JPH02245232A - 高真空装置 - Google Patents
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- JPH02245232A JPH02245232A JP1299918A JP29991889A JPH02245232A JP H02245232 A JPH02245232 A JP H02245232A JP 1299918 A JP1299918 A JP 1299918A JP 29991889 A JP29991889 A JP 29991889A JP H02245232 A JPH02245232 A JP H02245232A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S417/00—Pumps
- Y10S417/901—Cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、高真空システムを有する装置に関し、特に、
クライオポンプを用いた可焼高真空システムに関する。
クライオポンプを用いた可焼高真空システムに関する。
[従来技術の説明]
多数の技術的な重要なプロセスが高真空中で実施されて
いる。そのような例として分子線ビームエピタキシ(M
BE)技術がある。このようなプロセスにより生成され
た製品の品質は真空処理室の残留圧力に依存する。これ
は第3−5族半導体についてもあてはまり、ある種の材
料中のキャリア移動速度は真空処理室の残留圧力に大き
く依存する。
いる。そのような例として分子線ビームエピタキシ(M
BE)技術がある。このようなプロセスにより生成され
た製品の品質は真空処理室の残留圧力に依存する。これ
は第3−5族半導体についてもあてはまり、ある種の材
料中のキャリア移動速度は真空処理室の残留圧力に大き
く依存する。
このような真空システムには、真空室と真空ポンプがあ
る。多数の真空ポンプが公知である。高真空を作り出す
真空ポンプはクライオポンプ、イオンスパッタポンプ、
ゲッタポンプ、ターボモルキュラポンプである。この中
で最も有望なのがクライオポンプである。
る。多数の真空ポンプが公知である。高真空を作り出す
真空ポンプはクライオポンプ、イオンスパッタポンプ、
ゲッタポンプ、ターボモルキュラポンプである。この中
で最も有望なのがクライオポンプである。
クライオポンプの動作については、J、P、O’1la
non、^ User’s Guide to
Vacuua+ Technology、 Job
n讐11ey and 5ons、New YOrk、
1980.を参照のこと。
non、^ User’s Guide to
Vacuua+ Technology、 Job
n讐11ey and 5ons、New YOrk、
1980.を参照のこと。
10’Paレベルの超真空を達成するためには、真空シ
ステムは可焼クライオポンプを採用する必要がある。こ
のクライオポンプを可焼にするには、熱抵抗性機械部品
を一時的に除去する必要がある。
ステムは可焼クライオポンプを採用する必要がある。こ
のクライオポンプを可焼にするには、熱抵抗性機械部品
を一時的に除去する必要がある。
これについては、M、Mlehaud and L、5
anche、”Character4stlcs or
a Bakcablc Ion−CRYOpunpe
d UIIVSystem” J、Vac、Sc1.
Tcchnol、、17(1)、Jn、/Feb。
anche、”Character4stlcs or
a Bakcablc Ion−CRYOpunpe
d UIIVSystem” J、Vac、Sc1.
