JPH0226087A - 積層型圧電素子の製法 - Google Patents
積層型圧電素子の製法Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は積層型圧電素子とその製法に係り、特に圧電ア
クチュエータとして信頼性の高い積層型圧電素子とその
製法に関する。
クチュエータとして信頼性の高い積層型圧電素子とその
製法に関する。
圧電セラミクスは力を加えると電圧が発生し、電圧を加
えると変位や力を発生する性質を有する為、アクチュエ
ータとしての利用性が高い、アクチュエータやセンサに
利用すべく１通常圧なセラミクスはｆｅｔＪｆｊとの積
層体として使われる。このような積層体は積層型圧電素
子と呼ばれる。
えると変位や力を発生する性質を有する為、アクチュエ
ータとしての利用性が高い、アクチュエータやセンサに
利用すべく１通常圧なセラミクスはｆｅｔＪｆｊとの積
層体として使われる。このような積層体は積層型圧電素
子と呼ばれる。
積層型圧電素子は他のセラミクス積層物と同様に一般に
はグリーンシート法で製造される。圧電セラミクスグリ
ーンシートは、圧電セラミクスの仮焼粉末に適量のバイ
ンダ等に添加したスラリを成形したシート状物である。
はグリーンシート法で製造される。圧電セラミクスグリ
ーンシートは、圧電セラミクスの仮焼粉末に適量のバイ
ンダ等に添加したスラリを成形したシート状物である。
このグリーンシートに金属ペーストをスクリーン印刷等
により印刷して電極部としたものを所望枚数積層し乾燥
後、更に十数百度（’Ｃ）で焼結してセラミック化した
ものが従来の圧電素子積層体である。製品としては更に
その後電圧を印加して分極処理することになる。このよ
うな従来のグリーンシート法による積層体の製法は、例
えば特開昭６０−４１２７３号、同６０−９１８００号
、同６０−２２９３８０号各公報に示されている。
により印刷して電極部としたものを所望枚数積層し乾燥
後、更に十数百度（’Ｃ）で焼結してセラミック化した
ものが従来の圧電素子積層体である。製品としては更に
その後電圧を印加して分極処理することになる。このよ
うな従来のグリーンシート法による積層体の製法は、例
えば特開昭６０−４１２７３号、同６０−９１８００号
、同６０−２２９３８０号各公報に示されている。
ご発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術はグリーンシートの焼成と電極の焼き付け
とを同時に行っていた為、−見工数の少なさから簡易な
方法ではあるが、グリーンシート中のバインダ等は電極
層に阻まれて加熱除去しにくい、これを加熱除去すべく
脱バインダプロセスを採ると、セラミクス体にクラック
やデラミネーション、変形が生じ易い。
とを同時に行っていた為、−見工数の少なさから簡易な
方法ではあるが、グリーンシート中のバインダ等は電極
層に阻まれて加熱除去しにくい、これを加熱除去すべく
脱バインダプロセスを採ると、セラミクス体にクラック
やデラミネーション、変形が生じ易い。
またグリーンシートと電極との積層体を高温で同時焼成
するため、またセラミクス焼結時の収縮が大きいため、
圧電セラミクス積層体の内部には大きな歪み（内部応力
）が生じる。それ故、大きな電圧を印加したり、繰り返
し長時間使用したりすると積層体は機械的破壊を起こす
。
するため、またセラミクス焼結時の収縮が大きいため、
圧電セラミクス積層体の内部には大きな歪み（内部応力
）が生じる。それ故、大きな電圧を印加したり、繰り返
し長時間使用したりすると積層体は機械的破壊を起こす
。
更には焼成後の分極処理に際しても大きな歪みが発生し
、これも強度信頼性低下の要因となる。
、これも強度信頼性低下の要因となる。
以上のように従来技術では積層型圧電素子自体の強度信
頼性が低く、アクチュエータ等への応用には問題があっ
た。
頼性が低く、アクチュエータ等への応用には問題があっ
た。
本発明の積層型圧電素子は、Ｗ数の圧電セラミクス材の
層とこの各圧電セラミクス材の層間に介在する電極との
積層体にて構成され、ここに用いる電極が、圧電セラミ
クス材の焼成温度より低い温度条件でこのセラミクス材
と拡散接合の可能な材料でなることを特徴とする。電極
材の最適例はアルミニウム、アルミニウム系合金から選
ばれる一層乃至複数層の金属材料である。
層とこの各圧電セラミクス材の層間に介在する電極との
