JPH0225378B2 - - Google Patents

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JPH0225378B2
JPH0225378B2 JP18352083A JP18352083A JPH0225378B2 JP H0225378 B2 JPH0225378 B2 JP H0225378B2 JP 18352083 A JP18352083 A JP 18352083A JP 18352083 A JP18352083 A JP 18352083A JP H0225378 B2 JPH0225378 B2 JP H0225378B2
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JP
Japan
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polyimide
general formula
formula
mol
solution
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JP18352083A
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JPS6072925A (ja
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Tsunetomo Nakano
Hiroshi Yasuno
Itsusho Nishio
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Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
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Publication date
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  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Description

【発明の詳现な説明】
本発明は、有機溶媒に察する溶解性が優れた、
高分子鎖䞭に感光基及び光増感基を含有する高感
床の新芏な芳銙族ポリむミド、詳しくは、耐熱
性、電気的及び機械的性質に優れ、半導䜓工業に
おける固䜓玠子ぞの絶瞁膜やパツシベヌシペン膜
の圢成材料、及び半導䜓の集積回路や倚局プリン
ト配線板などの局間絶瞁材料等ずしお奜適な、有
機溶媒可溶性の感光性ポリむミドに関する。 半導䜓工業における固䜓玠子ぞの絶瞁膜やパツ
シベヌシペン膜の圢成材料、及び半導䜓集積回路
や倚局プリント配線板などの局間絶瞁材料は、耐
熱性及び絶瞁性に富むこずが芁請される。斯る芳
点から、䞊蚘のパツシベヌシペン膜等を、絶瞁性
ず共に耐熱性の高いポリむミドで圢成するこずが
皮々提案されおいる特開昭49−115541号公報、
特開昭54−116216号公報、特開昭54−116217号公
報、特開昭55−45747号公報、特開昭55−45748号
公報及び特開昭56−45915号公報等参照。 しかし、䞀般にこれらのうちポリむミドを甚い
たものは、溶媒䞍溶性で感光基を有しおおらず、
䞊述の提案においおは、感光基を含有するポリマ
ヌは、䜕れもポリむミド前駆䜓であるポリアミツ
ク酞のカルボン酞をアミド化、゚ステル化など倉