Tcchnol、、17(1)、Jn、/Feb。
1980、pages274−276と米国特許箱4,
514,204号を参照のこと。
514,204号を参照のこと。
この米国特許に開示されているクライオポンプは低温冷
却装置を含み、その端部は真空を失わずに、そのハウジ
ングから除去できる。ベークアウトの間、除去された低
温冷却装置は非加熱部分を介して使用され、ポンプ動作
を継続する。かくして、ベータアウトの間、真空を維持
するために、独立のイオンポンプを必要としない。
却装置を含み、その端部は真空を失わずに、そのハウジ
ングから除去できる。ベークアウトの間、除去された低
温冷却装置は非加熱部分を介して使用され、ポンプ動作
を継続する。かくして、ベータアウトの間、真空を維持
するために、独立のイオンポンプを必要としない。
除去可能な冷却装置を有する従来の可焼クライオポンプ
は、非可焼クライオポンプに比較して、利点があるが、
補助真空ポンプを必要とし、高価である。この為、ベー
クアウトの間可焼クライオポンプが動作するような真空
システムが必要とされている。
は、非可焼クライオポンプに比較して、利点があるが、
補助真空ポンプを必要とし、高価である。この為、ベー
クアウトの間可焼クライオポンプが動作するような真空
システムが必要とされている。
(発明の概要)
本発明の真空システムは、真空室、クライオポンプ、補
助冷却手段を有し、この補助冷却手段はクライオポンプ
主ポンプ段から熱を除去する。この熱は、クライオポン
プの動作中、真空システムの関連表面の大部分が焼成さ
れる際に発生する。
助冷却手段を有し、この補助冷却手段はクライオポンプ
主ポンプ段から熱を除去する。この熱は、クライオポン
プの動作中、真空システムの関連表面の大部分が焼成さ
れる際に発生する。
クライオポンプは、その通常動作中、室温Tp以下の温
度に維持される主ポンプ段を有する。補助冷却手段は、
クライオポンプの主ポンプ段近傍の冷却液を制御する手
段を有する。この制御手段は、高伝熱性を有し、クライ
オポンプの主ポンプ段を制御手段に熱的に結合する手段
を有し、真空室内のベータアウトの間、主ポンプ段温度
をTp以下に維持するようにする。
度に維持される主ポンプ段を有する。補助冷却手段は、
クライオポンプの主ポンプ段近傍の冷却液を制御する手
段を有する。この制御手段は、高伝熱性を有し、クライ
オポンプの主ポンプ段を制御手段に熱的に結合する手段
を有し、真空室内のベータアウトの間、主ポンプ段温度
をTp以下に維持するようにする。
この補助冷却手段は、真空システム外壁に組み込まれる
外部部材(フランジ載置リングとも呼称される)を有す
る。この補助冷却手段は、更に、冷却剤(例えば、液体
窒素)をクライオポンプの主ポンプ段に熱的に有効に連
結させるチューブ(銅等の高伝熱性材料製)を有する。
外部部材(フランジ載置リングとも呼称される)を有す
る。この補助冷却手段は、更に、冷却剤(例えば、液体
窒素)をクライオポンプの主ポンプ段に熱的に有効に連
結させるチューブ(銅等の高伝熱性材料製)を有する。
フランジ載置リングを貫通する通路が具備され、冷却流
体が真空システムの外部からチューブの一端に導入され
、そして、チューブの他端から真空システムの外部へ排
出する。ブロックが、このチューブを主ポンプ段に伝熱
性よく連結する為に具備されている。
体が真空システムの外部からチューブの一端に導入され
、そして、チューブの他端から真空システムの外部へ排
出する。ブロックが、このチューブを主ポンプ段に伝熱
性よく連結する為に具備されている。
(実施例の説明)
第1図に補助冷却手段を有するクライオポンプを示す。
第2図に補助冷却手段の拡大詳細図(天地が逆になって
いる)を示す。
いる)を示す。
このクライオポンプには、キャニスタ1G、このキャニ
スタlOの一端は閉鎖されて、他端は開放され、フラン
ジ11を有している。キャニスタIO内には、主段熱シ
ールド22、主コンデンサ列があり、この主コンデンサ
列は、複数のサポートリブ13により保持された複数の
シェブロンTpを有する。複数の補助冷却手段は、フラ
ンジ載置リング14を有し、その−側はクライオポンプ
のフランジ11と、他側は真空室と、密閉状態で係合す
る。フランジ載置リング14内でかつほぼ同心状に、冷
却剤を導くリング状チューブ1B(以下、クライオリン
グとも称する)が載置される。
スタlOの一端は閉鎖されて、他端は開放され、フラン
ジ11を有している。キャニスタIO内には、主段熱シ
ールド22、主コンデンサ列があり、この主コンデンサ
列は、複数のサポートリブ13により保持された複数の
シェブロンTpを有する。複数の補助冷却手段は、フラ
ンジ載置リング14を有し、その−側はクライオポンプ
のフランジ11と、他側は真空室と、密閉状態で係合す
る。フランジ載置リング14内でかつほぼ同心状に、冷
却剤を導くリング状チューブ1B(以下、クライオリン
グとも称する)が載置される。
このクライオリング16は銅等の高伝熱材料製が好まし
い。クライオリング16の端部はステンレススチール等
の低伝熱材料製チューブ17.18と連結する。チュー
ブi’r、taは外側に湾曲し、フランジ載置リング1
4を貫通してこの真空システムの中から外に伸びる高真
空のフィードスルー19を公知の方法で貫通する。
