調製しうる。ポリイミドシロキサンは
また、不飽和化合物と反応させた際ポリマーを硬化させ
うる官能基を有するように8周製しうる。
基を有するように調製しうる。ポリイミドシロキサンは
また、不飽和化合物と反応させた際ポリマーを硬化させ
うる官能基を有するように8周製しうる。
本発明の生成物は、マイクロエレクトロニクス業界では
溶液の形で使用しうる。ポリマーはまた、ワイ°ヤ及び
ケーブルの被覆にも使用でき、フィルム、繊維、及び金
型及び押出成形品を調製しうる。
溶液の形で使用しうる。ポリマーはまた、ワイ°ヤ及び
ケーブルの被覆にも使用でき、フィルム、繊維、及び金
型及び押出成形品を調製しうる。
■u匁無木貰
本発明は、硫化ジフタル酸無水物(SDPA) 、特に
4,4′−硫化ジフタル酸無水物(4,4’5DPA)
を使用すると溶解性と熱的性質の組合せのすばらしい十
分イミド化されたポリイミドシロキサンが得られるとい
う発見に基づく。
4,4′−硫化ジフタル酸無水物(4,4’5DPA)
を使用すると溶解性と熱的性質の組合せのすばらしい十
分イミド化されたポリイミドシロキサンが得られるとい
う発見に基づく。
本発明の実施において使用しうるその他の硫化ジフタル
酸無水物は3.3′−硫化ジフタル酸無水物及び3,4
′−硫化ジフタル酸無水物である。
酸無水物は3.3′−硫化ジフタル酸無水物及び3,4
′−硫化ジフタル酸無水物である。
その他の有機二無水物は、5DPAの約5乃至約20重
量%までの少量だけ使用しうる。
量%までの少量だけ使用しうる。
その他の有機二無水物には、以下の一般式:を有する化
合物が含まれる。但し、式中のArはその他の例は米国
特許第4,395.527号及び第4,586.997
号に開示されており、それらの開示は本明細書において
参考にしている。しかしなから、これらの二無水物を用
いても、NMP又はジグライム中における生成ポリイミ
ドシロキサンの溶解性は極わずかに改良されるだけで、
これらの変性ポリイミドシロキサンはMEK又はTHF
のような溶媒には不溶性となる。このことは、MEKの
ような非常に低沸点の無毒性溶媒が必要とされる用途を
制限してしまう。更に、ジエーテル二無水物(DEDA
)を用いる場合には、本発明のポリイミドシロキサンの
ガラス転移温度及び熱安定性が低下し、その上方使用温
度を制限してしまう。
合物が含まれる。但し、式中のArはその他の例は米国
特許第4,395.527号及び第4,586.997
号に開示されており、それらの開示は本明細書において
参考にしている。しかしなから、これらの二無水物を用
いても、NMP又はジグライム中における生成ポリイミ
ドシロキサンの溶解性は極わずかに改良されるだけで、
これらの変性ポリイミドシロキサンはMEK又はTHF
のような溶媒には不溶性となる。このことは、MEKの
ような非常に低沸点の無毒性溶媒が必要とされる用途を
制限してしまう。更に、ジエーテル二無水物(DEDA
)を用いる場合には、本発明のポリイミドシロキサンの
ガラス転移温度及び熱安定性が低下し、その上方使用温
度を制限してしまう。
1橙2ヱまノ
ポリイミドシロキサン連鎖に非対称構造を提供するジア
ミンが、本発明の望ましい優れた性質を有するポリイミ
ドシロキサンの製造において硫化ジフタル酸無水物と組
合せると特に有用であることが見い出された。
ミンが、本発明の望ましい優れた性質を有するポリイミ
ドシロキサンの製造において硫化ジフタル酸無水物と組
合せると特に有用であることが見い出された。
ポリイミドシロキサン連鎖に非対称構造を提供する適す
るジアミンは以下の構造式を有する。
るジアミンは以下の構造式を有する。
但し、式中X、Y及びZは、X、Y及びZの全てが水素
ではないという条件で、水素、ハロゲン、■乃至12個
の炭素原子を有するアルキル又はノ10ゲン化アルキル
又は6乃至12個の炭素原子を有するアリール又はハロ
ゲン化アリールから独立して選択される。好ましいジア
ミンは、少くとも1個の炭素原子を有する少くとも1個
のアルキル置換基を有する。
ではないという条件で、水素、ハロゲン、■乃至12個
の炭素原子を有するアルキル又はノ10ゲン化アルキル
又は6乃至12個の炭素原子を有するアリール又はハロ
ゲン化アリールから独立して選択される。好ましいジア
ミンは、少くとも1個の炭素原子を有する少くとも1個
のアルキル置換基を有する。
例えば以下のものがある。
2.4−トリルジアミン
2.5−トリルジアミン
2.6−1−リルジアミン
m−キシルジアミン
2.4−ジアミン−5−クロロトルエン2.4−ジアミ
ン−6−クロロトルエントリフルオロメチル−2,4−
ジアミノベンゼン 2.4.6−ドリメチルー1.3−ジアミノベンゼン ポリマー鎖において非対称であるその他の有用なジアミ
ン化合物には以下の構造式を有する化合物が含まれる。
ン−6−クロロトルエントリフルオロメチル−2,4−
ジアミノベンゼン 2.4.6−ドリメチルー1.3−ジアミノベンゼン ポリマー鎖において非対称であるその他の有用なジアミ
ン化合物には以下の構造式を有する化合物が含まれる。
である)
例えば以下のものがある。
m、m−メチレンジアニリン
m、m−スルホンジアニリン
o、m−スルホンジアニリン
ポリイミドシロキサンにおいて非対称であるその他の適
するジアミンはジアミノアントラキノンである。
するジアミンはジアミノアントラキノンである。
特に好ましいジアミンは、2.4−トリルジアミン及び
2.6−トリルジアミンの混合物であり、特に約80重
量%の2.4−トリルジアミン及び約20重量%の2.
6−1−リルジアミンの市販の混合物である。
2.6−トリルジアミンの混合物であり、特に約80重
量%の2.4−トリルジアミン及び約20重量%の2.