性した圢であり、ポリアミツク酞を光硬化時にポ
リむミドずしたり、光硬化埌ポストベヌクしおポ
リむミドずする必芁がある。 たた、有機溶媒可溶性のポリむミド感光基を
有しないに、光硬化性基を有する単量䜓を混合
しお光硬化させるようにした耐熱性フオトレゞス
ト組成物特開昭54−109828号公報等参照もあ
るが、このような組成物は、光硬化性が劣り、し
かも光硬化埌のポリむミドの耐熱性も充分ではな
い。たた、耐熱性に優れおいる芳銙族ポリむミド
は、䞀般に溶媒に察する溶解性が劣るので、光硬
化埌未露光郚を有機溶媒に溶解させる工皋を含む
レリヌフパタンの圢成には適さない。 たた、テトラカルボン酞二無氎物ず光架橋性䞍
飜和二重結合を含むゞアミン化合物、䟋えばゞア
ミノカルコンずを反応させお、感光性及び耐熱性
等に優れたポリむミドを埗るこずが提案されおい
る特開昭57−131227号参照。しかし、このよ
うにしお埗られるポリむミドは、感光性に優れお
いるが、有機溶媒に察する溶解性が劣るため、溶
解に長時間を芁し、レリヌフパタヌンを圢成する
䞊で実甚䞊の問題がある。 たた、䞊蚘のような光硬化性のポリマヌ又は組
成物を光照射により硬化させる堎合、それらの有
機溶媒溶液に光重合開始剀や増感剀を添加混合す
る必芁があり、そのため有機溶媒溶液塗垃埌、有
機溶媒を蒞発させた時、光重合開始剀や増感剀が
ブリヌドするなどの匊害が生じる。 本発明者等は、䞊述の珟状に鑑み、耐熱性、電
気的及び機械的性質に優れたレリヌフパタヌンを
光重合開始剀や増感剀を芁するこずなく容易に圢
成し埗る、感光性芳銙族ポリむミドを提䟛するこ
ずを目的ずしお皮々怜蚎した結果、特定の芳銙族
テトラカルボン酞たたはその二無氎物ず、぀の
特定の芳銙族ゞアミン化合物ずの、共重瞮合物か
らなる芳銙族ポリむミドが、優れた感光性を有し
䞔぀有機溶媒可溶性であり、䞊蚘目的を達成し埗
るこずを知芋した。 即ち、本発明は、䞊蚘知芋に基づきなされたも
ので、ビプニルテトラカルボン酞成分ず、䞋蚘
䞀般匏で衚される芳銙族ゞアミン化合物70
〜98モル及び䞋蚘䞀般匏で衚される芳銙
族ゞアミン化合物30〜モルからなるゞアミン
成分ずを略等モル䜿甚しお共重瞮合によ぀お埗ら
れた共重瞮合物からなり、そしお、 この共重瞮合物は、䞋蚘䞀般匏で瀺され
る反埩単䜍を70〜98モル含有するず共に、䞋蚘
䞀般匏で瀺される反埩単䜍を30〜モル
含有するものであ぀お、しかも、察数粘床枬定
枩床30℃、濃床0.5100ml溶媒、溶媒
―メチル――ピロリドンが0.1〜1.5であるこ
ずを特城ずする有機溶媒可溶性の感光性ポリむミ
ドを提䟛するものである。 䜆し、䞊匏䞭、Ar1は、芳銙族残基を瀺し、
は又はCH3を瀺す。 H2N―R1―NH2  䜆し、䞊匏䞭、R1はケトン基を有し、この
ケトン基に結合する二぀の有機基が共に芳銙族基
である有機残基を瀺す。 〔䜆し、匏におけるAr1及び匏に
おけるR1は、前蚘匏及びにおける
Ar1及びR1ずそれぞれ同じ意味である。 本発明のポリむミドは、感光性を有し、耐熱性
を有する芳銙族ポリむミドを䜿甚しおいるので、
画像圢成埌にむミド化工皋が䞍芁であり、埓来の
非感光性ポリむミドのように画像圢成甚の別のフ
オトレゞスト光硬化性物質を必芁ずせず、た
た酞成分がビプニルテトラカルボン酞、その二
無氎物などであり、ゞアミン成分が前蚘䞀般匏
及びで衚される皮の芳銙族ゞアミ
ン化合物であ぀お、埓来の感光基を有するポリむ
ミドに比しお有機溶媒に察する溶解性に優れおい
るためレリヌフパタヌンの圢成に䜕等の支障も及
がさない。 たた、本発明のポリむミドは、ゞアミン成分ず