い。クライオリング16の端部はステンレススチール等
の低伝熱材料製チューブ17.18と連結する。チュー
ブi’r、taは外側に湾曲し、フランジ載置リング1
4を貫通してこの真空システムの中から外に伸びる高真
空のフィードスルー19を公知の方法で貫通する。
冷却流体(液体窒素が好ましいが、冷却ガスでもよい)
が、チューブ17からクライオリング1[iの一端内に
導入され、その中を動き、チューブ18を介してクライ
オリングlBの他端から導出される(相変化を経て)。
が、チューブ17からクライオリング1[iの一端内に
導入され、その中を動き、チューブ18を介してクライ
オリングlBの他端から導出される(相変化を経て)。
低温バルブ(図示せず)が液体窒素のクライオポングl
G内への流れを制御する。
G内への流れを制御する。
液体窒素を使用した後、パージガス(例、窒素ガス)が
クライオリング1Bを介して残留液体窒素を除去する為
に、強制導入される。ガスバルブ(図示せず)がパージ
ガスのクライオリング16内への流れを制御する。
クライオリング1Bを介して残留液体窒素を除去する為
に、強制導入される。ガスバルブ(図示せず)がパージ
ガスのクライオリング16内への流れを制御する。
クライオリング1Bと主コンデンサ列を熱的に結合する
手段が弗り、これらの手段は複数の銅製ブロック20を
有し、このブロック20がクライオリングと主コンデン
サ列を熱的に結合する。各銅製ブロック20はクライオ
リング1Bのチューブ外径と等しい穴を有している。ク
ライオリング16がブロック20の穴を貫通し、クライ
オリング16の当接面とブロック20はハンダ付けされ
る。この/’%ンダ付けは水素雰囲気でフラックスなし
で実施され、その為、クライオリング1Bとブロック2
0との良好な熱的結合が得られる。このブロック20と
主コンデンサ列13とはボルト21 (銅等の高伝熱材
料製の)とインジウム製のガスケット(図示せず)とで
熱的に結合される。
手段が弗り、これらの手段は複数の銅製ブロック20を
有し、このブロック20がクライオリングと主コンデン
サ列を熱的に結合する。各銅製ブロック20はクライオ
リング1Bのチューブ外径と等しい穴を有している。ク
ライオリング16がブロック20の穴を貫通し、クライ
オリング16の当接面とブロック20はハンダ付けされ
る。この/’%ンダ付けは水素雰囲気でフラックスなし
で実施され、その為、クライオリング1Bとブロック2
0との良好な熱的結合が得られる。このブロック20と
主コンデンサ列13とはボルト21 (銅等の高伝熱材
料製の)とインジウム製のガスケット(図示せず)とで
熱的に結合される。
上記実施例以外に、クライオリング16はクライオポン
プに組み込まれ、ステンレススチール製のチューブ17
.18がクライオポンプのキャニスタ壁を貫通する実施
例でもよい。
プに組み込まれ、ステンレススチール製のチューブ17
.18がクライオポンプのキャニスタ壁を貫通する実施
例でもよい。
本発明の他の実施例(クライオポンプのMBEシステム
)が第3図に示される。このM B Eシステムは、真
空室30、ラフポンプ31,31’、クライボンブ32
、クライオリング33、液体窒素貯蔵曹34、低温バル
ブ(液体窒素のタライオリング内への制御をする)35
、低温バルブ(使用後のクライオリングの出口をシール
する) 35’ 、窒素パージガス源3G、パージガス
制御用バルブ37、窒素出口38、液体窒素充填可能な
シュラウド39、チタン昇華ポンプ(T S P Ti
tanium 5ubliaatlon Pump)
(主に真空室からの残留窒素除去用)40、MBE用
のソース炉41、高真空の室内圧力測定用イオンゲージ
42、タライオボンブ遮断用高真空バルブ43、純アル
ゴンフラッシュガス源44、MBE用の基板ホルダ45
がある。
)が第3図に示される。このM B Eシステムは、真
空室30、ラフポンプ31,31’、クライボンブ32
、クライオリング33、液体窒素貯蔵曹34、低温バル
ブ(液体窒素のタライオリング内への制御をする)35
、低温バルブ(使用後のクライオリングの出口をシール
する) 35’ 、窒素パージガス源3G、パージガス
制御用バルブ37、窒素出口38、液体窒素充填可能な
シュラウド39、チタン昇華ポンプ(T S P Ti
tanium 5ubliaatlon Pump)
(主に真空室からの残留窒素除去用)40、MBE用
のソース炉41、高真空の室内圧力測定用イオンゲージ
42、タライオボンブ遮断用高真空バルブ43、純アル
ゴンフラッシュガス源44、MBE用の基板ホルダ45
がある。
次に、本発明の装置(第3図のMBEを例に)の動作を
説明する。真空室はクライオポンプの動作圧力範囲の上
限までラフに真空引きされる。この圧力範囲は、クライ
オポンプの型式やメーカや動作条件によって変化するが
、−船釣に100Pa以下である。その後、クライオポ
ンプ32が真空室3o内の圧力を]O’Paまで低下さ
せる為に用いられる。液体窒素の流れがクライオリング
33内で開始される。真空室30内の壁(クライオポン
プも含む)の温度が均一にかつ徐々に約220℃の温度
になる間、10’Paの圧力はクライオポンプ32とク
ライオリング33の補助冷却手段とにより維’j!jさ