6−1−リルジアミンの市販の混合物である。
ポリイミドシロキサン組成物においてはポリマー鎖にお
いて非対称ではないジアミンを約25重量%以下の少量
であれば使用しうる。そのようなその他のジアミンは米
国特許第4.395.527号及び第4,586,99
7号に開示されており、その開示内容は本明細書におい
て参考にしている。
いて非対称ではないジアミンを約25重量%以下の少量
であれば使用しうる。そのようなその他のジアミンは米
国特許第4.395.527号及び第4,586,99
7号に開示されており、その開示内容は本明細書におい
て参考にしている。
そのような補助的なジアミンは以下の構造式を有する。
但し、式中のXは、ジグライム、TIIF又はMIEK
における溶解性を保持するためには好ましくは及び−C
I+□−でもよい。熱安定性、ガラス転移温度及び溶解
性の良好な組合せに影響を及ぼすことなく更に別の有機
ジアミンを極少間使用しうる。
における溶解性を保持するためには好ましくは及び−C
I+□−でもよい。熱安定性、ガラス転移温度及び溶解
性の良好な組合せに影響を及ぼすことなく更に別の有機
ジアミンを極少間使用しうる。
シロキサンモノマー
本発明に使用しうるシロキサンジアミノ化合物は以下の
構造式を有する。
構造式を有する。
但し、式中のR1、R2、R,及びR4はl乃至12個
の炭素原子を有する置換又は未置換脂肪族基又は6乃至
10個の炭素原子を有する置換又は未置換芳香族基から
独立して選択される。適する基には−C113、CF3
、(CHz)、lCh 、C6115、CFz C
tlF CF3及び−CH2−Cl1□−C−0−C
Il□CF zCF zCF 3が含まれる。
の炭素原子を有する置換又は未置換脂肪族基又は6乃至
10個の炭素原子を有する置換又は未置換芳香族基から
独立して選択される。適する基には−C113、CF3
、(CHz)、lCh 、C6115、CFz C
tlF CF3及び−CH2−Cl1□−C−0−C
Il□CF zCF zCF 3が含まれる。
R′は前述の種類の二価の基である。適する基には−(
CHz)n−1(CFz)、1(CIlz)、、(CF
z)−及び−CbHa−が含まれる。但し、式中のm及
びnは1乃至10である。
CHz)n−1(CFz)、1(CIlz)、、(CF
z)−及び−CbHa−が含まれる。但し、式中のm及
びnは1乃至10である。
本発明において使用する実質的な二無水物が5DPAの
場合、本発明においてジグライム、T HF又はMEK
において望ましい溶解性を成就するためにはα、ω−ジ
アミノシロキサンを用いることが重要である。シロキサ
ンジアミンはまた、特にmが約5より大きい整数、又は
好ましくは約7より大きい整数の場合低温におけるポリ
イミドシロキサンの可撓性又はレジリエンスを提供する
。mが約50より大きい場合、ジアミノシロキサンをポ
リイミドシロキサンに混入させることはたとえ不可能で
なくても困難になる。そして二成分溶媒系(極性及び非
極性溶媒)を共重合に使用しうる。
場合、本発明においてジグライム、T HF又はMEK
において望ましい溶解性を成就するためにはα、ω−ジ
アミノシロキサンを用いることが重要である。シロキサ
ンジアミンはまた、特にmが約5より大きい整数、又は
好ましくは約7より大きい整数の場合低温におけるポリ
イミドシロキサンの可撓性又はレジリエンスを提供する
。mが約50より大きい場合、ジアミノシロキサンをポ
リイミドシロキサンに混入させることはたとえ不可能で
なくても困難になる。そして二成分溶媒系(極性及び非
極性溶媒)を共重合に使用しうる。
−膜内には、α、ω−ジアミノシロキサン及びα。
ω−二無水物シロキサンの使用は本発明においては交換
しうる。しかしなから、ガラス転移温度の高いポリイミ
ドシロキサンを製造するには、全二無水物中における有
機二無水物混合物のモル%を最大にすべきである。従っ
て、SF’OA及びSPD^の混合物と、有機ジアミン
及びα、ω−ジアミノシロキサンの組合せを用いること
が更に望ましい。
しうる。しかしなから、ガラス転移温度の高いポリイミ
ドシロキサンを製造するには、全二無水物中における有
機二無水物混合物のモル%を最大にすべきである。従っ
て、SF’OA及びSPD^の混合物と、有機ジアミン
及びα、ω−ジアミノシロキサンの組合せを用いること
が更に望ましい。
本発明を実施するためにシロキサンジアミンの代りに又
は−緒に混合しうるシロキサンジアミンは以下の構造式
を有する。
は−緒に混合しうるシロキサンジアミンは以下の構造式
を有する。
但し、式中のR1、R2、R1及びR4は1乃至12個
の炭素原子を有する置換又は未置換脂肪族基又は6乃至
10個の炭素原子を有する置換又は未置換芳香族基から
独立して選択される。適する基には−0111、−CF
3、−(C1l□)、lCF!、−CFz −CIIF
−CFJ、Cth Cl1z COC)IzCF
zChCh及び−C,11゜が含まれる。
の炭素原子を有する置換又は未置換脂肪族基又は6乃至
10個の炭素原子を有する置換又は未置換芳香族基から
独立して選択される。適する基には−0111、−CF
3、−(C1l□)、lCF!、−CFz −CIIF
−CFJ、Cth Cl1z COC)IzCF
zChCh及び−C,11゜が含まれる。
Rは前述の種類の三価の基である。適する基に/
は−CI1、
が含まれる。
5DPA以外の二無水物を用いる場合には、種々の溶媒
中における溶解性、ガラス転移温度及び熱安定性はこれ
らのコモノマーの化学的性質に依存して変化する。たと
えば、5DPAの存在下でシロキサン二無水物を混合す
る場合にはポリマーの溶解性は増大するが、ガラス転移
温度及び熱安定性は低下するであろう。従って、用途の
要件に依存してシロキサン二無水物の混合は不都合にな
りうる。
中における溶解性、ガラス転移温度及び熱安定性はこれ
らのコモノマーの化学的性質に依存して変化する。たと
えば、5DPAの存在下でシロキサン二無水物を混合す
る場合にはポリマーの溶解性は増大するが、ガラス転移
温度及び熱安定性は低下するであろう。従って、用途の
要件に依存してシロキサン二無水物の混合は不都合にな
りうる。
一方、PMDAのような有機二無水物を5モル%未満の
少量添加すると、得られる5DPAを含むポリイミドシ
ロキサンはたとえばNMPにおいて望ましい溶解性を保
持する。PMDAを混合すると得られる5DPAを含む
ポリイミドシロキサンのガラス転移温度及び熱安定性が
増大しうるので、押出又は射出成形の用途においては一
層好都合な製品が得られる。しかしなから、たとえ少量
であってもSDP^を含むポリイミドシロキサンにPM
DAを混合すると、得られるコポリマーはジグライム、
THF又はMEKのような溶媒に不溶となることがあり
、塗装材料のような用途は、たとえば感熱性エレクトロ
ニクスデバイス又は支持体において制限があることも見
い出されうる。
少量添加すると、得られる5DPAを含むポリイミドシ
ロキサンはたとえばNMPにおいて望ましい溶解性を保
持する。PMDAを混合すると得られる5DPAを含む
ポリイミドシロキサンのガラス転移温度及び熱安定性が
増大しうるので、押出又は射出成形の用途においては一
層好都合な製品が得られる。しかしなから、たとえ少量
であってもSDP^を含むポリイミドシロキサンにPM
DAを混合すると、得られるコポリマーはジグライム、
THF又はMEKのような溶媒に不溶となることがあり
、塗装材料のような用途は、たとえば感熱性エレクトロ
ニクスデバイス又は支持体において制限があることも見
い出されうる。
可 性ポリイミドシロキサンの 法
有機ジアミンと有機二無水物との反応の化学は公知とな
っているけれども、シロキサンコモノマーの存在下にお
けるポリイミドシロキサンの調製は特別な技術を必要と
する場合もある。たとえば、シロキサンモノマーの繰返
し単位mが比較的大きい場合(すなわち〉20乃至40
)、二成分溶媒、系、すなわち極性溶媒ばかりでなく、
極性の弱い溶媒も含む溶媒系を使用することが望ましい
。
っているけれども、シロキサンコモノマーの存在下にお
けるポリイミドシロキサンの調製は特別な技術を必要と
する場合もある。たとえば、シロキサンモノマーの繰返
し単位mが比較的大きい場合(すなわち〉20乃至40
)、二成分溶媒、系、すなわち極性溶媒ばかりでなく、
極性の弱い溶媒も含む溶媒系を使用することが望ましい
。
(たとえば、マツフグラス(McGrath)らによる
Polymer Preprints第27巻第2号(
1986年)第403頁参照)。可溶性ポリイミドの製
造において、ポリアミド酸が溶解しない溶媒にポリイミ
ドが溶解する場合には一工程重合プロセス、すなわち−
工程プロセスと呼ばれる同時のイミド化及び重縮合プロ
セスによりポリイミドを直接調製しうろことも知られて
いる。この方法は、特に塗料に望ましいポリマー溶液を
ポリアミド酸が溶解しない溶媒から製造しなければなら
ない時に有利である。同時にイミド化及び重縮合する際
に生ずる問題は、イミド化工程中に生ずる水の存在下に
おけるポリアミド酸の解重合が非常に激しい場合があり
うるということである。理論的には、解重合はジカルボ
ン酸及びアミノ化合物を生ずるので不可逆過程である。
Polymer Preprints第27巻第2号(
1986年)第403頁参照)。可溶性ポリイミドの製
造において、ポリアミド酸が溶解しない溶媒にポリイミ
ドが溶解する場合には一工程重合プロセス、すなわち−
工程プロセスと呼ばれる同時のイミド化及び重縮合プロ
セスによりポリイミドを直接調製しうろことも知られて
いる。この方法は、特に塗料に望ましいポリマー溶液を
ポリアミド酸が溶解しない溶媒から製造しなければなら
ない時に有利である。同時にイミド化及び重縮合する際
に生ずる問題は、イミド化工程中に生ずる水の存在下に
おけるポリアミド酸の解重合が非常に激しい場合があり
うるということである。理論的には、解重合はジカルボ
ン酸及びアミノ化合物を生ずるので不可逆過程である。
カルボン酸とアミノ化合物は、室温における二無水物と
アミノ化合物のほとんど瞬間的な反応よりずっと高温で
反応する。ポリアミド酸の解重合は高温では非常に激し
くなりうる。
アミノ化合物のほとんど瞬間的な反応よりずっと高温で
反応する。ポリアミド酸の解重合は高温では非常に激し
くなりうる。
この−工程プロセスではポリアミド酸とイミド化ポリマ