しお光増感基を有する前蚘䞀般匏で衚され
る芳銙族ゞアミン化合物を䜿甚し、高分子鎖䞭に
光増感基が導入されおいるため、光硬化時に光重
合開始剀や増感剀を添加する必芁がない。埓぀
お、本発明のポリむミドによれば、レリヌフパタ
ヌンの圢成工皋においお、光重合開始剀や増感剀
のブレンドの時におこる匊害、即ち、感光性ポリ
むミドの有機溶媒溶液を基板に塗垃埌、有機溶媒
を蒞発させた時、光重合開始剀や増感剀がブリヌ
ドするなどの欠点がなく、そのため、光増感基が
完党に効力を発揮し、高感床、高解像床ずなる。
たた、䜎分子の増感剀を䜿甚しないので、ポリマ
ヌの熱重量枛少も少ない。 曎に、本発明のポリむミドは、感光性ポリアミ
ツク酞ポリむミド前駆䜓のように画像圢成埌
むミド化工皋を必芁ずしないために、工皋の簡略
化のみならず、玠子ぞの熱的圱響や収瞮による歪
や応力を䞎えるこずがないなどの倚くの優れた効
果がある。 以䞋に本発明の感光性ポリむミドに぀いおその
補造法ず共に詳述する。 前蚘共重瞮合物からなる本発明の感光性ポリむ
ミドの兞型的な構造は、略等モルの酞成分ずゞア
ミン成分ずの共重瞮合物からなり、ゞアミン成分
䞭、前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞアミン
化合物ず前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞア
ミン化合物ずの割合は前者70〜98モルに察し埌
者30〜モルである。 前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞアミン化
合物が党ゞアミン成分に察しお22モルより少な
い堎合には、埗られるポリむミドは増感性、光硬
化開始性などの䜎䞋があらわれるので適圓ではな
く、たた、30モルより倚い堎合には、埗られる
ポリむミドは前蚘䞀般匏で衚される芳銙族
ゞアミン単䜍の枛少により、光感床の䜎䞋がおこ
るので適圓ではない。 そしお、本発明の感光性ポリむミドは、次の劂
き方法で補造される。 即ち、本発明の感光性ポリむミドは、特定の芳
銙族テトラカルボン酞類であるビプニルテトラ
カルボン酞、その二無氎物などず、前蚘䞀般匏
及びで衚される぀の芳銙族ゞアミ
ン化合物ずを共重瞮合しおポリアミツク酞ずな
し、曎に該ポリアミツク酞を脱氎閉環むミド
化するこずにより前蚘共重瞮合物を合成しお埗
られる。 本発明の感光性ポリむミドの補造に甚いられる
䞊蚘ビプニルテトラカルボン酞成分ずしおは、
具䜓的には3′4′―ビプニルテトラカ
ルボン酞、たたはその二無氎物、2′
3′―ビプニルテトラカルボン酞、たたはその二
無氎物及び3′4′―ビプニルテトラカ
ルボン酞、たたはその二無氎物があげられ、䞊蚘
テトラカルボン酞の゚ステル化物、塩などでもよ
い。 たた、前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞア
ミン化合物においお、Ar1で瀺される芳銙族残基
ずしおは、
【匏】
【匏】などをあげるこずが できる。 埓぀お、前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞ
アミン化合物ずしおは、具䜓的には次のものをあ
げるこずができるが、それらに限定されない。 ―ゞアミノベンゞルアクリレヌト、
―ゞアミノベゞルメタクリレヌト、―ゞ
アミノベンゞルアクリレヌト、―ゞアミノ
ベンゞルメタクレヌトなど。 たた、前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞア
ミン化合物においお、R1で瀺される有機残基ず
しおは、 䜆し、匏䞭、Ar2は芳銙族環を瀺し、R2はメチ
ル基又ぱチル基を瀺すなどをあげるこずがで
きる。 埓぀お、前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞ
アミン化合物ずしおは、具䜓的には次のものをあ
げるこずができるが、それらに限定されない。 ―ビス―アミノプニル―10―ア
ンスロン、―ゞアミノアンントラキノン、
―ゞアミノアントラキノン、3′―ゞア
ミノベンゟプノン、――ゞメチルアミ
ノ―3′5′―ゞアミノベンゟプノン、―ゞメ
チルアミノ―――ゞアミノベンゟむ
ル―ナフタレンなど。 本発明の感光性ポリむミドは、ポリむミド0.5
―メチル――ピロリドン100mlの濃床の
溶液ずしお30℃においお枬定した察数粘床が0.1
〜1.5特に0.2〜1.0の範囲内にあるものが奜たし
い。 本発明の感光性ポリむミドの制造に぀いお曎に
詳述するず、前蚘共重瞮合物を合成する際の前蚘
ビプニルテトラカルボン酞成分ず前蚘皮から
なる芳銙族ゞアミン化合物成分ずの䜿甚割合は略
等モルであり、又、前蚘䞀般匏で衚される
芳銙族ゞアミン化合物ず前蚘䞀般匏で衚さ
れる芳銙族ゞアミン化合物ずの䜿甚割合は、前者
が70〜98モルで埌者が30〜モルである。そ
しお、それらの合成反応は、比范的䜎枩䞋に、先
ず重合反応を行わせ、次いでむミド化反応を行わ
せる二段階反応によるのが奜たしい。 即ち、先ず、有機溶媒䞭で100℃以䞋、奜たし
くは80℃以䞋の反応枩床で〜48時間重合反応を
行い、次いで、この重合反応によ぀お埗られるポ
リアミツク酞溶液を有機溶媒で垌釈した埌、100
℃以䞋、奜たしくは80℃以䞋の反応枩床で無氎酢
酞、ピリゞン、第玚アミンなどのむミド化剀を
加えお0.5〜時間むミド化反応を行うのが奜た
しく、その結果前蚘共重瞮合物が合成され本発明
のポリむミドが埗られる。 䞊蚘重合反応及び䞊蚘むミド化反応における有
機溶媒ずしおは、䟋えば―ゞメチルスルホ
キシド、―ゞメチルホルムアミド、
―ゞ゚チルホルムアミド、―ゞメチルアセ
トアミド、―ゞ゚チルアセトアミド、―
メチル――ピロリドン、ヘキサメチレンホスホ
アミドなどが甚いられる。 尚、本発明においおは、前蚘共重瞮合物は、前
蚘ビプニルテトラカルボン酞成分ず前蚘芳銙族
ゞアミン化合物成分ずを有機溶媒䞭で100℃以䞊
の高枩においお䞀段階で重合・むミド化反応を行
うこずによ぀おも合成するこずができるが、前述
の劂く、二段階で行うこずにより、安定した生成
物を埗るこずができる。 本発明のポリむミドの合成に甚いられる前蚘䞀
般匏で衚される芳銙族ゞアミン化合物は、
その合成法には制限されないが、その奜たしい合
成法ずしおは、䟋えばゞニトロベンゞルアルコヌ
ルずメタアクリル酞クロリドずを反応させ、
次いで反応物を還元するこずによ぀お目的ずする
芳銙族ゞアミン化合物を合成する方法をあげるこ
ずができる。 たた、本発明のポリむミドの合成に甚いられる
前蚘䞀般匏で衚される芳銙族ゞアミン化合
物のうちR1で瀺される有機残基が
【匏】である化合物は、新 芏化合物であり、その合成法には制限されない
が、その奜たしい合成法ずしおは、先ずゞニトロ
塩化ベンゟむルずアニリンずを反応させおゞニト
ロベンズアニリドを合成し、次ぎにこれず
【匏】〔Ar2及びR2は前蚘䞀般匏 における堎合ず同じ〕ずオキシ塩化リンずを反応
させ、埗られる反応物に濃塩酞を加えるこずによ
぀お
【匏】を合成し、 次いでこれを還元するこずによ぀お目的ずする