れる。この加熱ステップの期間は、必要な圧力に依存す
るが、約5週間になる。この「ベークアウト(bake
−out)Jの完了後、このシステムは室lHまで低下
し、液体窒素のクライオリング33への供給は停止され
、クライオリング33にはパージガスが供給され、シー
ルされる。その後、内部シュラウド39には液体窒素が
充填され、付属のTSP40が稼動する。MBEソース
炉41はアイドル状態になる。エピタキシャル構造形成
前に、ソース炉4tはその動作温度まで上昇する。予備
運転が各ソース炉41について、1秒当りの単層の堆積
速度の71111定の為に実行される。基板(通常Ga
AsTA)が真空室30内で加熱され、揮発により表面
の酸化ガリウム層を除去する。その後、この基板は基板
ホルダ45内に載置され、ソース材料の分子線が曝射さ
れる。このソース材料の分子線は、プログラム制御され
たシャッターにより調節される。
説明する。真空室はクライオポンプの動作圧力範囲の上
限までラフに真空引きされる。この圧力範囲は、クライ
オポンプの型式やメーカや動作条件によって変化するが
、−船釣に100Pa以下である。その後、クライオポ
ンプ32が真空室3o内の圧力を]O’Paまで低下さ
せる為に用いられる。液体窒素の流れがクライオリング
33内で開始される。真空室30内の壁(クライオポン
プも含む)の温度が均一にかつ徐々に約220℃の温度
になる間、10’Paの圧力はクライオポンプ32とク
ライオリング33の補助冷却手段とにより維’j!jさ
れる。この加熱ステップの期間は、必要な圧力に依存す
るが、約5週間になる。この「ベークアウト(bake
−out)Jの完了後、このシステムは室lHまで低下
し、液体窒素のクライオリング33への供給は停止され
、クライオリング33にはパージガスが供給され、シー
ルされる。その後、内部シュラウド39には液体窒素が
充填され、付属のTSP40が稼動する。MBEソース
炉41はアイドル状態になる。エピタキシャル構造形成
前に、ソース炉4tはその動作温度まで上昇する。予備
運転が各ソース炉41について、1秒当りの単層の堆積
速度の71111定の為に実行される。基板(通常Ga
AsTA)が真空室30内で加熱され、揮発により表面
の酸化ガリウム層を除去する。その後、この基板は基板
ホルダ45内に載置され、ソース材料の分子線が曝射さ
れる。このソース材料の分子線は、プログラム制御され
たシャッターにより調節される。
5週間のベークアウトの後、2日でレイボールド(Le
ybold) I M520抽出イオンゲージ(従来
のペイヤードアルパート(Bayard−Alpert
)ゲージの内部X線制限読みに従わない)は2.OX
10”Paを示した。
ybold) I M520抽出イオンゲージ(従来
のペイヤードアルパート(Bayard−Alpert
)ゲージの内部X線制限読みに従わない)は2.OX
10”Paを示した。
クライオリングを使用せず、また、クライオポンプキャ
ニスタのベークアウトせずに、システムの圧力はt、e
x 10’P aが得られた。
ニスタのベークアウトせずに、システムの圧力はt、e
x 10’P aが得られた。
本発明の原理は種々のクライオポンプに応用可能で、ク
ライオリングが主コンデンサ列の代りに上段シールドに
熱的に結合してもよい。更にクライオリングはリング以
外の形状、らせん形でもよい。本発明の装置は分子加速
器内の真空形成に用いてもよく、宇宙空間模擬室内に用
いてもよい。
ライオリングが主コンデンサ列の代りに上段シールドに
熱的に結合してもよい。更にクライオリングはリング以
外の形状、らせん形でもよい。本発明の装置は分子加速
器内の真空形成に用いてもよく、宇宙空間模擬室内に用
いてもよい。
第1図は、補助冷却手段を有する本発明のクライオポン
プのブロック図、 第2図は、本発明の補助冷却手段を示す図、第3図は、
MBEに使用される本発明の装置を示す図である。
プのブロック図、 第2図は、本発明の補助冷却手段を示す図、第3図は、
MBEに使用される本発明の装置を示す図である。
Claims (8)
- (1)可焼真空室、 前記真空室からガスを除去するよう真空室に連通するク
ライオポンプを有し、 このクライオポンプは、その通常動作時に室温T_p以
下の温度に維持される主ポンプ段を有する高真空装置に
おいて、 a)クライオポンプの主ポンプ段に冷却剤を導入する高
伝熱性の案内手段、 b)真空室のベークアウト(bake−out)の間、
主ポンプ段をT_p以上にならないよう維持するよう、
クライオポンプの主ポンプ段と案内手段とを熱的に連結
する手段、 とを有することを特徴とする高真空装置。 - (2)案内手段は、冷却剤を外部源からクライオポンプ
に、および、外部源から真空システムに導入することを
特徴とする請求項1記載の装置。 - (3)a)案内手段は銅製チューブを、 b)熱的連結手段は、銅製チューブに接続される銅製ブ
ロックを、 有することを特徴とする請求項2記載の装置。 - (4)銅製チューブは、リング状に形成されていること
を特徴とする請求項3記載の装置。 - (5)冷却剤は、液体窒素であることを特徴とする請求
項4記載の装置。 - (6)a)銅製チューブ内の液体窒素流を制御する低温
バルブ、 b)銅製チューブから残留冷却剤を排出するパージガス