ーの双方が溶解する良溶媒中で製造されるものよりずっ
と低分子量のポリイミドシロキサンを製造するので、二
工程プロセスを用いてもよい。
ーの双方が溶解する良溶媒中で製造されるものよりずっ
と低分子量のポリイミドシロキサンを製造するので、二
工程プロセスを用いてもよい。
二工程プロセスは非常に高分子量のポリアミドを生成す
る低温重縮合工程及びイミド化しイミド化により生成す
る水を除去する非常に速い加熱工程を用いる。
る低温重縮合工程及びイミド化しイミド化により生成す
る水を除去する非常に速い加熱工程を用いる。
二工程プロセスでは熱安定性が高く機械的強度、特に破
断点伸びの高い高分子量物質が製造される。
断点伸びの高い高分子量物質が製造される。
二工程プロセスの重縮合温度は60℃以下、好ましくは
室温以下であるべきである。イミド化は90乃至180
℃の温度、又は溶媒の還流温度で実施されうる。イミド
化に望ましい溶媒の沸点が160℃以下の場合には、脱
水剤及び/又は塩基性触媒の使用が望ましい。適する脱
水剤は無水酢酸である。触媒はピリジンのような第三ア
ミンである。無水酢酸を用いる場合には、イミド化を完
了するのに一層低いイミド化温度を使用しうる。
室温以下であるべきである。イミド化は90乃至180
℃の温度、又は溶媒の還流温度で実施されうる。イミド
化に望ましい溶媒の沸点が160℃以下の場合には、脱
水剤及び/又は塩基性触媒の使用が望ましい。適する脱
水剤は無水酢酸である。触媒はピリジンのような第三ア
ミンである。無水酢酸を用いる場合には、イミド化を完
了するのに一層低いイミド化温度を使用しうる。
更に、水との共沸剤も反応器に添加しうる。トルエンの
ような共沸剤の使用により反応器内に存在する水の除去
を容易にし、ポリアミド酸の解重合を最少化しうる。共
沸剤を使用する場合には、冷却器の下にディーン・スタ
ーク(Dean 5tark) トラップを用いるこ
とにより新たな共沸剤を連続的に回収しうる。
ような共沸剤の使用により反応器内に存在する水の除去
を容易にし、ポリアミド酸の解重合を最少化しうる。共
沸剤を使用する場合には、冷却器の下にディーン・スタ
ーク(Dean 5tark) トラップを用いるこ
とにより新たな共沸剤を連続的に回収しうる。
ポリイミドシロキサンの製造において良好な熱的及び機
械的性質を得るためには重縮合度が重要である。高分子
量のポリイミドシロキサンを得る反応時間は、α、ω−
ジアミノ又は二無水物シロキサンの反応性が通常有機モ
ノマーより低いという事実のためにポリイミドの製造に
必要とされる時間の通常数倍である。−船釣には、高分
子量のシロキサンモノマーは極性溶媒中では有機モノマ
ーよりずっとゆっくり反応する。従って、ポリイミドシ
ロキサンの微細構造は有機モノマーのシロキサンモノマ
ーに対するモル比(又はモノマーの組成)ばかりでなく
、重縮合中のこれらのモノマーの添加順序にも依存する
ことが期待される。たとえば、高分子量のα、ω−ジア
ミノシロキサンを用いる場合には、有機ジアミンの不在
下ではじめに有機二無水物を反応させるのが有利である
ことが時々見い出されている。この方法は二成分溶媒系
を使用する必要性を克服するばかりでなく、ずっと均一
で制御しうるポリイミドブロック寸法及び分布となりう
る。ポリイミドシロキサンを同一の化学的組成であるが
異なる添加順序(すなわち、全部の七ツマ−を一緒に同
時に溶媒に添加する)で調製したものと比較すると、均
一で制御されたイミド寸法及び分布を有するポリイミド
シロキサンの方がシロキサン様の溶媒又は非極性溶媒に
対して一層可溶性である。一方、同一の数平均分子量の
イミドブロックを有するが分子量分布の幅広いポリイミ
ドシロキサンは、ジグライム又はTHFにおける溶解性
が低下するであろう。
械的性質を得るためには重縮合度が重要である。高分子
量のポリイミドシロキサンを得る反応時間は、α、ω−
ジアミノ又は二無水物シロキサンの反応性が通常有機モ
ノマーより低いという事実のためにポリイミドの製造に
必要とされる時間の通常数倍である。−船釣には、高分
子量のシロキサンモノマーは極性溶媒中では有機モノマ
ーよりずっとゆっくり反応する。従って、ポリイミドシ
ロキサンの微細構造は有機モノマーのシロキサンモノマ
ーに対するモル比(又はモノマーの組成)ばかりでなく
、重縮合中のこれらのモノマーの添加順序にも依存する
ことが期待される。たとえば、高分子量のα、ω−ジア
ミノシロキサンを用いる場合には、有機ジアミンの不在
下ではじめに有機二無水物を反応させるのが有利である
ことが時々見い出されている。この方法は二成分溶媒系
を使用する必要性を克服するばかりでなく、ずっと均一
で制御しうるポリイミドブロック寸法及び分布となりう
る。ポリイミドシロキサンを同一の化学的組成であるが
異なる添加順序(すなわち、全部の七ツマ−を一緒に同
時に溶媒に添加する)で調製したものと比較すると、均
一で制御されたイミド寸法及び分布を有するポリイミド
シロキサンの方がシロキサン様の溶媒又は非極性溶媒に
対して一層可溶性である。一方、同一の数平均分子量の
イミドブロックを有するが分子量分布の幅広いポリイミ
ドシロキサンは、ジグライム又はTHFにおける溶解性
が低下するであろう。
種々の用途に応じた特性の要件に依存して、組成により
ポリイミドシロキサンを設計するばかりでなく、有利と
なるようにモノマーの添加順序により微細構造を制御し
うる。
ポリイミドシロキサンを設計するばかりでなく、有利と
なるようにモノマーの添加順序により微細構造を制御し
うる。
本発明の重合に使用しうる溶媒はフェノール溶媒、N、
N−ジアルキル化カルボキシルアミド溶媒及びモノアル
キル化又はジアルキル化エーテル溶媒である。フェノー
ル溶媒の例にはフェノール、0−クレゾール、m−クレ
ゾール、0−クロロフェノール、m−クロロフェノール
、p−フルオ11フェノール、2.4.6−ドリプロモ
フエノールがあり、N、N−ジアルキル化カルボキシル
アミド溶媒の例にはN、N−ジメチルホルムアミド、N
、N−ジメチルアセトアミド、NMPがあり、エーテル
溶媒の例にはテトラヒドロフラン(THF)又はジグラ
イムがある。スルホラン、ジメチルスルホキシド及び塩
素化ベンゼン(たとえばp−ジクロロベンゼン)のよう
な種々のポリイミド特許に一般に述べられているその他
の溶媒も使用しうる。
N−ジアルキル化カルボキシルアミド溶媒及びモノアル
キル化又はジアルキル化エーテル溶媒である。フェノー
ル溶媒の例にはフェノール、0−クレゾール、m−クレ
ゾール、0−クロロフェノール、m−クロロフェノール
、p−フルオ11フェノール、2.4.6−ドリプロモ
フエノールがあり、N、N−ジアルキル化カルボキシル
アミド溶媒の例にはN、N−ジメチルホルムアミド、N
、N−ジメチルアセトアミド、NMPがあり、エーテル
溶媒の例にはテトラヒドロフラン(THF)又はジグラ
イムがある。スルホラン、ジメチルスルホキシド及び塩
素化ベンゼン(たとえばp−ジクロロベンゼン)のよう
な種々のポリイミド特許に一般に述べられているその他
の溶媒も使用しうる。
ポリイミドシロキサンは溶融重合プロセスにおいても調
製しうる。特にイミドブロックのガラス転移温度が約2
00″Cより低い温度又はシロキサンコモノマーを多量
に(〉25%)に用いる場合には溶融重合プロセスで調
製しうる。実際には、出口ノズルの近(に位置するヘン
ト帯を用いてイミド化を実施しうる抽出機内で溶融重縮
合を実施しうる。
製しうる。特にイミドブロックのガラス転移温度が約2
00″Cより低い温度又はシロキサンコモノマーを多量
に(〉25%)に用いる場合には溶融重合プロセスで調
製しうる。実際には、出口ノズルの近(に位置するヘン
ト帯を用いてイミド化を実施しうる抽出機内で溶融重縮
合を実施しうる。
高分子量のポリイミドシロキサンを得るには、二無水物
成分の全モル数をジアミン成分の全モル数と等しくすべ
きである。分子量を低下させるためには過剰量の二無水
物、ジアミン成分又は少量の一官能性化合物を使用する
。
成分の全モル数をジアミン成分の全モル数と等しくすべ
きである。分子量を低下させるためには過剰量の二無水
物、ジアミン成分又は少量の一官能性化合物を使用する
。
シロキサンモノマーがジアミンの場合には、使用するシ
ロキサンジアミン1モル当りnモルの有機ジアミンを使
用すると仮定すれば、(n+1)モノの有機二無水物が
使用される。
ロキサンジアミン1モル当りnモルの有機ジアミンを使
用すると仮定すれば、(n+1)モノの有機二無水物が
使用される。
シロキサンモノマーが二無水物の場合には、使用するシ
ロキサン二無水物1モル当りnモルの有機二無水物を使
用すると仮定すると仮定すれば(n+1)モルの有機ジ
アミンを使用しなければならない。
ロキサン二無水物1モル当りnモルの有機二無水物を使
用すると仮定すると仮定すれば(n+1)モルの有機ジ
アミンを使用しなければならない。
前述の場合には、nはo、ol、iり大きいが40を越
えない値、好ましくは20である。
えない値、好ましくは20である。
0.01≦n≦0.1の場合には、ポリイミドシロキサ
ンはエラストマー性又はゴム特性を示し、注封、包封、
及びシーリングの用途に有用である。
ンはエラストマー性又はゴム特性を示し、注封、包封、
及びシーリングの用途に有用である。
特に前述の用途においては架橋エラストマー性ポリイミ
ドシロキサンが大きな価値を有するであろう。0.1≦
n≦10の場合には、熱可塑性エラストマー性を有する
ポリイミドシロキサンが得られる。これらの材料は、ワ
イヤ、ケーブル、射出成形及び保護被覆の用途に有用で
ある。10≦n<40の場合には、成形及び被覆用途に
有用な非常に高い強度及び剛性を有する熱可塑性物が得
られる。
ドシロキサンが大きな価値を有するであろう。0.1≦
n≦10の場合には、熱可塑性エラストマー性を有する
ポリイミドシロキサンが得られる。これらの材料は、ワ
イヤ、ケーブル、射出成形及び保護被覆の用途に有用で
ある。10≦n<40の場合には、成形及び被覆用途に
有用な非常に高い強度及び剛性を有する熱可塑性物が得
られる。
硬化性ポリイミドシロキサン
前述の可溶性ポリイミドシロキサンは多くの価値ある特
性及び用途を有する。しかしなから、特に高い化学的又
はクリープ耐性が望ましい又は重要である領域において
はそれらの用途に限界が見い出されている。たとえば、
シロキサン含量が30乃至40%を越えると多くのポリ