積層体にて構成され、ここに用いる電極が、圧電セラミ
クス材の焼成温度より低い温度条件でこのセラミクス材
と拡散接合の可能な材料でなることを特徴とする。電極
材の最適例はアルミニウム、アルミニウム系合金から選
ばれる一層乃至複数層の金属材料である。
本発明の積層型圧電装！（例えばアクチュエータ、セン
サ）は、上記圧電素子の各電極の内＋極をまとめる外部
リードと、−極をまとめる外部リードとを圧電素子側面
に付設したものである。
サ）は、上記圧電素子の各電極の内＋極をまとめる外部
リードと、−極をまとめる外部リードとを圧電素子側面
に付設したものである。
本発明の積層型圧電素子の製法は、焼成済圧電セラミク
ス材の層と電極層とを交互に積層後、この圧電セラミク
ス材の焼成温度より低い温度で加熱し、或いは加熱・加
圧して、所定時間保持することにより接合、特に好まし
くは拡散接合、することを特徴とする。
ス材の層と電極層とを交互に積層後、この圧電セラミク
ス材の焼成温度より低い温度で加熱し、或いは加熱・加
圧して、所定時間保持することにより接合、特に好まし
くは拡散接合、することを特徴とする。
焼成済圧電セラミクスとは圧電セラミクスグリーンシー
トを焼成したものである。
トを焼成したものである。
尚、接合工程後に加圧を除去することなく冷却すること
が好ましく、特に接合工程後の冷却過程にあっては、圧
電セラミクスのキューリ点よりも２０〜７０℃高い温度
で電圧を印加してセラミクスを分極させることが望まし
い。ここでキューリ点とは圧電セラミクスの特性を喪失
する温度をいい、分極とは圧電素子にするためのセラミ
クスの一処理工程を意味する。
が好ましく、特に接合工程後の冷却過程にあっては、圧
電セラミクスのキューリ点よりも２０〜７０℃高い温度
で電圧を印加してセラミクスを分極させることが望まし
い。ここでキューリ点とは圧電セラミクスの特性を喪失
する温度をいい、分極とは圧電素子にするためのセラミ
クスの一処理工程を意味する。
一般に圧電セラミクス材にペロゲスカイト型結晶構造を
もつ強誘電性材料であって、キューリー点以上の温度で
は立方晶・キューリー点以下の温度では立方晶より変形
した結晶相を呈して結晶構造にずれ即ち極性（方向性）
が生ずる。焼成直後の圧電セラミクスは結晶粒子の集合
体であり、各結晶粒子内に極性の異なる部分が混在する
。焼成しただけの圧電セラミクスの状態では各結晶粒子
について極性のベクトル総和はゼロであって、全体とし
ては無極性である。これに所定の電界を印加することに
よって各結晶粒子毎に極性の方向が定まりこれを分極と
いい、このような処理を分極処理という。
もつ強誘電性材料であって、キューリー点以上の温度で
は立方晶・キューリー点以下の温度では立方晶より変形
した結晶相を呈して結晶構造にずれ即ち極性（方向性）
が生ずる。焼成直後の圧電セラミクスは結晶粒子の集合
体であり、各結晶粒子内に極性の異なる部分が混在する
。焼成しただけの圧電セラミクスの状態では各結晶粒子
について極性のベクトル総和はゼロであって、全体とし
ては無極性である。これに所定の電界を印加することに
よって各結晶粒子毎に極性の方向が定まりこれを分極と
いい、このような処理を分極処理という。
電極材としては、膜、箔、ペーストいずれの状態で用い
ても差し支えないが、従来材料としては純アルミニウム
或いはアルミニウム系合金が好適である。更にアルミニ
ウム電極を用いるなら、画表皮材がアルミニウムーシリ
コン系合金、芯材がアルミニウムの３層構造のものが好
適である。
ても差し支えないが、従来材料としては純アルミニウム
或いはアルミニウム系合金が好適である。更にアルミニ
ウム電極を用いるなら、画表皮材がアルミニウムーシリ
コン系合金、芯材がアルミニウムの３層構造のものが好
適である。
尚、積層状態は平板積層に限定されず、円筒状の積層物
でもかまわない。
でもかまわない。
本発明ではすでに焼成した圧電素子を積層化する為、焼
成による収縮が積層化時には生じず、すなわち圧電セラ
ミクスはすでに収縮済みなので、積層体内部には歪みが
残り得ない。
成による収縮が積層化時には生じず、すなわち圧電セラ
ミクスはすでに収縮済みなので、積層体内部には歪みが
残り得ない。
また焼成温度よりも低い温度で、加熱或いは加熱・加圧
するので、圧電セラミクスと電極金属とが熱歪みが少な
くかつ強固に拡散接合するため、接合界面強度が従来技