流を制御するバルブ を有することを特徴とする請求項5記載の装置。 - (7)クライオポンプは、冷却剤を案内する手段を有す
ることを特徴とする請求項1記載の装置。 - (8)可焼真空室と、 前記真空室からガスを除去するよう真空室に連通するク
ライオポンプと、 このクライオポンプは、フランジと、主ポンプ段を有し
、この主ポンプ段は主コンデンサ列を有する高真空装置
において、 a)第1、第2面を有するリング、 この第1面はクライオポンプのフランジ面に密接し、第
2面は真空室に密接し、 b)液体窒素を主コンデンサ列に案内する銅製チューブ
、 この銅製チューブは、第1、第2端を有し、リング状に
形成され、 c)銅製チューブ内の液体窒素流を制御する低温バルブ
、 d)銅製チューブから残留低温剤を排出するパージガス
流を制御するパージバルブ e)銅製チューブを主コンデンサ列に熱的に連結する主
コンデンサ列と、銅製チューブに載置される銅製ブロッ
ク、 f)液体窒素を低温バルブから、パージガスをパージバ
ルブから、リングを介して銅製チューブの第1端に案内
するコンジット、 g)液体窒素とパージガスをリングを介して銅製チュー
ブの第2端から案内するコンジット を有することを特徴とする高真空装置。
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---|---|---|---|---|
US6022195A (en) | 1988-09-13 | 2000-02-08 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled vacuum pump with control module |
US6318093B2 (en) | 1988-09-13 | 2001-11-20 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
ATE91531T1 (de) * | 1989-02-28 | 1993-07-15 | Leybold Ag | Mit einem zweistufigen refrigerator betriebene kryopumpe. |
US5261244A (en) * | 1992-05-21 | 1993-11-16 | Helix Technology Corporation | Cryogenic waterpump |
US5483803A (en) * | 1993-06-16 | 1996-01-16 | Helix Technology Corporation | High conductance water pump |
US6902378B2 (en) | 1993-07-16 | 2005-06-07 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled vacuum pump |
US5357760A (en) * | 1993-07-22 | 1994-10-25 | Ebara Technologies Inc. | Hybrid cryogenic vacuum pump apparatus and method of operation |
JP2719298B2 (ja) * | 1993-07-29 | 1998-02-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 真空装置の冷却構造 |
US5469711A (en) * | 1994-04-15 | 1995-11-28 | Infrared Components Corporation | Cryogenic packaging for uniform cooling |
US6361618B1 (en) | 1994-07-20 | 2002-03-26 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for forming and maintaining high vacuum environments |
JPH08203830A (ja) | 1994-07-20 | 1996-08-09 | Applied Materials Inc | 高温超高真空用真空処理チャンバ |
US5537833A (en) * | 1995-05-02 | 1996-07-23 | Helix Technology Corporation | Shielded cryogenic trap |
JP3452468B2 (ja) * | 1997-08-15 | 2003-09-29 | 株式会社荏原製作所 | ターボ分子ポンプ |
US5887438A (en) * | 1997-08-20 | 1999-03-30 | Helix Technology Corporation | Low profile in line cryogenic water pump |
US5901558A (en) * | 1997-08-20 | 1999-05-11 | Helix Technology Corporation | Water pump with integral gate valve |