イミドシロキサンは限られた圧媒液又はジェット燃料耐
性を示す。ポリイミドシロキサンの主鎖構造、特にシロ
キサンブロックにフッ素化化合物を混入させることによ
りこの弱点を大きく低下させたとしても、高い溶媒及び
クリープ耐性を得るためにはこれらのフッ素化ポリイミ
ドシロキサンを熱硬化性物に変換することが望ましい。
性及び用途を有する。しかしなから、特に高い化学的又
はクリープ耐性が望ましい又は重要である領域において
はそれらの用途に限界が見い出されている。たとえば、
シロキサン含量が30乃至40%を越えると多くのポリ
イミドシロキサンは限られた圧媒液又はジェット燃料耐
性を示す。ポリイミドシロキサンの主鎖構造、特にシロ
キサンブロックにフッ素化化合物を混入させることによ
りこの弱点を大きく低下させたとしても、高い溶媒及び
クリープ耐性を得るためにはこれらのフッ素化ポリイミ
ドシロキサンを熱硬化性物に変換することが望ましい。
−船釣には、架橋ポリイミドシロキサンがアクリル系の
官能基を有する場合に熱又は光により硬化する。感光性
又は光硬化性ポリイミドシロキサンはマイクロチンブス
又は集積回路業界におけるパターン化用途においては特
に有用である。更に、これらの新規硬化性ポリイミドシ
ロキサン、並びに可溶性ポリイミドシロキサンは、エレ
クトロニクス及びマイクロエレクトロニクス業界におい
てパシベーション層、α粒子バリヤー、電子線パターン
化、イオン注入マスク又は層間誘電体にも用途を見い出
しうる。
官能基を有する場合に熱又は光により硬化する。感光性
又は光硬化性ポリイミドシロキサンはマイクロチンブス
又は集積回路業界におけるパターン化用途においては特
に有用である。更に、これらの新規硬化性ポリイミドシ
ロキサン、並びに可溶性ポリイミドシロキサンは、エレ
クトロニクス及びマイクロエレクトロニクス業界におい
てパシベーション層、α粒子バリヤー、電子線パターン
化、イオン注入マスク又は層間誘電体にも用途を見い出
しうる。
本発明のポリイミドシロキサンは、架橋されうる官能基
を有する反応体、又はポリマーの形成後架橋性部分で変
性されうる中間体官能基を有する反応体の混入により硬
化性にしうる。必要な官能基は、適するジアミン及び/
又はシロキサン化合物の使用により本発明のポリマーに
混入させうる。
を有する反応体、又はポリマーの形成後架橋性部分で変
性されうる中間体官能基を有する反応体の混入により硬
化性にしうる。必要な官能基は、適するジアミン及び/
又はシロキサン化合物の使用により本発明のポリマーに
混入させうる。
ジアミン化合物は、ポリイミドシロキサン連鎖に非対称
構造を提供するジアミンの可溶性ポリマーについて記載
されている特性を有する。ジアミンは更に以下の一般式
を有する。
構造を提供するジアミンの可溶性ポリマーについて記載
されている特性を有する。ジアミンは更に以下の一般式
を有する。
11□N Ar N112
R”
但し、式中のArは芳香族であり、R#はヒドロキシル
、ヒドロチオール又はカルボキシル基であり、好ましく
はヒドロキシル又はカルボキシル基である。これらの化
合物の典型的な例は、たとえば3.5−ジアミノ安息香
酸及び3,5−アミノフェノール等がある。
、ヒドロチオール又はカルボキシル基であり、好ましく
はヒドロキシル又はカルボキシル基である。これらの化
合物の典型的な例は、たとえば3.5−ジアミノ安息香
酸及び3,5−アミノフェノール等がある。
官能化シロキサンジアミン又は二無水物は以下の一般的
な構造を有する。
な構造を有する。
及びハライド基を含有する部分とアセチレン、エチレン
又はアクリル基を含有する化合物との反応の結果として
それぞれアセチレン、エチレン又はアクリル基から選択
しうる。
又はアクリル基を含有する化合物との反応の結果として
それぞれアセチレン、エチレン又はアクリル基から選択
しうる。
官能化シロキサンα、ω−ジアミノ化合物の例には以下
のものがある。
のものがある。
但し、式中のDはアミノ基又は無水物基のいずれかであ
り、R1は前述のような二価のR′又は三価のRである
。R,SR2、R3及びR4は、Dが無水物基の場合に
は一種以上のR1、R2、R3及びR4がハロゲン、水
素化物(H)、ビニル又はヒドロキシル基であり、Dが
アミノ基の場合にはビニル又はヒドロキシル基であるこ
と以外は前述のとおりである。
り、R1は前述のような二価のR′又は三価のRである
。R,SR2、R3及びR4は、Dが無水物基の場合に
は一種以上のR1、R2、R3及びR4がハロゲン、水
素化物(H)、ビニル又はヒドロキシル基であり、Dが
アミノ基の場合にはビニル又はヒドロキシル基であるこ
と以外は前述のとおりである。
官能化シロキサンジアミン又は二無水物部分において、
RISR2、R3及びR4は、後述するように水素化物
(H)、ヒドロキシル、ハロゲン又は 但し、式中のnは2乃至6の整数、好ましくは3及び4
であり、R”はビニル又はヒドロキシル基であり、x+
yはl乃至100、好ましくは4乃至40であり、yは
1乃至15の整数、好ましくは1乃至5である。
RISR2、R3及びR4は、後述するように水素化物
(H)、ヒドロキシル、ハロゲン又は 但し、式中のnは2乃至6の整数、好ましくは3及び4
であり、R”はビニル又はヒドロキシル基であり、x+
yはl乃至100、好ましくは4乃至40であり、yは
1乃至15の整数、好ましくは1乃至5である。
官能化二無水物の例には以下のものがある。
但し、式中のR1は
であり、R″′は水素化物(H)、ヒドロキシル、ハロ
ゲン及びビニル基から選択され、好ましくはl]及びビ
ニル基である。X及びYは前述のとおりである。
ゲン及びビニル基から選択され、好ましくはl]及びビ
ニル基である。X及びYは前述のとおりである。
化性ポリイミドシロキサンの製法
可溶性ポリイミドシロキサンの製法は一般的には以下の
とおりである。
とおりである。
コモノマーを一般的にはNMP又はジグライムのような
適する溶媒中で共重合させる。少くとも一種類の前述の
官能基を有する十分イミド化されたポリイミドシロキサ
ンを次いでアセチレン、エチレン又はアクリル基を含有
する化合物と更に反応させるかグラフトして本発明に望
ましい最終生成物を提供する。グラフト反応は好ましく
は非反応性溶媒中、好ましくはジグライム、THF又は
MEK中で実施する。官能化ポリイミドシロキサンのた
めに選択しうる多くの異なる官能基が存在するので、本
発明に望ましいグラフト反応はそれに応じて変化しなけ
ればならない。たとえば、カルボキシル基又はヒドロキ
シル基を含むポリイミドシロキサンを最初に調製する場
合には、しうる。たとえば、ポリイミドシロキサン内に
のようなエポキシ基の結合したアクリレート又はのよう
なイソシアネート基の結合したアクリレートのいずれか
を用いることによりアクリル基をグラフト化しうる。
適する溶媒中で共重合させる。少くとも一種類の前述の
官能基を有する十分イミド化されたポリイミドシロキサ
ンを次いでアセチレン、エチレン又はアクリル基を含有
する化合物と更に反応させるかグラフトして本発明に望
ましい最終生成物を提供する。グラフト反応は好ましく
は非反応性溶媒中、好ましくはジグライム、THF又は
MEK中で実施する。官能化ポリイミドシロキサンのた
めに選択しうる多くの異なる官能基が存在するので、本
発明に望ましいグラフト反応はそれに応じて変化しなけ
ればならない。たとえば、カルボキシル基又はヒドロキ
シル基を含むポリイミドシロキサンを最初に調製する場
合には、しうる。たとえば、ポリイミドシロキサン内に
のようなエポキシ基の結合したアクリレート又はのよう
なイソシアネート基の結合したアクリレートのいずれか
を用いることによりアクリル基をグラフト化しうる。
ポリイミドシロキサンの官能基がシロキサンプロッタ内
にある場合には、ヒドロシリル化反応又は縮合反応のい
ずれかを用いてグラフト反応を成ル化反応、すなわちP
t触媒のような触媒の存在下でのビニル基とSi −H
基との反応によりグラフト化しうる。従って、 の化合物のグラフトによりアクリレート基を含有するポ
リイミドシロキサンが得られる。一方、ポリイミドシロ
キサン内に一0FI又はエポキシ基が存在する場合には
、縮合反応によりグラフト化しうる。たとえば、イソシ
アネート基の結合したアクリレート又はアクリル酸又は
メタクリル酸とポリイミドシロキサン内のヒドロキシル
又はエポキシ基との反応により本発明に望ましいアクリ
ル基を含有するポリイミドシロキサンが得られる。
にある場合には、ヒドロシリル化反応又は縮合反応のい
ずれかを用いてグラフト反応を成ル化反応、すなわちP
t触媒のような触媒の存在下でのビニル基とSi −H
基との反応によりグラフト化しうる。従って、 の化合物のグラフトによりアクリレート基を含有するポ
リイミドシロキサンが得られる。一方、ポリイミドシロ
キサン内に一0FI又はエポキシ基が存在する場合には
、縮合反応によりグラフト化しうる。たとえば、イソシ
アネート基の結合したアクリレート又はアクリル酸又は
メタクリル酸とポリイミドシロキサン内のヒドロキシル
又はエポキシ基との反応により本発明に望ましいアクリ
ル基を含有するポリイミドシロキサンが得られる。
アセチル基を含有する化合物がカルボキシル、エポキシ
又はイソシアネート基も含有している場合には、−〇[
■又はカルボキシル基を有するポリイミドシロキサンに
それらの化合物をグラフトしうろことは明らかである。
又はイソシアネート基も含有している場合には、−〇[
■又はカルボキシル基を有するポリイミドシロキサンに
それらの化合物をグラフトしうろことは明らかである。
ポリイミドシロキサンのシロキサンブロック内にエチレ
ン基が存在する場合には、そのまま使用してもよいし、
ラジカル架橋反応により熱的に硬化してもよいし、アク
リル基又はアセチレン基のいずれかを有するポリイミド
シロキサンに変換してもよい。しかしなから、この種の
グラフト反応は適する化学薬剤がないため困難である。
ン基が存在する場合には、そのまま使用してもよいし、
ラジカル架橋反応により熱的に硬化してもよいし、アク
リル基又はアセチレン基のいずれかを有するポリイミド
シロキサンに変換してもよい。しかしなから、この種の
グラフト反応は適する化学薬剤がないため困難である。
イミドプロッタ内に存在する官能基を有する官能化ポリ
イミドシロキサンを調製するには、OH又は−C00■