術よりも高くかつ信頼性が向上する。特に高温からの冷
却及び焼成による収縮に起因する歪みが小さく１発生す
る熱応力も小さい。
するので、圧電セラミクスと電極金属とが熱歪みが少な
くかつ強固に拡散接合するため、接合界面強度が従来技
術よりも高くかつ信頼性が向上する。特に高温からの冷
却及び焼成による収縮に起因する歪みが小さく１発生す
る熱応力も小さい。
分極は圧電セラミクス自体が体積増加し、大きな内部応
力を発生させる。そこで冷却中に分極処理を施こせば、
冷却による体積収縮と分極による体積増加の平衡により
内部歪み（内部応力）が緩和されることになり、圧電セ
ラミクスの強度信頼性が向上することになる。
力を発生させる。そこで冷却中に分極処理を施こせば、
冷却による体積収縮と分極による体積増加の平衡により
内部歪み（内部応力）が緩和されることになり、圧電セ
ラミクスの強度信頼性が向上することになる。
電極金属として純アルミニウム或いはアルミニウム系合
金を用いると、積層化温度（接合温度）を非常に低く下
げることができるため、熱応力の発生が小さい、またア
ルミニウムは活性金属であるため、圧電セラミクスとの
接合性が向上する。
金を用いると、積層化温度（接合温度）を非常に低く下
げることができるため、熱応力の発生が小さい、またア
ルミニウムは活性金属であるため、圧電セラミクスとの
接合性が向上する。
このように本発明の提案するプロセスによれば圧電素子
製作工程中に生ずる内部歪み（内部応力）は小さく、強
度信頼性は著しく向上する。
製作工程中に生ずる内部歪み（内部応力）は小さく、強
度信頼性は著しく向上する。
更に本発明は圧電セラミクス層相互の接層用のインサー
ト材が電極材とが兼用しているため製作上も簡便である
。
ト材が電極材とが兼用しているため製作上も簡便である
。
〔実施例〕
本発明の実施例に係る積層型圧電素子の斜視図を第１図
に示す。また電極部の一例の斜視図を第２図に示す。
に示す。また電極部の一例の斜視図を第２図に示す。
ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯａ）とチタン酸鉛（ＰｂＴｉ
Ｏｓ）のほぼ等量の固溶体（ＰＺＴ）粉末をペースト化
してグリーンシートとし、これを成形して焼成すること
により圧電セラミクス層１を得る。この複数の圧電セラ
ミクス層１の各層間に電極層２，３を交互に配置し、加
熱、加圧して積層体を得る。電極層２をまとめて外部リ
ード４に接続し、−万態極層３をまとめて外部リード５
に接続する。電極層２と外部リード５とは絶縁材７にて
絶縁をとっている。−万態極３と外部り一部４とは絶縁
材６にて絶縁をとっている。外部リード４，５は電気端
子８に接続する。各電極層２゜３の望ましい態様は第２
図に示す如き構成であり、アルミニウム芯材２２の両面
にアルミニウムーシリコン合金表皮材２１を形成しであ
る。
Ｏｓ）のほぼ等量の固溶体（ＰＺＴ）粉末をペースト化
してグリーンシートとし、これを成形して焼成すること
により圧電セラミクス層１を得る。この複数の圧電セラ
ミクス層１の各層間に電極層２，３を交互に配置し、加
熱、加圧して積層体を得る。電極層２をまとめて外部リ
ード４に接続し、−万態極層３をまとめて外部リード５
に接続する。電極層２と外部リード５とは絶縁材７にて
絶縁をとっている。−万態極３と外部り一部４とは絶縁
材６にて絶縁をとっている。外部リード４，５は電気端
子８に接続する。各電極層２゜３の望ましい態様は第２
図に示す如き構成であり、アルミニウム芯材２２の両面
にアルミニウムーシリコン合金表皮材２１を形成しであ
る。
このような電極構成にすると、接合温度５８０〜６６０
℃では、表皮層のみ液相となるため、アルミニウム電極
表面の酸化皮膜は液相になる時破壊し、その活性なアル
ミニウム液相が圧電セラミクスとの密着及び反応を促進
させる。一方、芯材のアルミニウムは固相状態で、一定
の電極厚さを得ることが可能である。すなわち芯材がな
く、アルミニウム電極全体が液相となると、接合面外へ
のアルミニウム溶液の流出が起こり、一定な厚さの電極
にならない、また、電極の一部が液相とならない電極構
造では１表面の酸化皮膜（ＡｎｚＯａ）が接合性を著し
く阻害する。従って表面層のみ液相となる三層構造とし
たアルミニウム電極を用いることにより、圧電セラミク
スとの接合性向上及び一定した電極厚さを得ることが可
能である。