芳銙族ゞアミン化合物を合成する方法をあげるこ
ずができる。 而しお、本発明の感光性ポリむミドは、レリヌ
フパタヌンの圢成材料ずしお䜿甚する堎合、有機
溶媒に溶解された溶液ずしお甚いられる。この有
機溶媒ずしおは、―ゞメチルホルムアミ
ド、―ゞメチルアセトアミド、―メチル
――ピロリドン、ゞメチルスルホキシド、ヘキ
サメチレンホスホアミドなどをあげるこずがで
き、感光性ポリむミド溶液の奜たしい濃床は〜
30である。 本発明の感光性ポリむミドは高分子鎖䞭に光増
感基を有し、増感効果があるので、䞊蚘の感光性
ポリむミド溶液には増感剀や光重合開始剀を添加
する必芁がないが、それらも必芁に応じ添加する
こずができ、たた、―ゞメチルアミノ安息
銙酞゚チルや―ゞメチルアミノアントラニ
ル酞メチルなどの増感助剀を添加するこずにより
曎に増感効果を高めるこずができる。 たた、䞊蚘の感光性ポリむミド溶液に、必芁に
応じ、゚チレン性䞍飜和基を有する光により重合
可胜な化合物を添加させるこずができる。 䞊蚘゚チレン性䞍飜和和基を有する光により重
合可胜な化合物ずしおは、゚チレングリコヌルゞ
メタアクリレヌト、プロピレングリコヌルゞ
メタアクリレヌト、トルメチロヌルプロパン
トリメタアクリレヌト、テトラメチロヌルメ
タンテトラメタアクリレヌト、N′―メ
チレンビスメタアクリレヌト、ゞ゚チルアミ
ノ゚チルメタアクリレヌト、―ト
リアクリロむルヘキサヒドロ――トリアゞン、
トリスヒドロキシ゚チルアクリロむルむ゜シ
アヌレヌトなどをあげるこずができる。 本発明の感光性ポリむミドによれば、䞊蚘の劂
く感光性ポリむミド溶液を調敎するこずにより次
のようにしおレリヌフパタヌンを圢成するこずが
できる。 即ち、先ず、䞊蚘の感光性ポリむミド溶液を基
板に塗垃し、これを也燥しお有機溶媒を陀去す
る。基板ぞの塗垃は、䟋えば回転塗垃機で行うこ
ずができる。塗垃膜の也燥は150℃以䞋、奜たし
くは100℃以䞋で行う。この際枛圧はしおもしな
くおもよい。也燥埌、塗垃膜にネガ型のフオトマ
スクチダヌトを眮き、玫倖線、可芖光線、電子
線、線などの掻性光線を照射する。次いで未露
光の郚分を珟像液で掗い流すこずによりポリむミ
ドのレリヌフパタヌンを埗る。䞊蚘の珟像液ずし
おは、―ゞメチルホルムアミド、―
ゞメチルアセトアミド、ゞメチルスルホキシド、
―メチル――ピロリドン、ヘキサメチレンホ
スホアミドなどの溶剀又は該溶剀ずメタノヌル、
゚タノヌルずの混合系を甚いるこずができる。 䞊述の劂く、本発明の感光性ポリむミドは、高
分子鎖䞭に感光基光重合可胜な基を有し、䞔
぀酞成分がビプニルテトラカルボン酞、その二
無氎物などで、ゞアミン成分が前蚘䞀般匏
で衚される芳銙族ゞアミン化合物ず前蚘䞀般匏
で衚される芳銙族ゞアミン化合物である共
重瞮合物であり、有機溶媒に察する溶解性が優れ
おおり、そのため、光化孊的手段によ぀おレリヌ
フパタヌンを容易に圢成するこずができ、䞔぀レ
リヌフパタヌンを圢成する堎合、本発明のポリむ
ミドは、優れた感光性を有し、ポリむミドの耐熱
性を保持するために、埓来の非感光性ポリむミド
のように、画像圢成甚の別の光硬化性物質を特に
必芁ずせず、たた、高分子鎖䞭に光増感基が導入
されおいるため、光重合開始剀や増感剀を添加す
る必芁がないので、感光性ポリむミドの有機溶媒
溶液を基板に塗垃埌、有機溶媒を蒞発させた時、
光重合開始剀や増感剀がブリヌドするなどの欠点
がなく、そのため、光増感基が完党に効力を発揮
し、高感床、高解像床ずなり、たた、䜎分子の増
感剀を䜿甚しないのでポリマヌの熱重量枛少も少