含有ジアミノ化合物から出発するのが好ましい。一方、
この種のシロキサンモノマーは通常容易には入手できな
い。エポキシ、シリコーン水素化物又はシリコーンヒド
ロキシル基の混入は、α、ω−ジアミノ又はα、ω−二
無水物シロキサンと環状シリコーンエポキシ、シリコー
ン水素化物又はシリコーンヒドロキシ化合物との平衡反
応により成しうる。いずれにしても、望ましいポリイミ
ドシロキサンの調製にはアクリル、エチレン又はアセチ
レンジアミノ又は二無水物化合物を用いるよりアクリル
又はエチレン又はアセチレン基をグラフトする方が好ま
しい。このことは高温におけるポリイミドシロキサンの
イミド化中(溶媒中で約160乃至170℃/2時間)
にこれらの官能基が熱的に架橋反応するのを回避できる
。前述の官能基を有する十分イミド化されたポリイミド
シロキサンのグラフト反応は一般にずっと低温で実施し
うる。たとえば、ヒドロシリル化反応は白金触媒の存在
下において25℃程度の低温で実施しうる。−〇 〇又
はカルボキシル基とエポキシ基との縮合反応は触媒とし
ての第三アミンの存在下で120℃を越えない温度にお
いて1時間以内に成しうるし、OHまたはカルボキシル
基とイソシアネート基の反応は更に低温(室温乃至80
℃)を必要とする等である。
イミドシロキサンを調製するには、OH又は−C00■
含有ジアミノ化合物から出発するのが好ましい。一方、
この種のシロキサンモノマーは通常容易には入手できな
い。エポキシ、シリコーン水素化物又はシリコーンヒド
ロキシル基の混入は、α、ω−ジアミノ又はα、ω−二
無水物シロキサンと環状シリコーンエポキシ、シリコー
ン水素化物又はシリコーンヒドロキシ化合物との平衡反
応により成しうる。いずれにしても、望ましいポリイミ
ドシロキサンの調製にはアクリル、エチレン又はアセチ
レンジアミノ又は二無水物化合物を用いるよりアクリル
又はエチレン又はアセチレン基をグラフトする方が好ま
しい。このことは高温におけるポリイミドシロキサンの
イミド化中(溶媒中で約160乃至170℃/2時間)
にこれらの官能基が熱的に架橋反応するのを回避できる
。前述の官能基を有する十分イミド化されたポリイミド
シロキサンのグラフト反応は一般にずっと低温で実施し
うる。たとえば、ヒドロシリル化反応は白金触媒の存在
下において25℃程度の低温で実施しうる。−〇 〇又
はカルボキシル基とエポキシ基との縮合反応は触媒とし
ての第三アミンの存在下で120℃を越えない温度にお
いて1時間以内に成しうるし、OHまたはカルボキシル
基とイソシアネート基の反応は更に低温(室温乃至80
℃)を必要とする等である。
溶媒から反応生成物を単離する必要性を回避するだめに
、グラフト反応を塗装作業に許容しうる溶媒中で実施す
るのが望ましい。この種の望ましい溶媒は、ジグライム
又はMEKのような易燃性及び/又は毒性の低い溶媒で
ある。後者は沸点が低いため塗料業界で広く用いられて
いる。
、グラフト反応を塗装作業に許容しうる溶媒中で実施す
るのが望ましい。この種の望ましい溶媒は、ジグライム
又はMEKのような易燃性及び/又は毒性の低い溶媒で
ある。後者は沸点が低いため塗料業界で広く用いられて
いる。
本明細書においてハロゲンはフ・ノ素、塩素、臭素及び
よう素を言及するが、好ましくはフッ素及び塩素である
。芳香族は一般的に炭化水素芳香族を言及する。
よう素を言及するが、好ましくはフッ素及び塩素である
。芳香族は一般的に炭化水素芳香族を言及する。
以下の実施例及び本明細書においては指示がないかぎり
部は重量部であり、温度は℃である。
部は重量部であり、温度は℃である。
125−の三角フラスコに3.26 gの硫化ジフタル
酸無水物(SDPA)及び30−の1−メチル−2−ピ
ロリジノン(NMP)を入れた。それらを室温で30分
間混合した。次いで2.75gのシロキサンG15.を
添加した。反応を室温において2時間実施した。次いで
0.81gの2,4−ジアミノトルエン(TDA)を添
加した。反応を室温において一晩(216時間)実施し
た。溶液を140乃至145°Cの温度において4時間
テフロン金型にキャストした。次いで温度を250℃に
30分間上昇させた。可撓性フィルムが得られた。ポリ
マーは[(ST) 2G11.75]と命名された。ポ
リマーは室温においてジグライムに可溶性であった。
酸無水物(SDPA)及び30−の1−メチル−2−ピ
ロリジノン(NMP)を入れた。それらを室温で30分
間混合した。次いで2.75gのシロキサンG15.を
添加した。反応を室温において2時間実施した。次いで
0.81gの2,4−ジアミノトルエン(TDA)を添
加した。反応を室温において一晩(216時間)実施し
た。溶液を140乃至145°Cの温度において4時間
テフロン金型にキャストした。次いで温度を250℃に
30分間上昇させた。可撓性フィルムが得られた。ポリ
マーは[(ST) 2G11.75]と命名された。ポ
リマーは室温においてジグライムに可溶性であった。
大侮桝1
3、26 gの5DIIA、 2.36 gのシロキサ
ンG、、、。
ンG、、、。
及び0.87 gのTDAを用いて実施例1を繰返した
。生成物から可撓性フィルムを製造した。ポリマー生成
物は[(ST) z、 sGa、 ts Jと命名され
た。生成物は室温においてジグライムに可溶性であった
。
。生成物から可撓性フィルムを製造した。ポリマー生成
物は[(ST) z、 sGa、 ts Jと命名され
た。生成物は室温においてジグライムに可溶性であった
。
失柵倣主
4.93gの0DPA、 3.82 gのシロキサンG
、、、。
、、、。
及び1.39gのTDAを用いて実施例1を繰返した。
得られるフィルム生成物は室温においてジグライムに可
溶性である可撓性フィルムであった。
溶性である可撓性フィルムであった。
ポリマーは[(OT) z、 sGs、 ws]と命名
された。
された。
実施例4
6、20 gの0DPA、 4.2 gのシロキサンG
、、、、及び1.836 gのTDAを用いて実施例1
を繰返した。得られる生成物から可撓性フィルムを製造
したが、16時間77℃にしてもジグライムには溶解し
なかった。この生成物は[(or)t、。Gs、 ts
]と命名された。
、、、、及び1.836 gのTDAを用いて実施例1
を繰返した。得られる生成物から可撓性フィルムを製造
したが、16時間77℃にしてもジグライムには溶解し
なかった。この生成物は[(or)t、。Gs、 ts
]と命名された。
夫与桝】
4.65gの01)PA、 4゜20gのシロキサンG
a、ts及び1.22gのTDAと反応させることによ
り実施例1を繰返した。得られる生成物から可撓性フィ
ルムを製造した。ポリマーの構造は[(OT) 2G8
. ts]と命名された。生成物は室温においてジグラ
イムに可溶性であった。
a、ts及び1.22gのTDAと反応させることによ
り実施例1を繰返した。得られる生成物から可撓性フィ
ルムを製造した。ポリマーの構造は[(OT) 2G8
. ts]と命名された。生成物は室温においてジグラ
イムに可溶性であった。
前述の実施例において、G6は以下の構造式を有する。
但し、式中のmは第1表においてたとえばGs、vsと
示されるように繰返し単位の平均数を示す。
示されるように繰返し単位の平均数を示す。
実施例1乃至5のフィルム生成物を室温乃至450℃の
温度及び室温乃至350℃の温度において熱重量分析計
により分析した。窒素雰囲気下450℃において1時間
並びに大気中350℃において1時間物質の重量%損失
を記録した。結果を第1表に示した。
温度及び室温乃至350℃の温度において熱重量分析計
により分析した。窒素雰囲気下450℃において1時間
並びに大気中350℃において1時間物質の重量%損失
を記録した。結果を第1表に示した。
1/(ST)、、。Ga、 75
2/(ST) 2. 、G、、 ts
5/(OT)、、。G11.’lS
3/ (OT) 2. sGs、 ts4/(OT)、
、。Gs、ts 40 +38 36 + 33 41 + 40 38 + 36 8.0 9.5 本発明のポリイミドシロキサンのTHF又はジグライム
のような低沸点非極性溶媒における溶解性はポリイミド
シロキサン中のシロキサン成分のυj合の関数であり、
シロキサンブロック寸法の関数でもある。
、。Gs、ts 40 +38 36 + 33 41 + 40 38 + 36 8.0 9.5 本発明のポリイミドシロキサンのTHF又はジグライム
のような低沸点非極性溶媒における溶解性はポリイミド
シロキサン中のシロキサン成分のυj合の関数であり、
シロキサンブロック寸法の関数でもある。
本発明のポリイミドシロキサンはマイクロエレクトロニ
クス業界の種々の用途に有用である。そのような用途に
は誘電体としての塗料の形及び/又は半導体及び薄いフ
ィルムのハイブリッドのパシベーションの用途が含まれ
る。ポリイミドシロキサンの塗料は以下の領域において
半導体デバイスの製造に使用しうる。
クス業界の種々の用途に有用である。そのような用途に
は誘電体としての塗料の形及び/又は半導体及び薄いフ
ィルムのハイブリッドのパシベーションの用途が含まれ
る。ポリイミドシロキサンの塗料は以下の領域において
半導体デバイスの製造に使用しうる。
a)保AI被覆、b)マルチレベルデバイスの層間誘電
体、C)α粒子バリヤー、及びd)ノンインブラントマ
スク。これらの用途はり−(Lee)及びフレイブ(C
raig)によるPolymer Materials
forElectronic Applicatio
ns、AC3−5ymAC3−5y、Ser、第184
巻第108頁に詳細に記載されている。
体、C)α粒子バリヤー、及びd)ノンインブラントマ
スク。これらの用途はり−(Lee)及びフレイブ(C
raig)によるPolymer Materials
forElectronic Applicatio
ns、AC3−5ymAC3−5y、Ser、第184
巻第108頁に詳細に記載されている。
本発明のポリイミドシロキサンのその他の用途にはワイ
ヤ及びケーブル被覆、繊維及びフィルム状の金型成形及
び押出成形品が含まれる。
ヤ及びケーブル被覆、繊維及びフィルム状の金型成形及
び押出成形品が含まれる。
Claims (65)
- (1)有機二無水物、二官能性シロキサンモノマー、及
び有機ジアミンの反応生成物を含む実質的に十分イミド
化されたポリイミドシロキサンにおいて、前記ポリイミ