℃では、表皮層のみ液相となるため、アルミニウム電極
表面の酸化皮膜は液相になる時破壊し、その活性なアル
ミニウム液相が圧電セラミクスとの密着及び反応を促進
させる。一方、芯材のアルミニウムは固相状態で、一定
の電極厚さを得ることが可能である。すなわち芯材がな
く、アルミニウム電極全体が液相となると、接合面外へ
のアルミニウム溶液の流出が起こり、一定な厚さの電極
にならない、また、電極の一部が液相とならない電極構
造では１表面の酸化皮膜（ＡｎｚＯａ）が接合性を著し
く阻害する。従って表面層のみ液相となる三層構造とし
たアルミニウム電極を用いることにより、圧電セラミク
スとの接合性向上及び一定した電極厚さを得ることが可
能である。
尚、各圧電セラミクス層は薄いほど良い。望ましくは０
．１＋ａｍ以下の厚さである。
．１＋ａｍ以下の厚さである。
実施例１
第１図に示すような既に焼成した圧電セラミクス層（直
径２０ｍｕ＋、厚さＯ，１ｍｍ）１と、純アルミニウム
電極［２，３（直径２０ｍｍ、厚さ各１０μｍ）とを交
互に積み重ねて１２０段とした積層体を接合炉内に設置
し、１０−’Ｔｏｒｒ台の真空度まで炉内を排気した。
径２０ｍｕ＋、厚さＯ，１ｍｍ）１と、純アルミニウム
電極［２，３（直径２０ｍｍ、厚さ各１０μｍ）とを交
互に積み重ねて１２０段とした積層体を接合炉内に設置
し、１０−’Ｔｏｒｒ台の真空度まで炉内を排気した。
しかる後１．Ｏｋｇ／ｖｓ”の圧力を積層体にかけて、
６３０℃まで加熱し、３０分間この状態を保持した。そ
の後、室温まで２℃／ｗｉｎの速度で冷却した。その結
果、圧電セラミクスとアルミニウム電極とは化学的に強
固に接合していることが確認された。
６３０℃まで加熱し、３０分間この状態を保持した。そ
の後、室温まで２℃／ｗｉｎの速度で冷却した。その結
果、圧電セラミクスとアルミニウム電極とは化学的に強
固に接合していることが確認された。
この積層体に電圧をかけ分極処理した後、所定の大電界
駆動による疲労試験を行ったところ、従来品では１０７
回で破壊するのに対し、本実施例品では１０６〜１０９
回まで破壊せず、長寿命化が図れた。
駆動による疲労試験を行ったところ、従来品では１０７
回で破壊するのに対し、本実施例品では１０６〜１０９
回まで破壊せず、長寿命化が図れた。
実施例２
実施例１で用いた純アルミニウム電極の代わりに、第２
図に示す３層構造、すなわちアルミニウム芯材２２の両
側にアルミニウムーシリコン合金表皮材２１をクラッド
した電極箔（厚さ１０μｍ）を用いた。この電極層２，
３と既に焼成した圧電セラミクス層１とを交互に１２０
段積み重ね、実施例１と同様の要領で加熱・加圧した。
図に示す３層構造、すなわちアルミニウム芯材２２の両
側にアルミニウムーシリコン合金表皮材２１をクラッド
した電極箔（厚さ１０μｍ）を用いた。この電極層２，
３と既に焼成した圧電セラミクス層１とを交互に１２０
段積み重ね、実施例１と同様の要領で加熱・加圧した。
尚１本実施例では、接合温度５８５℃、接合圧力０．２
ｋｇ／ｎ＋ｍ”、接合時間３０分とした。５８５℃では
電極のアルミニウムーシリコン系合金表皮材２１のみが
アルミニウムーシリコン共晶反応で溶融し。
ｋｇ／ｎ＋ｍ”、接合時間３０分とした。５８５℃では
電極のアルミニウムーシリコン系合金表皮材２１のみが
アルミニウムーシリコン共晶反応で溶融し。
接合界面には液相が生じる。従ってアルミニウム合金電
極の両表面に形成されている酸化皮膜は溶融によって破
壊し、活性なアルミニウムの面が出て、アルミニウムを
圧電セラミクスとの反応が促進される。一方、アルミニ
ウム芯材２２は固相であるため、接合後のアルミニウム
電極の厚さが一定となる。このようにして作製された積
層型圧電素子の疲労試験では、１０９回では破壊した素
子がなかったことから、実施例１より更に信頼性の高い
圧電素子が得られることが判った。
極の両表面に形成されている酸化皮膜は溶融によって破
壊し、活性なアルミニウムの面が出て、アルミニウムを
圧電セラミクスとの反応が促進される。一方、アルミニ
ウム芯材２２は固相であるため、接合後のアルミニウム
電極の厚さが一定となる。このようにして作製された積
層型圧電素子の疲労試験では、１０９回では破壊した素
子がなかったことから、実施例１より更に信頼性の高い
圧電素子が得られることが判った。
実施例３
既に焼成した圧電セラミクスと第２図に示す３層構造の