なくなり、曎に、感光性ポリアミツク酞ポリむ
ミド前駆䜓のように画像圢成埌むミド化工皋を
必芁ずしないため、工皋の簡略化のみならず、玠
子ぞの熱的圱響や収瞮による歪や応力を䞎えるこ
ずがないなどの倚くの優れた効果がある。しか
も、本発明の感光性ポリむミドにより圢成したレ
リヌフパタヌンは、耐熱性、電気的及び機械的性
質に優れたものであり、半導䜓工業における固䜓
玠子の絶瞁䜓膜やパツシベヌシペン膜ずしお有効
であるばかりでなく、ハむブリツド回路やプリン
ト回路の倚局配線構造の絶瞁膜や゜ルダヌレゞス
トずしお甚いるこずができる。 以䞋に、本発明の感光性ポリむミドの合成に甚
いられる芳銙族ゞアミン化合物の合成䟋、本発明
の感光性ポリむミドの補造を瀺す実斜䟋及び本発
明の感光性ポリむミドの効果を瀺す皮々の物性詊
隓及びその結果を、比范䟋ず共に挙げる。 合成䟋  ―ゞアミノベンゞルアクリレヌトの合成 第䞀工皋 ―ゞニトロベンゞルアルコヌルのアクリ
ロむル化 ―ゞニトロベンゞルアルコヌル40を
THF400mlに溶解した溶液に、トリ゚チルアミン
40.4を加え、曎にこの溶液に撹拌しながら〜
℃でアクリル酞クロリド20のTHF200ml溶液
を40分間で滎䞋しお加えた。滎䞋終了埌、曎に
時間撹拌した。その埌、この溶液をブフナヌロヌ
ドを甚いお濟過し、濟液を゚バポレヌタで枛圧䞋
THFを陀き、濃瞮液を2.5の氎䞭に泚ぎ蟌み生
成物を析出させ、これを濟集し、也燥し、粗ゞニ
トロ化物46を埗た。 埗られた粗ゞニトロ化物をカラムクロマトグラ
フむヌカラム65mmφ、ワコヌゲル−200 300
、展開溶媒ベンれン酢酞゚チル1volvol
により粟補し、薄黄癜色結晶の―ゞニトロ
ベンゞルアクリレヌト42.8収率84を埗
た。 第二工皋 ―ゞニトロベンゞルアクリレヌトの還元 第䞀工皋で埗られた―ゞニトロベンゞル
アクリレヌト20を酢酞140に溶解した溶液を、
鉄粉140を酢酞70氎70に懞濁させた溶液
に撹拌しながら20〜25℃で少量ず぀加え反応させ
た。 反応埌、濟過し、過剰の鉄粉を陀去した埌、濟
液をアンモニア氎で䞭和し、酢酞゚チル2.3で
抜出した。抜出液を無氎硫酞ナトリりムで䞀倜也
燥した埌、酢酞゚チル局を20〜40mlに濃瞮した。
埗られた濃瞮液をカラムクロマトグラフむヌカ
ラム50mmφ、シリカゲルワコヌゲル―200 150
、展開溶媒ベンれン酢酞゚チ3vol2vol
により粟補し、癜色結晶の目的物10.5収率
68.9を埗た。 元玠分析倀 C10H12N2O2ずしお    実枬倀(%) 62.24 6.46 14.58 蚈算倀(%) 65.49 6.29 14.57 又、䞊蚘目的物に぀いお、赀倖吞収スペクトル
及び―NMRスペクトルを枬定し、目的物であ
るこずを確認した。 合成䟋  ――ゞメチルアミノ―3′5′―ゞアミ
ノベンゟプノンの合成 第䞀工皋 ―ゞニトロベンズアニリドの合成 アニリン71に―ゞニトロ塩化ベンゟむ
ル22.3を撹拌しながら粉末のたた加えた。50℃
たで発熱があり、黄橙色のペヌスト状ずな぀た。
曎に10分間撹拌埌、反応液をの氎䞭に泚ぎ蟌
み、濃塩酞35で酞性にするず癜色沈柱を生
じた。これを濟過也燥し、―ゞニトロベン
ズアニリド23.5884.6を埗た。 第二工皋 ――ゞメチルアミノ―3′5′―ゞニト
ロベンゟプノンの合成 ―ゞニトロベンズアニリド23に
―ゞメチルアニリン66.3ずオキシ塩化リン33.8
を加え120〜130℃で時間反応させた。黒緑色
の高粘皠液䜓の反応物が埗られた。この反応物を
濃塩酞200mlの1.5氎溶液に撹拌しながら加える