US5879467A (en) * | 1997-09-02 | 1999-03-09 | Applied Materials, Inc. | Cycle purging a vacuum chamber during bakeout process |
US6077404A (en) | 1998-02-17 | 2000-06-20 | Applied Material, Inc. | Reflow chamber and process |
US6193811B1 (en) * | 1999-03-03 | 2001-02-27 | Applied Materials, Inc. | Method for improved chamber bake-out and cool-down |
JP3667202B2 (ja) * | 2000-07-13 | 2005-07-06 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
US6367267B1 (en) * | 2000-09-22 | 2002-04-09 | Applied Epi, Inc. | Integrated phase separator for ultra high vacuum system |
JP4657463B2 (ja) * | 2001-02-01 | 2011-03-23 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
US6718775B2 (en) | 2002-07-30 | 2004-04-13 | Applied Epi, Inc. | Dual chamber cooling system with cryogenic and non-cryogenic chambers for ultra high vacuum system |
US7037083B2 (en) * | 2003-01-08 | 2006-05-02 | Brooks Automation, Inc. | Radiation shielding coating |
US7009193B2 (en) * | 2003-10-31 | 2006-03-07 | Infineon Technologies Richmond, Lp | Utilization of an ion gauge in the process chamber of a semiconductor ion implanter |
DE102004005415B3 (de) * | 2003-12-19 | 2005-05-25 | Universität Regensburg | Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb derselben |
US7320224B2 (en) * | 2004-01-21 | 2008-01-22 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for detecting and measuring state of fullness in cryopumps |
WO2005075826A1 (de) * | 2004-02-03 | 2005-08-18 | Universität Regensburg | Vakuumpumpe und verfahren zum betrieb derselben |
JP2010504434A (ja) * | 2006-09-25 | 2010-02-12 | ビーコ インスツルメンツ インコーポレイティド | 真空蒸着装置用の断熱クライオパネル |
CN101734993B (zh) * | 2008-11-05 | 2013-11-13 | 新疆天业(集团)有限公司 | 等离子体高温碳转化反应煤粉注入管 |
US8900362B2 (en) * | 2010-03-12 | 2014-12-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of gallium oxide single crystal |
CH703216A1 (de) * | 2010-05-27 | 2011-11-30 | Hsr Ag | Vorrichtung zur Verhinderung des Memory-Effekts bei Kryopumpen. |
US8840380B2 (en) * | 2011-01-21 | 2014-09-23 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Temperature control ring for vehicle air pump |
US10145371B2 (en) * | 2013-10-22 | 2018-12-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Ultra high vacuum cryogenic pumping apparatus with nanostructure material |