ＡＱ箔電極とを交互に１２０層積み重ね、真空中、５８
５℃で加熱し、カッ０ 、２ｋｇ／ｍｓ”（７）圧力で
加圧して３０分間保持して接合した。
ＡＱ箔電極とを交互に１２０層積み重ね、真空中、５８
５℃で加熱し、カッ０ 、２ｋｇ／ｍｓ”（７）圧力で
加圧して３０分間保持して接合した。
接合後、加圧したまま２℃／ｗｉｎの冷却速度で３３５
℃まで冷却し、その温度より室温までの冷却中、各圧電
セラミクス板に４００Ｖの定接性パルス電圧を印加した
。室温まで冷却後、分極電圧と加圧力を除去した。この
ように、接合後の冷却途中で分極処理を施した。この積
層型圧電素子の疲労特性は、実施例１及び２よりも優れ
ており、１０１１回以上の疲労寿命を示した。
℃まで冷却し、その温度より室温までの冷却中、各圧電
セラミクス板に４００Ｖの定接性パルス電圧を印加した
。室温まで冷却後、分極電圧と加圧力を除去した。この
ように、接合後の冷却途中で分極処理を施した。この積
層型圧電素子の疲労特性は、実施例１及び２よりも優れ
ており、１０１１回以上の疲労寿命を示した。
以上、積層型圧電素子の製作例ではＡＱ電極は箔を用い
たが、蒸着あるいはイオンブレーティング、スパッタリ
ングなど他の方法で薄膜電極を各圧電セラミク入間に設
けても良い。
たが、蒸着あるいはイオンブレーティング、スパッタリ
ングなど他の方法で薄膜電極を各圧電セラミク入間に設
けても良い。
以上の実施例１〜３によれば、既に焼成した圧電セラミ
クスを低温で接合して積層化できる。従って焼成時のセ
ラミクスの収縮による歪みをなくすことが可能である。
クスを低温で接合して積層化できる。従って焼成時のセ
ラミクスの収縮による歪みをなくすことが可能である。
また高温からの冷却による熱応力も小さくできる。また
接合後の冷却中に分極処理を施こすので、分極時に発生
する内部歪みを小さくすることが可能である。
接合後の冷却中に分極処理を施こすので、分極時に発生
する内部歪みを小さくすることが可能である。
以上説明した通り、本発明によれば、積層型圧電素子の
強度信頼性を大幅に向上できるという効果が得られる。
強度信頼性を大幅に向上できるという効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例に係る積層型圧電素子の斜視
図、第２図は本発明の他の実施例に用いた電極層の斜視
図である。 １・・・圧電セラミクス層、２，３・・・電極層、４，
５・・・外部リード、６．７・・・絶縁材、８・・・電
気端子。 ２１・・・アルミニウムーシリコン合金表皮材、２２・
・・アルミニウム芯材。
図、第２図は本発明の他の実施例に用いた電極層の斜視
図である。 １・・・圧電セラミクス層、２，３・・・電極層、４，
５・・・外部リード、６．７・・・絶縁材、８・・・電
気端子。 ２１・・・アルミニウムーシリコン合金表皮材、２２・
・・アルミニウム芯材。
Claims (8)
- １．複数の圧電セラミクス材の層と該各圧電セラミクス
材の層間に介在する電極との積層体にて構成された積層
型圧電素子において、前記電極は、前記圧電セラミクス
材の焼成温度より低い温度条件で該セラミクス材と拡散
接合の可能な材料でなることを特徴とする積層型圧電素
子。 - ２．複数の圧電セラミクス材の層と該各圧電セラミクス
材の層間に介在する電極との積層体にて構成された積層
型圧電素子において、前記各電極は、アルミニウム，ア
ルミニウム系合金から選ばれる一層乃至複数層の金属材
料であることを特徴とする積層型圧電素子。 - ３．請求項１若しくは２における各電極の内、＋極をま
とめる外部リードと−極をまとめる外部リードとを圧電
素子側面に付設してなることを特徴とする積層型圧電装
置。 - ４．焼成済圧電セラミクス材の層と電極層とを交互に積
層後、該圧電セラミクス材の焼成温度より低い温度で加
熱して接合することを特徴とする積層型圧電素子の製法
。 - ５．焼成済圧電セラミクス材の層と電極層とを交互に積
層後、該圧電セラミクス材の焼成温度より低い温度で加
熱，加圧して接合することを特徴とする積層型圧電素子
の製法。 - ６．圧電セラミクスグリーンシートを焼成した後、各セ
ラミクス層間に電極層を配置し、前記焼成時の温度より
も低温で加熱することにより各セラミクス材と電極材と
を拡散接合することを特徴とする積層型圧電素子の製法
。 - ７．請求項５の接合工程後に加圧を除去することなく冷