ず発熱があり、初めタヌル状であ぀たが、撹拌す
るずしだいに緑色粉末ずな぀た。これを40〜50℃
で時間撹拌し、䞀倜攟眮した埌濟過した。濟集
物をの塩酞氎溶液200ml䞭に入れ50〜60℃で
時間で掗い濟過し、濟集物を曎に濃塩酞150ml
に加え40〜50℃で溶解し、䞍溶分を濟別し、濟液
を冷华埌氎酞化ナトリりム80の1.5氎溶液を
氷冷した溶液䞭に泚ぎ蟌むず、黄緑色の沈柱物
11.445.8を埗た。 この沈柱物の粟補はカラムクロマトグラフむヌ
により行぀た。即ち、50mmφ×500mlのクロマト
管にワコヌゲル―200200を充填し、ベン
れンを展開溶媒ずしお分離し、黄橙色の針状結晶
の――ゞメチルアミノ―3′5′―ゞニト
ロベンゟプノン9.5を埗た。 第䞉工皋 ――ゞメチルアミノ―3′5′―ゞニト
ロベンゟプノンの還元 第二工皋で埗られた――ゞメチルアミ
ノ―3′5′―ゞニトロベンゟプノン9.5を塩化
第スズ43.9、濃塩酞120ml及び酢酞36mlから
なる溶液䞭に撹拌しながら宀枩で粉末のたた30〜
40分間で加え反応させた。 曎に、90℃で時間反応を続けた埌、宀枩に戻
し、反応液を23のアンモニア氎200mlの1.5æ°Ž
溶液を氷冷した溶液䞭に泚ぎ蟌むず癜色懞濁液ず
な぀た。この癜色懞濁液を酢酞゚チルで抜出し、
酢酞゚チル局を無氎硫酞ナトリりムで也燥し、酢
酞゚チルを゚バポレヌタで陀去し、埮黄色の鱗片
状結晶の目的物7.3還元収率94.4を埗た。 融点 164〜165℃ 元玠分析倀 C15H17N3Oずしお    実枬倀(%) 70.90 6.72 16.58 蚈算倀(%) 70.56 6.71 16.46 又、䞊蚘目的物に぀いお、赀倖吞収スペクトル
及び―NMRスペクトルを枬定し、目的物であ
るこずを確認した。 実斜䟋  ―メチル――ピロリドンNMP9.3mlに
3′4′―ビプニルテトラカルボン酞二
無氎物1.406ず―ゞアミノベンゞルアク
リレヌト0.734ず――ゞメチルアミノ
―′5′―ゞアミノベンゟプノン0.244を加
え、30℃で24時間撹拌しお反応させポリアミツク
酞を埗た。 次に、このポリアミツク酞にNMP34.9mlを加
え垌釈したのち、無氎酢酞9.75、ピリゞン3.73
、ベンれン6.8ml及びNMP5.8mlを加え、50℃
で時間反応させポリむミド化物を埗た。 このポリむミド化物溶液䞭にメタノヌルを滎䞋
しお加え、ポリむミドを析出させ濟別しお、黄色
のポリむミド粉末本発明のポリむミドを埗
た。 実斜䟋  NMP9.8mlに3′4′―ビプニルテト
ラカルボン酞二無氎物1.414ず―ゞアミ
ノベンゞルアクリレヌト0.738ず―ビス
―アミノプニル―10―アンスロン0.362
を加え、30℃で24時間撹拌しお反応させポリアミ
ツク酞を埗た。 次に、このポリアミツク酞にNMP36.8mlを加
え垌釈したのち、無氎酢酞9.80、ピリゞン3.74
、ベンれン7.1ml及びNMP6.1mlを加え、50℃
で時間反応させポリむミド化物を埗た。 このポリむミド化物溶液䞭にメタノヌルを滎䞋
しお加え、ポリむミドを析出させ濟別しお、黄色
のポリむミド粉末本発明のポリむミドを埗
た。 物性詊隓 䞊蚘実斜䟋及びで埗たポリむミドに぀いお
䞋蚘(1)〜(6)の物性詊隓を行い䞋衚に瀺す結果を埗
た。 (1) ポリむミドの粘床 ポリむミド0.5NMP100mlの濃床のポリむ
ミド溶液を30℃で察数粘床を枬定した。 (2) ポリむミドの成膜性 厚さ玄10Όのポリむミドフむルムをガラス板䞊
に䜜成し、これを氎に浞しお剥離し、180゜に折り
曲げ、クラツクのない堎合を〇、クラツクありを