CN103899511B (zh) * | 2014-03-07 | 2016-04-06 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 迫流内装式液氦低温冷凝泵 |
JP6871751B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2021-05-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5533059A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-08 | Semiconductor Res Found | Pressure-reduced reactor |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3252652A (en) * | 1963-01-24 | 1966-05-24 | Bendix Balzers Vacuum Inc | Process and apparatus for the production of high vacuums |
US3338063A (en) * | 1966-01-17 | 1967-08-29 | 500 Inc | Cryopanels for cryopumps and cryopumps incorporating them |
US3423947A (en) * | 1967-07-17 | 1969-01-28 | Yosimaro Moriya | Vacuum traps utilizing electronic refrigerating elements |
US3443390A (en) * | 1967-10-05 | 1969-05-13 | Nasa | Space simulator |
FR1587077A (ja) * | 1968-08-01 | 1970-03-13 | ||
CH476215A (de) * | 1968-08-20 | 1969-07-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Verfahren zum Betrieb einer kryogenen Pumpstufe und Hochvakuumpumpanordnung zur Durchführung des Verfahrens |
FR2114039A5 (ja) * | 1970-11-13 | 1972-06-30 | Air Liquide | |
BE791888A (fr) * | 1971-11-26 | 1973-05-24 | Air Liquide | Dispositif de cryopompage |
US4212170A (en) * | 1979-04-16 | 1980-07-15 | Oerlikon Buhrle USA Incorporated | Cryopump |
US4514204A (en) * | 1983-03-21 | 1985-04-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Bakeable cryopump |
FR2545588B1 (fr) * | 1983-05-05 | 1985-10-11 | Air Liquide | Appareil de refrigeration et piege frigorifique comprenant un tel appareil |
JPS60161702A (ja) * | 1984-01-27 | 1985-08-23 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 真空用冷却トラツプ |
US4559787A (en) * | 1984-12-04 | 1985-12-24 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Vacuum pump apparatus |
-
1988
- 1988-11-23 US US07/276,082 patent/US4873833A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5533059A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-08 | Semiconductor Res Found | Pressure-reduced reactor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0370702B1 (en) | 1993-07-14 |
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DE68907565T2 (de) | 1994-01-27 |
US4873833A (en) | 1989-10-17 |
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