ドシロキサンがジグライムに可溶性であり、前記有機二
無水物が硫化ジフタル酸無水物(SDPA)を含むこと
を特徴とするポリイミドシロキサン。 - (2)前記有機二無水物が4,4′−硫化ジフタル酸無
水物である請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (3)前記有機ジアミンがポリイミドシロキサンポリマ
ーの連鎖に非対称構造を提供する請求項(1)記載のポ
リイミドシロキサン。 - (4)前記有機ジアミンが構造式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (但し、式中、X、Y及びZはそれらの全てが水素では
ないという条件下で水素、ハロゲン、1乃至12個の炭
素原子を有するアルキル又はハロゲン化アルキル又は6
乃至12個の炭素原子を有するアリール又はハロゲン化
アリールから独立して選択される) を有する請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (5)前記X、Y及びZがそれらの全てが水素ではない
という条件下で水素、ハロゲン、1乃至12個の炭素原
子を有するアルキル又は6乃至12個の炭素原子を有す
るアリールから独立して選択される請求項(4)記載の
ポリイミドシロキサン。 - (6)前記有機ジアミンが2,4−トリルジアミン、2
,6−トリルジアミン又はそれらの混合物である請求項
(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (7)前記有機ジアミンが約80重量%の2,4−トリ
ルジアミン及び約20重量%の2,6−トリルジアミン
の混合物である請求項(1)記載のポリイミドシロキサ
ン。 - (8)前記有機ジアミンが構造式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (但し、式中、Xは−CH_2−、−S−、O、C、▲
数式、化学式、表等があります▼及び▲数式、化学式、
表等があります▼ である) を有する請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (9)前記有機ジアミンがo,p−オキシジアニリン、
m,m−メチレンジアニリン又はo,m−オキシジアニ
リンである請求項(8)記載のポリイミドシロキサン。 - (10)前記有機ジアミンが3,3′−スルホンジアニ
リンである請求項(8)記載のポリイミドシロキサン。 - (11)前記有機ジアミンが構造式: ▲数式、化学式、表等があります▼ を有する請求項(7)記載のポリイミドシロキサン。
- (12)前記有機ジアミンの少くとも一部分が構造式:
▲数式、化学式、表等があります▼ (但し、式中、Arは芳香族基であり、R″はヒドロキ
シル、カルボキシル、又はヒドロチオールのうちの少く
とも一種である) を有する請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (13)前記R″がカルボキシルである請求項(12)
記載のポリイミドシロキサン。 - (14)前記有機ジアミン成分の少くとも一部分が構造
式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (但し、式中、Arは芳香族基であり、R′″はアクリ
ル、エチレン又はアセチレンの結合した基のうちの少く
とも一種である) を有する請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (15)前記シロキサンモノマーがシロキサンジアミン
である請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (16)前記シロキサンジアミンが構造式:▲数式、化
学式、表等があります▼ (但し、式中、R′は1乃至12個の炭素原子を有する
置換又は未置換脂肪族の二価の基又は6乃至10個の炭
素原子を有する置換又は未置換芳香族の二価の基から独
立して選択され、R_1、R_2、R_3及びR_4の
うち一種以上はビニル、ヒドロキシル、含アクリル、含
エチレン又は含アセチレン基であって、R_1、R_2
、R_3及びR_4の残りは1乃至12個の炭素原子を
有する置換又は未置換脂肪族の一価の基又は6乃至10
個の炭素原子を有する置換又は未置換芳香族の一価の基
から独立して選択され、かつmは約5乃至約200の数
である) を有する請求項(15)記載のポリイミドシロキサン。 - (17)前記R_1、R_2、R_3及びR_4がメチ
ル基である請求項(16)記載のポリイミドシロキサン
。 - (18)前記R′が−(CH_2)_3−である請求項
(17)記載のポリイミドシロキサン。 - (19)前記構造式を有するシロキサンジアミンの少く
とも一部分が、R_1、R_2、R_3及びR_4のう
ちの少くとも一種がヒドロキシル又はビニル基であるジ
アミンを含む請求項(16)記載のポリイミドシロキサ
ン。 - (20)前記R_1、R_2、R_3及びR_4のうち
の少くとも一種がビニル基であり、残りがメチル基であ
る請求項(19)記載のポリイミドシロキサン。 - (21)前記R′が−(CH_2)_3−である請求項
(20)記載のポリイミドシロキサン。 - (22)前記構造式を有するシロキサンジアミンの少く
とも一部分が、R_1、R_2、R_3及びR_4のう
ちの少くとも一種が含アクリル、含エチレン又は含アセ
チレン基から選択されるシロキサンジアミン成分を含む
請求項(16)記載のポリイミドシロキサン。 - (23)含アクリル基を含む請求項(22)記載のポリ
イミドシロキサン。 - (24)前記シロキサンモノマーがシロキサン二無水物
である請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。 - (25)前記シロキサン二無水物が構造式:▲数式、化
学式、表等があります▼ (但し、式中、Rは1乃至12個の炭素原子を有する置
換又は未置換脂肪族の三価の基又は6乃至10個の炭素
原子を有する置換又は未置換芳香族の三価の基であり、
R_1、R_2、R_3及びR_4のうち一種以上はハ
ロゲン、水素化物(II)、ビニル、ヒドロキシル、含ア
クリル、含エチレン又は含アセチレン基であって、R_
1、R_2、R_3及びR_4の残りは1乃至12個の
炭素原子を有する置換又は未置換脂肪族の一価の基又は
6乃至10個の炭素原子を有する置換又は未置換芳香族
の一価の基から独立して選択され、かつmは約5乃至5
0である) を有する請求項(24)記載のポリイミドシロキサン。 - (26)前記R_1、R_2、R_3及びR_4がメチ
ル基である請求項(25)記載のポリイミドシロキサン
。 - (27)前記Rが、 ▲数式、化学式、表等があります▼又は▲数式、化学式
、表等があります▼ である請求項(26)記載のポリイミドシロキサン。 - (28)前記構造式を有するシロキサン二無水物の少く
とも一部分が、R_1、R_2、R_3及びR_4のう
ちの少くとも一種が水素化物(H)、ハロゲン、ヒドロ
キシル又はビニルから選択された二無水物を含む請求項
(25)記載のポリイミドシロキサン。 - (29)前記R_1、R_2、R_3及びR_4の少く
とも一種がビニルであり、残りがメチル基である請求項
(28)記載のポリイミドシロキサン。 - (30)前記Rが ▲数式、化学式、表等があります▼又は▲数式、化学式
、表等があります▼ である請求項(29)記載のポリイミドシロキサン。 - (31)前記構造式を有するシロキサン二無水物成分の
少くとも一部分が、R_1、R_2、R_3及びR_4
のうちの少くとも一種が含アクリル、含エチレン又は含
アセチレン基から選択されるシロキサン二無水物成分を
含む請求項(25)記載のポリイミドシロキサン。 - (32)含アクリル基を含む請求項(31)記載のポリ
イミドシロキサン。 - (33)有機ジアミン、二官能性シロキサンモノマー、
及び硫化ジフタル酸無水物を含む有機二無水物を反応さ
せることを含む、ジグライムに可溶性のポリイミドシロ
キサンの製法。 - (34)ポリイミドシロキサンの溶媒中で前記反応を実
施する請求項(33)記載の方法。 - (35)前記溶媒がジグライム、トリグライム、1−メ
チル−2−ピロリジノン、テトラヒドロフラン、メチル
エチルケトン、フェノール又はそれらの混合物から選択
される請求項(34)記載の方法。 - (36)前記シロキサンモノマーがシロキサンジアミン
である請求項(33)記載の方法。 - (37)前記シロキサンモノマーが構造式:▲数式、化
学式、表等があります▼ (但し、式中、R′は1乃至12個の炭素原子を有する
置換又は未置換脂肪族の二価の基又は6乃至10個の炭
素原子を有する置換又は未置換芳香族の二価の基から独
立して選択され、R_1、R_2、R_3及びR_4の
うち一種以上はビニル、ヒドロキシル、含アクリル、含
エチレン、又は含アセチレン基であって、 R_1、R_2、R_3及びR_4の残りは1乃至12
個の炭素原子を有する置換又は未置換脂肪族の一価の基
又は6乃至10個の炭素原子を有する置換又は未置換芳
香族の一価の基から独立して選択され、かつmは約5乃
至約 50の数である) を有するシロキサンジアミンである請求項(33)記載
の方法。 - (38)前記R_1、R_2、R_3及びR_4がメチ
ル基である請求項(37)記載の方法。 - (39)前記R′が−(CH_2)_3−である請求項
(38)記載の方法。 - (40)前記シロキサンモノマーがシロキサン二無水物
である請求項(33)記載の方法。 - (41)前記シロキサンモノマーが構造式 ▲数式、化学式、表等があります▼ (但し、式中、Rは1乃至12個の炭素原子を有する置
換又は未置換脂肪族の三価の基又は6乃至10個の炭素
原子を有する置換又は未置換芳香族の三価の基であり、
R_1、R_2、R_3及びR_4のうち一種以上はハ
ロゲン、水素化物(H)、ビニル、ヒドロキシル、含ア
クリル、含エチレン又は含アセチレン基であって、R_
1、R_2、R_3及びR_4の残りは1乃至12個の
炭素原子を有する置換又は未置換脂肪族の一価の基又は
6乃至10個の炭素原子を有する置換又は未置換芳香族
の一価の基から独立して選択され、かつmは約5乃至約
50である) を有するシロキサン二無水物である請求項(40)記載