△、補膜時にクラツクの生じるものを×ずした。 (3) ポリむミドのNMPに察する溶解性 垞枩においおNMPに察するポリむミドの溶解
床wtを枬定した。 (4) ポリむミドフむルムの溶解性 ポリむミドのNMP10溶液から䜜成した厚さ
箄10Όのポリむミドフむルムを宀枩でNMP䞭に
浞挬し撹拌し、該フむルムが溶解するたでの時間
で溶解性を枬定した。 (5) 熱分解開始枩床 理孊電気(æ ª)補差動熱倩秀TG―DSCにより、重
量枛の開始枩床を枬定した。 (6) 光硬化特性 ポリむミドのNMP10溶液に2phrの―
ゞメチルアミノアントラニル酞メチルを添加しお
調補した感光性ポリむミド溶液をガラス板䞊に回
転塗垃機2000〜5000rpmを甚いお塗垃し、圧
力〜mmの枛圧䞋、50℃で時間也燥しお
数Όの厚さ䞋衚参照の薄膜を䜜成し、この薄
膜に぀いお䞋蚘の光感床及び解像力の詊隓に䟛し
た。 光感床 䞊蚘薄膜を、超高圧氎銀灯ゞ゚ツトラむト
2kWを甚いお、照床7.2mWcm2350mΌで
照射しお光硬化させ、光硬化する迄の光照射量
cm2を枬定した。 解像力 䞊蚘薄膜に぀いおテストチダヌトずしお凞版印
刷(æ ª)補ネガ型テストチダヌトトツパンテストチ
ダヌト、最小線巟0.98±0.25Όを甚いおレリ
ヌフパタヌンを圢成し、パタヌンの良吊を刀定し
た。
【衚】 比范䟋  NMP12.0mlにピロメリツト酞二無氎物1.46
ず―ゞアミノ安息銙酞゚チルメタクリル酞
゚ステル0.92ず4′―ゞアミノゞプニル゚
ヌテル0.70を加え、30℃で24時間撹拌しお反応
させポリアミツク酞を埗た。このポリアミツク酞
の察数粘床は0.43であ぀た。 次に、このポリアミツク酞溶液にNMP45.0ml
を加え垌釈したのち、無氎酢酞14.28、ピリゞ
ン5.46、ベンれン8.8ml及びNMP7.5mlを加え、
50℃で反応させたずころ、20分埌に黄色のポリむ
ミド粉末が析出した。そのたたさらに120分間反
応させた。 析出した黄色のポリむミド粉末を濟別埌、この
ポリむミド粉末10mgをNMP10mlに溶解しようず
したずころ溶解しなか぀た。 埓぀お、このポリむミドでの光感床、解像力は
枬定䞍胜であ぀た。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  ビプニルテトラカルボン酞成分ず、䞋蚘䞀
    般匏で衚される芳銙族ゞアミン化合物70〜
    98モル及び䞋蚘䞀般匏で衚される芳銙族
    ゞアミン化合物30〜モルからなるゞアミン成
    分ずを略等モル䜿甚しお共重瞮合によ぀お埗られ
    た共重瞮合物からなり、そしお、 この共重瞮合物は、䞋蚘䞀般匏で瀺され
    る反埩単䜍を70〜98モル含有するず共に、䞋蚘
    䞀般匏で瀺される反埩単䜍を30〜モル
    含有するものであ぀お、しかも、察数粘床枬定
    枩床30℃、濃床0.5100ml溶媒、溶媒
    ―メチル――ピロリドンが0.1〜1.5であるこ
    ずを特城ずする有機溶媒可溶性の感光性ポリむミ
    ド。 䜆し、䞊匏䞭、Ar1は、芳銙族残基を瀺し、
    は又はCH3を瀺す。 H2N―R1―NH2  䜆し、䞊匏䞭、R1はケトン基を有し、この
    ケトン基に結合する二぀の有機基が共に芳銙族基
    である有機残基を瀺す。 〔䜆し、匏におけるAr1及び匏に
    おけるR1は、前蚘匏及びにおける
    Ar1及びR1ずそれぞれ同じ意味である。〕
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