却することを特徴とする積層型圧電素子の製法。 - ８．請求項４，５または６の接合工程後の冷却過程にお
いて、前記圧電セラミクスのキューリ点よりも２０〜７
０℃高い温度で電圧を印加することにより該セラミクス
を分極させることを特徴とする積層型圧電素子の製法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17505088A JP2738706B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 積層型圧電素子の製法 |
| DE68919556T DE68919556T2 (de) | 1988-07-15 | 1989-07-14 | Schichtartiges piezoelektrisches Element und dessen Herstellungsverfahren. |
| EP89112941A EP0350941B1 (en) | 1988-07-15 | 1989-07-14 | Stack-type piezoelectric element and process for producing the same |
| US07/574,373 US5196756A (en) | 1988-07-15 | 1990-08-29 | Stack-type piezoelectric element, process for producing the same, and stack-type piezoelectric device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17505088A JP2738706B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 積層型圧電素子の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0226087A true JPH0226087A (ja) | 1990-01-29 |
| JP2738706B2 JP2738706B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=15989356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17505088A Expired - Lifetime JP2738706B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 積層型圧電素子の製法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5196756A (ja) |
| EP (1) | EP0350941B1 (ja) |
| JP (1) | JP2738706B2 (ja) |
| DE (1) | DE68919556T2 (ja) |
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1989
- 1989-07-14 EP EP89112941A patent/EP0350941B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-07-14 DE DE68919556T patent/DE68919556T2/de not_active Expired - Fee Related
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1990
- 1990-08-29 US US07/574,373 patent/US5196756A/en not_active Expired - Fee Related
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| EP0350941A3 (en) | 1990-12-27 |
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| EP0350941A2 (en) | 1990-01-17 |
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