の方法。 - (42)前記R_1、R_2、R_3及びR_4がメチ
ル基である請求項(41)記載の方法。 - (43)前記Rが ▲数式、化学式、表等があります▼又は▲数式、化学式
、表等があります▼ である請求項(42)記載の方法。 - (44)前記有機ジアミンの少なくとも一部分が構造式
: ▲数式、化学式、表等があります▼ (但し、式中、Arは芳香族基であり、R″はヒドロキ
シル、カルボキシル又はヒドロチオールのうちの少くと
も一種である) を有する請求項(33)記載の方法。 - (45)前記R″がカルボキシル基である請求項(44
)記載の方法。 - (46)前記構造式を有するシロキサンジアミンの少く
とも一部分が、R_1、R_2、R_3及びR_4のう
ち少くとも一種がヒドロキシル又はビニル基であるジア
ミンを含む請求項(37)記載の方法。 - (47)前記R_1、R_2、R_3及びR_4のうち
少くとも一種がビニル基であり、残りがメチル基である
請求項(46)記載の方法。 - (48)前記R′が−(CH_2)_3−である請求項
(47)記載の方法。 - (49)前記構造式を有するシロキサン二無水物の少く
とも一部分が、R_1、R_2、R_3及びR_4のう
ち少くとも一種が水素化物(H)、ハロゲン、ヒドロキ
シル又はビニルから選択された基である二無水物を含む
請求項(41)記載の方法。 - (50)前記R_1、R_2、R_3及びR_4の少く
とも一種がビニルであり、残りがメチル基である請求項
(49)記載の方法。 - (51)前記Rが ▲数式、化学式、表等があります▼又は▲数式、化学式
、表等があります▼ である請求項(50)記載の方法。 - (52)前記方法の生成物を、含アクリル、含エチレン
又は含アセチレン基のうちの少くとも一種を含む化合物
と反応させる請求項(44)記載の方法。 - (53)前記方法の生成物を、含アクリル、含エチレン
又は含アセチレン基のうち少くとも一種を含む化合物と
反応させる請求項(46)記載の方法。 - (54)前記方法の生成物を、含アクリル、含エチレン
又は含アセチレン基のうち少くとも一種を含む化合物と
反応させる請求項(49)記載の方法。 - (55)ポリイミドシロキサンの溶媒に溶解させた請求
項(1)記載のポリイミドシロキサンを含む溶液。 - (56)前記溶媒がジグライム、トリグライム、1−メ
チル−2−ピロリジノン、テトラヒドロフラン、メチル
エチルケトン、フェノール又は塩素化溶媒から選択され
る請求項(55)記載の溶液。 - (57)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンで被
覆された支持体を含む製品。 - (58)前記支持体がワイヤ又はケーブルである請求項
(57)に記載の製品。 - (59)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
調製されたフィルム。 - (60)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
調製された繊維。 - (61)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
調製された金型成形品。 - (62)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
調製された押出成形品。 - (63)請求項(1)記載の硬化組成物。
- (64)請求項(22)記載の硬化組成物。
- (65)請求項(31)記載の硬化組成物。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/205,412 US4956437A (en) | 1987-03-31 | 1988-06-10 | Soluble polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use |
US205412 | 1988-06-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0243221A true JPH0243221A (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=22762086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1146562A Pending JPH0243221A (ja) | 1988-06-10 | 1989-06-08 | 新規可溶性ポリイミドシロキサン及びその製法及び用途 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0243221A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6261100A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-17 | カシオ計算機株式会社 | ベ−ス音作成装置 |
JP2014162801A (ja) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Toray Ind Inc | ポリイミド樹脂、これを含有する樹脂組成物、これを用いた積層フィルムおよび積層体 |
Citations (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4865296A (ja) * | 1971-11-30 | 1973-09-08 | ||
JPS5555554A (en) * | 1978-09-18 | 1980-04-23 | Gen Electric | Semiconductor element |
JPS587473A (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物 |
JPS588617A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-18 | Ube Ind Ltd | ポリイミド成形物の製造法 |
JPS59113035A (ja) * | 1983-12-05 | 1984-06-29 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 珪素含有材からなる素地表面に密着性良好なポリイミド層を形成する方法 |
JPS59501215A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-07-12 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | シリコ−ン−イミド共重合体および製造方法 |
JPS59219330A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-10 | オーシージー マイクロエレクトロニク マテリアルズ インク. | ポリイミド、その製造方法および用途 |
JPS6072925A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | Ube Ind Ltd | 有機溶媒可溶性の感光性ポリイミド |
JPS60166325A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-08-29 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 耐熱性樹脂の製造方法 |
JPS60177660A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPS60258228A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-20 | エム・アンド・テイ・ケミカルス・インコーポレイテツド | ポリイミド、ポリ(アミド‐イミド)、ポリ(エステルイミド)、ポリアミド酸ポリ(アミド‐アミド酸)またはポリ(エステルアミド酸)重合体 |
JPS61500555A (ja) * | 1983-12-05 | 1986-03-27 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | コポリエ−テルイミドの製造方法 |
JPS6162525A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-31 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | 半導体素子の製造方法 |
JPS6164730A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 耐熱性樹脂の製造方法 |
JPS61118424A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-06-05 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | 可溶性シリコ−ン−イミドコポリマ− |
JPS61203132A (ja) * | 1985-02-01 | 1986-09-09 | ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ | 結晶状シリコ−ン−イミド共重合体 |
JPS62129317A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-06-11 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 両性ポリイミド前駆体およびその製法 |
JPS6324107A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-02-01 | Seiichi Okuhara | 位置検出装置 |
JPS6323928A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-01 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 変性ポリイミドの製造方法 |
JPS6335626A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-16 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 耐熱性樹脂の製造方法 |
-
1989
- 1989-06-08 JP JP1146562A patent/JPH0243221A/ja active Pending
Patent Citations (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4865296A (ja) * | 1971-11-30 | 1973-09-08 | ||
JPS5555554A (en) * | 1978-09-18 | 1980-04-23 | Gen Electric | Semiconductor element |
JPS587473A (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物 |
JPS588617A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-18 | Ube Ind Ltd | ポリイミド成形物の製造法 |
JPS59501215A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-07-12 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | シリコ−ン−イミド共重合体および製造方法 |
JPS59219330A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-10 | オーシージー マイクロエレクトロニク マテリアルズ インク. | ポリイミド、その製造方法および用途 |
JPS6072925A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | Ube Ind Ltd | 有機溶媒可溶性の感光性ポリイミド |
JPS61500555A (ja) * | 1983-12-05 | 1986-03-27 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | コポリエ−テルイミドの製造方法 |
JPS59113035A (ja) * | 1983-12-05 | 1984-06-29 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 珪素含有材からなる素地表面に密着性良好なポリイミド層を形成する方法 |
JPS60166325A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-08-29 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 耐熱性樹脂の製造方法 |
JPS60177660A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPS60258228A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-20 | エム・アンド・テイ・ケミカルス・インコーポレイテツド | ポリイミド、ポリ(アミド‐イミド)、ポリ(エステルイミド)、ポリアミド酸ポリ(アミド‐アミド酸)またはポリ(エステルアミド酸)重合体 |
JPS6162525A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-31 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | 半導体素子の製造方法 |
JPS6164730A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 耐熱性樹脂の製造方法 |
JPS61118424A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-06-05 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | 可溶性シリコ−ン−イミドコポリマ− |
JPS61203132A (ja) * | 1985-02-01 | 1986-09-09 | ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ | 結晶状シリコ−ン−イミド共重合体 |
JPS62129317A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-06-11 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 両性ポリイミド前駆体およびその製法 |
JPS6324107A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-02-01 | Seiichi Okuhara | 位置検出装置 |
JPS6323928A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-01 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 変性ポリイミドの製造方法 |
JPS6335626A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-16 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 耐熱性樹脂の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6261100A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-17 | カシオ計算機株式会社 | ベ−ス音作成装置 |
JP2014162801A (ja) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Toray Ind Inc | ポリイミド樹脂、これを含有する樹脂組成物、これを用いた積層フィルムおよび積層体 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2843044B2 (ja) | 新規な可溶性ポリイミドシロキサン及びそれらの製造方法 | |
US4853452A (en) | Novel soluble polyimidesiloxanes and methods for their preparation using a flourine containing anhydride | |
US4956437A (en) | Soluble polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use | |
US5741585A (en) | Polyamic acid precursors and methods for preparing higher molecular weight polyamic acids and polyimidebenzoxazole | |
US5859181A (en) | Siloxane polymide and heat-resistant adhesive containing the same | |
JP4498382B2 (ja) | アミン酸エステルオリゴマー、それを含有するポリイミド樹脂のための前駆体組成物、及び使用 | |
JPH02245029A (ja) | 新規なポリイミドシロキサン及びその製造法 | |
KR950011913B1 (ko) | 폴리이미드 수지 용액 조성물 | |
WO2002092654A2 (en) | Space environmentally durable polyimides and copolyimides | |
EP0417778B1 (en) | Polyimide compositions containing polyorganosiloxane for improving atomic oxygen resistance | |
JP2992326B2 (ja) | 耐溶剤性ポリイミドシロキサン | |
EP0371313B1 (en) | Polyimide siloxanes and methods for their preparation and use | |
US5077370A (en) | Novel polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use | |
JPH0243221A (ja) | 新規可溶性ポリイミドシロキサン及びその製法及び用途 | |
US3674741A (en) | Copolymer of poly(quinozolone and imide) and process for producing the same | |
JPS5952898B2 (ja) | ポリイミド前駆体の製造方法 | |
CA1331387C (en) | Polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use | |
USRE33797E (en) | Novel polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use | |
JP2631899B2 (ja) | 樹脂組成物及びその製造方法 | |
CA2008860A1 (en) | Process for the preparation of crosslinked products and novel polymers | |
JPH09263636A (ja) | ポリイミド樹脂 | |
JPH09272738A (ja) | ポリイミド樹脂 |